JP7103052B2

JP7103052B2 - Table device

Info

Publication number: JP7103052B2
Application number: JP2018151647A
Authority: JP
Inventors: 秀樹古川; 尚史倉持; 伸明田中; 澄雄杉田
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2018-08-10
Filing date: 2018-08-10
Publication date: 2022-07-20
Anticipated expiration: 2038-08-10
Also published as: JP2020027014A

Description

本開示は、テーブル装置に関する。 The present disclosure relates to a table device.

搬送装置等には、真空雰囲気や特殊ガス雰囲気のプロセス室内で、テーブルをスライド移動させて位置決めするテーブル装置が用いられる。特許文献１に記載されたステージ装置（テーブル装置）は、ステージと、ステージの両サイドに設けられた固定子移動ユニットと、ステージと連結された移動型固定子と、を有する。 As the transfer device or the like, a table device for positioning by sliding the table in a process chamber having a vacuum atmosphere or a special gas atmosphere is used. The stage device (table device) described in Patent Document 1 includes a stage, stator moving units provided on both sides of the stage, and a movable stator connected to the stage.

特許文献１のステージ装置では、固定子移動ユニットにコイルが配置され、移動型固定子に磁石が配置される。コイルと磁石との間に発生する引力により、固定子移動ユニットの移動に伴って移動型固定子及びステージが移動する。 In the stage device of Patent Document 1, a coil is arranged in the stator moving unit, and a magnet is arranged in the moving stator. Due to the attractive force generated between the coil and the magnet, the movable stator and the stage move with the movement of the stator moving unit.

特開平１１－２８７８８０号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 11-287880

例えば、バイオ用途で腐食性ガスを用いて減菌を行って除菌環境とする場合、当該除菌環境の空間内で用いる部品には耐食性が必要となる。 For example, in the case of bio-use, when sterilization is performed using a corrosive gas to create a sterilization environment, the parts used in the space of the sterilization environment need to have corrosion resistance.

本開示は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、より高い耐食性を有するテーブル装置を提供することを目的とする。 The present disclosure has been made in view of the above problems, and an object of the present disclosure is to provide a table device having higher corrosion resistance.

本開示の一態様に係るテーブル装置は、第１面と、前記第１面と反対側の第２面とを有し、前記第１面側の第１空間と、前記第２面側の第２空間とを区切る板状部材と、前記板状部材の前記第１面側に配置され第１引力発生部を有すると共に、前記第１面上を移動可能な第１テーブルと、前記板状部材の前記第２面側に配置されると共に、前記第１引力発生部に吸引可能な第２引力発生部を有し前記第１テーブルの移動に追従して前記第２面上を移動可能な第２テーブルと、を備え、前記第２テーブルは、ベースと、前記ベースを移動可能に支持する支持部と、前記ベースに固定された前記第２引力発生部と、を含み、前記第２引力発生部は、表面の少なくとも一部にフッ素コート層が設けられた磁石と、前記磁石を前記ベースに固定するフッ素樹脂製の固定部材と、を有する。 The table device according to one aspect of the present disclosure has a first surface and a second surface opposite to the first surface, the first space on the first surface side and the second surface on the second surface side. A plate-shaped member that separates the two spaces, a first table that is arranged on the first surface side of the plate-shaped member and has a first attractive force generating portion, and is movable on the first surface, and the plate-shaped member. It is arranged on the second surface side of the above, and has a second attractive force generating portion that can be attracted to the first attractive force generating portion, and can move on the second surface following the movement of the first table. The second table includes a base, a support portion that movably supports the base, and the second attractive force generating portion fixed to the base, and the second attractive force is generated. The portion includes a magnet provided with a fluorine-coated layer on at least a part of the surface, and a fixing member made of fluorine resin for fixing the magnet to the base.

テーブル装置が、腐食性ガス等の特殊ガス雰囲気のプロセス室内などで用いられる場合がある。この場合、特殊ガスによって磁石が腐食することが考えられる。従って、磁石の腐食を抑制するために、磁石の表面に、耐食性を有するフッ素コート層を設けている。ここで、フッ素コート層は、接着剤で接合しにくいため、表面にフッ素コート層を設けた磁石は、接着剤を用いてベースに固定されにくい。従って、耐食性の高いフッ素樹脂製の固定部材を介して前記磁石をベースに固定した。これにより、腐食性ガス等の特殊ガス雰囲気のプロセス室内などで用いられる場合でも、より高い耐食性を有するテーブル装置を提供することができる。 The table device may be used in a process chamber having a special gas atmosphere such as a corrosive gas. In this case, it is possible that the magnet is corroded by the special gas. Therefore, in order to suppress the corrosion of the magnet, a fluorine-coated layer having corrosion resistance is provided on the surface of the magnet. Here, since the fluorine-coated layer is difficult to bond with an adhesive, the magnet provided with the fluorine-coated layer on the surface is difficult to be fixed to the base using the adhesive. Therefore, the magnet was fixed to the base via a fixing member made of fluororesin having high corrosion resistance. This makes it possible to provide a table device having higher corrosion resistance even when used in a process chamber having a special gas atmosphere such as a corrosive gas.

テーブル装置の望ましい態様として、前記固定部材は、前記磁石を収容して保持するカバー部材であり、前記カバー部材は、ステンレス製のねじ部材を介して前記ベースに固定される。このように、カバー部材で磁石を収容して保持し、ねじ部材を介して前記ベースに固定するため、磁石をより強固にベースに固定することができる。また、ねじ部材がステンレス製であるため、ねじ部材も高い耐食性を有する。 As a preferred embodiment of the table device, the fixing member is a cover member that accommodates and holds the magnet, and the cover member is fixed to the base via a stainless steel screw member. In this way, since the magnet is accommodated and held by the cover member and fixed to the base via the screw member, the magnet can be more firmly fixed to the base. Further, since the screw member is made of stainless steel, the screw member also has high corrosion resistance.

テーブル装置の望ましい態様として、前記ベースには、前記磁石の少なくとも一部が収納可能な凹部が設けられた。これによれば、磁石を凹部に収容することで磁石の位置決めが容易になる。 As a preferred embodiment of the table device, the base is provided with a recess in which at least a part of the magnet can be accommodated. According to this, the positioning of the magnet becomes easy by accommodating the magnet in the recess.

テーブル装置の望ましい態様として、前記第２テーブルの前記支持部は、ステンレス製のボールローラである。これによれば、支持部も高い耐食性を有する。 As a preferred embodiment of the table device, the support portion of the second table is a stainless steel ball roller. According to this, the support portion also has high corrosion resistance.

テーブル装置の望ましい態様として、前記第２ベースは、ステンレス製である。これによれば、第２ベースも高い耐食性を有する。 As a preferred embodiment of the table device, the second base is made of stainless steel. According to this, the second base also has high corrosion resistance.

本開示によれば、より高い耐食性を有するテーブル装置を提供することが可能である。 According to the present disclosure, it is possible to provide a table device having higher corrosion resistance.

図１は、実施形態に係るテーブル装置の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of the table device according to the embodiment. 図２は、図１におけるＡ－Ａ断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 図３は、第２テーブルの斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of the second table. 図４は、図３の第２テーブルの底面図である。FIG. 4 is a bottom view of the second table of FIG. 図５は、第２テーブルの底面図であり、第２引力発生部及び第２斥力発生部を外した状態を示している。FIG. 5 is a bottom view of the second table, showing a state in which the second attractive force generating portion and the second repulsive force generating portion are removed. 図６は、第２引力発生部及び第２斥力発生部の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of the second attractive force generating portion and the second repulsive force generating portion. 図７は、変形例に係るテーブル装置の断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of the table device according to the modified example.

以下、本発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の発明を実施するための形態（以下、実施形態という）により本発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、下記実施形態で開示した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。なお、実施形態において、水平面内の一方向をＸ方向とし、水平面内においてＸ方向と交差する方向をＹ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれと交差する方向（即ち、鉛直方向）をＺ方向とする。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the embodiments for carrying out the following inventions (hereinafter referred to as embodiments). In addition, the components in the following embodiments include those that can be easily assumed by those skilled in the art, those that are substantially the same, that is, those in a so-called equal range. Further, the components disclosed in the following embodiments can be appropriately combined. In the embodiment, one direction in the horizontal plane is the X direction, the direction intersecting the X direction in the horizontal plane is the Y direction, and the direction intersecting each of the X direction and the Y direction (that is, the vertical direction) is the Z direction. And.

図１は、実施形態に係るテーブル装置の斜視図である。図２は、図１におけるＡ－Ａ断面図である。 FIG. 1 is a perspective view of the table device according to the embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.

図１に示すように、テーブル装置１は、筐体２と、第１テーブル３と、第２テーブル４と、第１移動機構６と、第２移動機構７とを含む。第１テーブル３、第１移動機構６及び第２移動機構７は、筐体２の内側の第１空間Ｐに設けられる。第２テーブル４は、筐体２の外側の第２空間Ｒに設けられる。第２空間Ｒは、特定の環境を維持し、操作対象物の位置決めや、加工、検査等を行うための空間である。第２空間Ｒは、作業に適した特定の環境を維持できる空間であればよい。第２空間Ｒは、真空、減圧、ガス置換（減圧又は陽圧）、温度の異なる空間、クリーン環境、異物環境等の様々な環境に適用可能である。例えば、テーブル装置１は、細胞等のサンプルの採取や各種検査等を行うバイオ用途に用いられる。この場合、第２空間Ｒはクリーン環境であり、第２空間Ｒ内の第２テーブル４は、例えば腐食性ガスを用いて滅菌処理が施される。 As shown in FIG. 1, the table device 1 includes a housing 2, a first table 3, a second table 4, a first moving mechanism 6, and a second moving mechanism 7. The first table 3, the first moving mechanism 6, and the second moving mechanism 7 are provided in the first space P inside the housing 2. The second table 4 is provided in the second space R outside the housing 2. The second space R is a space for maintaining a specific environment and performing positioning, processing, inspection, and the like of the operation object. The second space R may be any space that can maintain a specific environment suitable for work. The second space R can be applied to various environments such as vacuum, depressurization, gas substitution (decompression or positive pressure), spaces having different temperatures, a clean environment, and a foreign matter environment. For example, the table device 1 is used for biotechnology applications such as collecting samples of cells and performing various tests. In this case, the second space R is a clean environment, and the second table 4 in the second space R is sterilized using, for example, a corrosive gas.

筐体２は、板状部材２１を含む。板状部材２１は、筐体２の側面に対して垂直な方向に延出する板状の部材であり、筐体２と一体に設けられる。第１空間Ｐと第２空間Ｒとは板状部材２１によって区切られている。本実施形態では、板状部材２１は非磁性体であり、非磁性ステンレス等が用いられる。非磁性ステンレスとして、オーステナイト系ステンレス（例えばＳＵＳ３１６等）が挙げられる。 The housing 2 includes a plate-shaped member 21. The plate-shaped member 21 is a plate-shaped member extending in a direction perpendicular to the side surface of the housing 2, and is provided integrally with the housing 2. The first space P and the second space R are separated by a plate-shaped member 21. In the present embodiment, the plate-shaped member 21 is a non-magnetic material, and non-magnetic stainless steel or the like is used. Examples of non-magnetic stainless steel include austenitic stainless steel (for example, SUS316).

図２に示すように、板状部材２１は、第１面２１ａと、第１面２１ａと反対側の第２面２１ｂとを有する。第１空間Ｐは、第１面２１ａ側の空間である。第２空間Ｒは、第２面２１ｂ側の空間である。第１空間Ｐは、筐体２の内部の空間である。板状部材２１によって、第１空間Ｐと第２空間Ｒとが分離されている。板状部材２１は、第１空間Ｐと第２空間Ｒとを連通する孔部等が設けられていない連続した板状の部材である。これにより、第１移動機構６及び第２移動機構７の動作により発生する異物を含む気体が、第１空間Ｐから第２空間Ｒに流入することを抑制できる。従って、第２空間Ｒの環境を維持することができる。 As shown in FIG. 2, the plate-shaped member 21 has a first surface 21a and a second surface 21b opposite to the first surface 21a. The first space P is a space on the first surface 21a side. The second space R is a space on the second surface 21b side. The first space P is the space inside the housing 2. The first space P and the second space R are separated by the plate-shaped member 21. The plate-shaped member 21 is a continuous plate-shaped member that is not provided with a hole or the like that connects the first space P and the second space R. As a result, it is possible to prevent the gas containing foreign matter generated by the operation of the first moving mechanism 6 and the second moving mechanism 7 from flowing from the first space P into the second space R. Therefore, the environment of the second space R can be maintained.

第１テーブル３は、第１ベース３１と、第１引力発生部３２と、第１斥力発生部３３と、第１支持部３４と、を含む。第１ベース３１は、第１主面３１ａと、第１主面３１ａと反対側の第２主面３１ｂとを有する板状の部材である。第１ベース３１の第２主面３１ｂは、第２移動機構７の連結部７７と連結される。第１ベース３１は、第１移動機構６及び第２移動機構７の動作により、板状部材２１の第１面２１ａと平行な面内を移動する。 The first table 3 includes a first base 31, a first attractive force generating unit 32, a first repulsive force generating unit 33, and a first supporting unit 34. The first base 31 is a plate-shaped member having a first main surface 31a and a second main surface 31b opposite to the first main surface 31a. The second main surface 31b of the first base 31 is connected to the connecting portion 77 of the second moving mechanism 7. The first base 31 moves in a plane parallel to the first surface 21a of the plate-shaped member 21 by the operation of the first moving mechanism 6 and the second moving mechanism 7.

第１引力発生部３２、第１斥力発生部３３及び第１支持部３４は、第１ベース３１の第１主面３１ａに設けられる。言い換えると、第１引力発生部３２、第１斥力発生部３３及び第１支持部３４は、第１ベース３１と板状部材２１との間に設けられる。本実施形態において、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３は、磁石であり、例えば耐熱ネオジム磁石やコバルト磁石を用いることができる。耐熱ネオジム磁石の耐熱温度は、１５０℃程度である。コバルト磁石の耐熱温度は２００℃程度である。第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３は、それぞれ、Ｎ極が第１主面３１ａに接している。また、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３は、それぞれ、Ｓ極が板状部材２１とＺ方向に離隔して対向する。 The first attractive force generating portion 32, the first repulsive force generating portion 33, and the first supporting portion 34 are provided on the first main surface 31a of the first base 31. In other words, the first attractive force generating portion 32, the first repulsive force generating portion 33, and the first supporting portion 34 are provided between the first base 31 and the plate-shaped member 21. In the present embodiment, the first attractive force generating unit 32 and the first repulsive force generating unit 33 are magnets, and for example, a heat-resistant neodymium magnet or a cobalt magnet can be used. The heat-resistant temperature of the heat-resistant neodymium magnet is about 150 ° C. The heat resistant temperature of the cobalt magnet is about 200 ° C. The north pole of each of the first attractive force generating section 32 and the first repulsive force generating section 33 is in contact with the first main surface 31a. Further, in the first attractive force generating section 32 and the first repulsive force generating section 33, the S poles of the first attractive force generating section 32 and the first repulsive force generating section 33 face each other with the plate-shaped member 21 separated from each other in the Z direction.

第１支持部３４は、ボールローラである。具体的には、第１支持部３４は、ハウジング３４１と、ボール３４２とを含む。ハウジング３４１は第１ベース３１に固定される。ボール３４２は、ハウジング３４１の凹部内に回転可能に設けられている。ボール３４２は、板状部材２１の第１面２１ａと接している。第１ベース３１は、板状部材２１の第１面２１ａに沿って自由に移動可能になっている。第１支持部３４が設けられているため、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３が板状部材２１に接触することを抑制でき、第１ベース３１がスムーズに移動できる。 The first support portion 34 is a ball roller. Specifically, the first support portion 34 includes a housing 341 and a ball 342. The housing 341 is fixed to the first base 31. The ball 342 is rotatably provided in the recess of the housing 341. The ball 342 is in contact with the first surface 21a of the plate-shaped member 21. The first base 31 is freely movable along the first surface 21a of the plate-shaped member 21. Since the first support portion 34 is provided, it is possible to prevent the first attractive force generating portion 32 and the first repulsive force generating portion 33 from coming into contact with the plate-shaped member 21, and the first base 31 can move smoothly.

なお、本実施形態及び後述する変形例では、ボール３４２が板状部材２１の第１面２１ａと接している態様を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、ボール３４２が板状部材２１の第１面２１ａから上下方向で離隔していてもよい。また、第１支持部３４自体が必ずしも必要でなくてもよい。即ち、第１テーブル３の移動に追従して第２テーブル４が第２面２１ｂ上を移動可能であればよい。このためには、（１）第１引力発生部３２と第２引力発生部４２とで作用する引力Ｆ１が適正な値に設定されていること、（２）第１斥力発生部３３と第２斥力発生部４３とで作用する斥力Ｆ２が適正な値に設定されていること、（３）板状部材２１の剛性が十分であること、が満たされることが好ましい。ただし、（１）～（３）の要件は、必須でない。 In the present embodiment and the modifications described later, the ball 342 is in contact with the first surface 21a of the plate-shaped member 21, but the present invention is not limited to this. For example, the ball 342 may be separated from the first surface 21a of the plate-shaped member 21 in the vertical direction. Further, the first support portion 34 itself does not necessarily have to be required. That is, it suffices if the second table 4 can move on the second surface 21b following the movement of the first table 3. For this purpose, (1) the attractive force F1 acting by the first attractive force generating unit 32 and the second attractive force generating unit 42 is set to an appropriate value, and (2) the first repulsive force generating unit 33 and the second. It is preferable that the repulsive force F2 acting on the repulsive force generating unit 43 is set to an appropriate value, and (3) the rigidity of the plate-shaped member 21 is sufficient. However, the requirements (1) to (3) are not essential.

図３は、第２テーブルの斜視図である。図４は、図３の第２テーブルの底面図である。図５は、第２テーブルの底面図であり、第２引力発生部及び第２斥力発生部を外した状態を示している。図６は、第２引力発生部及び第２斥力発生部の斜視図である。 FIG. 3 is a perspective view of the second table. FIG. 4 is a bottom view of the second table of FIG. FIG. 5 is a bottom view of the second table, showing a state in which the second attractive force generating portion and the second repulsive force generating portion are removed. FIG. 6 is a perspective view of the second attractive force generating portion and the second repulsive force generating portion.

図２に示すように、第２テーブル４は、第２ベース４１（ベース）と、第２引力発生部４２と、第２斥力発生部４３と、第２支持部４４（支持部）と、を含む。 As shown in FIG. 2, the second table 4 includes a second base 41 (base), a second attractive force generating portion 42, a second repulsive force generating portion 43, and a second supporting portion 44 (supporting portion). include.

図３，５に示すように、第２ベース４１（ベース）は、平面視でロ字状の形状を有する。四隅の角部には、それぞれ第１保持部４１１、第２保持部４１２、第３保持部４１３、及び第４保持部４１４が設けられている。また、それぞれの隣接する保持部同士は、第１連結部４１５、第２連結部４１６、第３連結部４１７、及び第４連結部４１８で連結されている。本実施形態では、第２ベース４１の材質はステンレスである。具体的には、ステンレスのうち、例えばＳＵＳ３０３、ＳＵＳ３０４、及びＳＵＳ３１６等のオーステナイト系ステンレスが適用できる。 As shown in FIGS. 3 and 5, the second base 41 (base) has a square shape in a plan view. A first holding portion 411, a second holding portion 412, a third holding portion 413, and a fourth holding portion 414 are provided at the corners of the four corners, respectively. Further, the adjacent holding portions are connected by a first connecting portion 415, a second connecting portion 416, a third connecting portion 417, and a fourth connecting portion 418. In this embodiment, the material of the second base 41 is stainless steel. Specifically, among stainless steels, for example, austenitic stainless steels such as SUS303, SUS304, and SUS316 can be applied.

第１保持部４１１、第２保持部４１２、第３保持部４１３、及び第４保持部４１４の構造は同一であるため、本実施形態では、第３保持部４１３を例にとって説明する。
図３に示すように、第３保持部４１３は、一方側縦壁部４１３１と、横壁部４１３３と、他方側縦壁部４１３４と、突起部４１３５と、を有する。一方側縦壁部４１３１は、第２連結部４１６のＸ方向の反対方向の端部４１６ａからＺ方向に延びる。横壁部４１３３は、一方側縦壁部４１３１のＺ方向の端部４１３２から板状部材２１の第２面２１ｂに沿って（ＸＹ平面に沿って）延びる。他方側縦壁部４１３４は、横壁部４１３３の端部４１３３ａからＺ方向の反対方向に延びて第３連結部４１７のＹ方向の反対方向の端部４１７ａと連結される。 Since the structures of the first holding portion 411, the second holding portion 412, the third holding portion 413, and the fourth holding portion 414 are the same, the third holding portion 413 will be described as an example in the present embodiment.
As shown in FIG. 3, the third holding portion 413 has one side vertical wall portion 4131, a horizontal wall portion 4133, the other side vertical wall portion 4134, and a protrusion 4135. The one-side vertical wall portion 4131 extends in the Z direction from the end portion 416a of the second connecting portion 416 in the opposite direction to the X direction. The lateral wall portion 4133 extends from the end portion 4132 of the one-side vertical wall portion 4131 in the Z direction along the second surface 21b of the plate-shaped member 21 (along the XY plane). The other side vertical wall portion 4134 extends from the end portion 4133a of the horizontal wall portion 4133 in the opposite direction in the Z direction and is connected to the end portion 417a of the third connecting portion 417 in the opposite direction in the Y direction.

突起部４１３５は、横壁部４１３３の上面４１３３ｂからＺ方向に突出する。突起部４１３５は、平面視Ｌ字状の形状を有する。また、第３保持部４１３には、Ｚ方向の反対側に設けられてＺ方向に向けて凹む空間４１３６が設けられている。詳細には、図３に示すように、第３保持部４１３には、段差４１３１ａにより第２面２１ｂとの距離が他の部位よりも大きい底面４１３３ｃが設けられ、段差４１３１ａ及び底面４１３３ｃで形成された空間４１３６内に第２支持部４４（支持部）が配置されている。空間４１３６の縁は、一方側縦壁部４１３１のＸ方向の反対方向側の段差４１３１ａと、他方側縦壁部４１３４のＹ方向の反対方向側の側面４１３４ａと、横壁部４１３３の底面４１３３ｃと、を有する。 The protrusion 4135 projects in the Z direction from the upper surface 4133b of the side wall portion 4133. The protrusion 4135 has an L-shaped plan view. Further, the third holding portion 413 is provided with a space 4136 provided on the opposite side in the Z direction and recessed in the Z direction. Specifically, as shown in FIG. 3, the third holding portion 413 is provided with a bottom surface 4133c having a distance from the second surface 21b larger than other portions due to the step 4131a, and is formed by the step 4131a and the bottom surface 4133c. The second support portion 44 (support portion) is arranged in the space 4136. The edges of the space 4136 include a step 4131a on the opposite side in the X direction of the vertical wall portion 4131 on one side, a side surface 4134a on the opposite side in the Y direction of the vertical wall portion 4134 on the other side, and a bottom surface 4133c of the horizontal wall portion 4133. Has.

また、第３保持部４１３の空間４１３６内には、第２支持部４４（支持部）が配置されている。第２支持部４４は、本実施形態では、ボールローラである。具体的には、第２支持部４４は、ハウジング４４１と、ボール４４２と、雄ねじ部４４３（図３参照）と、を含む。本実施形態では、ハウジング４４１、ボール４４２、及び雄ねじ部４４３は、全てステンレス製である。ステンレスのうち、例えばＳＵＳ３０３、ＳＵＳ３０４、及びＳＵＳ３１６等のオーステナイト系ステンレスが適用できる。 Further, a second support portion 44 (support portion) is arranged in the space 4136 of the third holding portion 413. The second support portion 44 is a ball roller in this embodiment. Specifically, the second support portion 44 includes a housing 441, a ball 442, and a male screw portion 443 (see FIG. 3). In the present embodiment, the housing 441, the ball 442, and the male screw portion 443 are all made of stainless steel. Among the stainless steels, for example, austenitic stainless steels such as SUS303, SUS304, and SUS316 can be applied.

ボール４４２は、ハウジング４４１の凹部内に回転可能に設けられている。ハウジング４４１には、Ｚ方向に延びる雄ねじ部４４３が設けられている。横壁部４１３３には、Ｚ方向に貫通する雌ねじ部（図３参照）が設けられている。横壁部４１３３に設けられた雌ねじ部に雄ねじ部４４３を締結することにより、第２支持部４４を横壁部４１３３に固定することができる。ボール４４２は、板状部材２１の第２面２１ｂと接している。ボール４４２の回転により、第２ベース４１は、板状部材２１の第２面２１ｂに沿って自由に移動可能になっている。 The ball 442 is rotatably provided in the recess of the housing 441. The housing 441 is provided with a male screw portion 443 extending in the Z direction. The side wall portion 4133 is provided with a female screw portion (see FIG. 3) penetrating in the Z direction. By fastening the male threaded portion 443 to the female threaded portion provided on the lateral wall portion 4133, the second support portion 44 can be fixed to the lateral wall portion 4133. The ball 442 is in contact with the second surface 21b of the plate-shaped member 21. The rotation of the ball 442 allows the second base 41 to move freely along the second surface 21b of the plate-shaped member 21.

図２，４に示すように、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３は、連結部（第１連結部４１５、第２連結部４１６、第３連結部４１７及び第４連結部４１８）の下面（Ｚ方向の反対方向側の面）に設けられる。図２には、第２連結部４１６の下面４１６ｃに設けられた状態を示す。言い換えると、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３は、第２ベース４１と板状部材２１との間に設けられる。第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３は、図６に示す磁石４２７である。第２引力発生部４２は、Ｓ極が第２連結部４１６の下面４１６ｃに接し、Ｎ極が板状部材２１とＺ方向に離隔して対向する。第２斥力発生部４３は、Ｎ極が第２連結部４１６の下面４１６ｃに接し、Ｓ極が板状部材２１とＺ方向に離隔して対向する。 As shown in FIGS. ) Is provided on the lower surface (the surface on the opposite side of the Z direction). FIG. 2 shows a state provided on the lower surface 416c of the second connecting portion 416. In other words, the second attractive force generating portion 42 and the second repulsive force generating portion 43 are provided between the second base 41 and the plate-shaped member 21. The second attractive force generating unit 42 and the second repulsive force generating unit 43 are magnets 427 shown in FIG. In the second attractive force generating portion 42, the S pole is in contact with the lower surface 416c of the second connecting portion 416, and the N pole is separated from the plate-shaped member 21 in the Z direction and faces the lower surface 416c. In the second repulsive force generating portion 43, the north pole is in contact with the lower surface 416c of the second connecting portion 416, and the south pole is separated from the plate-shaped member 21 in the Z direction and faces each other.

本実施形態では、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３の磁石４２７は、磁極の向きを除いて、同一構造を有する。以下に、図６を参照して具体的に説明する。 In the present embodiment, the magnets 427 of the second attractive force generating unit 42 and the second repulsive force generating unit 43 have the same structure except for the direction of the magnetic poles. Hereinafter, a specific description will be given with reference to FIG.

図６に示すように、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３は、磁石４２７と、磁石カバー４２５（固定部材、カバー部材）と、を有する。 As shown in FIG. 6, the second attractive force generating unit 42 and the second repulsive force generating unit 43 have a magnet 427 and a magnet cover 425 (fixing member, cover member).

磁石は、例えば、耐熱ネオジム磁石やコバルト磁石を用いることができる。耐熱ネオジム磁石の耐熱温度は、１５０℃程度である。コバルト磁石の耐熱温度は２００℃程度である。また、磁石の表面には、フッ素コート層が設けられている。フッ素コート層は、例えば、磁石の表面に液状のフッ素樹脂をスプレー塗布したのちに加熱することで設けられる。フッ素コート層は、耐食性を有する。なお、本実施形態では、磁石の表面の全てにフッ素コート層を設けたが、表面の少なくとも一部であればよい。 As the magnet, for example, a heat-resistant neodymium magnet or a cobalt magnet can be used. The heat-resistant temperature of the heat-resistant neodymium magnet is about 150 ° C. The heat resistant temperature of the cobalt magnet is about 200 ° C. Further, a fluorine coating layer is provided on the surface of the magnet. The fluorine-coated layer is provided, for example, by spray-coating a liquid fluororesin on the surface of a magnet and then heating the magnet. The fluorine-coated layer has corrosion resistance. In the present embodiment, the fluorine coating layer is provided on the entire surface of the magnet, but it may be at least a part of the surface.

磁石カバー４２５（固定部材、カバー部材）は、磁石４２７を保持する。磁石カバー４２５は、フッ素樹脂製である。フッ素樹脂として、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）やポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）などが適用可能である。磁石カバー４２５は、フランジ４２２，４２３と、突出部４２４と、を有する。フランジ４２２は、突出部４２４のＸ方向側に設けられる。フランジ４２３は、突出部４２４のＸ方向の反対方向側に設けられる。突出部４２４は、Ｚ方向の反対方向に向けて突出する。突出部４２４の内部には、磁石４２７が収納される。突出部４２４は、略角筒状の形状を有する。Ｚ方向の反対方向側の端部に、磁石４２７のＺ方向の反対方向側の端部を支持する屈曲部４２４ａ及び三角片４２６が設けられている。 The magnet cover 425 (fixing member, cover member) holds the magnet 427. The magnet cover 425 is made of fluororesin. As the fluororesin, for example, polytetrafluoroethylene (PTFE) or polychlorotrifluoroethylene (PCTFE) can be applied. The magnet cover 425 has flanges 422 and 423 and protrusions 424. The flange 422 is provided on the X-direction side of the protrusion 424. The flange 423 is provided on the side of the protrusion 424 in the direction opposite to the X direction. The projecting portion 424 projects in the opposite direction in the Z direction. A magnet 427 is housed inside the protrusion 424. The protruding portion 424 has a substantially square cylindrical shape. A bent portion 424a and a triangular piece 426 that support the end portion of the magnet 427 on the opposite direction side in the Z direction are provided at the end portion on the opposite direction side in the Z direction.

ボルト５００は、頭部５００ａと、雄ねじ部５００ｂと、を有する。ボルト５００の材質は、ステンレスである。具体的には、ステンレスのうち、例えばＳＵＳ３０３、ＳＵＳ３０４、及びＳＵＳ３１６等のオーステナイト系ステンレスが適用できる。フランジ４２２，４２３には、図示しない貫通孔が設けられ、当該貫通孔にボルト５００の雄ねじ部５００ｂが挿通される。なお、図６に示すように、磁石４２７におけるＺ方向の端部４２７ａは、フランジ４２２，４２３よりもＺ方向側に突出している。 The bolt 500 has a head portion 500a and a male screw portion 500b. The material of the bolt 500 is stainless steel. Specifically, among stainless steels, for example, austenitic stainless steels such as SUS303, SUS304, and SUS316 can be applied. The flanges 422 and 423 are provided with through holes (not shown), through which the male screw portion 500b of the bolt 500 is inserted. As shown in FIG. 6, the end portion 427a of the magnet 427 in the Z direction protrudes from the flanges 422 and 423 in the Z direction.

図５に示すように、連結部（第１連結部４１５、第２連結部４１６、第３連結部４１７及び第４連結部４１８）におけるＺ方向の反対方向側の底面には、凹部８０と、雌ねじ穴８１とが設けられている。凹部８０は、連結部の底面からＺ方向に向けて凹む。また、凹部８０は、底面視が矩形状の形状を有する。凹部８０には、磁石４２７の端部４２７ａ（磁石の一部）が収納可能である。雌ねじ穴８１は、凹部８０に隣接して配置される。雌ねじ穴８１には、ボルト５００の雄ねじ部５００ｂが締結される。従って、図６に示す磁石４２７の端部４２７ａを図５に示す凹部８０に収納させたのち、ボルト５００の雄ねじ部５００ｂを雌ねじ穴８１に締結することにより、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３を連結部の底面に固定することができる。 As shown in FIG. 5, recesses 80 are formed on the bottom surface of the connecting portions (first connecting portion 415, second connecting portion 416, third connecting portion 417, and fourth connecting portion 418) on the opposite side in the Z direction. A female screw hole 81 is provided. The recess 80 is recessed from the bottom surface of the connecting portion in the Z direction. Further, the recess 80 has a rectangular shape when viewed from the bottom. The end portion 427a (a part of the magnet) of the magnet 427 can be stored in the recess 80. The female screw hole 81 is arranged adjacent to the recess 80. The male screw portion 500b of the bolt 500 is fastened to the female screw hole 81. Therefore, after the end portion 427a of the magnet 427 shown in FIG. 6 is housed in the recess 80 shown in FIG. 5, the male screw portion 500b of the bolt 500 is fastened to the female screw hole 81 to form the second attractive force generating portion 42 and the second. The repulsive force generating portion 43 can be fixed to the bottom surface of the connecting portion.

以上説明したように、テーブル装置１における第２テーブル４は、第２ベース４１（ベース）と、第２ベース４１に固定された第２引力発生部４２と、を含む。第２引力発生部４２は、表面にフッ素コート層が設けられた磁石４２７と、磁石４２７を第２ベース４１に固定するフッ素樹脂製の磁石カバー４２５（固定部材）と、を有する。 As described above, the second table 4 in the table device 1 includes a second base 41 (base) and a second attractive force generating unit 42 fixed to the second base 41. The second attractive force generating portion 42 includes a magnet 427 provided with a fluorine-coated layer on the surface, and a fluororesin-made magnet cover 425 (fixing member) for fixing the magnet 427 to the second base 41.

テーブル装置１が、腐食性ガス等の特殊ガス雰囲気のプロセス室内などで用いられる場合がある。この場合、特殊ガスによって磁石が腐食することが考えられる。従って、磁石の腐食を抑制するために、磁石の表面に、耐食性を有するフッ素コート層を設けている。ここで、フッ素コート層は、接着剤で接合しにくい。このため、表面にフッ素コート層を設けた磁石４２７は、接着剤を用いて第２ベース４１に固定されにくい。従って、耐食性の高いフッ素樹脂製の磁石カバー４２５（固定部材）を介して前記磁石４２７を第２ベース４１に固定した。これにより、腐食性ガス等の特殊ガス雰囲気のプロセス室内などで用いられる場合でも、より高い耐食性を有するテーブル装置１を提供することができる。 The table device 1 may be used in a process chamber having a special gas atmosphere such as a corrosive gas. In this case, it is possible that the magnet is corroded by the special gas. Therefore, in order to suppress the corrosion of the magnet, a fluorine-coated layer having corrosion resistance is provided on the surface of the magnet. Here, the fluorine-coated layer is difficult to bond with an adhesive. Therefore, the magnet 427 provided with the fluorine-coated layer on the surface is difficult to be fixed to the second base 41 by using an adhesive. Therefore, the magnet 427 was fixed to the second base 41 via a magnet cover 425 (fixing member) made of fluororesin having high corrosion resistance. This makes it possible to provide the table device 1 having higher corrosion resistance even when it is used in a process chamber having a special gas atmosphere such as a corrosive gas.

テーブル装置１の望ましい態様として、磁石カバー４２５（固定部材）は、磁石４２７を収容して保持するカバー部材であり、磁石カバー４２５は、ステンレス製のボルト５００（ねじ部材）を介して第２ベース４１に固定される。このように、磁石カバー４２５で磁石４２７を収容して保持し、ボルト５００を介して第２ベース４１に固定するため、磁石４２７をより強固に第２ベース４１に固定することができる。また、ボルト５００（ねじ部材）がステンレス製であるため、ボルト５００も高い耐食性を有する。 As a desirable embodiment of the table device 1, the magnet cover 425 (fixing member) is a cover member for accommodating and holding the magnet 427, and the magnet cover 425 is a second base via a stainless bolt 500 (screw member). It is fixed at 41. In this way, since the magnet cover 425 accommodates and holds the magnet 427 and fixes it to the second base 41 via the bolt 500, the magnet 427 can be more firmly fixed to the second base 41. Further, since the bolt 500 (screw member) is made of stainless steel, the bolt 500 also has high corrosion resistance.

テーブル装置１の望ましい態様として、第２ベース４１には、磁石４２７の端部４２７ａ（磁石の一部）が収納可能な凹部８０が設けられた。これによれば、磁石４２７を凹部８０に収容することで磁石４２７の位置決めが容易になる。 As a preferred embodiment of the table device 1, the second base 41 is provided with a recess 80 in which the end portion 427a (a part of the magnet) of the magnet 427 can be stored. According to this, the positioning of the magnet 427 becomes easy by accommodating the magnet 427 in the recess 80.

テーブル装置１の望ましい態様として、第２テーブル４の第２支持部４４（支持部）は、ステンレス製のボールローラである。これによれば、第２支持部４４（支持部）も高い耐食性を有する。 As a preferred embodiment of the table device 1, the second support portion 44 (support portion) of the second table 4 is a stainless steel ball roller. According to this, the second support portion 44 (support portion) also has high corrosion resistance.

テーブル装置１の望ましい態様として、第２ベース４１は、ステンレス製である。これによれば、第２ベース４１も高い耐食性を有する。 As a preferred embodiment of the table device 1, the second base 41 is made of stainless steel. According to this, the second base 41 also has high corrosion resistance.

（変形例）
図７は、変形例に係るテーブル装置の断面図である。図７に示すように、本変形例のテーブル装置１Ａは、筐体２Ａと、第１テーブル３と、第２テーブル４と、移動機構（第１移動機構６及び第２移動機構７（図１参照））とを有する。筐体２Ａの外側の空間が第１空間Ｐであり、筐体２Ａの内側の空間が第２空間Ｒである。第２空間Ｒは、例えば真空、減圧、クリーン環境等、様々な環境に対応可能である。筐体２Ａの底板が、板状部材２１Ａである。なお、図示はしていないが、筐体２Ａは、床面等に固定されて移動しない。即ち、筐体２Ａは固定され、筐体２Ａに対して第１テーブル３及び第２テーブル４が移動可能である。 (Modification example)
FIG. 7 is a cross-sectional view of the table device according to the modified example. As shown in FIG. 7, the table device 1A of this modified example includes a housing 2A, a first table 3, a second table 4, and a moving mechanism (first moving mechanism 6 and second moving mechanism 7 (FIG. 1). See)) and. The space outside the housing 2A is the first space P, and the space inside the housing 2A is the second space R. The second space R can be used in various environments such as a vacuum, a reduced pressure, and a clean environment. The bottom plate of the housing 2A is a plate-shaped member 21A. Although not shown, the housing 2A is fixed to the floor surface or the like and does not move. That is, the housing 2A is fixed, and the first table 3 and the second table 4 can be moved with respect to the housing 2A.

第１テーブル３は、板状部材２１Ａの第１面２１Ａａ側、即ち第１空間Ｐに配置される。また、第２テーブル４は、板状部材２１Ａの第２面２１Ａｂ側、即ち第２空間Ｒに配置される。つまり、筐体２Ａの外側に、第１ベース３１及び第１引力発生部３２を含む第１テーブル３と、移動機構（第１移動機構６及び第２移動機構７（図７では図示を省略する））と、が設けられる。また筐体２Ａの内側に、第２ベース４１、第２引力発生部４２及び第２支持部４４を含む第２テーブル４が設けられる。第１テーブル３及び第２テーブル４の構成は、図２から図５に示したものと同様であり、詳細な説明は省略する。 The first table 3 is arranged on the first surface 21Aa side of the plate-shaped member 21A, that is, on the first space P. Further, the second table 4 is arranged on the second surface 21Ab side of the plate-shaped member 21A, that is, on the second space R. That is, on the outside of the housing 2A, the first table 3 including the first base 31 and the first attractive force generating unit 32 and the moving mechanism (first moving mechanism 6 and second moving mechanism 7 (not shown in FIG. 7)). )) And are provided. Further, a second table 4 including a second base 41, a second attractive force generating portion 42, and a second supporting portion 44 is provided inside the housing 2A. The configurations of the first table 3 and the second table 4 are the same as those shown in FIGS. 2 to 5, and detailed description thereof will be omitted.

本変形例においても、磁石の腐食を抑制するために、磁石の表面にフッ素コート層を設け、フッ素樹脂製の磁石カバー４２５（固定部材）を介して磁石４２７を第２ベース４１に固定した。これにより、腐食性ガス等の特殊ガス雰囲気のプロセス室内などで用いられる場合でも、より高い耐食性を有するテーブル装置１を提供することができる。 Also in this modified example, in order to suppress the corrosion of the magnet, a fluorine coat layer was provided on the surface of the magnet, and the magnet 427 was fixed to the second base 41 via a fluororesin magnet cover 425 (fixing member). This makes it possible to provide the table device 1 having higher corrosion resistance even when it is used in a process chamber having a special gas atmosphere such as a corrosive gas.

以上、実施形態及び変形例を説明したが、前述した内容により実施形態及び変形例が限定されるものではない。例えば、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３の磁石の磁極の向きは実施形態及び変形例の例に限定されない。即ち、実施形態及び変形例では、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３においては、それぞれ、Ｎ極が第１主面３１ａに接し、第２引力発生部４２においては、Ｓ極が第２連結部４１６の下面４１６ｃに接し、第２斥力発生部４３においては、Ｎ極が第２連結部４１６の下面４１６ｃに接するように磁極を配置した。 Although the embodiments and modifications have been described above, the embodiments and modifications are not limited to the above-mentioned contents. For example, the directions of the magnetic poles of the magnets of the first attractive force generating unit 32 and the first repulsive force generating unit 33 are not limited to the examples of the embodiment and the modification. That is, in the embodiment and the modified example, in the first attractive force generating unit 32 and the first repulsive force generating unit 33, the north pole is in contact with the first main surface 31a, respectively, and in the second attractive force generating unit 42, the south pole is The magnetic poles were arranged so as to be in contact with the lower surface 416c of the second connecting portion 416 and in the second repulsive force generating portion 43 so that the north pole was in contact with the lower surface 416c of the second connecting portion 416.

しかし、例えば、第１引力発生部３２、第１斥力発生部３３、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３の磁石の磁極の向きを全て逆に配置してもよい。また、例えば、第１引力発生部３２及び第２引力発生部４２における磁極の向きをそれぞれ逆にしてもよい。更に、引力発生部及び斥力発生部の配置数や配置箇所は、特に限定されず、さまざまな配置数や配置箇所とすることができる。 However, for example, the directions of the magnetic poles of the magnets of the first attractive force generating unit 32, the first repulsive force generating unit 33, the second attractive force generating unit 42, and the second repulsive force generating unit 43 may all be reversed. Further, for example, the directions of the magnetic poles in the first attractive force generating unit 32 and the second attractive force generating unit 42 may be reversed. Further, the number and location of arrangement of the attractive force generating portion and the repulsive force generating portion are not particularly limited, and various arrangement numbers and locations can be used.

１，１Ａテーブル装置
２１，２１Ａ板状部材
２１ａ，２１Ａａ第１面
２１ｂ，２１Ａｂ第２面
３第１テーブル
３２第１引力発生部
４第２テーブル
４１第２ベース（ベース）
４２第２引力発生部
４２５磁石カバー（カバー部材、固定部材）
４２７磁石
４４第２支持部（支持部）
５００ボルト（ねじ部材）
８０凹部
Ｐ第１空間
Ｒ第２空間 1,1A Table device 21,21A Plate-shaped members 21a, 21Aa First surface 21b, 21Ab Second surface 3 First table 32 First attractive force generator 4 Second table 41 Second base (base)
42 Second attractive force generator 425 Magnet cover (cover member, fixing member)
427 Magnet 44 Second support part (support part)
500 bolts (screw members)
80 Recess P 1st space R 2nd space

Claims

A plate-shaped member having a first surface and a second surface opposite to the first surface and separating the first space on the first surface side and the second space on the second surface side.
A first table arranged on the first surface side of the plate-shaped member, having a first attractive force generating portion, and being movable on the first surface,
The plate-shaped member is arranged on the second surface side, and has a second attractive force generating portion that can be attracted to the first attractive force generating portion, and follows the movement of the first table on the second surface. With a movable second table,
The second table includes a base, a support portion that movably supports the base, and a second attractive force generating portion fixed to the base.
The second attractive force generating portion includes a magnet provided with a fluorine-coated layer on at least a part of the surface, and a fluororesin-made fixing member for fixing the magnet to the base.
Table device.

The fixing member is a cover member that houses and holds the magnet.
The cover member is fixed to the base via a stainless steel screw member.
The table device according to claim 1.

The base is provided with a recess in which at least a part of the magnet can be stored.
The table device according to claim 1 or 2.

The support portion of the second table is a stainless steel ball roller.
The table device according to any one of claims 1 to 3.

The base is made of stainless steel.
The table device according to any one of claims 1 to 4.