HDPとは 意味・読み方・使い方

Further, the STI groove 60 is filled with an HDP-NSG film 7.例文帳に追加

さらにＳＴＩ溝６０はＨＤＰ−ＮＳＧ膜７で埋め込まれている。 - 特許庁

DEPOSITION OF AMORPHOUS SILICON FILM BY HIGH-DENSITY PLASMA HDP-CVD AT LOW TEMPERATURE例文帳に追加

低温での高密度プラズマＨＤＰ−ＣＶＤによるアモルファスシリコン膜の堆積 - 特許庁

Then, the ceria slurry is used to continuously polish the HDP 4a until self stop is made.例文帳に追加

その後、セリアスラリーを用いて、セルフストップするまでＨＤＰ４ａの研磨を続ける。 - 特許庁

CONTROLLED METHOD FOR DEPOSITING SILICON-RICH OXIDE USING HDP-CVD例文帳に追加

ＨＤＰ−ＣＶＤを使用してシリコンリッチ酸化物を堆積する制御された方法 - 特許庁

The selection ratio of an SRO liner film is made large for an HDP silicon oxide film, and the SRO liner film is used as an etching stopper film when the HDP oxide silicon film is etched.例文帳に追加

ＨＤＰ酸化シリコン膜に対してＳＲＯライナ膜の選択比を高め、ＨＤＰ酸化シリコン膜をエッチングする時のエッチングストッパ膜としてＳＲＯライナ膜を使用する。 - 特許庁

Then, an insulator 23 is embedded in the element separation trench 21 by HDP-CVD method.例文帳に追加

そして、ＨＤＰ−ＣＶＤ法により、絶縁物２３が素子分離トレンチ２１内に埋め込まれる。 - 特許庁

INTEGRATED PROCESS MODULATION (IPM), NOVEL SOLUTION FOR GAPFILL WITH HDP-CVD例文帳に追加

総合プロセスモジュレーション（ＩＰＭ）ＨＤＰ−ＣＶＤによるギャップ充填のための新規な解決法 - 特許庁

GAS CHEMISTRY CYCLING TO ACHIEVE HIGH ASPECT RATIO GAPFILL WITH HDP-CVD例文帳に追加

ＨＤＰ−ＣＶＤを用いて高いアスペクト比のギャップ充填を達成するためのガス化学サイクリング - 特許庁