ion gaugeとは 意味・読み方・使い方

To provide a method and a device for reducing contaminants which reach an ion gauge collector.例文帳に追加

本発明は、イオンゲージ収集器に到達する汚染物質を削減する方法および装置を提供する。 - 特許庁

This film-forming method includes introducing secondary electrons from an ion gauge into a treatment vessel of a sputter treatment apparatus to promote the ignition of plasma in the treatment vessel.例文帳に追加

スパッタ処理装置の処理容器内に、イオンゲージから二次電子を導入し、前記処理容器内におけるプラズマの着火を促進する。 - 特許庁

In this triode-type hot cathode ionization vacuum gauge, an ion collector electrode 7 is given a helical shape to connect both ends of the electrode to lead-in terminals 12 and 13.例文帳に追加

三極管型熱陰極電離真空計において、集イオン電極７を螺旋形状にし、電極の両端を導入端子１２、１３に接続する。 - 特許庁

In the BA-type ionization vacuum gauge 10, an ion collector electrode 16 in an open grid 12 is formed into a loop shape, and the loop surface thereof is arranged directed toward a filament 14.例文帳に追加

ＢＡ型電離真空計１０において、開放グリッド１２内のイオンコレクタ電極１６をループ状に形成し、そのループ面をフィラメント１４側に向けて配置する。 - 特許庁

The gauge comprises a container 1, the cathode 4 of which the carbon nanotube is fixed on its inner surface, a current collecting electrode 3, an ion collecting electrode 2, and an introduction electrode 5.例文帳に追加

図中の１は容器で、４は金属円筒の内面にカーボンナノチュウブを固定した陰極、３は集電子電極、２は集イオン電極、および５は導入電極である。 - 特許庁

The ionization vacuum gauge includes a linear negative electrode, a positive electrode installed so as to surround the linear negative electrode, and an ion collector installed so as to surround the positive electrode.例文帳に追加

本発明の電離真空計は、線形の陰極と、該線形の陰極を囲むように設置されている陽極と、該陽極を囲むように設置されているイオンコレクタと、を含む。 - 特許庁

An ionization vacuum gauge according to the present invention includes: a cathode including a substrate and an emitter film provided on the substrate; a gate electrode installed a predetermined distance away from the cathode; and an ion collector installed a predetermined distance away from the gate electrode.例文帳に追加

本発明の電離真空計は、基板及び該基板に設置されるエミッタフィルムを含む陰極と、前記陰極と所定の距離だけ離れて設置されるゲット電極と、前記ゲット電極と所定の距離だけ離れて設置されるイオンコレクタと、を含む。 - 特許庁