JP3832525B2

JP3832525B2 - Seed crystal holder

Info

Publication number: JP3832525B2
Application number: JP15802297A
Authority: JP
Inventors: 俊之阿部
Original assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority date: 1997-05-30
Filing date: 1997-05-30
Publication date: 2006-10-11
Anticipated expiration: 2017-05-30
Also published as: JPH10330186A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リン化ガリウム等の単結晶を液体封止引き上げ法により育成する際に使用される種結晶の保持具に係り、特に、単結晶の育成中において保持された上記種結晶が保持具から抜け落ちたりあるいは種結晶が折れたりすることのない保持具の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
上記液体封止引き上げ法（ＬＥＣ法）は、例えば、図７に示すような育成装置を用いて行われる。すなわち、この育成装置ａは、圧力容器ｂと、この圧力容器ｂ内に配置された略円筒形状のカーボン製断熱材ｃと、この断熱材ｃの内側に配置された加熱用カーボンヒータｄと、このヒータｄの内側に配置されかつ矢印方向へ回転するルツボｅと、このルツボｅの上方側に昇降可能に設けられかつ矢印方向へ回転する引き上げ軸（上部シャフト）ｆと、この引き上げ軸ｆに連結されかつ直方体形状の種結晶ｇを保持する保持具ｈとでその主要部が構成されるものである。また、上記ルツボｅ内には原料ｉである、例えばリン化ガリウム多結晶が投入され、かつ、この原料ｉ表面は液体封止材ｊとしてのＢ₂Ｏ₃により覆われている。尚、一例として挙げた上記リン化ガリウムの融点は１４６５℃であり、このときのリンの分解圧は約３５気圧と非常に高い。このため、液体封止引き上げ法では原料融液（リン化ガリウムの融液）表面を液体封止材ｊで覆うと共に、圧力容器ｂ内に、例えば２０ｋｇ／ｃｍ²のＮ₂ ガスを充填して容器内を５０気圧に設定しリン化ガリウム融液の分解を防止している。
【０００３】
そして、この育成装置ａを用いリン化ガリウムの単結晶が以下のようにして育成される。すなわち、上記加熱用カーボンヒータｄに通電してルツボｅ内のリン化ガリウム多結晶を融点まで昇温させ、かつ、リン化ガリウム多結晶が溶融した後、リン化ガリウムの融液温度を結晶育成が可能な最適な温度まで降温させる。次に、上記引き上げ軸（上部シャフト）ｆを回転させながら降下させ、その先端に保持具ｈを介し取り付けられた種結晶ｇを上記リン化ガリウムの融液に接触させると共に、ルツボｅ内の温度を徐々に下げてリン化ガリウムの単結晶ｑを育成させる。尚、結晶育成中の上記加熱用カーボンヒータｄの制御については自動直径制御装置（ＡＤＣ）によって行われている。すなわち、上記引き上げ軸（上部シャフト）ｆに付設された重量センサ（図示せず）によって育成された単結晶の重量がモニターされ、この測定値により育成された単結晶の直径が計算されて加熱用カーボンヒータｄの出力値をコントロールしている。
【０００４】
ところで、直方体形状の種結晶ｇを保持する保持具ｈとしては、従来、モリブデン等耐熱性を有する材料から成り、図８に示すような保持具本体ｍとクランプｎとでその主要部を構成するものが広く利用されている。
【０００５】
すなわち、この保持具ｈは、一端側に引き上げ軸（上部シャフト）ｆとの連結部m1を有し、かつ、他端側に直方体形状の種結晶ｇにおける一組の側面に整合する断面略Ｖ字形状のＶ溝m2を有する保持具本体ｍと、この保持具本体ｍにおけるＶ溝m2の形成部位に取り付けられ、保持具本体ｍのＶ溝m2に載置された種結晶ｇの上記Ｖ溝m2より外方へ突出する他の一組の側面に整合する一対の傾斜内壁面n1とこれら傾斜内壁面n1の互いに接近する方向側の先端に連設された平面部n2とで形成される溝部n3が上記保持具本体ｍのＶ溝m2と対向する部位に設けられたクランプｎとでその主要部が構成されるものであった（図９Ａ〜Ｃ参照）。
【０００６】
また、この保持具ｈに保持される種結晶ｇは、内周刃で例えば４ｍｍ□に切断され、かつ、図１０（Ａ）（Ｂ）に示すように種結晶ｇの一組の側面g1、g2の相隣接する角部g3の上記クランプｎの平面部n2で押さえられる部位g4がダイヤモンドヤスリ等で平面に削られると共に、王水エッチング並びに水洗処理が施された後、乾燥される。
【０００７】
そして、この様な処理が施された上記種結晶ｇを保持具ｈに取り付けるには、まず、保持具本体ｍのＶ溝m2へ種結晶ｇをそのエッチング処理が施された部位を上に向けて載置し、かつ、載置された種結晶ｇの上側から上記クランプｎをその溝部n3を下側にして保持具本体ｍに重ね合わせると共に、保持具本体ｍのネジ孔m3、m3とクランプｎのネジ孔n4、n4の位置を整合させた後、これ等ネジ孔m3、n4に図示外の止めネジを入れて締め付け種結晶ｇを保持具ｈに固定する。
【０００８】
すなわち、図１１（Ａ）（Ｂ）に示すように上記種結晶ｇは、その二組の側面がそれぞれ保持具本体ｍのＶ溝m2とクランプｎの傾斜内壁面n1に位置整合されると共に種結晶ｇの平面に削られた部位g4がクランプｎの平面部n2に位置整合された状態で保持具本体ｍとクランプｎにより挟持される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図８に示された従来の保持具ｈを用いて種結晶ｇを保持する場合、上述したように種結晶ｇにおける角部g3の上記クランプｎの平面部n2で押さえる部位g4をダイヤモンドヤスリ等で平面に削る処理が必要となるため、その作業が繁雑で時間がかかると共に削るための費用も要する問題があった。
【００１０】
また、種結晶ｇにおける角部g3の上記部位g4を平面に削る際、その削り面が均一な平坦になっていないと、育成される単結晶が大きくなるに伴い上記削られた部位で種結晶ｇが折れ易くなる問題があった。すなわち、育成される単結晶の直径が大きくなると原料融液や液体封止材ｊとしてのＢ₂Ｏ₃の粘性による影響を受け易くなるため、ルツボｅと引き上げ軸（上部シャフト）ｆの回転に伴い種結晶ｇに負荷が加わり、種結晶ｇの削り面が不均一であるとその一部に負荷が集中して種結晶が折れてしまう場合があった。
【００１１】
更に、上記削り面が不均一であるとクランプｎにおける平面部n2での押さえも十分でなくなるため、種結晶ｇに対する保持具本体ｍとクランプｎの締め具合も不安定になり易い。このため、育成した結晶の重量が５００ｇ以上になると、温度変化の影響を受けて締めたはずの止めネジによる締め具合が不十分となり、自然に緩んで保持具ｈから種結晶ｇが抜け落ちる問題を有していた。
【００１２】
そして、単結晶の育成中に上記種結晶ｇが折れたり保持具ｈから種結晶ｇが抜け落ちると、育成中の単結晶ｑもルツボｅ内に落下して原料ｉの融液や液体封止材ｊとしてのＢ₂Ｏ₃を破ると共に、融液中に落下した単結晶ｑは再融解が無視できたとしても、融液の固化により融液と一体化するため製品として利用できなくなる問題点を有していた。
【００１３】
本発明はこの様な問題点に着目してなされたもので、その課題とするところは、単結晶の育成中において保持された上記種結晶が保持具から抜け落ちたりあるいは種結晶が折れたりすることのない保持具を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
すなわち、請求項１に係る発明は、
単結晶を液体封止引き上げ法により育成する際に使用される直方体形状の種結晶を保持する保持具を前提とし、
一端側に引き上げ軸との連結部を有し、かつ、他端側に上記種結晶の隣接する一組の側面に整合する断面略Ｖ字形状のＶ溝を有する保持具本体と、
上記保持具本体におけるＶ溝の形成部位に取り付けられ、保持具本体のＶ溝に載置された種結晶の上記Ｖ溝より外方へ突出する他の一組の側面に整合する一対の傾斜内壁面とこれら傾斜内壁面の互いに接近する方向側の先端に連設された断面略コ字状の凹條とで形成される溝部が上記保持具本体のＶ溝と対向する部位に設けられたクランプとでその主要部が構成され、
かつ、上記種結晶はその二組の側面が上記Ｖ溝と溝部の傾斜内壁面に位置整合された状態で保持具本体とクランプにより挟持されると共に、上記クランプの凹條には、クランプの傾斜内壁面に位置整合された種結晶の一組の側面の相隣接する角部に形成された切欠部に係合する係合部が設けられていることを特徴とするものである。
【００１５】
そして、請求項１記載の発明に係る種結晶の保持具によれば、
上記クランプの溝部が一対の傾斜内壁面とこれら傾斜内壁面の互いに接近する方向側の先端に連設された断面略コ字状の凹條とで形成されていることから、種結晶の二組の側面を保持具本体のＶ溝とクランプの傾斜内壁面にそれぞれ整合させた状態で上記保持具本体とクランプにより種結晶を挟持させる際、クランプの傾斜内壁面に位置整合される種結晶側面の相隣接する角部先端をクランプの上記凹條内に入り込ませることが可能となる。
【００１６】
従って、種結晶の二組の側面を保持具本体のＶ溝とクランプの傾斜内壁面に対し精度よく位置整合させることが可能となり、これにより保持具本体に対し止めネジによりクランプを強固に締め付けられるため保持具に対する種結晶の緩みをより完全に防止することが可能となる。
【００１７】
更に、上記クランプの傾斜内壁面に位置整合される種結晶の一組の側面の相隣接する角部に形成された切欠部に係合する係合部がクランプの上記凹條に設けられているため、保持具本体に対しクランプを強固に締め付けられる上記作用と相俟って保持具からの種結晶の抜け落ちを確実に防止することが可能となる。
【００１８】
また、この保持具を適用した場合、種結晶の上記角部を従来のように平面に削る必要がなく、単に切欠部を形成するだけで十分なため種結晶に対する処理作業の簡便化が図れると共に、内周刃で切断した状態の平坦度が種結晶に保持されるためその機械的強度も改善させることが可能となる。
【００１９】
次に、請求項１に係る種結晶の保持具においては保持具本体にＶ溝が形成されているが、このＶ溝の先端にクランプにおける凹條と同様の機能を有する凹條を設けてもよい。この様な構成にした場合、種結晶の二組の側面がそれぞれ形成する２つの角部についてその先端を保持具本体とクランプの凹條内に入り込ませることが可能となり、保持する種結晶の断面寸法に若干ばらつきがあっても上記保持具本体に対しクランプを強固に締め付けることが可能となる。請求項２に係る発明はこの様な技術的理由によりなされている。
【００２０】
すなわち、請求項２に係る発明は、
単結晶を液体封止引き上げ法により育成する際に使用される直方体形状の種結晶を保持する保持具を前提とし、
一端側に引き上げ軸との連結部を有し、かつ、他端側に上記種結晶の隣接する一組の側面に整合する一対の傾斜内壁面とこれら傾斜内壁面の互いに接近する方向側の先端に連設された断面略コ字状の凹條とで形成される本体側溝部を有する保持具本体と、
上記保持具本体における本体側溝部の形成部位に取り付けられ、保持具本体の本体側溝部に載置された種結晶の上記本体側溝部より外方へ突出する他の一組の側面に整合する一対の傾斜内壁面とこれら傾斜内壁面の互いに接近する方向側の先端に連設された断面略コ字状の凹條とで形成されるクランプ側溝部が上記保持具本体の本体側溝部と対向する部位に設けられたクランプとでその主要部が構成され、
かつ、上記種結晶はその二組の側面が上記本体側溝部とクランプ側溝部の各傾斜内壁面に位置整合された状態で保持具本体とクランプにより挟持されると共に、上記保持具本体若しくはクランプの凹條には、保持具本体若しくはクランプの傾斜内壁面に位置整合された種結晶の一組の側面の相隣接する角部に形成された切欠部に係合する係合部が設けられていることを特徴とするものである。
【００２１】
尚、請求項１又は請求項２に係る保持具をリン化ガリウム単結晶等の育成に適用する際、結晶育成時の温度が高温のため、例えばモリブデン等耐熱性材料にて作成された新品の保持具を育成装置内に組み込んだ場合、焼き付きを起こして引き上げ軸（上部シャフト）と接着してしまうことがある。この様な場合、新品の保持具を育成装置内に組み込む前に、例えば、１３５０℃で６時間程度の焼き入れを施すことが望ましい。この様な焼き入れを施した場合、上記接着現象の防止に効果があることを確認している。
【００２２】
また、請求項１又は請求項２に係る種結晶の保持具は、液体封止引上げ法により、例えば、ＧａＰ、ＧａＡｓ、ＩｎＰ等の化合物半導体単結晶を工業的に製造する場合に好適に適用される。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２４】
この実施の形態に係る保持具１は、図１に示すようにＶ溝２０を有する保持具本体２と、溝部３０を有するクランプ３とでその主要部が構成されている。
【００２５】
まず、上記保持具本体２はモリブデン等の耐熱性材料にて形成され、図１に示すように育成装置の引き上げ軸と連結される丸棒状の連結部２１を一端側に有していると共に、他端側には種結晶の隣接する一組の側面に整合する断面略Ｖ字形状のＶ溝２０を有し、かつ、このＶ溝２０を中央にしてその両側の平面部には一対のネジ孔２２、２２が形成されている。
【００２６】
また、上記クランプ３は、図１及び図２（Ａ）〜（Ｃ）に示すようにその一面側に溝部３０を有する四角柱状の耐熱性材料にて構成されると共に、上記溝部３０は、保持具本体２のＶ溝２０に載置された種結晶の上記Ｖ溝２０より外方へ突出する他の一組の側面に整合する一対の傾斜内壁面３１、３１とこれら傾斜内壁面３１、３１の互いに接近する方向側の先端に連設された断面略コ字状の凹條３２とで形成されており、かつ、上記溝部３０を中央にしてその両側の平面部に一対のネジ孔３３、３３が設けられている。また、上記凹條３２の一端側には、図２（Ａ）〜（Ｃ）に示すようにクランプ３の傾斜内壁面３１、３１に位置整合される種結晶の一組の側面の相隣接する角部に形成された切欠部（図３参照）に係合する板状の係合部３４が設けられている。
【００２７】
次に、この保持具１に保持される種結晶４は、内周刃で例えば４ｍｍ□に切断され、かつ、図３（Ａ）（Ｂ）に示すように種結晶４の一組の側面４０、４０の相隣接する角部４１の上記クランプ３の係合部３４に対応する部位４２をダイヤモンドヤスリで軽く削った後、王水エッチングを施し、かつ、水洗並びに乾燥処理して切欠部４３が形成されている。
【００２８】
そして、この様な処理が施された上記種結晶４を実施の形態に係る保持具１に取り付けるには、まず、保持具本体２のＶ溝２０へ種結晶４をその切欠部４３が形成された部位を上に向けて載置し、載置された種結晶４の上側から上記クランプ３をその溝部３０を下側にしかつ種結晶４の切欠部４３にクランプ３の係合部３４を係合させた状態で保持具本体２に重ね合わせると共に、保持具本体２のネジ孔２２、２２とクランプ３のネジ孔３３、３３の位置を整合させた後、これ等ネジ孔２２、３３に図示外の止めネジを入れて締め付け種結晶４を保持具１に固定する。すなわち、図４（Ａ）（Ｂ）に示すように上記種結晶４は、その二組の側面がそれぞれ保持具本体２のＶ溝２０とクランプ３の傾斜内壁面３１、３１に位置整合されると共に、種結晶４の切欠部４３にクランプ３の係合部３４が係合された状態で保持具本体２とクランプ３により挟持される。
【００２９】
このとき、上記クランプ３の溝部３０が一対の傾斜内壁面３１、３１とこれら傾斜内壁面３１、３１の互いに接近する方向側の先端に連設された断面略コ字状の凹條３２とで形成されていることから、種結晶４の二組の側面を保持具本体２のＶ溝２０とクランプ３の傾斜内壁面３１、３１にそれぞれ整合させた状態で上記保持具本体２とクランプ３により種結晶４を挟持させる際、クランプ３の傾斜内壁面３１、３１に位置整合される種結晶４の側面４０、４０の相隣接する角部４１先端をクランプ３の上記凹條３２内に入り込ませることが可能となる（図４Ｂ参照）。
【００３０】
従って、種結晶４の二組の側面を保持具本体２のＶ溝２０とクランプ３の傾斜内壁面３１、３１に対し精度よく位置整合させることが可能となり、これにより保持具本体２に対し止めネジ（図示せず）によりクランプ３を強固に締め付けられるため、保持具１に対する種結晶４の緩みをより完全に防止することが可能となる。
【００３１】
また、上記クランプ３の傾斜内壁面３１、３１に位置整合される種結晶４の一組の側面４０、４０の相隣接する角部４１に形成された切欠部４３に係合する係合部３４がクランプ３の上記凹條３２に設けられているため、保持具本体２に対しクランプ３を強固に締め付けられる上記作用と相俟って保持具１からの種結晶４の抜け落ちを確実に防止することが可能となる。
【００３２】
更に、この保持具１を適用した場合、種結晶４の上記角部４１を従来のように平面に削る必要がなく、単に切欠部４３を形成するだけで十分なため種結晶４に対する処理作業の簡便化が図れると共に、内周刃で切断した状態の平坦度が種結晶４に保持されるためその機械的強度も改善されて単結晶育成中における種結晶４の折れ現象も防止することが可能となる。
【００３３】
尚、図５は本発明の他の実施の形態に係る保持具１を示す斜視図である。
【００３４】
すなわち、この実施の形態に係る保持具１は、保持具本体２のＶ溝２０先端にこの先端と連設された断面略コ字状の凹條２５が形成されている点を除き図１に示した保持具と略同一である。
【００３５】
そして、この実施の形態に係る保持具においては、図６（Ａ）（Ｂ）に示すように種結晶４の二組の側面がそれぞれ形成する２つの角部４１、４５についてその先端を保持具本体２とクランプ３の凹條２５、３２内に入り込ませることが可能になるため、図１に示した保持具と比較して保持する種結晶４の断面寸法に若干ばらつきがあっても上記保持具本体２に対しクランプ３を強固に締め付けることが可能となる利点を有している。
【００３６】
【実施例】
以下、本発明の実施例について具体的に説明する。
【００３７】
図１に示したモリブデン製の保持具本体２とクランプ３から成る保持具１に対し、内周刃で４ｍｍ□に切断しかつ図３（Ａ）に示すような切欠部４３が形成されたリン化ガリウム種結晶４をセットし、かつ、止めネジ（図示せず）で締め付けて図４（Ａ）に示すように保持具１に種結晶４を保持させた。
【００３８】
次に、図７に示した育成装置内に種結晶が保持された上記保持具をセットした後、圧力容器内に不活性ガス（Ｎ₂ ガス）を充填し、かつ、加熱用カーボンヒータに通電してルツボ内のリン化ガリウム多結晶をその融点（１４６５℃）まで昇温させた。次に、ルツボ内のリン化ガリウム融液温度を種結晶が成長される最適温度に設定し、かつ、引き上げ軸（上部シャフト）に保持具を介して取り付けた上記種結晶４をリン化ガリウム融液につけてなじませ、更に融液温度を少しずつ下げながら種結晶を成長させた。
【００３９】
こうして育成されたリン化ガリウムの単結晶は重量１０５０ｇ、長さ１００ｍｍのものが順調に得られた。単結晶の育成後、圧力容器内の不活性ガス（Ｎ₂ ガス）を開放してから、引き上げ軸（上部シャフト）に保持具を介して取り付けた上記種結晶４と育成したリン化ガリウムの単結晶を観察すると、緩みやクラックの発生は皆無で上記保持具１にしっかり固定されていた。
【００４０】
尚、比較例として図８に示した従来の保持具を用いた同様の単結晶の育成を行い、この実施例と比較例について『▲１▼結晶育成中の結晶の落下』、『▲２▼結晶育成中の種結晶の緩み』及び『▲３▼保持具に対する種結晶の取り付け作業時間』を調べたところ、以下の表１に示すような結果が得られた。
【００４１】

この表１の結果が示すように、実施例においては結晶育成中の結晶の落下や種結晶の緩みがなくなり、かつ、作業時間の大幅な短縮が図られている。
【００４２】
そして、作業時間の短縮は、リン化ガリウム単結晶の育成操業回数が多くなるほど顕著な効果が出て来るものであった。
【００４３】
【発明の効果】
請求項１記載の発明に係る種結晶の保持具によれば、
クランプの溝部が一対の傾斜内壁面とこれら傾斜内壁面の互いに接近する方向側の先端に連設された断面略コ字状の凹條とで形成されていることから、種結晶の二組の側面を保持具本体のＶ溝とクランプの傾斜内壁面にそれぞれ整合させた状態で上記保持具本体とクランプにより種結晶を挟持させる際、クランプの傾斜内壁面に位置整合される種結晶側面の相隣接する角部先端をクランプの上記凹條内に入り込ませることが可能となる。
【００４４】
従って、種結晶の二組の側面を保持具本体のＶ溝とクランプの傾斜内壁面に対し精度よく位置整合させることが可能となり、これにより保持具本体に対し止めネジによりクランプを強固に締め付けられるため保持具に対する種結晶の緩みをより完全に防止できる効果を有する。
【００４５】
また、上記クランプの傾斜内壁面に位置整合される種結晶の一組の側面の相隣接する角部に形成された切欠部に係合する係合部がクランプの上記凹條に設けられているため、保持具本体に対しクランプを強固に締め付けられる上記効果と相俟って保持具からの種結晶の抜け落ちを確実に防止できる効果を有する。
【００４６】
更に、この保持具を適用した場合、種結晶の上記角部を従来のように平面に削る必要がなく、単に切欠部を形成するだけで十分なため種結晶に対する処理作業の簡便化が図れると共に、内周刃で切断した状態の平坦度が種結晶に保持されるためその機械的強度も改善させることが可能となる。
【００４７】
従って、単結晶育成中における種結晶の折れ現象も未然に回避できる効果を有する。
【００４８】
次に、請求項２記載の発明に係る種結晶の保持具によれば、
保持具本体の本体側溝部とクランプのクランプ側溝部にそれぞれ断面略コ字状の凹條が設けられているため、種結晶の二組の側面がそれぞれ形成する２つの角部についてその先端を本体側溝部とクランプ側溝部の凹條内にそれぞれ入り込ませることが可能となる。
【００４９】
従って、請求項１記載の発明に係る効果に加えて保持する種結晶の断面寸法に若干ばらつきがあっても上記保持具本体に対しクランプを強固に締め付けることが可能となる効果を有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る保持具の構成を示す概略斜視図。
【図２】図２（Ａ）は上記保持具の構成部材の１つであるクランプの概略斜視図、図２（Ｂ）はその正面図、図２（Ｃ）はその下面図。
【図３】図３（Ａ）は上記保持具に保持される種結晶の概略斜視図、図３（Ｂ）は図３（Ａ）のＢ−Ｂ面断面図。
【図４】図４（Ａ）は種結晶が保持された上記保持具の概略斜視図、図４（Ｂ）はその正面図。
【図５】本発明の他の実施の形態に係る保持具の構成を示す概略斜視図。
【図６】図６（Ａ）は種結晶が保持された図５の保持具の概略斜視図、図６（Ｂ）はその正面図。
【図７】液体封止引き上げ法に適用される育成装置の構成を示す説明図。
【図８】従来例に係る保持具の構成を示す概略斜視図。
【図９】図９（Ａ）は従来例に係る保持具の構成部材の１つであるクランプの概略斜視図、図９（Ｂ）はその正面図、図９（Ｃ）はその下面図。
【図１０】図１０（Ａ）は従来例に係る保持具に保持される種結晶の概略斜視図、図１０（Ｂ）は図１０（Ａ）のＢ−Ｂ面断面図。
【図１１】図１１（Ａ）は種結晶が保持された従来例に係る保持具の概略斜視図、図１１（Ｂ）はその正面図。
【符号の説明】
１保持具
２保持具本体
３クランプ
４種結晶
２０Ｖ溝
２１連結部
３０溝部
３１傾斜内壁面
３２凹條
４０側面
４１角部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a seed crystal holder used when growing a single crystal such as gallium phosphide by a liquid sealing pulling method, and in particular, the seed crystal held during the growth of the single crystal is the holder. The present invention relates to an improvement of a holder that does not fall out of the container or break the seed crystal.
[0002]
[Prior art]
The liquid sealing pull-up method (LEC method) is performed using, for example, a growth apparatus as shown in FIG. That is, the growing apparatus a includes a pressure vessel b, a substantially cylindrical carbon heat insulating material c arranged in the pressure vessel b, a heating carbon heater d arranged inside the heat insulating material c, A crucible e that is arranged inside the heater d and rotates in the direction of the arrow, a lifting shaft (upper shaft) f that can be moved up and down above the crucible e and rotates in the direction of the arrow, and the lifting shaft f The main part is comprised with the holder h which hold | maintains the seed crystal g of a rectangular parallelepiped shape connected. The crucible e is filled with a raw material i, for example, gallium phosphide polycrystal, and the surface of the raw material i is covered with B ₂ O ₃ as a liquid sealing material j. The melting point of the gallium phosphide mentioned as an example is 1465 ° C., and the decomposition pressure of phosphorus at this time is as high as about 35 atm. For this reason, in the liquid sealing pull-up method, the surface of the raw material melt (gallium phosphide melt) is covered with the liquid sealing material j and the pressure vessel b is filled with, for example, 20 kg / cm ² of N ₂ gas. The inside of the container is set to 50 atm to prevent decomposition of the gallium phosphide melt.
[0003]
And the single crystal of gallium phosphide is grown as follows using this growing apparatus a. That is, by energizing the heating carbon heater d to raise the temperature of the gallium phosphide polycrystal in the crucible e to the melting point, and after the gallium phosphide polycrystal melts, the melt temperature of the gallium phosphide is crystal grown. Lower the temperature to the optimum temperature possible. Next, the pulling shaft (upper shaft) f is lowered while rotating, the seed crystal g attached to the tip of the pulling shaft f through the holder h is brought into contact with the melt of gallium phosphide, and the temperature in the crucible e Is gradually lowered to grow a single crystal q of gallium phosphide. The heating carbon heater d during crystal growth is controlled by an automatic diameter controller (ADC). That is, the weight of a single crystal grown by a weight sensor (not shown) attached to the pulling shaft (upper shaft) f is monitored, and the diameter of the grown single crystal is calculated based on the measured value. The output value of the carbon heater d is controlled.
[0004]
By the way, as the holder h for holding the rectangular parallelepiped seed crystal g, conventionally, it is made of a heat-resistant material such as molybdenum, and the holder main body m and the clamp n as shown in FIG. Things are widely used.
[0005]
In other words, the holder h has a connecting portion m1 with a lifting shaft (upper shaft) f on one end side, and a cross section approximately V matching the set side surface of the rectangular parallelepiped seed crystal g on the other end side. A holder main body m having a V-shaped groove m2, and the V groove of the seed crystal g mounted on the V groove m2 of the holder main body m and attached to the V groove m2 forming portion of the holder main body m. A groove formed by a pair of inclined inner wall surfaces n1 aligned with a pair of other side surfaces projecting outward from m2 and a flat surface portion n2 continuously provided at the ends of the inclined inner wall surfaces n1 in the direction of approaching each other The main part is composed of n3 and a clamp n provided at a portion facing the V groove m2 of the holder body m (see FIGS. 9A to 9C).
[0006]
Further, the seed crystal g held in the holder h is cut into, for example, 4 mm □ with an inner peripheral blade, and a set of side faces g1, as shown in FIGS. 10 (A) and 10 (B), A portion g4 pressed by the flat surface portion n2 of the clamp n of the adjacent corner portion g3 of g2 is cut into a flat surface with a diamond file or the like, subjected to aqua regia etching and water washing treatment, and then dried.
[0007]
In order to attach the seed crystal g subjected to such a treatment to the holder h, first, the portion where the seed crystal g is etched into the V groove m2 of the holder body m is directed upward. The clamp n is overlaid on the holder body m from above the placed seed crystal g with the groove n3 on the lower side, and screw holes m3 and m3 of the holder body m and clamps After aligning the positions of the n screw holes n4 and n4, set screws (not shown) are inserted into the screw holes m3 and n4 to fix the tightening seed crystal g to the holder h.
[0008]
That is, as shown in FIGS. 11A and 11B, the seed crystal g has two sets of side surfaces aligned with the V groove m2 of the holder body m and the inclined inner wall surface n1 of the clamp n, respectively. The part g4 cut off in the plane of the crystal g is sandwiched between the holder body m and the clamp n in a state of being aligned with the plane part n2 of the clamp n.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, when holding the seed crystal g using the conventional holder h shown in FIG. 8, the portion g4 of the corner portion g3 of the seed crystal g that is pressed by the plane portion n2 of the clamp n as described above is used as a diamond file. Therefore, there is a problem that the work is complicated and time-consuming and also costs for cutting are required.
[0010]
In addition, when the portion g4 of the corner portion g3 in the seed crystal g is cut into a flat surface, if the cut surface is not uniform and flat, the seed crystal is grown in the cut portion as the grown single crystal becomes larger. There was a problem that g was easily broken. That is, when the diameter of the grown single crystal is increased, it is easily affected by the viscosity of the raw material melt or B ₂ O ₃ as the liquid sealing material j. Therefore, the rotation of the crucible e and the pulling shaft (upper shaft) f As a result, a load is applied to the seed crystal g, and if the shaved surface of the seed crystal g is non-uniform, the load may concentrate on a part of the seed crystal g and the seed crystal may break.
[0011]
Furthermore, if the shaving surface is not uniform, the clamp n is not sufficiently pressed by the flat surface portion n2, and the tightening of the holder body m and the clamp n with respect to the seed crystal g tends to be unstable. For this reason, when the weight of the grown crystal becomes 500 g or more, the tightening by the set screw that should have been tightened due to the influence of the temperature change is insufficient, and the seed crystal g is loosened naturally and falls off from the holder h. Had.
[0012]
When the seed crystal g breaks during the growth of the single crystal or the seed crystal g falls out of the holder h, the growing single crystal q also falls into the crucible e, and the raw material i melt or liquid sealing material Breaking B ₂ O ₃ as j and the single crystal q falling into the melt can be ignored even if remelting is negligible, it becomes unusable as a product because it is integrated with the melt by solidification of the melt. Had.
[0013]
The present invention has been made paying attention to such a problem, and the problem is that the seed crystal held during the growth of the single crystal falls off from the holder or the seed crystal breaks. It is to provide a holding device without.
[0014]
[Means for Solving the Problems]
That is, the invention according to claim 1
On the premise of a holder that holds a rectangular parallelepiped seed crystal used when growing a single crystal by a liquid sealing pull-up method,
A holder main body having a connecting portion with a lifting shaft on one end side, and a V-shaped groove having a substantially V-shaped cross section aligned with a pair of adjacent side surfaces of the seed crystal on the other end side;
A pair of inclined inner surfaces that are attached to the V groove forming portion of the holder main body and align with another set of side surfaces that protrude outward from the V groove of the seed crystal placed in the V groove of the holder main body. Clamp in which a groove portion formed by a wall surface and a concave portion having a substantially U-shaped cross section provided at the end of the inclined inner wall surface in a direction approaching each other is provided at a portion facing the V groove of the holder body The main part is composed of
The seed crystal is sandwiched between the V-groove and the inclined inner wall surface of the groove portion with the two sets of side faces aligned by the holder body and the clamp, and the concave portion of the clamp has an inclination of the clamp. An engagement portion that engages with a notch portion formed in a corner portion adjacent to a pair of side surfaces of a pair of side faces aligned with the inner wall surface is provided.
[0015]
According to the seed crystal holder according to the invention of claim 1,
Since the groove portion of the clamp is formed by a pair of inclined inner wall surfaces and recesses having a substantially U-shaped cross section provided at the tips of the inclined inner wall surfaces in the direction of approaching each other, two sets of seed crystals When the seed crystal is clamped by the holder body and the clamp while the side surfaces of the seed crystal are aligned with the V groove of the holder body and the inclined inner wall surface of the clamp, It becomes possible to allow the tips of adjacent corners to enter the recesses of the clamp.
[0016]
Accordingly, the two side surfaces of the seed crystal can be accurately aligned with the V groove of the holder body and the inclined inner wall surface of the clamp, and the clamp can be firmly tightened to the holder body with a set screw. Therefore, it is possible to more completely prevent the seed crystal from loosening with respect to the holder.
[0017]
Furthermore, an engaging portion that engages with a notch portion formed in a corner portion adjacent to a pair of side surfaces of a pair of seed crystals aligned with the inclined inner wall surface of the clamp is provided in the concave portion of the clamp. For this reason, it is possible to reliably prevent the seed crystal from falling off from the holder in combination with the above-described action of firmly clamping the clamp to the holder body.
[0018]
In addition, when this holder is applied, it is not necessary to cut the corners of the seed crystal into a flat surface as in the prior art, and it is sufficient to simply form a notch, so that the processing operation for the seed crystal can be simplified. Since the flatness in the state cut by the inner peripheral blade is held by the seed crystal, the mechanical strength can be improved.
[0019]
Next, in the seed crystal holder according to the first aspect, the V-groove is formed in the holder body. However, even if a recess having the same function as the recess in the clamp is provided at the tip of the V-groove. Good. In such a configuration, the two corners formed by the two sets of side faces of the seed crystal can be inserted into the holder body and the recesses of the clamp, and the cross section of the seed crystal to be held. Even if there is some variation in dimensions, the clamp can be firmly tightened to the holder body. The invention according to claim 2 is made for such technical reasons.
[0020]
That is, the invention according to claim 2
On the premise of a holder that holds a rectangular parallelepiped seed crystal used when growing a single crystal by a liquid sealing pull-up method,
A pair of inclined inner wall surfaces having a connecting portion with a pulling shaft on one end side and aligned with a pair of adjacent side surfaces of the seed crystal on the other end side, and tips of the inclined inner wall surfaces in the direction of approaching each other A holder main body having a main body side groove portion formed by a recess having a substantially U-shaped cross section provided continuously to
A pair that is attached to a portion where the main body side groove portion of the holder body is formed and is aligned with another set of side surfaces protruding outward from the main body side groove portion of the seed crystal placed in the main body side groove portion of the holder main body. The clamp side groove formed by the inclined inner wall surfaces of the inclined inner wall surfaces and the recesses having a substantially U-shaped cross section provided at the ends of the inclined inner wall surfaces in the direction of approaching each other faces the main body side groove portion of the holder body. The main part is composed of the clamp provided at the site,
The seed crystal is sandwiched between the holder body and the clamp in a state in which the two sets of side faces are aligned with the inclined inner wall surfaces of the body side groove and the clamp side groove, and The recess is provided with an engaging portion that engages with a notch formed at adjacent corners of a pair of side surfaces of the seed crystal aligned with the inclined inner wall surface of the holder body or the clamp. It is characterized by this.
[0021]
In addition, when applying the holder according to claim 1 or claim 2 to growth of a gallium phosphide single crystal or the like, since the temperature at the time of crystal growth is high, a new article made of a heat resistant material such as molybdenum is used. When the holder is incorporated in the growing apparatus, it may be seized and bonded to the lifting shaft (upper shaft). In such a case, it is desirable to perform quenching at 1350 ° C. for about 6 hours before incorporating a new holder into the growing apparatus. It has been confirmed that such quenching is effective in preventing the adhesion phenomenon.
[0022]
Further, the seed crystal holder according to claim 1 or claim 2 is suitably applied to industrial production of compound semiconductor single crystals such as GaP, GaAs, and InP, for example, by a liquid sealing pulling method. The
[0023]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0024]
As shown in FIG. 1, the holder 1 according to this embodiment includes a holder body 2 having a V-groove 20 and a clamp 3 having a groove 30, and the main part thereof is configured.
[0025]
First, the holder body 2 is made of a heat-resistant material such as molybdenum, and has a round bar-like connecting portion 21 connected to the pulling shaft of the growth apparatus as shown in FIG. The other end side has a V-groove 20 having a substantially V-shaped cross-section aligned with a pair of adjacent side faces of the seed crystal, and a pair of screws on the flat portions on both sides of the V-groove 20 at the center.

Holes

22 and 22 are formed.
[0026]
Further, the clamp 3 is made of a square columnar heat-resistant material having a groove 30 on one side as shown in FIGS. 1 and 2A to 2C, and the groove 30 is held by A pair of inclined inner wall surfaces 31, 31 aligned with another set of side surfaces of the seed crystal placed on the V groove 20 of the tool body 2 and projecting outward from the V groove 20, and these inclined inner wall surfaces 31, 31. And a pair of screw holes 33 in the flat portions on both sides of the groove portion 30 in the center. 33 is provided. Further, one end side of the recess 32 is adjacent to a pair of side faces of the seed crystal aligned with the inclined inner wall surfaces 31 and 31 of the clamp 3 as shown in FIGS. A plate-like engagement portion 34 that engages with a notch portion (see FIG. 3) formed in the corner portion is provided.
[0027]
Next, the seed crystal 4 held by the holder 1 is cut into, for example, 4 mm □ with an inner peripheral blade, and a set of side surfaces 40 of the seed crystal 4 as shown in FIGS. 3 (A) and 3 (B). The portions 42 corresponding to the engaging portions 34 of the clamp 3 of the corner portions 41 adjacent to each other are lightly shaved with a diamond file, then subjected to aqua regia etching, washed with water and dried to form a notch 43. Is formed.
[0028]
In order to attach the seed crystal 4 subjected to such treatment to the holder 1 according to the embodiment, first, the notch 43 is formed in the V-groove 20 of the holder body 2. The clamp 3 is placed from the upper side of the placed seed crystal 4 with the groove 30 on the lower side and the engaging portion 34 of the clamp 3 is engaged with the notch 43 of the seed crystal 4. In the state where they are combined, they are superposed on the holder body 2, and the positions of the screw holes 22, 22 of the holder body 2 and the screw holes 33, 33 of the clamp 3 are aligned, and then shown in these screw holes 22, 33. An outer set screw is inserted to fix the tightening seed crystal 4 to the holder 1. That is, as shown in FIGS. 4A and 4B, the two side surfaces of the seed crystal 4 are aligned with the V groove 20 of the holder body 2 and the inclined inner wall surfaces 31 and 31 of the clamp 3, respectively. At the same time, the retainer body 2 and the clamp 3 are clamped while the engaging portion 34 of the clamp 3 is engaged with the notch 43 of the seed crystal 4.
[0029]
At this time, the groove portion 30 of the clamp 3 is composed of a pair of inclined inner wall surfaces 31, 31 and a recessed rod 32 having a substantially U-shaped cross section continuously provided at the distal ends of the inclined inner wall surfaces 31, 31 in the direction in which they approach each other. Since the two side surfaces of the seed crystal 4 are aligned with the V-groove 20 of the holder body 2 and the inclined inner wall surfaces 31 and 31 of the clamp 3, respectively, the holder body 2 and the clamp 3 are formed. When sandwiching the seed crystal 4, the tips of the adjacent corners 41 of the side surfaces 40, 40 of the seed crystal 4 aligned with the inclined inner wall surfaces 31, 31 of the clamp 3 are inserted into the recess 32 of the clamp 3. (See FIG. 4B).
[0030]
Accordingly, the two side surfaces of the seed crystal 4 can be aligned with the V groove 20 of the holder body 2 and the inclined inner wall surfaces 31 and 31 of the clamp 3 with high accuracy. Since the clamp 3 is firmly tightened by a screw (not shown), the loosening of the seed crystal 4 with respect to the holder 1 can be more completely prevented.
[0031]
Further, the engaging portion 34 that engages with a notch portion 43 formed in the corner portion 41 adjacent to each other of the pair of side surfaces 40, 40 of the seed crystal 4 aligned with the inclined inner wall surfaces 31, 31 of the clamp 3. Is provided in the recess 32 of the clamp 3, combined with the above-described action of firmly tightening the clamp 3 against the holder body 2, it is possible to reliably prevent the seed crystal 4 from falling off the holder 1. It becomes possible.
[0032]
Furthermore, when this holder 1 is applied, it is not necessary to cut the corner portion 41 of the seed crystal 4 into a flat surface as in the prior art, and it is sufficient to simply form the notch portion 43. In addition to simplification, the flatness of the state cut by the inner peripheral blade is retained by the seed crystal 4, so that the mechanical strength is improved and the bending phenomenon of the seed crystal 4 during single crystal growth can be prevented. It becomes.
[0033]
FIG. 5 is a perspective view showing a holder 1 according to another embodiment of the present invention.
[0034]
That is, the holder 1 according to this embodiment is the same as that shown in FIG. 1 except that the V-shaped groove 20 of the holder body 2 has a substantially U-shaped recess 25 connected to the tip. It is substantially the same as the holder shown.
[0035]
And in the holder which concerns on this embodiment, as shown to FIG. 6 (A) (B), the front-end | tip is set about the two corner |

angular parts

41 and 45 which two sets of side surfaces of the seed crystal 4 each form. Since the main body 2 and the recess 3 of the clamp 3 can be inserted into the

recesses

25 and 32, even if there is a slight variation in the cross-sectional dimension of the seed crystal 4 to be held as compared with the holder shown in FIG. There is an advantage that the clamp 3 can be firmly fastened to the tool body 2.
[0036]
【Example】
Examples of the present invention will be specifically described below.
[0037]
The holder 1 comprising the molybdenum holder main body 2 and the clamp 3 shown in FIG. 1 is cut into 4 mm □ with an inner peripheral blade, and a notch 43 as shown in FIG. 3 (A) is formed. The gallium phosphide seed crystal 4 was set and tightened with a set screw (not shown) to hold the seed crystal 4 in the holder 1 as shown in FIG.
[0038]
Next, after setting the above holder holding the seed crystal in the growth apparatus shown in FIG. 7, the pressure vessel is filled with an inert gas (N ₂ gas), and the heating carbon heater is energized. The gallium phosphide polycrystal in the crucible was heated to its melting point (1465 ° C.). Next, the temperature of the gallium phosphide melt in the crucible is set to an optimum temperature at which the seed crystal is grown, and the seed crystal 4 attached to the pulling shaft (upper shaft) via a holder is attached to the gallium phosphide melt. The seed crystal was grown by gradually submerging the melt and gradually lowering the melt temperature.
[0039]
The single crystal of gallium phosphide grown in this way was successfully obtained with a weight of 1050 g and a length of 100 mm. After the growth of the single crystal, the inert gas (N ₂ gas) in the pressure vessel is released, and then the seed crystal 4 attached to the pulling shaft (upper shaft) via a holder and the grown gallium phosphide single unit. When the crystal was observed, it was firmly fixed to the holder 1 with no looseness or cracks.
[0040]
Incidentally, as a comparative example, the same single crystal was grown using the conventional holder shown in FIG. 8, and “(1) Drop of crystal during crystal growth”, “(2)” for this example and the comparative example. Examination of "Loosening of seed crystal during crystal growth" and "(3) Working time of attaching seed crystal to holder" showed the results shown in Table 1 below.
[0041]

As shown in the results of Table 1, in the examples, the falling of the crystal during crystal growth and the loosening of the seed crystal are eliminated, and the working time is greatly shortened.
[0042]
And the shortening of the working time has a remarkable effect as the number of times of growing the gallium phosphide single crystal increases.
[0043]
【The invention's effect】
According to the seed crystal holder according to the invention of claim 1,
Since the groove portion of the clamp is formed by a pair of inclined inner wall surfaces and recesses having a substantially U-shaped cross section connected to the tips of the inclined inner wall surfaces in the direction of approaching each other, two sets of seed crystals When the seed crystal is clamped by the holder body and the clamp with the side surfaces aligned with the V groove of the holder body and the inclined inner wall surface of the clamp, the phase of the seed crystal side surface aligned with the inclined inner wall surface of the clamp It becomes possible to let the adjacent corner | angular part front end enter into the said concave part of a clamp.
[0044]
Accordingly, the two side surfaces of the seed crystal can be accurately aligned with the V groove of the holder body and the inclined inner wall surface of the clamp, and the clamp can be firmly tightened to the holder body with a set screw. Therefore, it has the effect that the loosening of the seed crystal with respect to the holder can be more completely prevented.
[0045]
In addition, an engagement portion that engages with a notch portion formed in a corner portion adjacent to a pair of side surfaces of a set of seed crystals that are aligned with the inclined inner wall surface of the clamp is provided in the concave portion of the clamp. For this reason, in combination with the above-described effect of firmly tightening the clamp with respect to the holder body, the seed crystal can be reliably prevented from falling out of the holder.
[0046]
Furthermore, when this holder is applied, it is not necessary to cut the corners of the seed crystal into a flat surface as in the prior art, and it is sufficient to simply form a notch, so that the processing operation for the seed crystal can be simplified. Since the flatness in the state cut by the inner peripheral blade is held by the seed crystal, the mechanical strength can be improved.
[0047]
Therefore, it is possible to avoid the seed crystal bending phenomenon during single crystal growth.
[0048]
Next, according to the seed crystal holder according to the invention of claim 2,
Since the body side groove part of the holder body and the clamp side groove part of the clamp are each provided with a recess having a substantially U-shaped cross section, the tip of the two corners formed by two sets of side surfaces of the seed crystal is the body. It becomes possible to enter into the recesses of the side groove portion and the clamp side groove portion, respectively.
[0049]
Therefore, in addition to the effect according to the first aspect of the present invention, even if there is a slight variation in the cross-sectional dimensions of the seed crystal to be held, it has the effect that the clamp can be firmly tightened to the holder body. .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic perspective view showing a configuration of a holder according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 (A) is a schematic perspective view of a clamp that is one of the constituent members of the holder, FIG. 2 (B) is a front view thereof, and FIG. 2 (C) is a bottom view thereof.
FIG. 3 (A) is a schematic perspective view of a seed crystal held by the holder, and FIG. 3 (B) is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 3 (A).
4 (A) is a schematic perspective view of the holder in which the seed crystal is held, and FIG. 4 (B) is a front view thereof.
FIG. 5 is a schematic perspective view showing a configuration of a holder according to another embodiment of the present invention.
6A is a schematic perspective view of the holder of FIG. 5 in which a seed crystal is held, and FIG. 6B is a front view thereof.
FIG. 7 is an explanatory diagram showing the configuration of a growth apparatus applied to the liquid sealing pull-up method.
FIG. 8 is a schematic perspective view showing a configuration of a holder according to a conventional example.
9A is a schematic perspective view of a clamp that is one of constituent members of a holder according to a conventional example, FIG. 9B is a front view thereof, and FIG. 9C is a bottom view thereof.
10A is a schematic perspective view of a seed crystal held by a conventional holder, and FIG. 10B is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 10A.
FIG. 11 (A) is a schematic perspective view of a holder according to a conventional example in which a seed crystal is held, and FIG. 11 (B) is a front view thereof.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Holder 2 Holder body 3 Clamp 4 Seed crystal 20 V-groove 21 Connecting part 30 Groove part 31 Inclined inner wall surface 32 Recess 40 Side face 41 Corner part

Claims

In a holder for holding a cuboid-shaped seed crystal used when growing a single crystal by a liquid sealing pull-up method,
A holder main body having a connecting portion with a lifting shaft on one end side, and a V-shaped groove having a substantially V-shaped cross section aligned with a pair of adjacent side surfaces of the seed crystal on the other end side;
A pair of inclined inner surfaces that are attached to the V groove forming portion of the holder main body and align with another set of side surfaces that protrude outward from the V groove of the seed crystal placed in the V groove of the holder main body. Clamp in which a groove portion formed by a wall surface and a concave portion having a substantially U-shaped cross section provided at the end of the inclined inner wall surface in a direction approaching each other is provided at a portion facing the V groove of the holder body The main part is composed of
The seed crystal is sandwiched between the V-groove and the inclined inner wall surface of the groove portion with the two sets of side faces aligned by the holder body and the clamp, and the concave portion of the clamp has an inclination of the clamp. A seed crystal holder comprising an engagement portion that engages with a notch portion formed in a corner portion adjacent to a pair of side surfaces of a pair of side surfaces aligned with an inner wall surface.

In a holder for holding a cuboid-shaped seed crystal used when growing a single crystal by a liquid sealing pull-up method,
A pair of inclined inner wall surfaces having a connecting portion with a pulling shaft on one end side and aligned with a pair of adjacent side surfaces of the seed crystal on the other end side, and tips of the inclined inner wall surfaces in the direction of approaching each other A holder main body having a main body side groove portion formed by a recess having a substantially U-shaped cross section provided continuously to
A pair that is attached to a portion where the main body side groove portion of the holder body is formed and is aligned with another set of side surfaces protruding outward from the main body side groove portion of the seed crystal placed in the main body side groove portion of the holder main body. The clamp side groove formed by the inclined inner wall surfaces of the inclined inner wall surfaces and the recesses having a substantially U-shaped cross section provided at the ends of the inclined inner wall surfaces in the direction of approaching each other faces the main body side groove portion of the holder body. The main part is composed of the clamp provided at the site,
The seed crystal is sandwiched between the holder body and the clamp in a state in which the two sets of side faces are aligned with the inclined inner wall surfaces of the body side groove and the clamp side groove, and The recess is provided with an engaging portion that engages with a notch formed at adjacent corners of a pair of side surfaces of the seed crystal aligned with the inclined inner wall surface of the holder body or the clamp. A seed crystal holder.