Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JPH0754563B2 - Magnetic recording method - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JPH0754563B2 - Magnetic recording method - Google Patents

Magnetic recording method

Info

Publication number
JPH0754563B2
JPH0754563B2 JP61153179A JP15317986A JPH0754563B2 JP H0754563 B2 JPH0754563 B2 JP H0754563B2 JP 61153179 A JP61153179 A JP 61153179A JP 15317986 A JP15317986 A JP 15317986A JP H0754563 B2 JPH0754563 B2 JP H0754563B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
thickness
thin film
metal thin
magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP61153179A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS639015A (en
Inventor
充 高井
康二 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP61153179A priority Critical patent/JPH0754563B2/en
Publication of JPS639015A publication Critical patent/JPS639015A/en
Publication of JPH0754563B2 publication Critical patent/JPH0754563B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 I発明の背景 技術分野 本発明は、特に金属薄膜型の磁気記録媒体を用いる磁気
記録方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Technical Field The present invention particularly relates to a magnetic recording method using a metal thin film type magnetic recording medium.

先行技術とその問題点 ビデオ用、オーディオ用等の磁気記録媒体として、テー
プ化して巻回したときのコンパクト性から、金属薄膜型
の磁性層を有するものの開発が活発に行われている。
2. Description of the Related Art Prior Art and Problems There are active developments of magnetic recording media for video, audio, etc., which have a metal thin film type magnetic layer because of their compactness when formed into a tape and wound.

このような金属薄膜型の媒体の磁性層としては、特性
上、基体法線に対して所定の傾斜角にて蒸着を行う、い
わゆる斜め蒸着法によって形成したCo系、Co-Ni系等か
らなる蒸着膜が好適である。
The magnetic layer of such a metal thin film type medium is characteristically made of Co-based, Co-Ni-based, or the like, which is formed by a so-called oblique vapor deposition method in which vapor deposition is performed at a predetermined inclination angle with respect to the substrate normal line. Evaporated films are preferred.

このような媒体では、小型化、長時間記録等のため、従
来より、例えば10μm以下のフィルムを用いた媒体の研
究が進められているが、走行性、耐久性、強磁性金属薄
膜の強度等の点で問題が生じる。
For such media, research has been made on media such as 10 μm or less for miniaturization and long-time recording. However, runnability, durability, strength of ferromagnetic metal thin film, etc. There is a problem with.

そこで、これらの不都合を解消するため、フィルム裏面
に金属薄膜補強層を設ける旨の提案(特開昭56-16939
号、同58-97131号、同57-78627号、同57-37737号)ある
いはフィルム表面に微粒子を配設してヘッドタッチ、走
行面で改良をなす旨の提案(特開昭58-68227号、同58-1
00221号)等がなされている。
Therefore, in order to eliminate these disadvantages, it is proposed to provide a metal thin film reinforcing layer on the back surface of the film (JP-A-56-16939).
No. 58-97131, No. 57-78627, No. 57-37737) or a proposal that fine particles are provided on the film surface to improve the head touch and running surface (Japanese Patent Laid-Open No. 58-68227). , 58-1
00221) etc. have been made.

また、耐久性や電磁変換特性を向上させるために、強磁
性金属薄膜層を2層に分割する旨の提案も種々行われて
いる(特開昭54-141608号、特公昭56-26892号、特開昭5
7-130228号等)。
Various proposals have been made to divide the ferromagnetic metal thin film layer into two layers in order to improve durability and electromagnetic conversion characteristics (Japanese Patent Laid-Open No. 54-141608, Japanese Patent Publication No. 56-26892). JP-A-5
7-130228 etc.).

しかし、上記公報記載の技術では、10μm以下のフィル
ムを用いた媒体における問題点の解決は完全ではない。
さらに、今日、より長時間記録を実現するために、走行
性、磁性層の耐久性および磁気特性の安定性を兼ね備え
たフィルム厚8μm以下の媒体の要望が強くなるに及ん
で、従来の技術では、対処不充分となっている。とりわ
け、5MHz程度以上の高周波出力の低下は大きな問題であ
る。
However, the technique described in the above publication does not completely solve the problem in the medium using a film of 10 μm or less.
Further, today, in order to realize recording for a longer time, there is a strong demand for a medium having a film thickness of 8 μm or less, which has both runnability, durability of a magnetic layer, and stability of magnetic characteristics. , The handling is insufficient. In particular, the reduction of high frequency output above 5MHz is a big problem.

II発明の目的 本発明の主たる目的は、フィルム厚8μm以下のフィル
ム支持体を用い、媒体の走行性・耐久性が良好で、走行
による磁性層のクラックやケズレが少なく、さらにヘッ
ド摩耗量およびドロップアウトの少ない金属薄膜型の磁
気記録媒体を用い、高周波出力を大巾に向上できる磁気
記録方法を提供することにある。
II Aim of the invention The main object of the present invention is to use a film support having a film thickness of 8 μm or less, good running property and durability of the medium, less cracking and scratching of the magnetic layer due to running, and further head wear amount and drop. An object of the present invention is to provide a magnetic recording method capable of greatly improving high-frequency output by using a metal thin film type magnetic recording medium with little out.

III発明の開示 このような目的は、下記の本発明によって達成される。III DISCLOSURE OF THE INVENTION Such an object is achieved by the present invention described below.

すなわち、本発明は、厚さ8μm以下のプラスチックフ
ィルム上に、 CoとNiとOとを含み、ともに傾斜した柱状結晶粒が集合
した構造の強磁性金属薄膜層の上層および下層を有し、 この上層の厚さと下層の厚さとの比が0.2〜0.9である磁
気記録媒体を用い、 5MHz以上の高周波領域の信号を主として前記上層が保持
し、0.75MHzないしその近傍の低周波領域の信号を主と
して前記下層が保持するように磁気記録を行い、 前記高周波領域の信号の出力を向上させる磁気記録方法
である。
That is, the present invention has an upper layer and a lower layer of a ferromagnetic metal thin film layer having a structure in which columnar crystal grains containing Co, Ni, and O, both of which are inclined, are gathered on a plastic film having a thickness of 8 μm or less, Using a magnetic recording medium in which the ratio of the thickness of the upper layer and the thickness of the lower layer is 0.2 to 0.9, the upper layer mainly holds signals in the high frequency region of 5 MHz or more, and mainly the signals in the low frequency region of 0.75 MHz or its vicinity. In the magnetic recording method, magnetic recording is performed so that the lower layer retains the signal, and the output of signals in the high frequency region is improved.

IV発明の具体的構成 以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。IV Specific Configuration of the Invention Hereinafter, the specific configuration of the present invention will be described in detail.

本発明における磁性層としての強磁性金属薄膜層は、Co
を主成分とし、これにNiおよびOを含み、さらに必要に
応じCrが含有される組成を有する。Co/Niの重量比は、
1.5以上であることが好ましい。
The ferromagnetic metal thin film layer as the magnetic layer in the present invention is Co
Is a main component, contains Ni and O, and further contains Cr if necessary. The weight ratio of Co / Ni is
It is preferably 1.5 or more.

さらに、強磁性金属薄膜層中には、Crが含有されていて
もよい。
Further, Cr may be contained in the ferromagnetic metal thin film layer.

このような場合、Cr/CoあるいはCr/(Co+Ni)の重量比
は0.1以下、特に0.001〜0.1、より好ましくは、0.005〜
0.05であることが好ましい。
In such a case, the weight ratio of Cr / Co or Cr / (Co + Ni) is 0.1 or less, particularly 0.001 to 0.1, and more preferably 0.005 to
It is preferably 0.05.

さらに、強磁性金属薄膜中にはOが含有されるものであ
る。
Further, O is contained in the ferromagnetic metal thin film.

強磁性金属薄膜中の平均酸素量は、原子比、特にO/(Co
またはCo+Ni)の原子比で、0.5以下、より好ましくは
0.05〜0.5であることが好ましい。
The average oxygen content in a ferromagnetic metal thin film is determined by the atomic ratio, especially O / (Co
Alternatively, the atomic ratio of Co + Ni is 0.5 or less, more preferably
It is preferably 0.05 to 0.5.

この場合、強磁性金属薄膜層の表面では、酸素が強磁性
金属(Co,Ni)と酸化物を形成している。
In this case, oxygen forms an oxide with the ferromagnetic metal (Co, Ni) on the surface of the ferromagnetic metal thin film layer.

すなわち、表面部、特に表面から50Å〜500Å、より好
ましくは50〜200Åの厚さの範囲には、オージェ分光分
析により、酸化物を示すピークが認められるものであ
る。そして、この酸化物層の酸素含有量は、原子比で0.
5〜1.0程度である。
That is, a peak showing an oxide is recognized by Auger spectroscopic analysis in the surface portion, particularly in the range of 50Å to 500Å, more preferably 50 to 200Å from the surface. The oxygen content of this oxide layer is 0 in atomic ratio.
It is about 5 to 1.0.

なお、このような強磁性金属薄膜中には、さらに他の微
量成分、特に遷移元素、例えばFe、Mn、V、Zr、Nb、T
a、Ti、Zn、Mo、W、Cu等が含まれていてもよいる。
Incidentally, in such a ferromagnetic metal thin film, further other trace components, especially transition elements such as Fe, Mn, V, Zr, Nb, T
It may contain a, Ti, Zn, Mo, W, Cu and the like.

このような強磁性金属薄膜層は、好ましい態様におい
て、上記したCoを主成分とする柱状結晶粒の集合体から
なる。
In a preferred embodiment, such a ferromagnetic metal thin film layer is composed of an aggregate of columnar crystal grains containing Co as the main component.

この場合、強磁性金属薄膜層の厚さは、総計で0.05〜0.
5μm、好ましくは、0.07〜0.3μmとされる。
In this case, the total thickness of the ferromagnetic metal thin film layer is 0.05 to 0.
The thickness is 5 μm, preferably 0.07 to 0.3 μm.

本発明のこのような強磁性金属薄膜層は上層と下層の2
層から構成されている。
The ferromagnetic metal thin film layer of the present invention has two layers, an upper layer and a lower layer.
It is composed of layers.

そして、上層の厚さは下層のそれより小さいものであ
る。
And the thickness of the upper layer is smaller than that of the lower layer.

この場合、上層の厚さと下層の厚さとの比は0.2〜0.9、
より好ましくは0.4〜0.9の範囲である。
In this case, the ratio of the thickness of the upper layer and the thickness of the lower layer is 0.2-0.9,
The range is more preferably 0.4 to 0.9.

そして、柱状の結晶粒は、各層の厚さ方向のほぼ全域に
亘る長さをもち、その長手方向が基体の主面の法線に対
して傾斜する角度は特に制限はない。
The columnar crystal grains have a length extending over almost the entire area in the thickness direction of each layer, and the angle at which the longitudinal direction is inclined with respect to the normal to the main surface of the substrate is not particularly limited.

そして、この場合、下層の結晶粒と上層の結晶粒の傾斜
の向きは、基体の主面の法線に対して媒体の長さ方向で
同方向であってよいが、好ましくは相対向する向きであ
ることが好ましい。
In this case, the crystal grains of the lower layer and the crystal grains of the upper layer may be tilted in the same direction in the length direction of the medium with respect to the normal line of the main surface of the substrate, but preferably in opposite directions. Is preferred.

このような、結晶粒の傾斜の向きを模式的に例示すると
第1図および第2図のようになる。
FIG. 1 and FIG. 2 are typical examples of such crystal grain inclination directions.

第1図および第2図において、磁気記録媒体1は、基体
2上に強磁性金属薄膜下層部3および強磁性金属薄膜上
層部4とを有する。そして、強磁性金属薄膜下層部3内
の下層結晶粒5の傾斜の向き、強磁性金属薄膜上層部4
内の上層結晶粒6の傾斜の向きは、第1図では媒体の長
さ方向aで相対向する向きであり、第2図では媒体の長
さ方向aで同方向である。
In FIGS. 1 and 2, a magnetic recording medium 1 has a ferromagnetic metal thin film lower layer portion 3 and a ferromagnetic metal thin film upper layer portion 4 on a substrate 2. Then, the tilt direction of the lower layer crystal grains 5 in the ferromagnetic metal thin film lower layer portion 3, the ferromagnetic metal thin film upper layer portion 4
The upper layer crystal grains 6 in the inside are inclined in opposite directions in the longitudinal direction a of the medium in FIG. 1, and in the longitudinal direction a of the medium in FIG.

本発明では、第1図あるいは第2図のいずれの結晶粒傾
斜を有するものであってよいが、好ましくは、第1図に
示される結晶粒傾斜を有するものが好ましい。
In the present invention, the crystal grain gradient shown in FIG. 1 or 2 may be used, but the crystal grain gradient shown in FIG. 1 is preferable.

なお、酸素は、表面部の柱状の結晶粒の表面に前記のと
おり化合物の形で存在するものである。
It should be noted that oxygen is present in the form of a compound on the surface of the columnar crystal grains in the surface portion as described above.

また、強磁性金属薄膜層の酸素の濃度勾配の何如には特
に制限はない。
Further, there is no particular limitation on the oxygen concentration gradient of the ferromagnetic metal thin film layer.

また、結晶粒の短径は、50〜500Å程度の長さをもつこ
とが好ましい。
Further, the minor axis of the crystal grains preferably has a length of about 50 to 500Å.

このように、強磁性金属薄膜層が2層構成をなすことに
より、柱状結晶粒の長さが小さいものとなるため強磁性
金属薄膜層の膜強度が向上する。また、上層の厚さと下
層の厚さの比が0.2〜0.9となることにより、比較的浅い
磁界を有する5MHz程度の信号は層厚の薄い上層で保持さ
れ、比較的深い磁界を有する0.75MHz程度の信号は層厚
が厚く、柱状結晶粒が基体の主面に対し、より立ってい
る状態に近い構造をなす下層で有効に保持されるものと
なる。
In this way, the ferromagnetic metal thin film layer has a two-layered structure, so that the length of the columnar crystal grains is small, so that the film strength of the ferromagnetic metal thin film layer is improved. Also, because the ratio of the thickness of the upper layer to the thickness of the lower layer is 0.2 to 0.9, a signal of about 5 MHz with a relatively shallow magnetic field is held by the upper layer with a thin layer thickness, and about 0.75 MHz with a relatively deep magnetic field. The signal is that the layer thickness is large, and the columnar crystal grains are effectively held in the lower layer having a structure closer to the state of being more upright with respect to the main surface of the substrate.

このような強磁性金属薄膜層を形成する基板は、非磁性
のものでありさえすれば特に制限はないが、特に可とう
性の基板、特にポリエステルフィルム、ポリアミドフィ
ルム、ポリイミドフィルム等のプラスチックフィルムで
あることが好ましい。
The substrate for forming such a ferromagnetic metal thin film layer is not particularly limited as long as it is a non-magnetic one, but a particularly flexible substrate, particularly a polyester film, a polyamide film, a plastic film such as a polyimide film is used. Preferably there is.

また、その厚さは8μm以下、特に5〜7μm程度であ
ることが好ましい。
The thickness is preferably 8 μm or less, and particularly preferably about 5 to 7 μm.

この厚さが8μmをこえると媒体の小型化、長時間記録
等の目的は達成されない。また、この厚さがあまり薄く
なりすぎると、磁性層を上述のように2層構成として膜
強度を向上させた効果が相殺され、走行性、出力低下、
ヘッド摩耗等の問題が生じる。
If the thickness exceeds 8 μm, the objectives of downsizing the medium, recording for a long time, etc. cannot be achieved. If this thickness is too thin, the effect of improving the film strength by making the magnetic layer into a two-layer structure as described above is offset, and the running property and the output decrease,
Problems such as head wear occur.

従来の単層構造の強磁性金属薄膜層の場合には、ベース
厚を8μm以下とすると、出力、特に5MHz程度以上の高
域の出力が大きく低下してしまい実用に耐えないものと
なる。
In the case of a conventional ferromagnetic metal thin film layer having a single-layer structure, if the base thickness is set to 8 μm or less, the output, particularly the output in the high frequency band of about 5 MHz or more, is greatly reduced, which is not practical.

これに対し、ベース厚8μmより大のときには、強磁性
金属薄膜層を2層構造とすれば、従来から提案されてい
るように、出力および耐久性は向上する。
On the other hand, when the base thickness is larger than 8 μm, if the ferromagnetic metal thin film layer has a two-layer structure, the output and durability are improved as conventionally proposed.

そして、ベース厚8μm以下であっても、2層構造とす
れば、同様に出力および耐久性が向上する。
Even if the base thickness is 8 μm or less, if the two-layer structure is adopted, the output and durability are similarly improved.

しかし、本発明における強磁性金属薄膜層の所定膜厚比
の2層構造化による特性向上、特に電磁変換特性向上の
効果は、基板の厚さを8μm以下と薄いものにした場合
に、きわめて顕著にかつ臨界的に現われるものである。
これは従来予測しえなかったことである。
However, the effect of improving the characteristics, particularly the electromagnetic conversion characteristics, by the two-layer structure of the ferromagnetic metal thin film layer having a predetermined film thickness ratio in the present invention is extremely remarkable when the thickness of the substrate is as thin as 8 μm or less. And appears critically.
This is something that could not have been predicted in the past.

より詳細には、例えば、基板の厚さ10μmにおいて、強
磁性金属薄膜層を従来の単層構造から本発明と同様の2
層構造にすることによる電磁変換特性の向上巾は、0.75
MHzの低周波領域の信号で+2(dB)程度、5MHzの高周
波領域の信号で+2(dB)程度である。
More specifically, for example, when the thickness of the substrate is 10 μm, the ferromagnetic metal thin film layer is changed from the conventional single-layer structure to the same as in the present invention.
The improvement in electromagnetic conversion characteristics due to the layered structure is 0.75
A signal in the low frequency region of MHz is about +2 (dB), and a signal in the high frequency region of 5 MHz is about +2 (dB).

他方、基板の厚さを7μmとした場合の向上巾は、0.75
MHzの低周波領域の信号で+2(dB)程度で基板厚10μ
mの場合と同等であるが、5MHzの高周波領域の信号では
+4(dB)程度まで顕著に増大する。
On the other hand, when the substrate thickness is 7 μm, the improvement width is 0.75
Substrate thickness 10μ at +2 (dB) for low-frequency signal of MHz
Although it is the same as the case of m, it significantly increases up to about +4 (dB) in the signal in the high frequency region of 5 MHz.

このように、10μm厚の基板に比べ、7μm厚の基板に
おける電子変換特性の向上が著しいのは、基板厚みを10
μmから7μmにすることにより、基板剛度不足による
ヘッドタッチが急激に悪化し、5MHz等の高周波領域にお
いて、この影響がより大きく、このような場合に本発明
の効果が発現されるものである。
In this way, the improvement in the electron conversion characteristics of the 7 μm thick substrate is remarkable as compared with the 10 μm thick substrate.
When the thickness is changed from 7 μm to 7 μm, the head touch abruptly deteriorates due to the lack of rigidity of the substrate, and this effect is greater in a high frequency region such as 5 MHz, and in such a case, the effect of the present invention is exhibited.

従って、特に高域での出力の点で従来実用に耐えなかっ
た8μm以下のベース厚のものを用いて、十分実用に耐
える出力および耐久性を有する媒体が実現するものであ
る。
Therefore, a medium having a base thickness of 8 μm or less, which cannot be practically used in the past in terms of output particularly in a high range, is used to realize a medium having an output and durability enough to be practically used.

このようなプラスチックフィルムの磁性層が設けられて
いない他方の面上には公知の種々の裏地層を設層するこ
とが好ましい。裏地層の材質については特に制限はない
が、特に顔料と放射線硬化型樹脂とを含有するものが好
ましい。裏地層の膜厚は、0.05〜1.5μm、より好まし
くは0.07〜1.0μmとされる。
It is preferable to form various known backing layers on the other surface of the plastic film on which the magnetic layer is not provided. The material of the backing layer is not particularly limited, but a material containing a pigment and a radiation curable resin is particularly preferable. The thickness of the backing layer is 0.05 to 1.5 μm, more preferably 0.07 to 1.0 μm.

この膜厚が1.5μmをこえると、走行によって、磁性層
のクラックや磁性面ケズレが生じる。また、ヘッド摩耗
量が増大する。そして、ドロップアウトが増大する。ま
た、膜厚が0.05μm未満となると、走行安定性が低下
し、ヘッドタッチ不良が生じ、出力低下やエンベロープ
不良が生じる。
If this film thickness exceeds 1.5 μm, cracking of the magnetic layer and magnetic surface deviation occur due to running. Further, the amount of head wear increases. And dropout increases. On the other hand, if the film thickness is less than 0.05 μm, the running stability is deteriorated, the head touch failure occurs, and the output decrease and the envelope failure occur.

本発明の磁気記録媒体の表面には、微細な突起が所定の
密度で設けられてもよい。
Fine protrusions may be provided at a predetermined density on the surface of the magnetic recording medium of the present invention.

微細な突起は、30〜300Å、より好ましくは50〜250Åの
高さを有するものである。
The fine protrusions have a height of 30 to 300Å, more preferably 50 to 250Å.

すなわち、本発明の突起は、光学顕微鏡で観察でき、か
つ触針型表面粗さ計で測定できるものではなく、走査型
電子顕微鏡にて観察できる程度のものである。
That is, the protrusions of the present invention can be observed with an optical microscope and can be observed with a scanning electron microscope, not with a stylus type surface roughness meter.

突起高さが300Åをこえ、光学顕微鏡にて観察できるも
のとなると、電磁変換特性の劣化と、走行安定性の低下
をもたらす。
If the projection height exceeds 300Å and can be observed with an optical microscope, electromagnetic conversion characteristics will deteriorate and running stability will decrease.

また、50Å未満となると、物性の向上の実効がない。Also, if it is less than 50Å, the improvement of physical properties is not effective.

そして、その密度は1mm2あたり平均105個以上、より好
ましくは105〜109個、特に106〜108である。
The density is 10 5 or more per mm 2 on average, more preferably 10 5 to 10 9 , and particularly 10 6 to 10 8 .

突起密度が105個/mm2未満となると、ノイズが増大し、
スチル特性が低下する等物性の低下をきたし、実用に耐
えない。
When the protrusion density is less than 10 5 pieces / mm 2 , noise increases,
The physical properties are deteriorated, such as the deterioration of the still characteristics, and it cannot be put to practical use.

また、109個/mm2をこえると、物性上の効果が少なくな
ってしまう。
On the other hand, if it exceeds 10 9 pieces / mm 2 , the effect on the physical properties will be reduced.

なお、突起径は、一般に200〜1000Å程度とする。The diameter of the protrusion is generally about 200 to 1000Å.

このような突起を設けるには、通常、基板上に微粒子を
配設すればよい。微粒子径は、30〜1000Åすればよく、
これにより微粒子径に対応した微細突起が形成される。
In order to provide such protrusions, it is usually sufficient to dispose fine particles on the substrate. The particle size should be 30 to 1000Å,
As a result, fine protrusions corresponding to the particle diameter are formed.

用いる微粒子としては、通常コロイド粒子として知られ
ているものであって、例えばSiO2(コロイダルシリ
カ)、Al2O3(アルミナゾル)、MgO、TiO2、ZnO、Fe
2O3、ジルコニア、CdO、NiO、CaWO4、CaCO3、BaCO3、Co
CO3、BaTiO3、Ti(チタンブラック)、Au、Ag、Cu、N
i、Fe、各種ヒドロゾルや、樹脂粒子等が使用可能であ
る。この場合、特に無機物質を用いるのが好ましい。
The fine particles used are those generally known as colloidal particles, for example, SiO 2 (colloidal silica), Al 2 O 3 (alumina sol), MgO, TiO 2 , ZnO, Fe.
2 O 3 , zirconia, CdO, NiO, CaWO 4 , CaCO 3 , BaCO 3 , Co
CO 3 , BaTiO 3 , Ti (titanium black), Au, Ag, Cu, N
i, Fe, various hydrosols, resin particles and the like can be used. In this case, it is particularly preferable to use an inorganic substance.

このような微粒子は、各種溶媒を用いて塗布液とし、こ
れを基板上に塗布、乾燥してもよく、あるいは塗布液中
に各種水性エマルジョン等の樹脂分を添加したものを塗
布、乾燥してもよい。
Such fine particles may be used as a coating solution using various solvents, which may be coated on a substrate and dried, or a coating solution to which a resin component such as various aqueous emulsions is added may be coated and dried. Good.

なお、場合によっては、これら塗布液を基板上に配設す
るのではなく、磁性薄膜層上にトップコート層として配
設することもできる。
In some cases, the coating liquid may be provided as a top coat layer on the magnetic thin film layer instead of being provided on the substrate.

また、樹脂分を用いる場合、これら微粒子にもとづく微
細突起に重畳してゆるやかな突起を設けることもできる
が、通常はこのようにする必要はない。
Further, when a resin component is used, it is possible to provide a gentle protrusion by superposing on the fine protrusion based on these fine particles, but it is not usually necessary to do so.

もし必要であるならば、強磁性金属薄膜層の上層と下層
との間に非磁性金属薄膜層を介在させてもよい。
If necessary, a nonmagnetic metal thin film layer may be interposed between the upper and lower layers of the ferromagnetic metal thin film layer.

本発明において、磁性層の形成は、いわゆる斜め蒸着法
によって形成されることが好ましい。
In the present invention, the magnetic layer is preferably formed by a so-called oblique vapor deposition method.

この場合、基体法線に対する蒸着物質の入射角の最少値
は特に制限はない。
In this case, the minimum value of the incident angle of the vapor deposition material with respect to the substrate normal is not particularly limited.

また、磁性層は一工程で下層と上層を連続して設層して
もよいが、通常は、下層を設層後、再度蒸着工程に流し
て上層を設層することが好ましい。
Further, the magnetic layer may be formed by continuously forming the lower layer and the upper layer in one step, but it is usually preferable that after the lower layer is formed, the upper layer is formed by flowing again to the vapor deposition step.

このように、磁性層の設層を下層設層と上層設層の2工
程に分けることにより、前述のように、基体法線に対す
る磁性柱状結晶粒の傾斜の向きが上層と下層とで媒体の
長さ方向で相対向する向きとなる。
In this way, by dividing the layer of the magnetic layer into two steps of the lower layer and the upper layer, as described above, the direction of the inclination of the magnetic columnar crystal grains with respect to the normal to the substrate is different between the upper layer and the lower layer. The directions are opposite to each other in the length direction.

このような磁性層構成とすることにより、電磁変換特性
はきわめて良好となる。
With such a magnetic layer structure, the electromagnetic conversion characteristics become extremely good.

なお、蒸着雰囲気は、通常、アルゴン、ヘリウム、真空
等の不活性雰囲気に、酸素ガスを含む雰囲気とし、10-5
〜100Pa程度の圧力とし、また、蒸着距離、基体搬送方
向、キャンやマスクの構造、配置等は公知の条件と同様
にすればよい。
The vapor deposition atmosphere is usually an atmosphere containing oxygen gas in an inert atmosphere such as argon, helium, or vacuum, and 10 -5
And to 10 0 Pa pressure of about, also deposition distance, the substrate transport direction, the structure of the can and the mask, arrangement and the like may be the same as known conditions.

そして、酸素雰囲気での蒸着により、表面に金属酸化物
の被膜が形成される。なお、金属酸化物が形成される酸
素ガス分圧は、実験から容易に求めることができる。
Then, a metal oxide film is formed on the surface by vapor deposition in an oxygen atmosphere. The oxygen gas partial pressure at which the metal oxide is formed can be easily obtained from experiments.

なお、表面に金属酸化物の被膜を形成するには、各種酸
化処理が可能である。
Various oxidation treatments can be performed to form a metal oxide film on the surface.

適用できる酸化処理としては下記のようなものがある。The following oxidation treatments can be applied.

1)乾式処理 a.エネルギー粒子処理 特願昭58-76640号に記載したように、蒸着の後期に、イ
オンガンや中性ガンにより酸素をエネルギー粒子として
磁性層にさしむけるもの。
1) Dry process a. Energetic particle treatment As described in Japanese Patent Application No. 58-76640, oxygen is energized to the magnetic layer as energetic particles by an ion gun or a neutral gun in the latter stage of vapor deposition.

b.グロー処理 O2、H2O、O2+H2O等とAr、N2等の不活性ガスとを用い、
これをグロー放電してプラズマを生じさせ、このプラズ
マ中に磁性膜表面をさらすもの。
b. Glow treatment O 2 , H 2 O, O 2 + H 2 O etc. and an inert gas such as Ar, N 2 are used,
Glow discharge is performed to generate plasma, and the surface of the magnetic film is exposed to this plasma.

c.酸化性ガス オゾン、加熱水蒸気等の酸化性ガスを吹きつけるもの。c. Oxidizing gas A gas that blows an oxidizing gas such as ozone or heated steam.

d.加熱処理 加熱によって酸化を行うもの。加熱温度は60〜150℃程
度。
d. Heat treatment A substance that is oxidized by heating. The heating temperature is about 60-150 ℃.

2)湿式処理 a.陽極酸化 b.アルカリ処理 c.酸処理 クロム酸塩処理、過マンガン酸塩処理、リン酸塩処理等
を用いる。
2) Wet treatment a. Anodizing b. Alkali treatment c. Acid treatment Chromate treatment, permanganate treatment, phosphate treatment, etc. are used.

d.酸化剤処理 H2O2等を用いる。d. Oxidant treatment H 2 O 2 or the like is used.

本発明の有機物のトップコート層は、放射線硬化型化合
物、すなわち放射線硬化型ポリマー、モノマー、オリゴ
マーの1種以上と、酸化防止剤と、さらに必要に応じ潤
滑剤とを含有し、かつ所定の密度と大きさの突起を有す
る強磁性金属薄膜上に設層されたものである。
The organic topcoat layer of the present invention contains a radiation-curable compound, that is, at least one of a radiation-curable polymer, a monomer and an oligomer, an antioxidant and, if necessary, a lubricant, and has a predetermined density. It is provided on a ferromagnetic metal thin film having protrusions of

さらに、本発明の媒体は、磁性層上に表面層を設層し
て、走行性をより一層向上することもできる。
Further, in the medium of the present invention, a surface layer may be provided on the magnetic layer to further improve the running property.

表面層としては、公知の種々のものが適用でき、例え
ば、各種高分子物質被膜、ないしはこれに潤滑剤、酸化
防止剤、界面活性剤、無機微粒子等を含有させたもの
や、各種潤滑剤の塗膜ないし気相被着膜等がある。
As the surface layer, various known ones can be applied, for example, various polymer material coatings, or those containing a lubricant, an antioxidant, a surfactant, inorganic fine particles or the like, or various lubricants. There is a coating film or a vapor deposition film.

表面層の厚さは、5〜300Å程度とする。The thickness of the surface layer is about 5 to 300 liters.

V発明の具体的作用効果 本発明によれば、厚さ8μm以下の基体を用いているた
め、媒体の小型化、長時間記録が可能となる。
V. Specific Actions and Effects of the Invention According to the present invention, since a substrate having a thickness of 8 μm or less is used, it is possible to downsize the medium and record for a long time.

また、磁性層が上層と下層の2層構成をなすことによ
り、磁性柱状結晶粒の長さが小さいものとなるため磁性
層の膜強度が向上する。このため、走行安定性がきわめ
て高く、また、走行による磁性層のクラックや磁性面の
ケズレの発生がきわめて少なく、ヘッド摩耗量もきわめ
て少ないものとなる。
In addition, since the magnetic layer has a two-layer structure of an upper layer and a lower layer, the length of the magnetic columnar crystal grains is small, so that the film strength of the magnetic layer is improved. Therefore, running stability is extremely high, cracks in the magnetic layer and scratches on the magnetic surface due to running are extremely small, and the amount of head wear is also extremely small.

さらに、磁性層の上層の厚さと下層の厚さとの比が0.2
〜0.9となることにより、比較的浅い磁界を有する5MHz
程度の信号は層厚の薄い上層で保持され、比較的深い磁
界を有する0.75MHz程度の信号は層厚が厚い下層で有効
に保持されるものである。
Furthermore, the ratio of the thickness of the upper layer of the magnetic layer to the thickness of the lower layer is 0.2.
~ 0.9, 5MHz with relatively shallow magnetic field
A signal of the order of magnitude is retained in the upper layer having a small layer thickness, and a signal of about 0.75 MHz having a relatively deep magnetic field is effectively retained in the lower layer of a large layer thickness.

VI発明の具体的実施例 以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明をさらに詳
細に説明する。
VI Specific Examples of the Invention Hereinafter, specific examples of the present invention will be shown to explain the present invention in more detail.

実施例1 下記表1に示す厚さのポリエステル(PET)フィルムを
円筒状、冷却キャンの周面に沿わせて移動させ、O2+Ar
(容積比1:1)を毎分800ccの速さで流し真空度を1.0×1
0-4Torrとしたチャンバー内で、Co80、Ni20(重量比)
の合金を溶融し、入射角を下層設層時は60°〜90°、上
層設層時は10°〜90°とし、斜め蒸着により第1図に示
されるようなCo-Ni-O薄膜を形成した。また、比較とし
て、入射角30〜90°の部分のみ斜め蒸着し膜厚0.15μm
のCo-Ni-Oの単層薄膜を形成した。
Example 1 A polyester (PET) film having a thickness shown in Table 1 below was moved along the circumferential surface of a cylindrical cooling can to remove O 2 + Ar.
(Volume ratio 1: 1) flows at a speed of 800cc per minute and the degree of vacuum is 1.0 x 1
Co80, Ni20 (weight ratio) in a chamber set to 0 -4 Torr
The alloy of Fig. 1 is melted and the incident angle is 60 ° to 90 ° for the lower layer and 10 ° to 90 ° for the upper layer, and the Co-Ni-O thin film as shown in Fig. 1 is formed by oblique vapor deposition. Formed. As a comparison, the film thickness of 0.15 μm is obtained by obliquely vapor-depositing only the part where the incident angle is 30 to 90 °.
Co-Ni-O single-layer thin film was formed.

酸素はベースとの界面下層と上層との界面およびベース
と反対側の表面に多く偏在していた。また、ベースと反
対側の表面はほぼ酸化物のみで覆われていた。
A large amount of oxygen was unevenly distributed in the interface between the lower layer and the upper layer and the surface opposite to the base. Also, the surface opposite to the base was almost entirely covered with oxide.

Hc=1000 Oe。膜中の平均酸素量はCoとNiに対する原子
で40%であった。
Hc = 1000 Oe. The average oxygen content in the film is the atomic ratio to Co and Ni. Was 40%.

なお、磁性層薄膜上には、ミリスチン酸イソプロピルの
表面層を膜厚25Åにて設層し、また、基体裏面側には0.
5μm厚にてカーボン、シリカおよび放射線硬化樹脂を
含む裏地層を設層した。
On the magnetic layer thin film, a surface layer of isopropyl myristate was formed with a film thickness of 25 Å, and on the back side of the substrate was 0.
A backing layer containing carbon, silica and a radiation curable resin was formed to a thickness of 5 μm.

このようにして形成した下記表1に示す各サンプルにつ
き、下記の測定を行なった。
The following measurements were carried out for each of the samples formed in this way and shown in Table 1 below.

1)耐久性 温度20℃、湿度60%RHの条件下で連続走行テストを行な
った。
1) Durability A continuous running test was conducted under the conditions of a temperature of 20 ° C and a humidity of 60% RH.

使用デッキ:SONY A-300 ヘッド :スパッタ センダスト なお、媒体の走行方向と下層の基体法線に対する磁性結
晶粒の傾きの方向とを同一方向とした。
Deck used: SONY A-300 Head: Sputter sendust Note that the running direction of the medium and the direction of the inclination of the magnetic crystal grains with respect to the normal line to the substrate of the lower layer were the same direction.

2)電磁変換特性 中心周波数0.75MHzおよび5MHzの出力を測定し、サンプ
ルNo.10の出力を0dBとした時の値を求めた。
2) Electromagnetic conversion characteristics The outputs at center frequencies 0.75MHz and 5MHz were measured, and the value when the output of sample No. 10 was set to 0dB was obtained.

使用デッキ:SONY A-300 ヘッド :スパッタ センダスト モード :SPモード なお、サンプルNo.7(ベース厚:7μm、磁性層構成:単
層)の出力に対するサンプルNo.1〜6(ベース厚:7μ
m、磁性層構成:2層)の出力の向上巾を表1の( )内
に記載した。
Deck used: SONY A-300 Head: Sputter Sendust mode: SP mode In addition, sample Nos. 1 to 6 (base thickness: 7μ) for the output of sample No. 7 (base thickness: 7 μm, magnetic layer configuration: single layer)
m, magnetic layer constitution: 2 layers) is shown in the parentheses in Table 1 for the improvement of output.

表1に示される結果より本発明の効果は明らかである。 From the results shown in Table 1, the effect of the present invention is clear.

すなわち、、上層厚/下層厚が0.2〜0.9であると、ベー
ス厚8μm以下では、特に5MHz出力のきわめて高い向上
がみられ、5MHz出力の点で実用に耐えないベース厚のう
すいものでも、十分実用可能な電磁変換特性を示すこと
がわかる。
That is, when the upper layer thickness / lower layer thickness is 0.2 to 0.9, especially when the base thickness is 8 μm or less, a particularly high improvement of 5 MHz output is seen, and even a thin base thickness that is not practical for 5 MHz output is sufficient. It can be seen that it shows a practical electromagnetic conversion characteristic.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の磁気記録媒体の1実施例の媒体方向に
平行な断面の模式図である。 第2図は、本発明の磁気記録媒体の他の実施例の媒体方
向に平行な断面の模式図である。 符号の説明 1……磁気記録媒体、2……基板、3……強磁性金属薄
膜下層部、4……強磁性金属薄膜上層部、5……下層結
晶粒、6……下層結晶粒、矢印a……媒体長さ方向
FIG. 1 is a schematic view of a cross section parallel to the medium direction of one embodiment of the magnetic recording medium of the present invention. FIG. 2 is a schematic view of a cross section parallel to the medium direction of another embodiment of the magnetic recording medium of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic recording medium, 2 ... Substrate, 3 ... Ferromagnetic metal thin film lower layer, 4 ... Ferromagnetic metal thin film upper layer, 5 ... Lower crystal grain, 6 ... Lower crystal grain, arrow a: Medium length direction

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】厚さ8μm以下のプラスチックフィルム上
に、 CoとNiとOとを含み、ともに傾斜した柱状結晶粒が集合
した構造の強磁性金属薄膜層の上層および下層を有し、 この上層の厚さと下層の厚さとの比が0.2〜0.9である磁
気記録媒体を用い、 5MHz以上の高周波領域の信号を主として前記上層が保持
し、0.75MHzないしその近傍の低周波領域の信号を主と
して前記下層が保持するように磁気記録を行い、 前記高周波領域の信号の出力を向上させる磁気記録方
法。
1. An upper layer and a lower layer of a ferromagnetic metal thin film layer having a structure in which columnar crystal grains containing Co, Ni, and O and inclined together are formed on a plastic film having a thickness of 8 μm or less. The ratio of the thickness of the lower layer to the thickness of the lower layer is 0.2 to 0.9 is used, and the upper layer mainly holds signals in the high frequency region of 5 MHz or more, and mainly the signals in the low frequency region of 0.75 MHz or its vicinity. A magnetic recording method in which magnetic recording is performed so that the lower layer holds the signal, and the output of signals in the high frequency region is improved.
JP61153179A 1986-06-30 1986-06-30 Magnetic recording method Expired - Lifetime JPH0754563B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61153179A JPH0754563B2 (en) 1986-06-30 1986-06-30 Magnetic recording method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61153179A JPH0754563B2 (en) 1986-06-30 1986-06-30 Magnetic recording method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS639015A JPS639015A (en) 1988-01-14
JPH0754563B2 true JPH0754563B2 (en) 1995-06-07

Family

ID=15556776

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61153179A Expired - Lifetime JPH0754563B2 (en) 1986-06-30 1986-06-30 Magnetic recording method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0754563B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0477641A3 (en) * 1990-09-11 1993-05-05 Tdk Corporation Magnetic recording medium for digital recording

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57130228A (en) * 1981-02-06 1982-08-12 Fuji Photo Film Co Ltd Magnetic recording medium
JPS5860429A (en) * 1981-10-06 1983-04-09 Ulvac Corp Magnetic recording body and its manufacturing device
JPS60171626A (en) * 1984-02-17 1985-09-05 Toray Ind Inc Video tape

Also Published As

Publication number Publication date
JPS639015A (en) 1988-01-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0760482B2 (en) Magnetic recording method
KR940009728B1 (en) Magnetic recording media
JPH0754563B2 (en) Magnetic recording method
JPH07107734B2 (en) Magnetic recording medium
JPH0766484B2 (en) Magnetic recording method
JPH0760505B2 (en) Magnetic recording medium and magnetic recording method
JPS6310314A (en) Magnetic recording medium
JP2848833B2 (en) Magnetic recording media
JPH0795366B2 (en) Magnetic recording method
JP3167128B2 (en) Magnetic recording media
JPH0612566B2 (en) Magnetic recording method
JPH02260220A (en) Magnetic recording medium
JP2882524B2 (en) Magnetic recording media
JP2003123241A (en) Magnetic recording medium and method of manufacturing the same
JPS60234218A (en) Magnetic recording medium
JP3167129B2 (en) Magnetic recording media
JPH0624052B2 (en) Magnetic recording method
JPH0624053B2 (en) Magnetic recording method
JPH08180363A (en) Magnetic recording medium and its production
JPS6378339A (en) Method for manufacturing magnetic recording media
JPH08161724A (en) Metal thin film type magnetic tape
JPH05101368A (en) Magnetic tape
JPH0440621A (en) Magnetic recording medium
JPH07192245A (en) Magnetic recording medium
JPH07182644A (en) Magnetic recording medium