TEOSとは 意味・読み方・使い方

DEPOSITION OF TEOS OXIDE USING PULSE RF PLASMA例文帳に追加

パルスＲＦプラズマを用いたＴＥＯＳ酸化物の堆積 - 特許庁

Next, a first ozone TEOS film 112 is grown on the base oxide film 111 by a first ozone TEOS method with relatively low ozone concentration, and then a second ozone TEOS film 113 is grown on the first ozone TEOS film 112 by a second ozone TEOS method with relatively high ozone concentration.例文帳に追加

次に、オゾン濃度が相対的に低い第１のオゾンＴＥＯＳ法により、下地酸化膜１１１の上に第１のオゾンＴＥＯＳ膜１１２を成長させた後、オゾン濃度が相対的に高い第２のオゾンＴＥＯＳ法により、第１のオゾンＴＥＯＳ膜１１２の上に第２のオゾンＴＥＯＳ膜１１３を成長させる。 - 特許庁

The L-shaped TEOS gas ejector is fixed in parallel with the vertical axis of a TEOS reaction chamber in the longitudinal direction.例文帳に追加

Ｌ字形のガス噴射装置の長手方向は、ＴＥＯＳ反応チャンバの垂直軸線に対し平行に取り付けられている。 - 特許庁

After the TEOS film 18 is flattened out by a CMP method, a SiH_4 base silicon oxide film 30 preferable for capturing fluorine is formed on it.例文帳に追加

TEOS膜１８をＣＭＰ法で平坦化した後、その上に、フッ素の捕獲に好適なSiH_４系シリコン酸化膜３０を形成する。 - 特許庁

DEPOSITION OF O3-TEOS OXIDE FILM AND DEPOSITION APPARATUS例文帳に追加

Ｏ３−ＴＥＯＳ酸化膜蒸着方法及び蒸着装置 - 特許庁

The raw material of the silicon oxide film 22 is, for example, TEOS.例文帳に追加

シリコン酸化膜２２は、例えばＴＥＯＳを原料としている。 - 特許庁

METHOD FOR VAPOR DEPOSITING O3-TEOS OXIDE FILM, AND VAPOR DEPOSITION APPARATUS例文帳に追加

Ｏ３−ＴＥＯＳ酸化膜蒸着方法及び蒸着装置 - 特許庁

After a TEOS film is deposited, the TEOS film is patterned to form a silicidizing mask 10a having an opening for a silicidizing region Rsi.例文帳に追加

ＴＥＯＳ膜を堆積した後、これをパターニングしてシリサイド化領域Ｒsiを開口したシリサイド化用マスク１０ａを形成する。 - 特許庁