JPS6229902B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体装置の電気特性を連続的に試験
するための試験装置に関し、特に半導体装置を単
列に並べて試験ヘツド部へシユートする試験前シ
ユート部の固定シユート装置に係る。 〔発明の技術的背景とその問題点〕 例えばIC（半導体集積回路装置）等の半導体
装置では、製造された個々の製品について電気的
な特性試験を行ない、これらを良品および不良品
に選別することが必要とされる。そして、大量の
IC製品等を連続的かつ自動的に上記の試験を行
なうために、所謂高速ハンドラーを備えた試験装
置が従来から使用されている。 第１図は上記従来の半導体装置用試験装置を示
す概略説明図である。同図において、１は連続的
に供給される半導体装置を単列に並べるための試
験前シユート部である。該試験前シユート部１で
単列に並べられた半導体装置a₁，a₂…は、試験前
シユート部１のすぐ下流に配設された試験ヘツド
部２へ一個ずつシユートされるようになつてい
る。試験ヘツド部２ではシユートされて来た半導
体装置の電気特性が試験され、良品か不良品かを
判定された半導体装置は選別シユート部３へシユ
ートされる。そして、試験ヘツド部２が空になつ
た後、次の半導体装置が試験前シユート部１から
シユートされて来る。なお、上記半導体装置の試
験は、試験ヘツド部２に接続された図示しない試
験器で行なわれる。他方、選別シユート部３は、
試験ヘツド部２からシユートされて来た半導体装
置が良品である場合には前記図示しない試験器か
らの指令を得けてこれをそのすぐ下流に配設され
ている良品シユート部４へシユートする。また、
シユートされて来た半導体装置が不良品である場
合には、選別シユート部３は前記図示しない試験
器からの指令により90゜回転し、回転した向きに
配設されている不良品シユート部５へ不良品半導
体装置をシユートするようになつている。 このように、従来の半導体装置用試験装置は、
試験ヘツド部２が１個しか具備されておらず、全
体的に単列のシユート回路系として構成されてい
た。しかも、試験ヘツド部２は同時に複数の検体
を試験できるように構成されていなかつたから、
順次１個ずつ半導体装置を試験ヘツド部２に供給
し、１個ずつその試験を行なうというシステムを
採用せざるを得ず、その間のロス時間がかなり大
きいという問題があつた。更には、不良品と判定
された半導体装置を不良品シユート部５へシユー
トする際には選別シユート部３を回転させなけれ
ばならず、このときにもロス時間が生じるという
問題があつた。これらの要因により、従来の半導
体装置用試験装置では全体のマシーンインデツク
スが約1.0〜15秒とかなり大きくならざるを得
ず、これが作業能率の向上ひいては全体的な生産
性の向上を計る上で大きな障害となつていた。 ところで、上述したところから明らかなよう
に、マシーンインデツクスの小さい能率的な半導
体装置用試験装置を構成するための基本的な構想
として、まず試験ヘツド部２で同時に複数個の半
導体装置を試験できるようにすることが考えられ
る。そして、このためには試験ヘツド部２に対し
て、そこで同時に試験を行なうべき複数個の半導
体装置を一単位として確実かつ効率的にシユート
する機構が必要とされる。 因みに、第１図に示した従来の半導体装置用試
験装置において、試験前シユート部１から試験ヘ
ツド部２へ半導体装置をシユートする機構を説明
すれば次の通りである。第２図に示すように、試
験前シユート部は供給部１′および固定シユート
部１″からなつている。供給部１′は半導体装置を
単列に並べ、かつ１個ずつ分離して供給する部分
であり、固定シユート部１″は供給されて来た半
導体装置を試験ヘツド部２へシユートする部分で
ある。固定シユート部１″の上端部には供給部
１′から半導体装置がシユートされて来たことを
検知するための検知器６が設けられている。ま
た、そのシユート方向に沿つて二つの小型エアシ
リンダ（以下、ペンエアシリンダと記す）７，８
が設けられ、該ペンエアシリンダ７，８の間には
下流方向に向いたシユート用ブローノズル９が設
けられている。供給部１′から固定シユート部
１″へ半導体装置がシユートされて来ると、検知
器６がこれを検知してまず下流側のペンエアシリ
ンダ８のピストンロツドを突出させ、半導体装置
を係止して停留させる。なお、以下の説明ではこ
の動作を「ペンエアシリンダの突出」、逆の動作
を「ペンエアシリンダの引込み」と言う。この状
態で次の半導体装置がシユートされて来ると、検
知器６がこれを検知し、今度は上流側のペンエア
シリンダ７を突出させて半導体装置を係留する。
続いて、ペンエアシリンダ８だけが引込んで半導
体装置の係留を解除すると同時に、ブローノズル
９の吹出しにより係留の解除された半導体装置を
試験ヘツド部２へシユートする。このとき、ペン
エアシリンダ８は半導体装置を係留したままであ
る。次いでペンエアシリンダ８が再び突出すると
同時に今度はペンエアシリンダ７が引つ込み、こ
れで係留を解除された半導体装置は落下してペン
エアシリンダ８に係留される。そして、供給部
１′から新たな半導体装置がシユートされて来た
とき、ペンエアシリンダ７は検知器６の検知信号
により再び突出してこれを係留する。以後、同様
の動作によつて半導体装置は１個ずつ試験ヘツド
部２へシユートされることになる。 さて、従来の半導体装置用試験装置において半
導体装置を試験ヘツド部へシユートするために用
いられていた上記のようなシユート機構による限
り、前述した基本的な考え方を実現してマシーン
インデツクスの小さい能率的な試験装置を構成す
ることはできない。即ち、上記のシユート機構で
はシユートタイミングを完全にコントロールでき
る半導体装置の数、即ち、ブローノズル９の吹出
しによつてシユートされ得る状態にある半導体装
置の数は１個だけである。一方、試験ヘツド部２
で複数個の半導体装置を同時にセツトして試験し
ようとすれば、その数と同数の半導体装置につい
てそのシユートタイミングを完全に制御しなけれ
ばならず、もしそれができなければ試験ヘツド２
に複数の半導体装置を確実にセツトすることはで
きない。従つて、上記のシユート機構による限り
は試験ヘツド部２で同時に複数の半導体装置の試
験を行なう構成を実現することはできない。 〔発明の目的〕 本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、試
験ヘツド部で同時に複数の半導体装置を試験でき
る半導体装置用試験装置の実現を可能とするた
め、複数個の半導体装置を一単位とし、かつその
総てのシユートタイミングを完全に制御して試験
ヘツド部へシユートできる固定シユート装置を提
供するものである。 なお、複数個の半導体装置を同時に試験するた
めには試験ヘツド部そのものにもそれに適した機
構が必要とされるが、これは本発明の範囲外であ
る。 〔発明の概要〕 本発明の固定シユート装置は半導体装置用試験
装置において供給シユート部と試験ヘツド部の間
に固定され、かつ両者のシユート列と連通して配
設されるもので、供給シユート部から１個ずつシ
ユートされて来る複数個の半導体装置をそのシユ
ート列内に収容すると共に、収容した複数の半導
体装置の総てのシユートタイミングを完全に制御
してこれらを試験ヘツド部へシユートするもので
ある。その具体的な構成は、供給シユート部から
半導体装置がシユートされて来たことを検知する
ための検知器と、検知された半導体装置の係止お
よび係止解除をするためのペンエアシリンダと、
半導体装置を試験ヘツド部へシユートするための
ブローノズルとを一組とするシユートタイミング
制御機構を固定シユート装置のシユート列に沿つ
て複数組設けたことを特徴とするものである 〔発明の実施例〕 第３図は本発明の一実施例になる固定シユート
装置の平面図であり、第４図はその側面図であ
る。これらの図において、１１は固定シユート装
置である。該固定シユート装置１１には第４図に
図示する下方支持枠１２および上方支持枠１３に
よつて限定されたシユート列１４が形成されてい
る。シユート列１４の下方部位にはシユートされ
て来た半導体装置を検知するための検知器１５ａ
が設けられている。該検知器１５ａとしては下方
支持枠１２に埋設した光フアイバーセンサが用い
られている。また、この検知器１５ａを挾んでそ
の下流側にはペンエアシリンダ１６ａが上方支持
枠１３に設けられ、その上流側には下流方向に向
けて傾斜したブローノズル１７ａが上方支持枠１
３に設けられている。ペンエアシリンダ１６ａは
検知器１５ａが半導体装置のシユートを検知する
とシユート列１４内に突出してこれを係止するよ
うになつている。また、ブローノズル１７ａはペ
ンエアシリンダ１６ａがシユート列１４から後退
する動作に同期してエアーを吹き出すことによ
り、ペンエアシリンダ１６ａの係止が解除された
半導体装置を次段部へシユートするようになつて
いる。このように、上記検知器１５ａ、ペンエア
シリンダ１６ａおよびブローノズル１７ａは１組
のシユートタイミング制御機構を構成している。
そして、シユート列１４にはその上方部位にも検
知器１５ｂ、ペンエアシリンダ１６ｂおよびブロ
ーノズル１７ｂからなる同様のシユートタイミン
グ制御機構が設けられている。 なお、２０は半導体装置用試験装置において固
定シユート装置１１の直前に配設される供給シユ
ート部であり、３０は固定シユート装置１１の直
後に配設される試験ヘツド部である。図示のよう
に、これらはそのシユート列が相互に連通した状
態で固定して配設される。 上記構成からなる固定シユート装置１１の作用
を説明すれば次の通りである。供給シユート部２
０からは従来と同様、半導体装置が１個ずつ分離
されて固定シユート装置１１のシユート列１４に
シユートされて来る。半導体装置がシユートされ
て来るとまず検知器１５ａがこれを検知してペン
エアシリンダ１６ａを突出させ、これにより半導
体装置はペンエアシリンダ１６ａに係留される。
次の半導体装置がシユートされて来ると、今度は
検知器１５ｂがこれを検知してペンエアシリンダ
１６ｂを突出させ、該ペンエアシリンダ１６ｂに
より半導体装置はシユート列１４内に係留され
る。こうして２個の半導体装置が固定シユート装
置１１に収容された後、ペンエアシリンダ１６ａ
がシユート列１４から後退すると同時にブローノ
ズル１７ａからエアーが吹き出され、係留を解除
された半導体装置は試験ヘツド部３０にシユート
される。続いて、ペンエアシリンダ１６ａは後退
したまま、今度はペンエアシリンダ１６ｂが後退
すると同時にブローノズル１７ｂからエアーが吹
き出され、シユート列１４の上方部位に係留され
ていた半導体装置が試験ヘツド部３０にシユート
される。 なお、試験ヘツド部３０は固定シユート装置１
１からシユートされて来る２個の半導体装置をセ
ツトして同時にその電気特性装置を行なえるよう
に構成されており、また供給シユート部２０は固
定シユート装置１１がシユート動作をしている間
は半導体装置の供給を行なわないように構成され
ているが、これらの構成自体は本発明の範囲外で
あるから省略する。 上記実施例の固定シユート装置１１によれば、
供給シユート部２０から１個ずつ分離してシユー
トされて来る半導体装置２個をそのシユート列１
４内に収容し、これを１単位として１個ずつ試験
ヘツド部３０へシユートすることができる。しか
も、その際に２個の半導体装置は夫々の係留位置
に設けられた独立のシユートタイミング制御機構
により完全にシユートタイミングが制御されてい
る。従つて、この固定シユート装置によれば試験
ヘツド部３０に２個の半導体装置を一単位とし、
しかも個々の半導体装置が所定の試験位置に確実
にセツトされるタイミングで１個ずつシユートす
ることができ、これにより試験ヘツド部３０で同
時に２個の半導体装置の試験を行なうためのシユ
ートシステムを実現することができる。 なお、本発明は上記実施例に限定されるもので
はなく、種々の変更例が可能である。例えば、シ
ユート列１４に３組以上のシユートタイミング制
御機構を設けることにより３個以上の半導体装置
を１単位として試験ヘツド部へシユートするよう
にすることができる。 また、検知器１５ａ，１５ｂとしては光フアイ
バーセンサ以外にも、マイクロスイツチ等の通常
使用されている種々のセンサを用いることができ
る。 〔発明の効果〕 以上詳述したように、本発明の固定シユート装
置によれば半導体装置用試験装置の試験ヘツド部
で複数個の半導体装置を同時に試験する構成を採
用することがシステム的に可能となり、これによ
つてマシーンインデツクスの小さい効率的な半導
体装置用試験装置の実現を可能とすることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の半導体装置用試験装置を概略的
に示す説明図、第２図は従来の半導体装置用試験
装置において、半導体装置を試験ヘツド部へシユ
ートする固定シユート部の構造を示す平面図、第
３図は本発明の一実施例になる固定シユート装置
の平面図であり、第４図はその側面図である。 １１…固定シユート装置、１２…下方支持枠、
１３…上方支持枠、１４…シユート列、１５ａ，
１５ｂ…検知器、１６ａ，１６ｂ…ペンエアシリ
ンダ、１７ａ，１７ｂ…ブローノズル、２０…供
給シユート部、３０…試験ヘツド部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 半導体装置用試験装置において供給シユート
   部から１個ずつ分離されてシユートされて来る半
   導体装置を複数個収容すると共に、これをその下
   流に配設された試験ヘツド部へシユートする固定
   シユート装置であつて、その中を半導体装置がシ
   ユートされる単一のシユート列を具備すると共
   に、該シユート列にシユートされて来た半導体装
   置を検知するための検知器、該検知器の検知信号
   により前記シユート列にピストンロツドを突出さ
   せて半導体装置を係留するエアシリンダおよび該
   エアシリンダの係留解除動作に同期して半導体装
   置を次段部へシユートするブローノズルからなる
   シユートタイミング制御機構を前記シユート列に
   沿つて複数組設けたことを特徴とする固定シユー
   ト装置。 ２ 前記検知器として光フアイバーセンサを用い
   たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   固定シユート装置。 ３ 前記光フアイバーセンサが前記シユート列を
   限定する壁体に埋設されていることを特徴とする
   特許請求の範囲第２項記載の固定シユート装置。 ４ 前記ブローノズルが前記シユート列を限定す
   る壁面と所定の角度をなして該壁体に埋設されて
   いることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至
   第３項の何れか１項記載の固定シユート装置。 ５ 前記エアシリンダが前記シユート列を限定す
   る壁体に埋設されていることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項乃至第４項の何れか１項記載の固
   定シユート装置。