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JP7422331B2 - Parts mounting device - Google Patents
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JP7422331B2 - Parts mounting device - Google Patents

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Description

本開示は、部品搭載装置に関する。 The present disclosure relates to a component mounting device.

部品搭載装置は、搭載ヘッドに取り付けられた吸着ノズルを用いて、吸着した部品を基板に実装する。吸着ノズルは、ノズル先端部に付属物としてのゴムパッドを有している。ゴムパッドは、部品の吸着回数に比例して劣化していく。このようなゴムパッドの劣化具合をノズル先端部の個別データとして有することにより、部品実装基板の生産を精度よくかつ効率的に行わせることが試みられている(例えば特許文献1参照)。 The component mounting device uses a suction nozzle attached to a mounting head to mount the suctioned components onto a board. The suction nozzle has a rubber pad as an accessory at the tip of the nozzle. The rubber pad deteriorates in proportion to the number of times it picks up parts. Attempts have been made to accurately and efficiently produce component mounting boards by having the degree of deterioration of the rubber pad as individual data for the nozzle tip (for example, see Patent Document 1).

特開2008-205318号公報JP2008-205318A

しかしながら、ゴムパッドが部品吸着用のパッドノズルを構成する場合、数多くの部品実装を経ることで使用中にゴムパッド部分に不良が生じてしまい、吸装着動作に影響することがあった。従来技術では、ゴムパッドの不良を直接検出することができず、例えば実装不良あるいは吸着・装着エラー等の結果により間接的に吸着ノズルの不具合を発見することでゴムパッドの不良に気付くしかなかった。 However, when a rubber pad constitutes a pad nozzle for picking up components, defects may occur in the rubber pad portion during use due to the mounting of many components, which may affect the sucking and mounting operation. In the conventional technology, it is not possible to directly detect a defect in the rubber pad, and the only way to notice a defect in the rubber pad is to indirectly discover a defect in the suction nozzle, for example, as a result of a mounting defect or a suction/attachment error.

本開示は、上述した従来の状況に鑑みて案出され、吸装着エラーの発生を抑制し、実装品質の向上を図ることができる部品搭載装置を提供することを目的とする。 The present disclosure was devised in view of the conventional situation described above, and aims to provide a component mounting device that can suppress the occurrence of suction/mounting errors and improve mounting quality.

本開示は、搭載ヘッドに備えた吸着ノズルの真空吸着により部品供給部からピックアップされた部品を基板に搭載する部品搭載装置であって、前記吸着ノズルにおいて前記部品を吸着する側の先端部に設けられたノズル開口に管路を通じて接続される空圧発生源と、前記ノズル開口の周囲に設けられ、前記部品と当接する当接部材と、前記部品搭載装置の特定領域を少なくとも記憶する記憶部と、前記記憶部に基づいて、前記当接部材を前記特定領域に当接させるよう制御する制御部と、前記当接部材を前記特定領域と当接させたときの前記管路の流量を計測する流量センサと、前記流量に基づいて前記当接部材が不良かを判定する判定部と、を備える、部品搭載装置を提供する。 The present disclosure relates to a component mounting device that mounts a component picked up from a component supply section onto a substrate by vacuum suction of a suction nozzle provided in a mounting head, wherein the suction nozzle is provided at the tip of the suction nozzle on the side where the component is suctioned. a pneumatic generation source connected to the nozzle opening through a conduit; a contact member provided around the nozzle opening and in contact with the component; and a storage unit that stores at least a specific area of the component mounting device. , a control unit that controls the contact member to contact the specific area based on the storage unit, and a control unit that measures the flow rate of the conduit when the contact member is brought into contact with the specific area. A component mounting device is provided that includes a flow rate sensor and a determination unit that determines whether the abutting member is defective based on the flow rate.

本開示によれば、吸装着エラーの発生を抑制し、実装品質の向上を図ることができる。 According to the present disclosure, it is possible to suppress the occurrence of suction/attachment errors and improve the mounting quality.

実施の形態1に係る部品搭載装置の概略構成を模式的に示す平面図A plan view schematically showing a schematic configuration of a component mounting device according to Embodiment 1. 図1に示す搭載ヘッドの斜視図A perspective view of the mounting head shown in Figure 1 ゴムパッドのみを断面とした吸着ノズルの要部側面図Side view of the main parts of the suction nozzle with only the rubber pad in cross section 吸着ノズルに設けられたクッションエンドセンサの模式図Schematic diagram of the cushion end sensor installed in the suction nozzle 空圧発生源に接続される吸着ノズルの真空圧とブロー圧を切り替える空気圧回路の一例を示す図A diagram showing an example of a pneumatic circuit that switches between vacuum pressure and blow pressure of a suction nozzle connected to a pneumatic generation source. 吸着ノズルの状態と各バルブの動作との関係の一例を示す相関図Correlation diagram showing an example of the relationship between the state of the suction nozzle and the operation of each valve 図1に示した部品搭載装置の制御系の構成を示すブロック図A block diagram showing the configuration of the control system of the component mounting device shown in Figure 1. 実施の形態1に係る部品搭載装置11による当接部材の判定方法を示すフローチャートFlowchart showing a method for determining a contact member by the component mounting device 11 according to the first embodiment ノズル位置に対する真空バルブ動作、パッド内圧およびノズル流量の変化を経時的に示す説明図Explanatory diagram showing changes in vacuum valve operation, pad internal pressure, and nozzle flow rate over time with respect to nozzle position ノズル流量と正常値・異常値との関係の一例を示す相関図Correlation diagram showing an example of the relationship between nozzle flow rate and normal and abnormal values

以下、適宜図面を参照しながら、本開示に係る部品搭載装置を具体的に開示した実施の形態を詳細に説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になることを避け、当業者の理解を容易にするためである。なお、添付図面および以下の説明は、当業者が本開示を十分に理解するために提供されるものであり、これらにより特許請求の範囲に記載の主題を限定することは意図されていない。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments specifically disclosing a component mounting apparatus according to the present disclosure will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. However, more detailed explanation than necessary may be omitted. For example, detailed explanations of well-known matters or redundant explanations of substantially the same configurations may be omitted. This is to avoid unnecessary redundancy in the following description and to facilitate understanding by those skilled in the art. The accompanying drawings and the following description are provided to enable those skilled in the art to fully understand the present disclosure, and are not intended to limit the subject matter recited in the claims.

図1は、実施の形態1に係る部品搭載装置11の概略構成を模式的に示す平面図である。なお、添付図面のうち方向を示す矢印が記された図において、X軸は部品搭載装置11に対する左右方向、Y軸は部品搭載装置11に対する前後方向、Z軸は部品搭載装置11に対する上下方向を示す。X軸およびY軸は直交して水平面に含まれる。Z軸は沿直面に含まれる。 FIG. 1 is a plan view schematically showing a schematic configuration of a component mounting device 11 according to the first embodiment. In addition, in the attached drawings with arrows indicating directions, the X axis indicates the left and right direction with respect to the component mounting device 11, the Y axis indicates the front and rear direction with respect to the component mounting device 11, and the Z axis indicates the vertical direction with respect to the component mounting device 11. show. The X-axis and the Y-axis are orthogonal and included in the horizontal plane. The Z axis is included in the creeping plane.

実施の形態1に係る部品搭載装置11は、基台13の上面に、基板搬送部15がX方向に配設される。基板搬送部15は、生産ラインを構成する上流側装置から受け渡された基板17を搬送して、部品実装機構による実装作業位置に位置決めして保持する。基板搬送部15の両側方には、部品供給部19が配置される。部品供給部19には、例えば複数のテープフィーダ21のそれぞれが並設して装着される。テープフィーダ21は、部品23(図4参照)を保持したキャリアテープをピッチ送りすることにより、部品実装機構を構成する搭載ヘッド25への供給位置に部品23を位置させる。 In the component mounting apparatus 11 according to the first embodiment, a board transport section 15 is arranged on the upper surface of the base 13 in the X direction. The board transport unit 15 transports a board 17 received from an upstream device forming a production line, and positions and holds the board 17 at a mounting work position by a component mounting mechanism. Component supply units 19 are arranged on both sides of the board transfer unit 15 . For example, a plurality of tape feeders 21 are installed in the component supply section 19 in parallel. The tape feeder 21 pitch-feeds a carrier tape holding a component 23 (see FIG. 4), thereby positioning the component 23 at a feeding position to a mounting head 25 that constitutes a component mounting mechanism.

基台13の上面におけるX方向の一端部には、Y軸ビーム27がY方向に沿って水平に配設される。Y軸ビーム27には1対のX軸ビーム29がY方向にスライド自在に装着される。X軸ビーム29はY軸ビーム27が備えたリニア駆動機構によりY方向に駆動される。それぞれのX軸ビーム29には、搭載ヘッド25がX方向にスライド自在に装着される。搭載ヘッド25は、複数のノズルユニット31を備え、X軸ビーム29が備えたリニア駆動機構によりX方向に駆動される。 At one end of the upper surface of the base 13 in the X direction, a Y-axis beam 27 is disposed horizontally along the Y direction. A pair of X-axis beams 29 are attached to the Y-axis beam 27 so as to be slidable in the Y direction. The X-axis beam 29 is driven in the Y direction by a linear drive mechanism included in the Y-axis beam 27. A mounting head 25 is mounted on each X-axis beam 29 so as to be slidable in the X direction. The mounting head 25 includes a plurality of nozzle units 31 and is driven in the X direction by a linear drive mechanism provided by the X-axis beam 29.

Y軸ビーム27、X軸ビーム29、搭載ヘッド25を駆動することにより、搭載ヘッド25はノズルユニット31に設けられた吸着ノズル33(図2参照)によってそれぞれの部品供給部19に配置されたテープフィーダ21から部品23(図4参照)を真空吸引して取り出し(言い換えると、ピックアップし)、基板17の上方に移動して部品23を基板17の実装位置に搭載する。上記構成において、Y軸ビーム27、X軸ビーム29は、搭載ヘッド25を水平方向(X方向、Y方向)に移動させるヘッド移動機構35を構成する。また、Y軸ビーム27、X軸ビーム29、搭載ヘッド25は、部品実装機構を構成する。 By driving the Y-axis beam 27, the X-axis beam 29, and the mounting head 25, the mounting head 25 picks up the tape placed on each component supply section 19 by the suction nozzle 33 (see FIG. 2) provided in the nozzle unit 31. The component 23 (see FIG. 4) is taken out (in other words, picked up) from the feeder 21 by vacuum suction, moved above the board 17, and mounted on the mounting position of the board 17. In the above configuration, the Y-axis beam 27 and the X-axis beam 29 constitute a head moving mechanism 35 that moves the mounting head 25 in the horizontal direction (X direction, Y direction). Further, the Y-axis beam 27, the X-axis beam 29, and the mounting head 25 constitute a component mounting mechanism.

基台13には、基板搬送部15とそれぞれの部品供給部19との間で、部品認識カメラ37が配設される。部品認識カメラ37は、部品供給部19から部品23を取り出した搭載ヘッド25が部品認識カメラ37の上方を移動することにより、搭載ヘッド25に装着された吸着ノズル33に保持状態の部品23を撮像する。 A component recognition camera 37 is disposed on the base 13 between the board transport section 15 and each component supply section 19 . The component recognition camera 37 captures an image of the component 23 held by the suction nozzle 33 attached to the mounting head 25 as the mounting head 25 that has taken out the component 23 from the component supply section 19 moves above the component recognition camera 37. do.

搭載ヘッド25が取り付けられた結合プレート39には、X軸ビーム29の下面側に位置して、搭載ヘッド25と一体的に移動する基板認識カメラ41が撮像方向を下向きにした姿勢で配設される。基板認識カメラ41は、搭載ヘッド25を基板搬送部15に保持された基板17の上方に移動させることにより、基板17の位置認識マーク(図示略)などを撮像できる。また、基板認識カメラ41は、部品実装後に基板17に搭載された部品23を撮像できる。 On the coupling plate 39 to which the mounting head 25 is attached, a board recognition camera 41 that is located on the lower surface side of the X-axis beam 29 and moves integrally with the mounting head 25 is arranged with the imaging direction facing downward. Ru. The board recognition camera 41 can image a position recognition mark (not shown) on the board 17 by moving the mounting head 25 above the board 17 held by the board transport section 15 . Further, the board recognition camera 41 can image the component 23 mounted on the board 17 after the component is mounted.

部品認識カメラ37、基板認識カメラ41によって取得された撮像データは、部品搭載装置11が備える装置制御部93(図7参照)により認識処理される。これにより、部品搭載装置11は、搭載ヘッド25において吸着ノズル33に保持された状態の部品23の位置ずれ、基板搬送部15に保持された基板17の位置ずれを検出することができる。部品実装機構による部品実装動作においては、装置制御部93の制御の下でこれらの位置ずれを加味して搭載ヘッド25の位置が補正される。 The image data acquired by the component recognition camera 37 and the board recognition camera 41 are recognized and processed by the device control unit 93 (see FIG. 7) included in the component mounting device 11. Thereby, the component mounting device 11 can detect the positional deviation of the component 23 held by the suction nozzle 33 in the mounting head 25 and the positional deviation of the substrate 17 held by the substrate transport section 15. In the component mounting operation by the component mounting mechanism, the position of the mounting head 25 is corrected under the control of the device control section 93, taking these positional deviations into consideration.

図2は、図1に示す搭載ヘッド25の斜視図である。搭載ヘッド25は、結合プレート39を介してX軸ビーム29に装着される。搭載ヘッド25は複数(図2の例では12個)のノズルユニット31を、例えば2行6列構成で並設されている。それぞれのノズルユニット31は、ノズル駆動部43からノズル軸45を下方に延出させた構成となっており、ノズル軸45の下端部に結合されたノズル装着部47には、吸着ノズル33が着脱自在に装着される。それぞれのノズル駆動部43は、ノズル軸45と結合された昇降軸(図示略)をリニアモータにより昇降させるノズル昇降機構(図示略)を備えている。ノズル駆動部43を駆動することにより、ノズル装着部47に装着された吸着ノズル33は個別に昇降する。 FIG. 2 is a perspective view of the mounting head 25 shown in FIG. The mounting head 25 is attached to the X-axis beam 29 via a coupling plate 39. The mounting head 25 has a plurality of nozzle units 31 (12 in the example of FIG. 2) arranged in parallel, for example, in a configuration of 2 rows and 6 columns. Each nozzle unit 31 has a configuration in which a nozzle shaft 45 extends downward from a nozzle drive section 43, and the suction nozzle 33 is attached to and detached from a nozzle mounting section 47 connected to the lower end of the nozzle shaft 45. Can be attached freely. Each nozzle drive unit 43 includes a nozzle lifting mechanism (not shown) that raises and lowers an lifting shaft (not shown) coupled to the nozzle shaft 45 using a linear motor. By driving the nozzle drive section 43, the suction nozzles 33 mounted on the nozzle mounting section 47 are individually raised and lowered.

吸着ノズル33は、真空吸引する部品23のサイズ、形状に応じて複数の種類が用意される。例えば、大きなサイズを有する部品23には、吸着ノズル33の下端部の吸着保持面49(図4参照)が大きな吸着ノズル33が使用される。また、搭載ヘッド25は、装着する吸着ノズル33の種類に応じて複数の種類が用意されている。例えば、大きなサイズを有する部品23を吸着するための大きな吸着ノズル33を装着する場合は、大きなノズルユニット31を備える搭載ヘッド25が使用される。 A plurality of types of suction nozzles 33 are prepared depending on the size and shape of the component 23 to be vacuum-suctioned. For example, for a component 23 having a large size, a suction nozzle 33 having a large suction holding surface 49 (see FIG. 4) at the lower end of the suction nozzle 33 is used. Further, a plurality of types of mounting heads 25 are prepared depending on the type of suction nozzle 33 to be mounted. For example, when mounting a large suction nozzle 33 for suctioning a component 23 having a large size, a mounting head 25 including a large nozzle unit 31 is used.

図3は、ゴムパッド51のみを断面とした吸着ノズル33の要部側面図である。吸着ノズル33は、部品23を吸着する側の先端部53に、ノズル開口55が形成されている。吸着ノズル33は、ノズル開口55の周囲に、部品23と当接する当接部材であるゴムパッド51が装着される。ゴムパッド51は、例えばゴム製あるいはシリコンゴム製となる。ゴムパッド51は、例えば頂部は、略円錐状に拡径し漏斗状に形成された裾側の内側にある内方空間に通じるよう形成される。ゴムパッド51は、頂部が、先端部53に形成された周溝57に嵌着することにより吸着ノズル33に取り付けられる。ゴムパッド51の裾側となる当接面59は、ノズル開口55と同軸に配置される円形状となる。 FIG. 3 is a side view of a main part of the suction nozzle 33 with only the rubber pad 51 in cross section. The suction nozzle 33 has a nozzle opening 55 formed at the tip 53 on the side that suctions the component 23 . In the suction nozzle 33 , a rubber pad 51 , which is a contact member that comes into contact with the component 23 , is attached around a nozzle opening 55 . The rubber pad 51 is made of rubber or silicone rubber, for example. For example, the top of the rubber pad 51 is formed so as to communicate with an inner space on the inner side of the hem side, which is expanded into a substantially conical shape and formed in a funnel shape. The rubber pad 51 is attached to the suction nozzle 33 by fitting the top portion into a circumferential groove 57 formed in the tip portion 53 . The contact surface 59 on the bottom side of the rubber pad 51 has a circular shape and is arranged coaxially with the nozzle opening 55 .

ゴムパッド51は、部品搭載装置11に設定された特定領域61に、当接面59が当接する。当接面59は、ノズル開口55の周囲に、略円錐状の裾側が同心円で位置するよう形成される。なお、ゴムパッド51の形状はこれに限定されず、ベローズ等を有するものであってもよい。 The contact surface 59 of the rubber pad 51 contacts a specific area 61 set on the component mounting device 11 . The contact surface 59 is formed around the nozzle opening 55 so that the substantially conical bottom side thereof is located concentrically. Note that the shape of the rubber pad 51 is not limited to this, and may have a bellows or the like.

ゴムパッド51は、特定領域61に対する投影平面が、特定領域61の内側に位置する。実施の形態1において、ゴムパッド51は、内方空間で開口するノズル開口55から真空ポンプにより空気が吸引される、当接面59に当接した部品23を真空吸着して搬送可能とする。なお、ゴムパッド51は、吸着ノズル33にエジェクタ(いわゆる真空発生器)を設けることにより、圧縮空気を供給して真空吸着を行うものであってもよい。 The projection plane of the rubber pad 51 with respect to the specific area 61 is located inside the specific area 61 . In the first embodiment, the rubber pad 51 can vacuum-suction and transport the component 23 that is in contact with the contact surface 59, through which air is sucked by a vacuum pump from the nozzle opening 55 that opens in the inner space. Note that the rubber pad 51 may be configured to perform vacuum suction by supplying compressed air by providing an ejector (so-called vacuum generator) in the suction nozzle 33.

ゴムパッド51の当接面59が当接する特定領域61の表面は、平坦な面となる。ゴムパッド51は、特定領域61が平坦となることにより、ゴムパッド51の当接面59が全周囲で特定領域61の平坦な表面へ均一に接する。この平坦な表面としては、部品搭載装置11における例えば補正マークレール上面等を利用することができる。 The surface of the specific region 61 that the contact surface 59 of the rubber pad 51 contacts is a flat surface. Since the specific region 61 of the rubber pad 51 is flat, the contact surface 59 of the rubber pad 51 uniformly contacts the flat surface of the specific region 61 around the entire circumference. As this flat surface, for example, the upper surface of the correction mark rail in the component mounting device 11 can be used.

図4は、吸着ノズル33に設けられたクッションエンドセンサの模式図である。吸着ノズル33は、先端部53が特定領域61に当接したかを検出する当接センサ63を有する。当接センサ63は、クッションエンドセンサとも称される。部品搭載装置11では、制御部(例えば装置制御部93、図7参照)は、当接センサ63を用いて部品23の吸着高さを計測する。計測には、当接センサ63のクッションエンドストロークScが利用される。クッションエンドストロークScは、例えば3.0mm±オフセット程度となる。吸着ノズル33は、先端部53の吸着保持面49が部品23の上面に当接した状態で下降する(-z軸方向に移動する)と、部品23からの反力によりセンサドグ65が上方へ移動する(+z軸方向に移動する)。当接センサ63は、このセンサドグ65の移動により作動する。吸着ノズル33により部品23の吸着高さを計測するには、部品23の上面に先端部53の吸着保持面49を押し当てて低速で下降させ、センサドグ65の移動により当接センサ63がOFFする高さから吸着高さを求める。 FIG. 4 is a schematic diagram of a cushion end sensor provided in the suction nozzle 33. The suction nozzle 33 has a contact sensor 63 that detects whether the tip 53 has contacted a specific region 61. The contact sensor 63 is also called a cushion end sensor. In the component mounting device 11, a control unit (for example, the device control unit 93, see FIG. 7) measures the suction height of the component 23 using the contact sensor 63. The cushion end stroke Sc of the contact sensor 63 is used for measurement. The cushion end stroke Sc is, for example, approximately 3.0 mm±offset. When the suction nozzle 33 descends (moves in the -z axis direction) with the suction holding surface 49 of the tip 53 in contact with the upper surface of the component 23, the sensor dog 65 moves upward due to the reaction force from the component 23. (move in the +z-axis direction). The contact sensor 63 is activated by this movement of the sensor dog 65. To measure the suction height of the component 23 by the suction nozzle 33, the suction holding surface 49 of the tip portion 53 is pressed against the upper surface of the component 23 and lowered at low speed, and the contact sensor 63 is turned off by the movement of the sensor dog 65. Find the suction height from the height.

この部品搭載装置11では、当接センサ63は、この公知の吸着高さ計測機能を利用して、吸着ノズル33の先端部53が特定領域61に当接したことを検出する。さらに、部品搭載装置11は、制御部(例えば装置制御部93、図7参照)が、吸着ノズル33の先端部53を、ゴムパッド51の当接面59よりも所定距離(後述するG参照)ほど上方に位置するように吸着ノズル33を上昇させる方向に制御してよい。この上方への移動距離は、吸着ノズル33の先端部53(より具体的には吸着保持面49)から、ゴムパッド51の当接面59が部品23へ接近する方向に突出しているパッド出代G分(図3参照)となるように設定される。パッド出代Gは、例えば0.1mm~0.2mm程度に設定される。 In this component mounting apparatus 11, the contact sensor 63 detects that the tip portion 53 of the suction nozzle 33 has contacted the specific area 61 using this known suction height measurement function. Further, in the component mounting device 11, the control section (for example, the device control section 93, see FIG. 7) moves the tip 53 of the suction nozzle 33 a predetermined distance (see G described later) from the contact surface 59 of the rubber pad 51. The suction nozzle 33 may be controlled in a direction to raise it so that it is located above. This upward movement distance is determined by the pad protrusion G in which the contact surface 59 of the rubber pad 51 protrudes in the direction toward the component 23 from the tip 53 of the suction nozzle 33 (more specifically, the suction holding surface 49). minutes (see Figure 3). The pad protrusion G is set, for example, to about 0.1 mm to 0.2 mm.

図5は、空圧発生源67に接続される吸着ノズル33の真空圧とブロー圧を切り替える空気圧回路の一例を示す図である。ノズル軸45は、ノズル装着部47を挿通して吸着ノズル33に連通している。ノズル軸45を貫通して設けられた吸引孔(図示略)は、流量センサ69を介して真空バルブ71の出力ポートA1に接続される出力経路に接続される。出力経路は、流量センサ69を介して真空バルブ71と吸着ノズル33とを接続する吸引・エアブロー回路となる。流量センサ69は、流量センサ69からノズル軸45の方向(矢印a)に流れ出る正方向と、ノズル軸45から流量センサ69の方向(矢印b)に流れ込む負方向(逆方向)の、正逆2方向の空気の流量を計測する。つまり、流量センサ69は、ゴムパッド51を特定領域61と当接させたときの管路の流量を計測する。 FIG. 5 is a diagram showing an example of a pneumatic circuit that switches between vacuum pressure and blow pressure of the suction nozzle 33 connected to the pneumatic pressure generation source 67. The nozzle shaft 45 passes through the nozzle mounting portion 47 and communicates with the suction nozzle 33 . A suction hole (not shown) provided through the nozzle shaft 45 is connected to an output path connected to the output port A1 of the vacuum valve 71 via a flow rate sensor 69. The output path is a suction/air blow circuit that connects the vacuum valve 71 and the suction nozzle 33 via the flow rate sensor 69. The flow rate sensor 69 has two positive and reverse directions: a positive direction in which the flow flows from the flow rate sensor 69 in the direction of the nozzle shaft 45 (arrow a), and a negative direction (reverse direction) in which the flow flows from the nozzle shaft 45 in the direction of the flow rate sensor 69 (arrow b). Measure the flow rate of air in the direction. That is, the flow rate sensor 69 measures the flow rate of the pipe when the rubber pad 51 is brought into contact with the specific area 61 .

真空バルブ71は、2つの入力ポートR1および入力ポートP1と、出力ポートA1とを有する。真空バルブ71は、電磁弁とリターンスプリングにより作動する3ポート2位置のノーマルオープンの方向切換弁となる。真空バルブ71は、通常、非通電でつながる入力ポートR1と出力ポートA1とが真空圧となる。真空バルブ71は、外部からの選択信号により、入力ポートR1から出力ポートA1への経路を開通させた状態と、入力ポートP1から出力ポートA1への経路を開通させた状態とを切り換える。真空バルブ71の入力ポートR1は真空ポンプ73に、入力ポートP2はブローバルブ75の出力ポートA2に、出力ポートA1は流量センサ69に通じる出力経路に、それぞれ接続される。真空ポンプ73は、負の圧力(真空)を発生させる。 The vacuum valve 71 has two input ports R1 and P1, and an output port A1. The vacuum valve 71 is a 3-port, 2-position normally open directional switching valve operated by a solenoid valve and a return spring. In the vacuum valve 71, the input port R1 and the output port A1, which are normally connected in a non-energized state, are at a vacuum pressure. The vacuum valve 71 switches between a state in which a path from the input port R1 to the output port A1 is opened and a state in which a path from the input port P1 to the output port A1 is opened in response to a selection signal from the outside. The input port R1 of the vacuum valve 71 is connected to the vacuum pump 73, the input port P2 is connected to the output port A2 of the blow valve 75, and the output port A1 is connected to an output path leading to the flow rate sensor 69. Vacuum pump 73 generates negative pressure (vacuum).

ブローバルブ75は、2つの入力ポートR2および入力ポートP2と、出力ポートA2とを有する。ブローバルブ75は、電磁弁とリターンスプリングにより作動する3ポート2位置のノーマルオープンの方向切換弁となる。つまり、ブローバルブ75は、上記の真空バルブ71と同一構造となる。ブローバルブ75は、通常、非通電でつながる入力ポートR2と出力ポートA2とが大気圧となる。ブローバルブ75は外部からの選択信号により、入力ポートR2から出力ポートA2への経路を開通させた状態と、入力ポートP2から出力ポートA2への経路を開通させた状態を切り換える。ブローバルブ75の入力ポートP2はエア供給源77に、入力ポートR2は大気供給源79(図7参照)に、出力ポートA2は真空バルブ71の入力ポートP1に、それぞれ接続される。エア供給源77は、正圧空気を供給する。大気供給源79は、大気圧の空気を供給する。なお、大気供給源79は、ブローバルブ75の入力ポートR2を開放状態にすることによっても実現することができる。 Blow valve 75 has two input ports R2 and P2, and an output port A2. The blow valve 75 is a 3-port, 2-position normally open directional switching valve operated by a solenoid valve and a return spring. That is, the blow valve 75 has the same structure as the vacuum valve 71 described above. In the blow valve 75, the input port R2 and the output port A2, which are normally connected in a non-energized state, are at atmospheric pressure. The blow valve 75 switches between a state in which the path from the input port R2 to the output port A2 is opened and a state in which the path from the input port P2 to the output port A2 is opened in response to a selection signal from the outside. The input port P2 of the blow valve 75 is connected to the air supply source 77, the input port R2 is connected to the atmospheric supply source 79 (see FIG. 7), and the output port A2 is connected to the input port P1 of the vacuum valve 71. Air supply source 77 supplies positive pressure air. Atmospheric supply source 79 supplies air at atmospheric pressure. Note that the atmospheric supply source 79 can also be realized by opening the input port R2 of the blow valve 75.

本明細書において、空圧発生源67とは、真空ポンプ73と、エア供給源77とを総称するものとする。 In this specification, the air pressure generation source 67 refers to the vacuum pump 73 and the air supply source 77 collectively.

部品搭載装置11では、真空バルブ71およびブローバルブ75にノーマルオープンの方向切換弁を用いることにより、電源遮断時にゴムパッド51の真空が維持される対策(いわゆるフェイルセーフ)が採られている。これにより、部品搭載装置11では、不意の電源遮断時においても部品23を吸着したままとし、部品23の落下が防止できる。 In the component mounting apparatus 11, a normally open directional switching valve is used for the vacuum valve 71 and the blow valve 75 to maintain the vacuum of the rubber pad 51 when the power is cut off (so-called fail-safe). Thereby, the component mounting device 11 can keep the component 23 suctioned even when the power is unexpectedly cut off, and can prevent the component 23 from falling.

ブローバルブ75の入力ポートP2には、清掃バルブ81の出力ポートA3が接続される。清掃バルブ81は、2つの入力ポートR3および入力ポートP3と、出力ポートA3とを有する。清掃バルブ81は、電磁弁とリターンスプリングにより作動する3ポート2位置のノーマルオープンの方向切換弁となる。つまり、清掃バルブ81は、上記の真空バルブ71と同一構造となる。清掃バルブ81は、通常、非通電でつながる入力ポートR3と出力ポートA3とがブロー圧となる。清掃バルブ81の入力ポートR3は、真空破壊減圧弁83を介してエア供給源77に接続される。真空破壊減圧弁83は、エア供給源77から送られる圧縮空気を減圧して所定の真空破壊圧に調整する。清掃バルブ81の入力ポートP3は、清掃ブロー減圧弁85を介してエア供給源77に接続される。清掃ブロー減圧弁85は、エア供給源77から送られる圧縮空気を減圧して所定の清掃ブロー圧に調整する。 The input port P2 of the blow valve 75 is connected to the output port A3 of the cleaning valve 81. Cleaning valve 81 has two input ports R3 and P3, and an output port A3. The cleaning valve 81 is a 3-port, 2-position normally open directional switching valve operated by a solenoid valve and a return spring. That is, the cleaning valve 81 has the same structure as the vacuum valve 71 described above. In the cleaning valve 81, the input port R3 and the output port A3, which are normally connected in a non-energized state, are at blow pressure. The input port R3 of the cleaning valve 81 is connected to the air supply source 77 via the vacuum break pressure reducing valve 83. The vacuum break pressure reducing valve 83 reduces the pressure of compressed air sent from the air supply source 77 and adjusts it to a predetermined vacuum break pressure. Input port P3 of cleaning valve 81 is connected to air supply source 77 via cleaning blow pressure reducing valve 85. The cleaning blow pressure reducing valve 85 reduces the pressure of compressed air sent from the air supply source 77 and adjusts it to a predetermined cleaning blow pressure.

真空破壊減圧弁83は、例えば0.01MPa(10kPa)の真空破壊減圧に設定される。清掃ブロー減圧弁85は、例えば0.14MPa(140kPa)の清掃ブロー圧に設定される。 The vacuum break pressure reducing valve 83 is set to a vacuum break pressure of 0.01 MPa (10 kPa), for example. The cleaning blow pressure reducing valve 85 is set to a cleaning blow pressure of, for example, 0.14 MPa (140 kPa).

図6は、吸着ノズル33の状態と各バルブの動作との関係の一例を示す相関図である。吸着ノズル33は、真空バルブ71、ブローバルブ75、清掃バルブ81がON・OFF制御されることにより、吸着・装着が制御される。真空バルブ71とブローバルブ75は、搭載ヘッド25側で制御される。清掃バルブ81は、装置本体(つまり部品搭載装置11の本体)側で制御される。吸着ノズル33は、真空時、真空バルブ71がOFF制御される。吸着ノズル33は、大気開放時、真空バルブ71がON、ブローバルブ75がOFF制御される。吸着ノズル33は、真空破壊時、真空バルブ71がON、ブローバルブ75がON、清掃バルブ81がOFF制御される。吸着ノズル33は、清掃ブロー時、真空バルブ71がON、ブローバルブ75がON、清掃バルブ81がON制御される。吸着ノズル33は、吸着時、大気開放から真空となる。吸着ノズル33は、装着時、真空破壊から大気開放となる。 FIG. 6 is a correlation diagram showing an example of the relationship between the state of the suction nozzle 33 and the operation of each valve. The suction/attachment of the suction nozzle 33 is controlled by ON/OFF control of the vacuum valve 71, the blow valve 75, and the cleaning valve 81. The vacuum valve 71 and the blow valve 75 are controlled on the mounting head 25 side. The cleaning valve 81 is controlled by the device main body (that is, the main body of the component mounting device 11). When the suction nozzle 33 is under vacuum, the vacuum valve 71 is controlled to be turned off. When the suction nozzle 33 is opened to the atmosphere, the vacuum valve 71 is controlled to be ON and the blow valve 75 is controlled to be OFF. When the vacuum is broken, the suction nozzle 33 is controlled so that the vacuum valve 71 is turned on, the blow valve 75 is turned on, and the cleaning valve 81 is turned off. During cleaning blowing, the suction nozzle 33 is controlled so that the vacuum valve 71 is turned on, the blow valve 75 is turned on, and the cleaning valve 81 is turned on. At the time of suction, the suction nozzle 33 is opened to the atmosphere and becomes a vacuum. When the suction nozzle 33 is installed, the vacuum is broken and the suction nozzle 33 is opened to the atmosphere.

搭載ヘッド25には複数(図2の例では12個)の吸着ノズル33が設けられる。搭載ヘッド25には、それぞれの吸着ノズル33に応じて真空バルブ71およびブローバルブ75が設けられている。また、部品搭載装置11は、基台13を支持する架台87に、空圧発生源67(真空ポンプ73およびエア供給源77)と、清掃バルブ81と、真空破壊減圧弁83と、清掃ブロー減圧弁85とが設けられている。それぞれの真空バルブ71の入力ポートR1は、負圧分岐管路89により真空ポンプ73に接続される。それぞれのブローバルブ75の入力ポートP2は、正圧分岐管路91により清掃バルブ81の出力ポートA3に接続されている。実施の形態1では、吸着ノズル33が12個である12ノズルヘッドの場合を例示しているが、3ノズルヘッド、16ノズルヘッドの場合も基本的な空圧回路は同様に構成される。なお、実施の形態1の部品搭載装置11では、清掃ブロー減圧弁85の出力ポートが、他ビームへと分配接続されている。 The mounting head 25 is provided with a plurality of suction nozzles 33 (twelve in the example of FIG. 2). The mounting head 25 is provided with a vacuum valve 71 and a blow valve 75 corresponding to each suction nozzle 33 . The component mounting device 11 also includes a pneumatic pressure generation source 67 (vacuum pump 73 and air supply source 77), a cleaning valve 81, a vacuum break pressure reducing valve 83, and a cleaning blow pressure reducing valve 87 on a pedestal 87 that supports the base 13. A valve 85 is provided. The input port R1 of each vacuum valve 71 is connected to the vacuum pump 73 by a negative pressure branch line 89. The input port P2 of each blow valve 75 is connected to the output port A3 of the cleaning valve 81 by a positive pressure branch line 91. In the first embodiment, a case of a 12-nozzle head with 12 suction nozzles 33 is illustrated, but the basic pneumatic circuit is configured in the same way in the case of a 3-nozzle head and a 16-nozzle head. In the component mounting apparatus 11 of the first embodiment, the output ports of the cleaning blow pressure reducing valve 85 are connected to other beams in a distributed manner.

図7は、図1に示した部品搭載装置11の制御系の構成を示すブロック図である。部品搭載装置11は、制御部(装置制御部93)、記憶部(装置記憶部95)、基板搬送部15、部品供給部19、搭載ヘッド25、ヘッド移動機構35、部品認識カメラ37、基板認識カメラ41、真空ポンプ73、エア供給源77、大気供給源79、入力部97、表示部99、報知手段である報知部101を備えている。搭載ヘッド25は、ノズル駆動部43、ノズル制御部103を備えている。ノズル制御部103は、バルブ制御部105、判定部107、バルブ記憶部109を備えており、流量センサ69、真空バルブ71、ブローバルブ75、清掃バルブ81が接続されている。 FIG. 7 is a block diagram showing the configuration of a control system of the component mounting apparatus 11 shown in FIG. 1. The component mounting device 11 includes a control section (device control section 93), a storage section (device storage section 95), a board transport section 15, a component supply section 19, a mounting head 25, a head movement mechanism 35, a component recognition camera 37, and a board recognition unit. It includes a camera 41, a vacuum pump 73, an air supply source 77, an atmospheric supply source 79, an input section 97, a display section 99, and a notification section 101 as a notification means. The mounting head 25 includes a nozzle drive section 43 and a nozzle control section 103. The nozzle control unit 103 includes a valve control unit 105, a determination unit 107, and a valve storage unit 109, and is connected to a flow rate sensor 69, a vacuum valve 71, a blow valve 75, and a cleaning valve 81.

装置制御部93はCPU(Central Processing Unit)等のプロセッサにより構成される演算処理装置であり、内部処理機能として実装制御部111、異常処理部113を備えている。また、装置制御部93は、装置記憶部95に基づいて、ゴムパッド51を特定領域61に当接させるよう制御する。 The device control unit 93 is an arithmetic processing unit constituted by a processor such as a CPU (Central Processing Unit), and includes a mounting control unit 111 and an abnormality processing unit 113 as internal processing functions. Furthermore, the device control section 93 controls the rubber pad 51 to contact the specific area 61 based on the device storage section 95 .

装置記憶部95はHDD(Hard Disk Drive)等の記憶装置であり、実装データ115、バルブ制御データ117、判定制御データ119などを記憶する。また、装置記憶部95は、部品搭載装置11の特定領域61を記憶する。 The device storage unit 95 is a storage device such as an HDD (Hard Disk Drive), and stores mounting data 115, valve control data 117, determination control data 119, and the like. The device storage unit 95 also stores the specific area 61 of the component mounting device 11.

実装データ115には、基板17に実装されるべき部品23の実装位置、実装される部品23の種類(部品名)などの情報が含まれる。 The mounting data 115 includes information such as the mounting position of the component 23 to be mounted on the board 17 and the type (component name) of the component 23 to be mounted.

実装制御部111は、実装データ115に基づいて、基板搬送部15、部品供給部19、搭載ヘッド25、ノズル駆動部43、ヘッド移動機構35を制御して、吸着ノズル33による基板17への部品23の実装を制御する。 The mounting control unit 111 controls the board transport unit 15, the component supply unit 19, the mounting head 25, the nozzle drive unit 43, and the head moving mechanism 35 based on the mounting data 115, and removes the components from the suction nozzle 33 onto the board 17. Controls the implementation of 23.

バルブ制御データ117には、吸着ノズル33が真空吸着した部品23を基板17に搭載する際に、バルブ制御部105が真空バルブ71、ブローバルブ75、清掃バルブ81を切り換えるタイミング情報などが記憶されている。 The valve control data 117 stores information such as timing when the valve control unit 105 switches the vacuum valve 71, the blow valve 75, and the cleaning valve 81 when mounting the component 23 vacuum-sucked by the suction nozzle 33 on the substrate 17. There is.

判定制御データ119には、ノズル制御部103の判定部107により流量センサ69の計測結果を判定するタイミング情報、計測した空気の流量が正常であるか否かを判定するための閾値である判定流量値Ftなどが記憶されている。 The determination control data 119 includes timing information for determining the measurement result of the flow rate sensor 69 by the determination unit 107 of the nozzle control unit 103, and a determination flow rate that is a threshold value for determining whether the measured air flow rate is normal. Value Ft etc. are stored.

バルブ制御データ117のタイミング情報、判定制御データ119のタイミング情報、判定流量値Ftは、搭載ヘッド25の種類(ノズルユニット31の数など)、搭載ヘッド25の装着される吸着ノズル33の種類、吸着ノズル33に装着されるゴムパッド51の種類に応じた値が、実験あるいは経験に基づいて予め決定されている。そして、部品搭載装置11に装着される搭載ヘッド25の種類、ノズルユニット31に装着される吸着ノズル33の種類、ゴムパッド51の種類など、部品搭載装置11の構成に対応する各種データが、バルブ制御データ117、判定制御データ119からノズル制御部103が備えるバルブ記憶部109に転送されて予め記憶される。 The timing information of the valve control data 117, the timing information of the determination control data 119, and the determination flow rate value Ft are based on the type of mounting head 25 (number of nozzle units 31, etc.), the type of suction nozzle 33 to which the mounting head 25 is attached, and the suction A value corresponding to the type of rubber pad 51 attached to the nozzle 33 is determined in advance based on experiment or experience. Various data corresponding to the configuration of the component mounting device 11, such as the type of the mounting head 25 mounted on the component mounting device 11, the type of suction nozzle 33 mounted on the nozzle unit 31, and the type of rubber pad 51, are used for valve control. The data 117 and the determination control data 119 are transferred to the valve storage unit 109 included in the nozzle control unit 103 and stored in advance.

真空バルブ71、ブローバルブ75および清掃バルブ81は、ノズル制御部103が備えるバルブ制御部105に接続されている。流量センサ69の計測結果は、ノズル制御部103が備える判定部107に入力される。ノズル制御部103が備えるバルブ記憶部109には、バルブ制御部105によって真空バルブ71とブローバルブ75と清掃バルブ81の状態を切り換えるタイミング情報、判定部107によって流量センサ69が計測した空気の流量が正常であるか否かを判定するタイミング情報と判定流量値Ftとが記憶されている。ノズル制御部103は搭載ヘッド25に配設され、搭載ヘッド25を結合プレート39に取り付けた状態で、装置制御部93と接続される。 The vacuum valve 71, the blow valve 75, and the cleaning valve 81 are connected to a valve control section 105 included in the nozzle control section 103. The measurement result of the flow rate sensor 69 is input to the determination unit 107 included in the nozzle control unit 103. The valve storage unit 109 included in the nozzle control unit 103 stores timing information for switching the states of the vacuum valve 71, blow valve 75, and cleaning valve 81 by the valve control unit 105, and the flow rate of air measured by the flow rate sensor 69 by the determination unit 107. Timing information and a determination flow rate value Ft for determining whether or not it is normal are stored. The nozzle control section 103 is disposed on the mounting head 25 and is connected to the device control section 93 with the mounting head 25 attached to the coupling plate 39 .

バルブ制御部105が真空バルブ71を制御して、入力ポートR1から出力ポートA1への経路を開通させた状態にすると、真空ポンプ73が流量センサ69を介して吸着ノズル33と連通し、吸着ノズル33は下端部の吸着保持面49に開口するノズル開口55から真空吸引する。すなわち、真空ポンプ73は、吸着ノズル33から真空吸引する真空吸引手段となる。 When the valve control unit 105 controls the vacuum valve 71 to open the path from the input port R1 to the output port A1, the vacuum pump 73 communicates with the suction nozzle 33 via the flow rate sensor 69, and the suction nozzle 33 performs vacuum suction through a nozzle opening 55 that opens in the suction holding surface 49 at the lower end. That is, the vacuum pump 73 serves as a vacuum suction means for sucking vacuum from the suction nozzle 33.

吸着保持面49に部品23が当接している状態で吸着ノズル33から真空吸引すると、吸着ノズル33によって部品23が真空吸着される。この時、流量センサ69が計測する空気の流量Fは、ほぼゼロに近い小さな値となる(図10参照)。吸着保持面49に部品23が当接していない状態で吸着ノズル33から真空吸引すると、吸着ノズル33より外気(空気)が吸引される。また、ゴムパッド51が破れ・変形・磨耗等により不良となっている場合、内方空間に外気が流入し、流量センサ69が計測する空気の流量Fは正常な真空吸着のときに比べ大きくなる(図10参照)。 When vacuum suction is applied from the suction nozzle 33 while the component 23 is in contact with the suction holding surface 49, the component 23 is vacuum suctioned by the suction nozzle 33. At this time, the air flow rate F measured by the flow rate sensor 69 becomes a small value close to zero (see FIG. 10). When vacuum suction is performed from the suction nozzle 33 in a state where the component 23 is not in contact with the suction holding surface 49, outside air (air) is suctioned from the suction nozzle 33. Additionally, if the rubber pad 51 is defective due to tearing, deformation, wear, etc., outside air will flow into the inner space, and the air flow rate F measured by the flow rate sensor 69 will be larger than during normal vacuum suction ( (See Figure 10).

バルブ制御部105が真空バルブ71を制御して入力ポートP1から出力ポートA1への経路を開通させ、ブローバルブ75を制御して入力ポートP2から出力ポートA2への経路を開通させた状態にすると、エア供給源77が流量センサ69を介して吸着ノズル33と連通し、吸着ノズル33から正圧空気が吐出される。すなわち、エア供給源77は、吸着ノズル33から正圧空気を吐出させるエアブロー手段となる。この時、流量センサ69によって、正の空気の流量Fが計測される。 When the valve control unit 105 controls the vacuum valve 71 to open the path from the input port P1 to the output port A1, and controls the blow valve 75 to open the path from the input port P2 to the output port A2. , the air supply source 77 communicates with the suction nozzle 33 via the flow rate sensor 69, and positive pressure air is discharged from the suction nozzle 33. That is, the air supply source 77 serves as an air blowing means for discharging positive pressure air from the suction nozzle 33. At this time, the flow rate F of positive air is measured by the flow rate sensor 69.

バルブ制御部105が真空バルブ71を制御して入力ポートP1から出力ポートA1への経路を開通させ、ブローバルブ75を制御して入力ポートR2から出力ポートA2への経路を開通させた状態にすると、大気供給源79が流量センサ69を介して吸着ノズル33と連通し、吸着ノズル33が大気圧となる。この時、流量センサ69が計測する空気の流量Fは、ほぼゼロとなる。 When the valve control unit 105 controls the vacuum valve 71 to open the path from the input port P1 to the output port A1, and controls the blow valve 75 to open the path from the input port R2 to the output port A2. , the atmospheric supply source 79 communicates with the suction nozzle 33 via the flow rate sensor 69, and the suction nozzle 33 becomes at atmospheric pressure. At this time, the air flow rate F measured by the flow rate sensor 69 becomes almost zero.

このように、真空バルブ71とブローバルブ75は、真空ポンプ73とエア供給源77と大気供給源79とを選択的に吸着ノズル33に接続させる切換手段となる。そして、流量センサ69は、この切換手段(真空バルブ71、ブローバルブ75、清掃バルブ81)と吸着ノズル33とを接続する吸引・エアブロー回路に介設され、吸引・エアブロー回路を通過する空気の流量Fを正逆2方向で計測する。 In this manner, the vacuum valve 71 and the blow valve 75 serve as switching means for selectively connecting the vacuum pump 73, the air supply source 77, and the atmospheric supply source 79 to the suction nozzle 33. The flow rate sensor 69 is interposed in the suction/air blow circuit that connects the switching means (vacuum valve 71, blow valve 75, cleaning valve 81) and the suction nozzle 33, and is connected to the flow rate sensor 69, which is connected to the suction/air blow circuit that connects the switching means (vacuum valve 71, blow valve 75, cleaning valve 81) and the suction nozzle 33. Measure F in two directions: forward and reverse.

判定部107は、例えば比較器を含んで構成されており、流量センサ69が計測した空気の流量Fとバルブ記憶部109が記憶する判定流量値Ftを比較して、空気の流量Fが判定流量値Ftを超えたか否かを判定する。つまり、判定部107は、流量Fに基づいてゴムパッド51が不良か否かを判定する。判定部107が判定するタイミングは、バルブ記憶部109が記憶するタイミング情報に基づいて、バルブ制御部105によって制御される。判定部107による判定結果は、バルブ制御部105を介して装置制御部93に送信される。部品搭載装置11は、判定部107に基づきゴムパッド51が不良であると判定された場合には、不良である旨を報知部101に報知する。 The determination unit 107 includes, for example, a comparator, and compares the air flow rate F measured by the flow rate sensor 69 with the determination flow rate value Ft stored in the valve storage unit 109, so that the air flow rate F becomes the determination flow rate. It is determined whether the value Ft has been exceeded. That is, the determination unit 107 determines whether the rubber pad 51 is defective based on the flow rate F. The timing determined by the determination unit 107 is controlled by the valve control unit 105 based on timing information stored in the valve storage unit 109. The determination result by the determination unit 107 is transmitted to the device control unit 93 via the valve control unit 105. If the rubber pad 51 is determined to be defective based on the determination section 107, the component mounting apparatus 11 notifies the notification section 101 that the rubber pad 51 is defective.

次に、ゴムパッド51の不良の有無を判定する具体的な手順を説明する。 Next, a specific procedure for determining whether or not the rubber pad 51 is defective will be explained.

図8は、実施の形態1に係る部品搭載装置11によるゴムパッド51の判定方法を示すフローチャートである。図8に示す各処理は、主に装置制御部93による制御の下で実行される。 FIG. 8 is a flowchart showing a method for determining the rubber pad 51 by the component mounting apparatus 11 according to the first embodiment. Each process shown in FIG. 8 is mainly executed under the control of the device control section 93.

図8において、部品搭載装置11では、メンテナンス時等に、吸着ノズル33に装着されたゴムパッド51の不良チェックが開始される(St1)。不良チェックが開始されると、装置制御部93は、先ず、チェック位置となる例えばコンベヤレール、補正ポスト等の平坦な検査面(特定領域61)の上方へ、チェック対象であるゴムパッド51が装着された吸着ノズル33を移動させる(St2)。 In FIG. 8, in the component mounting apparatus 11, a defect check of the rubber pad 51 attached to the suction nozzle 33 is started during maintenance or the like (St1). When a defect check is started, the device control unit 93 first attaches the rubber pad 51 to be checked above a flat inspection surface (specific area 61) such as a conveyor rail or correction post, which is a check position. The suction nozzle 33 is moved (St2).

次いで、装置制御部93は、チェックする吸着ノズル33で高さを計測する。装置制御部93は、高さの計測の際に、吸着ノズル33を検査面に向かって下降させる(St3)。装置制御部93は、吸着ノズル33の吸着保持面49が検査面に接触(図9のt0)したかを当接センサ63により検出する(St4)。吸着保持面49が検査面に接触した後、装置制御部93は、吸着ノズル33の吸着保持面49を検査面から所定の高さ(すなわち、パッド出代G分)まで上昇させる(St5)。この際、当接センサ63(つまりクッションエンドセンサ)による高さ計測機能が利用される。 Next, the device control unit 93 measures the height of the suction nozzle 33 to be checked. When measuring the height, the device control unit 93 lowers the suction nozzle 33 toward the inspection surface (St3). The device control unit 93 uses the contact sensor 63 to detect whether the suction holding surface 49 of the suction nozzle 33 has contacted the inspection surface (t0 in FIG. 9) (St4). After the suction holding surface 49 comes into contact with the inspection surface, the device control unit 93 raises the suction holding surface 49 of the suction nozzle 33 to a predetermined height (that is, pad protrusion amount G) above the inspection surface (St5). At this time, the height measurement function of the contact sensor 63 (that is, cushion end sensor) is utilized.

検出高さへの吸着ノズル33の移動が完了した後、装置制御部93は、チェックする吸着ノズル33の真空をONする(St6)。 After the movement of the suction nozzle 33 to the detection height is completed, the device control unit 93 turns on the vacuum of the suction nozzle 33 to be checked (St6).

装置制御部93は、真空の安定する時間(図9のt2-t1)を待ち、搭載ヘッド25に設けられた流量センサ69で流量Fを計測する(St7)。 The device control unit 93 waits for the time when the vacuum becomes stable (t2-t1 in FIG. 9), and then measures the flow rate F with the flow rate sensor 69 provided on the mounting head 25 (St7).

装置制御部93は、計測した流量Fからノズル不良判定を実施する。ノズル不良判定では、流量Fが閾値(図10に示す判定流量値Ft)より大きいか否かが判定される。流量F>判定流量値Ftとなった場合、装置制御部93は、ノズル不良と判定する(St9)。ノズル不良の場合には真空漏れ(図9に示す外気流入)が発生するため、装置制御部93は、流量Fを検出することにより不良が判定可能となる。正常時(判定流量値Ft)と不良時(流量F)の流量差で判定できる。一方、流量Fが判定流量値Ftよりも小さい場合には、装置制御部93は、ゴムパッド51が正常であることを判定し(St10)、チェックを終了する。 The device control unit 93 determines whether the nozzle is defective based on the measured flow rate F. In the nozzle defect determination, it is determined whether the flow rate F is larger than a threshold value (determination flow rate value Ft shown in FIG. 10). When the flow rate F>judgment flow rate value Ft, the device control unit 93 determines that the nozzle is defective (St9). If the nozzle is defective, a vacuum leak (inflow of outside air shown in FIG. 9) will occur, so the device control unit 93 can determine the defect by detecting the flow rate F. Judgment can be made based on the difference in flow rate between the normal state (judgment flow rate value Ft) and the defective state (flow rate F). On the other hand, if the flow rate F is smaller than the determined flow rate value Ft, the device control unit 93 determines that the rubber pad 51 is normal (St10), and ends the check.

次に、実施の形態1に係る部品搭載装置11の作用を説明する。 Next, the operation of the component mounting device 11 according to the first embodiment will be explained.

実施の形態1に係る部品搭載装置11は、搭載ヘッド25に備えた吸着ノズル33の真空吸着により部品供給部19からピックアップされた部品23を基板17に搭載する部品搭載装置11である。この部品搭載装置11は、吸着ノズル33において部品23を吸着する側の先端部53に設けられたノズル開口55に管路を通じて接続される空圧発生源67と、ノズル開口55の周囲に設けられ、部品23と当接する当接部材(例えばゴムパッド51)と、部品搭載装置11の特定領域61を少なくとも記憶する記憶部(例えば装置記憶部95)と、記憶部に基づいて、ゴムパッド51を特定領域61に当接させるよう制御する制御部(例えば装置制御部93)と、ゴムパッド51を特定領域61と当接させたときの管路の流量Fを計測する流量センサ69と、流量Fに基づいてゴムパッド51が不良かを判定する判定部107と、を備える。 The component mounting device 11 according to the first embodiment is a component mounting device 11 that mounts a component 23 picked up from a component supply section 19 onto a substrate 17 by vacuum suction of a suction nozzle 33 provided in a mounting head 25. This component mounting device 11 includes a pneumatic generation source 67 connected through a pipe to a nozzle opening 55 provided at the tip 53 of the suction nozzle 33 on the side where the component 23 is suctioned, and a pneumatic pressure generation source 67 provided around the nozzle opening 55. , a contact member (e.g., rubber pad 51) that contacts the component 23, a storage section (e.g., device storage section 95) that stores at least the specific area 61 of the component mounting device 11; 61, a flow rate sensor 69 that measures the flow rate F of the pipe when the rubber pad 51 is brought into contact with the specific area 61, and A determination unit 107 that determines whether the rubber pad 51 is defective is provided.

実施の形態1に係る部品搭載装置11では、搭載ヘッド25に設けられた吸着ノズル33により部品23が真空吸着される。吸着ノズル33は、先端部53に、部品23を吸着するためのノズル開口55が開口する。ノズル開口55は、管路を通じて空圧発生源67に接続される。なお、空圧発生源67は、負圧を発生させる真空ポンプ73と、正圧を発生させるコンプレッサとを含む。 In the component mounting apparatus 11 according to the first embodiment, the component 23 is vacuum-suctioned by the suction nozzle 33 provided on the mounting head 25 . The suction nozzle 33 has a nozzle opening 55 at its tip 53 for suctioning the component 23 . The nozzle opening 55 is connected to a pneumatic pressure source 67 through a conduit. Note that the air pressure generation source 67 includes a vacuum pump 73 that generates negative pressure and a compressor that generates positive pressure.

ノズル開口55の周囲には、部品23と当接するゴムパッド51が設けられる。部品搭載装置11は、記憶部により、ゴムパッド51を接触させる装置内における特定領域61の位置が記憶されている。すなわち、部品搭載装置11では、メンテナンス時等、ゴムパッド51の検査が行われる際に、ゴムパッド51がこの特定領域61に配置される。そして、部品搭載装置11は、制御部によりゴムパッド51を特定領域61に当接させるよう制御する。 A rubber pad 51 that comes into contact with the component 23 is provided around the nozzle opening 55 . In the component mounting apparatus 11, the position of the specific area 61 within the apparatus with which the rubber pad 51 is brought into contact is stored in the storage section. That is, in the component mounting apparatus 11, the rubber pad 51 is placed in this specific area 61 when the rubber pad 51 is inspected during maintenance or the like. The component mounting device 11 then controls the rubber pad 51 to come into contact with the specific area 61 using the control unit.

部品搭載装置11では、ゴムパッド51が特定領域61に当接した状態で、ノズル開口55を通過する空気の流量Fが流量センサ69により計測される。流量センサ69は、搭載ヘッド25に設けられる吸着ノズル33のノズル開口55と、同じく搭載ヘッド25に設けられる真空バルブ71との間に介装される。なお、流量センサ69は、ノズル開口55から空気を吸引する際の流量F、およびノズル開口55から空気を吹き出す際の流量Fの双方を計測可能としている。流量センサ69は、計測時点での流量Fを検出するもの、所定時間内の流量を積算して検出するもののいずれであってもよい。また、検出方式は、差圧式、電磁式、熱式、超音波式のいずれであってもよい。 In the component mounting apparatus 11, the flow rate F of air passing through the nozzle opening 55 is measured by the flow rate sensor 69 while the rubber pad 51 is in contact with the specific area 61. The flow rate sensor 69 is interposed between the nozzle opening 55 of the suction nozzle 33 provided on the mounting head 25 and the vacuum valve 71 also provided on the mounting head 25. Note that the flow rate sensor 69 is capable of measuring both the flow rate F when air is sucked through the nozzle opening 55 and the flow rate F when air is blown out from the nozzle opening 55. The flow rate sensor 69 may be one that detects the flow rate F at the time of measurement or one that integrates and detects the flow rate within a predetermined period of time. Further, the detection method may be a differential pressure method, an electromagnetic method, a thermal method, or an ultrasonic method.

流量センサ69により計測された流量Fの値は、判定部107によってゴムパッド51が不良か否かを判定する際のパラメータ(例えば流量F)として利用される。判定部107は、流量Fが予め設定した判定流量値Ftよりも大きい場合(流量F>判定流量値Ft)、不良の判定を行う。 The value of the flow rate F measured by the flow rate sensor 69 is used as a parameter (for example, the flow rate F) when the determination unit 107 determines whether or not the rubber pad 51 is defective. The determination unit 107 determines that the flow rate is defective when the flow rate F is larger than a preset determination flow rate value Ft (flow rate F>determination flow rate value Ft).

このように、部品搭載装置11では、メンテナンス時等に、ゴムパッド51のチェックが行われると、装置内の特定領域61に、ノズル開口55の周囲に設けられたゴムパッド51が当接される。ゴムパッド51は、特定領域61に当接することにより、正常な場合、内方空間が密閉された状態となる。この状態で、空圧発生源67により、ゴムパッド51の内方空間に負圧または正圧が加えられる。破れ・変形・磨耗等の無いゴムパッド51では、ゴムパッド51の内方空間に対する空気の吸引時の流量Fまたは供給時の流量Fが判定流量値Ftの範囲内となる。この際の流量Fは、流量センサ69により計測される。 In this way, in the component mounting device 11, when the rubber pad 51 is checked during maintenance or the like, the rubber pad 51 provided around the nozzle opening 55 comes into contact with a specific area 61 within the device. When the rubber pad 51 comes into contact with the specific area 61, the inner space is in a sealed state under normal conditions. In this state, negative pressure or positive pressure is applied to the inner space of the rubber pad 51 by the air pressure generation source 67. In the rubber pad 51 without tearing, deformation, wear, etc., the flow rate F when air is sucked or the flow rate F when air is supplied to the inner space of the rubber pad 51 is within the range of the determined flow rate value Ft. The flow rate F at this time is measured by the flow rate sensor 69.

ゴムパッド51は、破れ・変形・磨耗等の無い正常な場合、外気の流入や過剰な漏れが発生しないため、流量Fが判定流量値Ftの範囲となり、判定部107により不良でないと判定される。 When the rubber pad 51 is normal without tearing, deformation, wear, etc., no inflow of outside air or excessive leakage occurs, so the flow rate F falls within the range of the determination flow rate value Ft, and the determination unit 107 determines that it is not defective.

一方、ゴムパッド51は、破れ・変形・磨耗等が発生している場合、外気の流入や過剰な漏出が発生する。このため、流量Fは、判定流量値Ftの範囲外となり、判定部107によりゴムパッド51の不良が判定される。 On the other hand, if the rubber pad 51 is torn, deformed, worn, etc., outside air may enter or excessively leak. Therefore, the flow rate F falls outside the range of the determined flow rate value Ft, and the determination unit 107 determines that the rubber pad 51 is defective.

これにより、部品搭載装置11では、実装不良や吸着・装着エラー等の結果によらず、直接的にゴムパッド51の不具合を発見することができる。その結果、部品搭載装置11は、吸着エラー、吸着ズレ、部品落下、装着精度不良等の吸装着動作に生じる影響を抑制し、実装品質を向上させることができるようになる。 Thereby, in the component mounting apparatus 11, a defect in the rubber pad 51 can be directly discovered, regardless of the result of a mounting defect, a suction/mounting error, or the like. As a result, the component mounting device 11 is able to suppress the effects of suction errors, suction misalignment, component drops, poor placement accuracy, and the like that occur on the suction and placement operations, thereby improving the mounting quality.

また、この部品搭載装置11では、空圧発生源67が、真空ポンプ73である。 Further, in this component mounting apparatus 11, the air pressure generation source 67 is a vacuum pump 73.

図9は、ノズル位置に対する真空バルブ動作、パッド内圧およびノズル流量の変化を経時的に示す説明図である。この部品搭載装置11では、空圧発生源67が、真空ポンプ73となる。吸着ノズル33は、部品23を吸着保持する際、真空ポンプ73の負圧によりノズル開口55から吸引される空気の流量Fが流量センサ69によって計測される。 FIG. 9 is an explanatory diagram showing changes in vacuum valve operation, pad internal pressure, and nozzle flow rate with respect to nozzle position over time. In this component mounting apparatus 11, the air pressure generation source 67 is a vacuum pump 73. When the suction nozzle 33 holds the component 23 by suction, the flow rate F of air sucked from the nozzle opening 55 by the negative pressure of the vacuum pump 73 is measured by the flow rate sensor 69 .

なお、流量Fは、例えば吸引の場合、真空バルブ71が開かれる吸引開始時(t1)から流量が安定する時(t2)までの一定時間(t2-t1)の後(例えば100ms後)に流量センサ69の流量Fの値を読み取って得ることが望ましい。 Note that, in the case of suction, for example, the flow rate F is the flow rate after a certain period of time (t2-t1) from the start of suction (t1) when the vacuum valve 71 is opened to when the flow rate becomes stable (t2) (for example, after 100 ms). It is desirable to obtain the value of the flow rate F from the sensor 69 by reading it.

空圧発生源67による真空吸引が行われると、破れ・変形・磨耗等の無いゴムパッド51では、ゴムパッド51がさらに特定領域61に密着し、ゴムパッド51の内方から空気が吸引されて内圧が真空に近づく。この際のゴムパッド51の内方空間から吸引される空気の流量Fは、流量センサ69により計測される。 When vacuum suction is performed by the air pressure generation source 67, the rubber pad 51 further comes into close contact with the specific area 61 in the rubber pad 51 that is not torn, deformed, or worn, and air is sucked from inside the rubber pad 51, reducing the internal pressure to a vacuum. approach. At this time, the flow rate F of air sucked from the inner space of the rubber pad 51 is measured by the flow rate sensor 69.

図10は、ノズル流量と正常値・異常値との関係の一例を示す相関図である。ゴムパッド51は、破れ・変形・磨耗等の無い正常な場合、外気の流入が発生しないので、内圧が真空に近づく。このため、流量Fは、吸引時間の経過とともに減少して行き、最終的にはゼロとなる(なお、ゼロとするか否かは装置設定に依存する)。そこで、流量センサ69は、内圧の真空が安定する時間待ち、真空が安定したなら、その時点(t2)での流量Fを計測する。ここで得られた流量Fの値が、判定流量値Ftよりも小さければ、外気の流入が生じていないと見なされ、判定部107によりゴムパッド51が不良でないと判定される。 FIG. 10 is a correlation diagram showing an example of the relationship between the nozzle flow rate and normal and abnormal values. When the rubber pad 51 is in a normal state without tearing, deformation, wear, etc., no outside air flows into the rubber pad 51, so the internal pressure approaches a vacuum. Therefore, the flow rate F decreases as the suction time passes, and finally reaches zero (note that whether or not it becomes zero depends on the device settings). Therefore, the flow rate sensor 69 waits for a period of time until the internal pressure is stabilized, and once the vacuum is stabilized, it measures the flow rate F at that time (t2). If the value of the flow rate F obtained here is smaller than the determination flow rate value Ft, it is considered that outside air is not flowing in, and the determination unit 107 determines that the rubber pad 51 is not defective.

一方、ゴムパッド51は、破れ・変形・磨耗等が発生している場合、外気の流入(図9に示す外気流入)が発生するので、内圧が下がりきらず、真空に至りにくい。このため、流量Fは、吸引時間が経過しても減少せず、ゼロとなりにくい。流量センサ69は、本来、内圧の真空が安定する時間待ち、その時点(t2)での流量Fを計測する。ここで得られた流量Fの値が、判定流量値Ftよりも大きい場合、外気の流入が生じていると見なされ、判定部107によりゴムパッド51が不良と判定される。 On the other hand, if the rubber pad 51 is torn, deformed, worn, etc., outside air will flow in (the outside air inflow shown in FIG. 9), so the internal pressure will not drop completely and it will be difficult to reach a vacuum. Therefore, the flow rate F does not decrease even after the suction time has elapsed, and does not easily reach zero. The flow rate sensor 69 originally waits for the internal pressure to become vacuum stable, and then measures the flow rate F at that time (t2). If the value of the flow rate F obtained here is larger than the determination flow rate value Ft, it is considered that outside air is flowing in, and the determination unit 107 determines that the rubber pad 51 is defective.

また、部品搭載装置11は、ゴムパッド51は特定領域61と当接する当接面59を有し、当接面59はノズル開口55の周囲に位置するよう形成される。 Further, in the component mounting device 11, the rubber pad 51 has a contact surface 59 that contacts the specific area 61, and the contact surface 59 is formed to be located around the nozzle opening 55.

また、この部品搭載装置11では、ゴムパッド51は、特定領域61に当接する当接面59を有する。当接面59は、ノズル開口55の周囲に位置するように形成される。円形状の当接面59は、特定領域61に当接することにより線接触して内方を閉鎖する。この密閉された内方には、ノズル開口55が開口することになる。従って、ゴムパッド51は、ノズル開口55から真空吸引がなされれば、パッド内圧が低下し、外側から大気圧により押されて弾性変形し、より高い密着力で特定領域61に吸着する。 Furthermore, in this component mounting device 11 , the rubber pad 51 has a contact surface 59 that contacts the specific area 61 . The contact surface 59 is formed to be located around the nozzle opening 55. The circular contact surface 59 makes line contact by contacting the specific area 61 and closes the inside. A nozzle opening 55 opens inside this sealed space. Therefore, when vacuum suction is applied to the rubber pad 51 from the nozzle opening 55, the internal pressure of the pad decreases, and the rubber pad 51 is elastically deformed by being pushed by atmospheric pressure from the outside, and is attracted to the specific area 61 with higher adhesion force.

逆に、ノズル開口55から真空破壊用の空気または清掃空気が供給されれば、特定領域61に接触している当接面59が弾性変形して特定領域61との間に間隙を形成し、その間隙から空気を排出する。部品搭載装置11では、この真空破壊用の空気または清掃空気を利用することによってもゴムパッド51のチェックが可能となる。 Conversely, when air for vacuum breaking or cleaning air is supplied from the nozzle opening 55, the contact surface 59 in contact with the specific area 61 is elastically deformed to form a gap with the specific area 61, Air is expelled from the gap. In the component mounting device 11, the rubber pad 51 can also be checked by using this vacuum breaking air or cleaning air.

また、部品搭載装置11は、先端部53が特定領域61に当接したか否かを検出する当接センサ63をさらに有する。制御部(例えば装置制御部93)は、先端部53が特定領域61に当接したことを当接センサ63により検出された場合に、先端部53を当接面59よりも上方に位置するようさらに制御する。 Furthermore, the component mounting device 11 further includes a contact sensor 63 that detects whether or not the tip portion 53 has contacted the specific region 61. The control unit (for example, the device control unit 93) positions the tip 53 above the contact surface 59 when the contact sensor 63 detects that the tip 53 has contacted the specific area 61. More control.

この部品搭載装置11では、吸着ノズル33が当接センサ63を有する。当接センサ63は、吸着ノズル33の先端部53が特定領域61に当接したかを検出する。吸着ノズル33は、ノズル開口55の周囲に、部品23と当接するゴムパッド51が設けられる。ゴムパッド51は、当接面59であるパッド先端面が、ノズル開口55が設けられる先端部53よりも部品23に接近する方向にパッド出代G分だけ突出する。つまり、吸着ノズル33は、部品吸着時、先ず、パッド先端が部品23に接触し、パッド出代G分だけゴムパッド51が圧縮方向に弾性変形してから、先端部53が部品23に接触する。ゴムパッド51は、部品23に最初に接触するパッド先端からノズル開口55までの高さ(ギャップ)がパッド出代Gとなる。 In this component mounting device 11, the suction nozzle 33 has a contact sensor 63. The contact sensor 63 detects whether the tip 53 of the suction nozzle 33 has contacted the specific area 61 . The suction nozzle 33 is provided with a rubber pad 51 around a nozzle opening 55 that comes into contact with the component 23 . In the rubber pad 51, a pad end surface, which is a contact surface 59, protrudes by a pad protrusion amount G in a direction closer to the component 23 than the end portion 53 where the nozzle opening 55 is provided. That is, when the suction nozzle 33 picks up a component, the pad tip first contacts the component 23, and after the rubber pad 51 is elastically deformed in the compression direction by the amount of pad protrusion G, the tip portion 53 comes into contact with the component 23. The height (gap) of the rubber pad 51 from the tip of the pad that first contacts the component 23 to the nozzle opening 55 is the pad protrusion G.

部品搭載装置11は、ゴムパッド51の判定時、先端部53が特定領域61に当接したことを当接センサ63が検出すると、制御部が先端部53を当接面59よりも上方に配置させる。この上方位置は、例えばパッド出代G分の距離となる。これにより、吸着ノズル33は、ゴムパッド51が変形しない状態でパッド先端面を特定領域61に接触させることになる。この状態で、上記のようにノズル開口55から真空吸引がなされれば、パッド内圧が低下し、パッド先端面が特定領域61に吸着し、逆に、ノズル開口55から真空破壊用の空気等が供給されれば、パッド先端面が弾性変形して特定領域61との間隙から空気を排出する。部品搭載装置11では、この際の空気の流量Fが流量センサ69により計測される。 In the component mounting device 11, when the contact sensor 63 detects that the tip portion 53 has contacted the specific area 61 when determining the rubber pad 51, the control unit positions the tip portion 53 above the contact surface 59. . This upper position is, for example, a distance corresponding to the pad protrusion G. Thereby, the suction nozzle 33 brings the tip end surface of the pad into contact with the specific region 61 while the rubber pad 51 is not deformed. In this state, if vacuum suction is performed from the nozzle opening 55 as described above, the internal pressure of the pad will decrease and the pad tip surface will stick to the specific area 61, and conversely, air for vacuum breaking etc. will be released from the nozzle opening 55. When supplied, the pad tip surface elastically deforms and discharges air from the gap with the specific region 61. In the component mounting device 11, the air flow rate F at this time is measured by the flow rate sensor 69.

これにより、部品搭載装置11では、変形等していない状態のゴムパッド51を判定することができる。その結果、ゴムパッド51は、圧縮変形することにより亀裂や孔、凹凸等の不具合箇所が塞がれることがなくなり、破れ・変形・磨耗等がより高精度に検知されるようになる。 Thereby, the component mounting device 11 can determine whether the rubber pad 51 is in a state that is not deformed or the like. As a result, the rubber pad 51 is compressed and deformed so that defects such as cracks, holes, and unevenness are not blocked, and tears, deformation, wear, etc. can be detected with higher accuracy.

また、部品搭載装置11では、ゴムパッド51の特定領域61に対する投影平面は、特定領域61の内側に位置する。 Furthermore, in the component mounting apparatus 11 , the projection plane of the rubber pad 51 with respect to the specific area 61 is located inside the specific area 61 .

この部品搭載装置11では、ゴムパッド51を特定領域61に投影して見た平面視において、ゴムパッド51の投影平面が特定領域61の内側となる。この配置は、記憶部に記憶された特定領域61の位置情報を制御部が参照しながら位置決め制御する。この位置決めにより、ゴムパッド51は、投影平面における輪郭の下面、すなわち、先端部53の当接面59であるパッド先端面が特定領域61からはみ出さないようになる。これにより、ゴムパッド51は、流量Fの計測時、パッド先端面の当接状態が安定して、空気の適切な吸引や吐出ができるようになる。 In this component mounting apparatus 11 , the projected plane of the rubber pad 51 is inside the specific area 61 in a plan view when the rubber pad 51 is projected onto the specific area 61 . This arrangement is controlled by the control section while referring to the position information of the specific area 61 stored in the storage section. This positioning ensures that the bottom surface of the contour of the rubber pad 51 in the projection plane, that is, the pad tip surface that is the contact surface 59 of the tip portion 53 does not protrude from the specific region 61 . As a result, when measuring the flow rate F, the rubber pad 51 maintains a stable contact state with its tip end surface, and can appropriately suck and discharge air.

また、部品搭載装置11では、特定領域61の表面は平坦である。 Further, in the component mounting apparatus 11, the surface of the specific area 61 is flat.

この部品搭載装置11では、特定領域61の表面が平坦となる。ゴムパッド51は、ノズル開口55を包囲するパッド先端面が、全周囲で特定領域61の平坦な表面へ均一に接することになる。これにより、ゴムパッド51は、パッド先端面の全周囲で均一な空気の吸引や吐出ができるようになる。 In this component mounting apparatus 11, the surface of the specific area 61 is flat. The tip end surface of the rubber pad 51 surrounding the nozzle opening 55 is in uniform contact with the flat surface of the specific region 61 around the entire circumference. Thereby, the rubber pad 51 can uniformly suck and discharge air around the entire circumference of the pad tip surface.

また、部品搭載装置11は、ゴムパッド51が不良であると判定部107により判定された場合に、ゴムパッド51が不良である旨を制御部(例えば装置制御部93)による制御の下で報知する報知手段(例えば報知部101)をさらに備える。 In addition, when the determination unit 107 determines that the rubber pad 51 is defective, the component mounting device 11 sends a notification that the rubber pad 51 is defective under the control of the control unit (for example, the device control unit 93). It further includes means (for example, a notification section 101).

この部品搭載装置11では、判定部107がゴムパッド51を不良と判定した場合、不良である旨が報知部101により報知される。報知部101は、例えば報知灯、フラッシュランプ、ブザーなどの他、装置の表示部99に表示させる報知画面とすることができ、ゴムパッド51の異常を作業者に報知する。これにより、部品搭載装置11は、実装不良や吸着・装着エラー等の発生を未然に、しかも、容易に抑制できるようになる。 In this component mounting apparatus 11, when the determining section 107 determines that the rubber pad 51 is defective, the notifying section 101 notifies that it is defective. The notification unit 101 can be, for example, a notification light, a flash lamp, a buzzer, etc., or a notification screen displayed on the display unit 99 of the device, and notifies the operator of an abnormality in the rubber pad 51. Thereby, the component mounting apparatus 11 can easily prevent the occurrence of mounting defects, suction/mounting errors, etc.

従って、実施の形態1に係る部品搭載装置11によれば、吸装着エラーの発生を抑制し、実装品質の向上を図ることができる。 Therefore, according to the component mounting apparatus 11 according to the first embodiment, it is possible to suppress the occurrence of suction/mounting errors and improve the mounting quality.

以上、図面を参照しながら各種の実施の形態について説明したが、本開示はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例、修正例、置換例、付加例、削除例、均等例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本開示の技術的範囲に属するものと了解される。また、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した各種の実施の形態における各構成要素を任意に組み合わせてもよい。 Although various embodiments have been described above with reference to the drawings, it goes without saying that the present disclosure is not limited to such examples. It is clear that those skilled in the art can come up with various changes, modifications, substitutions, additions, deletions, and equivalents within the scope of the claims, and It is understood that it naturally falls within the technical scope of the present disclosure. Further, each of the constituent elements in the various embodiments described above may be arbitrarily combined without departing from the spirit of the invention.

本開示は、吸装着エラーの発生を抑制し、実装品質の向上を図ることができる部品搭載装置として有用である。 The present disclosure is useful as a component mounting device that can suppress the occurrence of suction/mounting errors and improve mounting quality.

11 部品搭載装置
17 基板
19 部品供給部
23 部品
25 搭載ヘッド
33 吸着ノズル
51 ゴムパッド
53 先端部
55 ノズル開口
59 当接面
61 特定領域
63 当接センサ
67 空圧発生源
69 流量センサ
73 真空ポンプ
93 装置制御部
95 装置記憶部
101 報知部
107 判定部
11 Component mounting device 17 Board 19 Component supply unit 23 Component 25 Mounting head 33 Suction nozzle 51 Rubber pad 53 Tip portion 55 Nozzle opening 59 Contact surface 61 Specific area 63 Contact sensor 67 Air pressure source 69 Flow rate sensor 73 Vacuum pump 93 Device Control section 95 Device storage section 101 Notification section 107 Judgment section

Claims (7)

搭載ヘッドに備えた吸着ノズルの真空吸着により部品供給部からピックアップされた部品を基板に搭載する部品搭載装置であって、
前記吸着ノズルにおいて前記部品を吸着する側の先端部に設けられたノズル開口に管路を通じて接続される空圧発生源と、
前記ノズル開口の周囲に設けられ、前記部品と当接する当接部材と、
前記部品搭載装置の特定領域を少なくとも記憶する記憶部と、
前記記憶部に基づいて、前記当接部材を前記特定領域に当接させるよう制御する制御部と、
前記当接部材を前記特定領域に当接させたときの前記管路の流量を計測する流量センサと、
前記流量に基づいて、前記当接部材が不良か否かを判定する判定部と、を備える、
部品搭載装置。
A component mounting device that mounts components picked up from a component supply section onto a board by vacuum suction of a suction nozzle provided in a mounting head,
a pneumatic pressure generation source connected through a conduit to a nozzle opening provided at the tip of the suction nozzle on the side that suctions the component;
an abutting member provided around the nozzle opening and abutting the component;
a storage unit that stores at least a specific area of the component mounting device;
a control unit that controls the contact member to contact the specific area based on the storage unit;
a flow rate sensor that measures the flow rate of the conduit when the contact member is brought into contact with the specific area;
a determination unit that determines whether the abutting member is defective based on the flow rate;
Parts mounting device.
前記空圧発生源が、真空ポンプである、
請求項1に記載の部品搭載装置。
the pneumatic pressure generation source is a vacuum pump;
The component mounting device according to claim 1.
前記当接部材は、前記特定領域と当接する当接面を有し、
前記当接面は、前記ノズル開口の周囲に位置するよう形成される、
請求項1または2に記載の部品搭載装置。
The contact member has a contact surface that contacts the specific area,
the contact surface is formed to be located around the nozzle opening;
The component mounting device according to claim 1 or 2.
前記先端部は、前記特定領域に当接したか否かを検出する当接センサをさらに有し、
前記制御部は、前記先端部が前記特定領域に当接したことを前記当接センサにより検出された場合に、前記先端部を前記当接面よりも上方に位置するようさらに制御する、
請求項3に記載の部品搭載装置。
The tip further includes a contact sensor that detects whether or not the tip has contacted the specific area,
The control unit further controls the tip to be located above the contact surface when the contact sensor detects that the tip comes into contact with the specific area.
The component mounting device according to claim 3.
前記当接部材の前記特定領域に対する投影平面は、前記特定領域の内側に位置する、
請求項1~4のうちいずれか一項に記載の部品搭載装置。
A projection plane of the abutting member with respect to the specific area is located inside the specific area,
A component mounting device according to any one of claims 1 to 4.
前記特定領域の表面は平坦である、
請求項1~5のうちいずれか一項に記載の部品搭載装置。
the surface of the specific area is flat;
A component mounting device according to any one of claims 1 to 5.
前記当接部材が不良であると前記判定部により判定された場合に、前記当接部材が不良である旨を前記制御部の下で報知する報知部、をさらに備える、
請求項1~6のうちいずれか一項に記載の部品搭載装置。
further comprising a notification unit that, when the determination unit determines that the abutment member is defective, notifies under the control unit that the abutment member is defective;
A component mounting device according to any one of claims 1 to 6.
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