ion-beam-irradiatedとは 意味・読み方・使い方

When a single atom ion beam is irradiated, the single atom ion formed in the ion source 1 is irradiated without introducing the gas into the gas supply part 11.例文帳に追加

単原子イオンビームを照射する場合には、ガス供給部１１にガスを導入せずに、イオン源１で生成された単原子イオンを照射する。 - 特許庁

To provide an ion beam distribution detection apparatus for electrically measuring the amount of irradiation of an ion beam irradiated to any location to be processed with the ion beam and detecting the divergence of the ion beam on the basis of measurement results and to provide an ion beam orientation processing apparatus.例文帳に追加

任意のイオンビーム処理位置に照射されるイオンビームの照射量を電気的に測定し、この測定結果をもとに、このイオンビームのダイバージェンスを検出するイオンビーム分布検出装置およびこれを用いたイオンビーム配向処理装置を提供すること。 - 特許庁

The surface of the absorber film 14 has been irradiated with an Ar ion beam.例文帳に追加

前記吸収体膜１４の表面にはＡｒイオンビームが照射されている。 - 特許庁

As a result, the ion beam cannot pass through the mass spectrometry slit 28 and the ion beam does not reach a wafer 58 and the ion beam not satisfying the condition is not irradiated on the wafer.例文帳に追加

その結果、イオンビームは質量分析スリット２８を通過できなくなるので、イオンビームはウェハ５８に到達せず、条件を満たさないイオンビームがウェハに照射されることは無い。 - 特許庁

One cross section 53c of the element forming part is irradiated with a converged ion beam to be exposed.例文帳に追加

収束イオンビームを照射することで素子形成部の一断面５３ｃを露出する。 - 特許庁

An ion beam irradiation system 1 and a gas inlet mechanism 21 are attached to an irradiated material chamber 2.例文帳に追加

被照射物チャンバー２にイオンビーム照射系１と、ガス導入機構２１を取り付ける。 - 特許庁

The ion beam generating unit has a gas cluster ion source 101, so that the cluster is irradiated.例文帳に追加

イオンビーム発生手段はガスクラスターイオン源１０１を有しており、これによりクラスターが照射されるようになっている。 - 特許庁

To provide an ion implanting device suppressing variation of angles in a wafer surface at which a wafer is irradiated with an ion beam, and an ion implanting method.例文帳に追加

イオンビームがウェハに照射される角度のウェハ面内ばらつきを抑制するイオン注入装置及びイオン注入方法を提供する。 - 特許庁