JP3323337B2 - ＴｉＯ２−ＣａＯ−ＮｉＯ系非磁性基板材料 - Google Patents
ＴｉＯ２−ＣａＯ−ＮｉＯ系非磁性基板材料Info
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＨＤＤ及びビデオ用読
み書きヘッドに用いられる磁性材料（バルク、薄膜等）
用非磁性基板材料に関する。
み書きヘッドに用いられる磁性材料（バルク、薄膜等）
用非磁性基板材料に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の非磁性基板材料に関して
は、使用される磁性材料を基板上にスパッタリング等で
薄膜形成する際、基板−磁性体間の熱収縮の差から生ず
る残留歪によって、ヘッド出力が低下するので、薄膜を
形成する磁性体の熱膨張係数（α）に近いαを有する基
板材料が求められていた。
は、使用される磁性材料を基板上にスパッタリング等で
薄膜形成する際、基板−磁性体間の熱収縮の差から生ず
る残留歪によって、ヘッド出力が低下するので、薄膜を
形成する磁性体の熱膨張係数（α）に近いαを有する基
板材料が求められていた。
【０００３】例として、磁性材として、センダストを用
いる際には、１００〜４００℃の温度範囲で１３０〜１
５０×１０-7程度のαを持った基板材料が必要とされて
いた。これに対し、従来のＴｉＯ2−ＣａＯ−ＮｉＯ系
基板では、１００〜４００℃の温度範囲では１３０〜１
５０×１０-7のαを有していたが、他のＭｎＯ−ＮｉＯ
系及びＮｉＯ−ＣｏＯ系基板と比較して、同程度のαで
も、ヘッド出力が低くなる傾向が見られた。
いる際には、１００〜４００℃の温度範囲で１３０〜１
５０×１０-7程度のαを持った基板材料が必要とされて
いた。これに対し、従来のＴｉＯ2−ＣａＯ−ＮｉＯ系
基板では、１００〜４００℃の温度範囲では１３０〜１
５０×１０-7のαを有していたが、他のＭｎＯ−ＮｉＯ
系及びＮｉＯ−ＣｏＯ系基板と比較して、同程度のαで
も、ヘッド出力が低くなる傾向が見られた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、１００〜２００℃の温度範囲（温度範囲△Ｔ1）
と、１００〜４００℃の温度範囲（温度範囲△Ｔ）の両
方の温度範囲において、αを磁性材のαに近付け、１０
０〜４００℃の温度範囲、全域において、基板−磁性体
間の残留歪を少なくすることである。
は、１００〜２００℃の温度範囲（温度範囲△Ｔ1）
と、１００〜４００℃の温度範囲（温度範囲△Ｔ）の両
方の温度範囲において、αを磁性材のαに近付け、１０
０〜４００℃の温度範囲、全域において、基板−磁性体
間の残留歪を少なくすることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、温度範
囲△Ｔ1で１２０〜１３０×１０-7であり、温度範囲△
Ｔで１３０〜１５０×１０-7のαを有するＴｉＯ2−Ｃ
ａＯ−ＮｉＯ系基板材料に、添加物として、ＣｏＯを１
０〜３０ｗｔ％（全体のモル比で５〜２５ｍｏｌ％）を
含有せしめて、温度範囲△Ｔ1のαを１３０〜１５０×
１０-7とし、温度範囲△Ｔのαを１４０〜１５０×１０
-7とする非磁性基板材料が得られる。
囲△Ｔ1で１２０〜１３０×１０-7であり、温度範囲△
Ｔで１３０〜１５０×１０-7のαを有するＴｉＯ2−Ｃ
ａＯ−ＮｉＯ系基板材料に、添加物として、ＣｏＯを１
０〜３０ｗｔ％（全体のモル比で５〜２５ｍｏｌ％）を
含有せしめて、温度範囲△Ｔ1のαを１３０〜１５０×
１０-7とし、温度範囲△Ｔのαを１４０〜１５０×１０
-7とする非磁性基板材料が得られる。
【０００６】又、本発明によれば、前記記載のＴｉＯ2
−ＣａＯ−ＮｉＯ系の非磁性基板材料において、ＴｉＯ
2−ＣａＯ−ＮｉＯの基本組成の比を１３.４モル％，１
３.４モル％，７３.２モル％としたことを特徴とするＴ
ｉＯ2−ＣａＯ−ＮｉＯ系非磁性基板材料が得られる。
−ＣａＯ−ＮｉＯ系の非磁性基板材料において、ＴｉＯ
2−ＣａＯ−ＮｉＯの基本組成の比を１３.４モル％，１
３.４モル％，７３.２モル％としたことを特徴とするＴ
ｉＯ2−ＣａＯ−ＮｉＯ系非磁性基板材料が得られる。
【０００７】
【作用】ＴｉＯ2−ＣａＯ−ＮｉＯ系非磁性基板材料の
熱膨張係数（α）は、１００〜２００℃でのαと１００
〜４００℃でのαが、それぞれ１２０×１０-7および１
４３×１０-7となっているので、２００〜４００℃での
熱膨張係数が相当に大きく、１００〜４００℃での熱膨
張の直線性が良くないことを示している。ＴｉＯ2−Ｃ
ａＯ−ＮｉＯをベースにして、これにＣｏＯを加える
と、１００〜２００℃のαが増大して、１４０×１０-7
程度となり、１００〜４００℃の温度範囲で熱膨張が一
様になって、センダスト等の金属磁性材料をスパッタリ
ングで薄膜形成するのに好適な非磁性基板材料となる。
特に、ＴｉＯ2−ＣａＯ−ＮｉＯの基本組成の比が１３.
４モル％，１３.４モル％，７３.２モル％の場合、焼成
条件に対して安定に上記特性が得られる。
熱膨張係数（α）は、１００〜２００℃でのαと１００
〜４００℃でのαが、それぞれ１２０×１０-7および１
４３×１０-7となっているので、２００〜４００℃での
熱膨張係数が相当に大きく、１００〜４００℃での熱膨
張の直線性が良くないことを示している。ＴｉＯ2−Ｃ
ａＯ−ＮｉＯをベースにして、これにＣｏＯを加える
と、１００〜２００℃のαが増大して、１４０×１０-7
程度となり、１００〜４００℃の温度範囲で熱膨張が一
様になって、センダスト等の金属磁性材料をスパッタリ
ングで薄膜形成するのに好適な非磁性基板材料となる。
特に、ＴｉＯ2−ＣａＯ−ＮｉＯの基本組成の比が１３.
４モル％，１３.４モル％，７３.２モル％の場合、焼成
条件に対して安定に上記特性が得られる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を用い
て詳しく説明する。表１にベースとなるＴｉＯ2−Ｃａ
Ｏ−ＮｉＯ系基板材料の代表組成を示す。ベース材は、
各原料を所定の比率に配合後、２０Ｈｒ湿式混合した
後、１１００〜１２００℃で仮焼して作製した。
て詳しく説明する。表１にベースとなるＴｉＯ2−Ｃａ
Ｏ−ＮｉＯ系基板材料の代表組成を示す。ベース材は、
各原料を所定の比率に配合後、２０Ｈｒ湿式混合した
後、１１００〜１２００℃で仮焼して作製した。
【０００９】
【表１】
【００１０】表２に、評価対象となるＣｏＯの添加量が
４水準の組成と得られたαを示している。試料は、Ｃｏ
Ｏを添加物としてベース材仮焼粉末に添加した後、湿式
粉砕し、適量のバインダー添加後、１ｔ／ｃｍ2の圧力
によって、プレス成形した後、１３００℃で焼結し、最
終的にＨＩＰ処理して作製された。なお、ＣｏＯを添加
しないで同様に作製された試料のαは、表１に示してい
る。
４水準の組成と得られたαを示している。試料は、Ｃｏ
Ｏを添加物としてベース材仮焼粉末に添加した後、湿式
粉砕し、適量のバインダー添加後、１ｔ／ｃｍ2の圧力
によって、プレス成形した後、１３００℃で焼結し、最
終的にＨＩＰ処理して作製された。なお、ＣｏＯを添加
しないで同様に作製された試料のαは、表１に示してい
る。
【００１１】
【表２】
【００１２】表２よると、添加量のＣｏＯ増加に伴い、
△Ｔ1域のαが１４５×１０-7まで増加していることが
分かる。又、同時に、△Ｔ域のαも１４３から１４９×
１０-7まで増加している。図１ないし図５に、αの温度
に対する挙動を図示する。図１は、ベース材（ＣｏＯを
含まない）、図２〜図５は表２の試料ＮｏのＡ３，Ａ
４，Ａ５およびＡ６に対応し、図の横軸に温度、縦軸に
試料の伸びをとっている。ベース材における低温域での
若干、傾きの小さな、すなわちαの低い領域が図４，５
のＣｏＯ添加量大なる範囲にては解消され、全体的にリ
ニアな膨張曲線へと曲線の形態が変化していく。つま
り、ＣｏＯの添加により、低温域のαが増加しているこ
とを示している。
△Ｔ1域のαが１４５×１０-7まで増加していることが
分かる。又、同時に、△Ｔ域のαも１４３から１４９×
１０-7まで増加している。図１ないし図５に、αの温度
に対する挙動を図示する。図１は、ベース材（ＣｏＯを
含まない）、図２〜図５は表２の試料ＮｏのＡ３，Ａ
４，Ａ５およびＡ６に対応し、図の横軸に温度、縦軸に
試料の伸びをとっている。ベース材における低温域での
若干、傾きの小さな、すなわちαの低い領域が図４，５
のＣｏＯ添加量大なる範囲にては解消され、全体的にリ
ニアな膨張曲線へと曲線の形態が変化していく。つま
り、ＣｏＯの添加により、低温域のαが増加しているこ
とを示している。
【００１３】
【発明の効果】以上、述べたように、本発明によれば、
ＴｉＯ2−ＣａＯ−ＮｉＯ系基本組成にＣｏＯを５〜２
５ｍｏｌ％添加することにより、１００〜２００℃のα
が増加し、１００〜４００℃の温度範囲でのαも増加し
て、この温度範囲での熱膨張が滑らかとなり、スパッタ
リング等で磁性膜を形成する際に、熱膨張の差を解消し
て優れた非磁性基板となる。
ＴｉＯ2−ＣａＯ−ＮｉＯ系基本組成にＣｏＯを５〜２
５ｍｏｌ％添加することにより、１００〜２００℃のα
が増加し、１００〜４００℃の温度範囲でのαも増加し
て、この温度範囲での熱膨張が滑らかとなり、スパッタ
リング等で磁性膜を形成する際に、熱膨張の差を解消し
て優れた非磁性基板となる。
【図１】ベース材（ＣｏＯの添加なし）の温度に対する
伸びを示す特性図。
伸びを示す特性図。
【図２】ＣｏＯの添加水準を変えて作製した試料Ａ３の
温度に対する伸びを示す特性図。
温度に対する伸びを示す特性図。
【図３】ＣｏＯの添加水準を変えて作製した試料Ａ４の
温度に対する伸びを示す特性図。
温度に対する伸びを示す特性図。
【図４】ＣｏＯの添加水準を変えて作製した試料Ａ５の
温度に対する伸びを示す特性図。
温度に対する伸びを示す特性図。
【図５】ＣｏＯの添加水準を変えて作製した試料Ａ６の
温度に対する伸びを示す特性図。
温度に対する伸びを示す特性図。
Claims (2)
- 【請求項１】 ＴｉＯ2−ＣａＯ−ＮｉＯ系を基本組成
とする非磁性基板材料において、前記基本組成に対し、
ＣｏＯを５〜２５ｍｏｌ％含有しており、かつ１００〜
２００℃および１００〜４００℃の各温度範囲における
熱膨張係数が、いずれも１３０〜１５０×１０-7である
ことを特徴とするＴｉＯ2−ＣａＯ−ＮｉＯ系非磁性基
板材料。 - 【請求項２】 請求項１記載のＴｉＯ2−ＣａＯ−Ｎｉ
Ｏ系の非磁性基板材料において、ＴｉＯ2−ＣａＯ−Ｎ
ｉＯの基本組成の比を１３.４モル％，１３.４モル％，
７３.２モル％としたことを特徴とするＴｉＯ2−ＣａＯ
−ＮｉＯ系非磁性基板材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27587294A JP3323337B2 (ja) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | ＴｉＯ２−ＣａＯ−ＮｉＯ系非磁性基板材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27587294A JP3323337B2 (ja) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | ＴｉＯ２−ＣａＯ−ＮｉＯ系非磁性基板材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08119739A JPH08119739A (ja) | 1996-05-14 |
| JP3323337B2 true JP3323337B2 (ja) | 2002-09-09 |
Family
ID=17561616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27587294A Expired - Lifetime JP3323337B2 (ja) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | ＴｉＯ２−ＣａＯ−ＮｉＯ系非磁性基板材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3323337B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11485859B2 (en) | 2017-09-04 | 2022-11-01 | Lg Chem, Ltd. | Polyimide film for flexible display device substrate |
-
1994
- 1994-10-14 JP JP27587294A patent/JP3323337B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11485859B2 (en) | 2017-09-04 | 2022-11-01 | Lg Chem, Ltd. | Polyimide film for flexible display device substrate |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08119739A (ja) | 1996-05-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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