NSGとは 意味・読み方・使い方

The NSG film 3 has more thermally shrinkable property than that of the BPTEOS film 2.例文帳に追加

ＮＳＧ膜３はＢＰＴＥＯＳ膜２よりも熱収縮しやすい性質を有している。 - 特許庁

The NSG film 108 is subjected to wet etching, and a metal film is formed on the whole surface.例文帳に追加

その後、ＮＳＧ膜１０８をウェットエッチングした後、金属膜を全面に形成する。 - 特許庁

The infrared absorbing film 20 includes an NSG film 24 arranged at an incident side of infrared radiation and a TiN film 28 stacked at a rear face 24b of the NSG film 24.例文帳に追加

本発明の赤外線吸収膜２０は、赤外線の入射側に配置されるＮＳＧ膜２４と、ＮＳＧ膜２４の裏面２４ｂに積層されているＴｉＮ膜２８を備える。 - 特許庁

Resist 6 is patterned on the NSG film 5, the NSG film 5, the titanium nitride film 4 and the tantalum oxide film 3 are dry-etched by using the resist 6 as a mask, and then the resist 6 is removed by plasma ashing.例文帳に追加

ＮＳＧ膜５上にレジスト６をパターニングし、それをマスクとしてＮＳＧ膜５、チタン窒化膜４、タンタル酸化膜３をドライエッチングし、レジスト６を酸素プラズマアッシングにより除去する。 - 特許庁

Lastly, an NSG film 104 of a TEOS material is formed through a CVD method.例文帳に追加

最後に、ＴＥＯＳ原料を用いたＮＳＧ膜１０４をＣＶＤ法を用いて形成する。 - 特許庁

Absorption coefficient of the NSG film 24 for infrared radiation is 5.78×10^3 cm^-1.例文帳に追加

ＮＳＧ膜２４は、赤外線に対する吸収係数が５．７８×１０^３（ｃｍ^−１）である。 - 特許庁

Because the LSD generally has estimated error, when the estimated equation of the NSG includes the LSD in the second-order term, its error exerts effect in the second-order term and the variance of the estimated amount of the NSG becomes extremely large.例文帳に追加

一般にＬＳＤは推定誤差をもつので、ＮＳＧの推定式がＬＳＤが二次の項を含むと、その誤差も二次のオーダーで効いてくるため、ＮＳＧの推定量の分散が非常に大きくなる。 - 特許庁

Then the NSG film 43 is removed and side-wall SiO_2 films 6 are formed on the side walls of a trench 5 (c).例文帳に追加

そして、ＮＳＧ膜４３を除去し、トレンチ５の側壁に側壁ＳｉＯ_2膜６を形成する（図２（ｃ））。 - 特許庁