silylationとは 意味・読み方・使い方

To detect a fault in wafer treatment including silylation treatment at an early stage.例文帳に追加

シリル化処理を含むウェハ処理の不具合を早期に検出する。 - 特許庁

The surface treatment agent, which is used for the surface treatment on the substrate, contains a silylation agent and a silylation heterocyclic compound.例文帳に追加

基板の表面処理に使用される表面処理剤であって、シリル化剤とシリル化複素環化合物と、を含有する表面処理剤を使用する。 - 特許庁

METHOD FOR PRODUCING ORGANIC SILICON COMPOUND BY SILYLATION REACTION OF CONJUGATED DIENE例文帳に追加

共役ジエン類のシリル化反応による有機ケイ素化合物の製造方法 - 特許庁

To obtain a pattern forming method for realizing a negative silylation process.例文帳に追加

本発明は、ネガ型のシリル化プロセスを実現するパターン形成方法を得る。 - 特許庁

To form an upper layer silylation pattern of a fixed thickness without depending on the thickness of an upper layer resist film or a fine width of an upper layer silylation pattern.例文帳に追加

上層レジスト膜の膜厚、又は上層シリル化パターンの線幅に依存することなく、上層シリル化パターンを一定の膜厚で形成する。 - 特許庁

RESIST PATTERN FORMING METHOD, SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND SILYLATION DEVICE例文帳に追加

レジストパターンの形成方法、半導体装置の製造方法およびシリル化装置 - 特許庁

The components contained in the exhaust gas discharged from a silylation system, when the system performs silylation treatment is made to be analyzed by collecting the exhaust gas, by attaching a branch pipe connected to an analyzer to the exhaust pipe of the system.例文帳に追加

シリル化処理装置の排気管に分析装置に通じる分岐管を取付け，シリル化処理時の排気を収集し，その成分を分析できるようにする。 - 特許庁

A protection film 5 is formed in an upper surface of the upper layer resist pattern 3A, and an upper layer silylation pattern 6 is formed by silylation of a side wall of the upper layer resist pattern 3A.例文帳に追加

そして、上層レジストパターン３Ａの上面に保護膜５を形成し、上層レジストパターン３Ａの側壁をシリル化して上層シリル化パターン６を形成する。 - 特許庁