defect size distributionとは 意味・読み方・使い方

The oxygen ion-implanted silicon substrate has preferably a void defect or COP crystal defect density of ≥1×10^5 cm^-3, and a maximum frequency of ≤0.12 μm in the crystal defect size distribution.例文帳に追加

酸素イオンが注入されるシリコン基板は、ボイド欠陥又はＣＯＰからなる結晶欠陥密度が１×１０^5ｃｍ^-3以上でありかつ結晶欠陥のサイズ分布の最大頻度が０．１２μｍ以下であることが好ましい。 - 特許庁

A mask blank is prepared (ST11), distribution of the position or size of defects existing in the thin film of the mask blank is inspected (ST12), and a defect map is made (ST13).例文帳に追加

マスクブランクスを準備し（ＳＴ１１）、マスクブランクスの薄膜に存在する欠陥の位置や大きさなどの分布を検査し（ＳＴ１２）、欠陥マップを作成する（ＳＴ１３）。 - 特許庁

The size of an image or the number of pixels in re-detection is changed in accordance with the accuracy distribution of defect position information in an external inspection device without changing resolution.例文帳に追加

解像度を変更することなく、外部の記検査装置における前記欠陥位置情報の精度分布に応じて再検出の際の画像サイズまたは画素数を変更する。 - 特許庁

To solve the problems wherein, when an illuminance distribution in an illumination spot by an actual illumination optical system is not a Gaussian distribution, each accuracy of particle size calculation of a foreign matter or a defect to be detected and coordinate position detection on the inspection object surface is lowered.例文帳に追加

実際の照明光学系による照明スポット内の照度分布がガウス分布になっていない場合には、検出される異物・欠陥の粒径算出および被検査物体表面上での座標位置の検出精度が低下してしまう。 - 特許庁

To manufacture a single crystal silicon ingot having homogeneous vacancy defect density and distribution in a radial direction by removing minute vacancy defects not larger than a critical size that adversely affects the voltage-resistance characteristics of an oxide film.例文帳に追加

酸化膜耐圧特性に悪影響を及ぼす臨界サイズ以下の微細なベイカンシ欠陥を除去し、半径方向に均一なベイカンシ欠陥密度及び分布を有するシリコン単結晶インゴットを製造すること。 - 特許庁

Hereby, even if the illuminance distribution in the illumination spot by the actual illumination optical system is not necessarily the Gaussian distribution, each accuracy of the particle size calculation of the foreign matter or the defect to be detected and the coordinate position on the inspection object surface can be improved.例文帳に追加

これにより、実際の照明光学系による照明スポット内の照度分布が必ずしもガウス分布とならない場合においても、検出される異物・欠陥の粒径算出および被検査物体表面上での座標位置の精度を向上させることが可能になる。 - 特許庁

An infrared signal is input and analyzed in the infrared image signal processing part 22 to find a temperature distribution of the inspection object 20, and the presence of the defect in the inspection object 20 and a size thereof are detected based on the temperature distribution.例文帳に追加

さらにこの赤外線映像信号処理部２２において赤外線の信号を入力して解析することにより検査対象物２０の温度分布を求め、この温度分布に基づいて検査対象物２０の欠陥の有無並びに大きさを検出するように構成される。 - 特許庁

To provide a nonmagnetic single component color toner which satisfies the optimum conditions relating to distribution of the toner particle size, which does not cause an image defect in an initial stage such as fog or cleaning failure, which suppresses increase in the particle size due to toner selection phenomenon in a life test for continuous printing, and which is free from a problem such as increase in the image density.例文帳に追加

トナー粒径分布に関しての最適条件を満足し、かぶりやクリーニング不良などの初期的な画像不良を生じることがなく、連続印字のライフテストにおいても、トナー選択現象による粒径の増大化を抑制し、画像濃度の上昇などの不具合がない非磁性一成分カラートナーを提供することを目的とする。 - 特許庁