on ionの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 4042件
The ion selective electrode is equipped with the response glass, wherein a titanium compound having a photocatalytic function is present on or in a glass film, responding to ions and constituted so that the magnitude of asymmetric potential is set in a range of ±30 mV, by balancing the inside and outside charges of the response glass.例文帳に追加
イオン応答するガラス膜の表面又は内部に、光触媒能を有するチタン化合物が存在している応答ガラスを備えており、前記応答ガラス内外の電荷が釣り合うことにより、不斉電位が±30mV以内の大きさであるようにしてある。 - 特許庁
To provide a plasma treatment device capable of minimizing the size of the whole device as much as possible even if a reactor has a large diameter, being thus set in a small space, improving the directivity of the ion incident on a sample and extending the life of the reactor.例文帳に追加
反応器の直径が大きくても、装置全体のサイズを可及的に小さくでき、小さなスペースに設置し得、また、試料に入射されるイオンの指向性を改善すると共に、反応器の寿命を長くすることができるプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁
An ion reinforced insulating layer 230 is doped with a dopant of polarity different from that of the dopant in the layer 202, in the structure where the layer 230 is interposed between the buried layer 202 and a group of well regions 214, 218, 222, 226 formed on the first circuit 204 and the second circuit 206.例文帳に追加
絶縁層230が、埋込層202と、第一の回路204と第二の回路206のデバイスがその上部に形成されるウェル領域214,218,222,226との間に介在する構造において、イオン増強絶縁層230が、埋込層202の不純物と異なった極性の不純物でドープされる。 - 特許庁
A projected wall portion 28 vertically and substantially extending against the surface of a protection plate 27 and having a vertical wall surface 30 to which an unnecessary ion beam 11B is collided is continuously formed on the surface of a protection plate 27 along an extension direction of a beam passage.例文帳に追加
保護板27の表面に対して実質的に垂直方向に延び且つ不要なイオンビーム11Bが衝突する垂直壁面30を有する突出壁部28を、ビーム通路26の延在方向に沿って保護板27の表面に連続して形成する。 - 特許庁
The anode material can be manufactured by preparing a core material mixing a volatile member vaporized by heat and the first lithium-ion storage member IA, forming a coating film on a surface of the core material, and then, heating and vaporizing the volatile member of the core material.例文帳に追加
この負極材料は、加熱により気化する気化性部材と第一リチウムイオン吸蔵部材IAが混合された核材を調製した後、核材の表面に被覆膜を形成し、次に、核材の気化性部材を加熱気化させることにより製造できる。 - 特許庁
To provide an ignition device for an internal combustion engine capable of preventing the mis-ignition of an air-fuel mixture caused by the generation of the spark discharging on an ignition plug in starting the current-carrying to a primary winding, and generating and detecting the ion current between electrodes of the ignition plug.例文帳に追加
一次巻線への通電開始時に点火プラグに火花放電が発生して、混合気への誤着火を引き起こすことを抑制するとともに、点火プラグの電極間におけるイオン電流の発生、検出が可能な内燃機関用点火装置を提供する。 - 特許庁
This field effect type sensor includes a plurality of ion sensitive field effect transistors (ISFET) 101, and a material fixing part 102 provided in common on each ISFET 101, to which a material adheres, which is a detection object capacity-connected to each channel of the ISFET 101.例文帳に追加
複数のイオン感応型電界効果トランジスタ(ISFET)101および各ISFET101に共通に設けられてISFET101の各々のチャネルに容量接続した検出対象の物質が付着する物質固定部102を備える。 - 特許庁
The internal resistance of the lithium ion battery is measured three or more times at time intervals, and measurement values are plotted relative to a square root of a neglect time of the battery, and an increase rate to the square root of the neglect time and an initial value of the internal resistance are determined on the basis of the plotted result.例文帳に追加
リチウムイオン電池の内部抵抗を,時間間隔をおいて3回以上測定し,測定値を,電池の放置時間の平方根に対してプロットし,プロット結果に基づいて,内部抵抗の,放置時間の平方根に対する増加率と,初期値とを決定する。 - 特許庁
In the ozone sensor, the surface of a substrate 10 is smoothed to an average roughness of 0.05 μm or less by gas cluster ion irradiation or the like, and an indium oxide film whose thickness is 0.3 or 0.5 μm is used on it as an ozone resistance variation layer 20.例文帳に追加
本発明に係るオゾンセンサは、基板10の表面がガスクラスタイオン照射などで平均粗さ0.05マイクロメートル以下に平滑化されており、その上ににオゾン感応抵抗変化層20として厚さ0.3ないし0.5マイクロメートルの酸化インジウム膜を用いている。 - 特許庁
The ion generator is composed of an insulating substrate 10, a plurality of discharge electrodes 15 which are insertion engaged with grooves 13 of the insulating substrate 10 and are pressed and fixed by a fixing substrate 20, a common electrode 35 and a resistor 36 formed on a second insulating substrate 30.例文帳に追加
絶縁基板10と、絶縁基板10の溝部13に嵌合し、固定用基板20で押圧固定された複数の放電電極15と、第2の絶縁基板30上に形成した共通電極35及び抵抗体36とからなるイオン発生器。 - 特許庁
To prevent drivability of a vehicle from degrading because of instantaneous fluctuation of a vehicle braking force, with a recovery energy of regenerative power generation being assured, while control to suppress Li precipitation is performed, relating to a vehicle on which a lithium ion secondary battery is mounted.例文帳に追加
リチウムイオン二次電池を搭載した車両において、Li析出を抑制するための制御を実行した上で、回生発電による回収エネルギを確保しつつ車両制動力の瞬間的な変動によって車両運転性が低下しないようにする。 - 特許庁
A hydrogen ion injection part 151 wherein adjustment is so performed that the peak position of distribution of hydrogen ions is in a BOX layer 152 (buried oxide layer), and a single crystal Si thin film transistor 130 are formed on an SOI substrate 150, and bonding to an insulating substrate 110 is performed.例文帳に追加
SOI基板150に、水素イオンの分布のピーク位置がBOX層152(埋め込み酸化膜層)内となるように調節した水素イオン注入部151と、単結晶Si薄膜トランジスタ130とを形成し、絶縁基板110に接合させる。 - 特許庁
To provide a DC power supply which uses a lithium ion capacitor unit as a main power supply and uses a secondary battery as a standby power supply in which deterioration of the secondary battery is limited by reducing the load on the secondary battery, and stabilized power supply is ensured.例文帳に追加
リチウムイオンキャパシタ・ユニットを主電源として用い、二次電池を予備電源として用いる直流電源装置において、二次電池の負担を減らして二次電池の劣化を抑え、安定して電力の供給が可能な直流電源装置を提供する。 - 特許庁
In the aluminum stabilized laminate, a stabilizing layer composed of metal and having 0.001 to 1μm thickness is laminated by sputtering, vapor deposition or ion plating on the whole surface of a thin film whose surface is composed of at least aluminum.例文帳に追加
表面が少なくともアルミニウムで構成される薄膜の全面に、金属で構成される厚み0.001〜1μmの安定化層をスパッタリング法、蒸着法またはイオンプレーティング法のいずれかの方法により積層してなるアルミニウム安定化積層体に関する。 - 特許庁
The carbon material is produced by coordinating metal ions to a high polymer material that bears atomic groups including donor atoms, for example, N, O, S or the like on the main chains and/or side chains of the polymer and the resultant metal ion-coordinated high polymer complex is fired and carbonized.例文帳に追加
本発明に係る炭素材料は、窒素、酸素、硫黄のようなドナー原子を含む原子団が主鎖や側鎖に存在している高分子材料に金属イオンを配位させた高分子金属錯体を焼成して炭化したことを特徴とする。 - 特許庁
The negative electrode for the lithium ion secondary battery is provided with a metallic collector, and a negative electrode active material as well as a conductive assistant coupled by a binder on the collector, with the negative electrode active material containing one of a wire shape.例文帳に追加
金属製の集電体と、前記集電体上に、結着剤で結合している負極活物質と導電助剤と、を有し、前記負極活物質が、ワイヤー形状の負極活物質を含むことを特徴とするリチウムイオン二次電池用の負極である。 - 特許庁
The transparent electrodes 5, 6 are formed on the glass plates 1, 2 by ion plating method using an evaporation material containing indium as a main component, of which, the light transmission rate at the wave length of 400 nm is not less than 85%, and not less than 70% at 350 nm.例文帳に追加
透明電極5,6は、インジウムを主成分とする被蒸発物質を用いてイオンプレーティング法によりガラス基板1,2に成膜されて成り、さらに、光透過率が波長400nmで85%以上、波長350nmで70%以上である。 - 特許庁
To easily and economically provide a pollutant removal material capable of efficiently removing pollutant substances and at the same time efficiently removing nitrate ion produced on the surface of a photocatalyst at the time of removing NOx in the atmospheric air, and maintaining the photocatalytic function for a long duration.例文帳に追加
汚染物質を効率良く浄化できるとともに、大気中のNOx を浄化処理する際に光触媒表面に生成する硝酸イオンを効率的に除去し、光触媒作用を長期間維持できる汚染物質除去材を容易かつ廉価に提供する。 - 特許庁
A single laser beam, emitted from argon ion laser 6, is adjusted in a plane of polarization, and the irradiation light 1 condensed by a condensing lens 10 is allowed to be incident on the surface of the sample 3 at an incident angle which minimizes reflected light and generating only scattered light.例文帳に追加
アルゴンイオンレーザー6から射出させた単一レーザー光を、偏光面調整させ、ついで集光レンズ10で集光させた照射光1を、反射光を最小限に抑え、散乱光のみを発生させる入射角度で、試料3表面に照射させる。 - 特許庁
The liquid to be jetted from the jetting nozzle is stored in a liquid storing cartridge detachably attached on the folding type cellular phone, and the liquid storing cartridge can store various kinds of liquid such as, for example, perfume, fragrant agent, negative ion agent or disinfection agent.例文帳に追加
噴射ノズル部から噴射される液体は、折り畳み型携帯電話機に着脱可能な液体格納カートリッジに格納され、液体格納カートリッジには、例えば、香水、芳香剤、マイナスイオン剤、除菌剤などの各種の液体を格納することが可能である。 - 特許庁
A P type impurity concentration distribution having a steep slope in the depth direction is formed by forming a P type substrate region 3 becoming a channel region by ion implantation after a process for forming a gate insulating film 4 on the wall face of a trench T.例文帳に追加
トレンチTの壁面上にゲート絶縁膜4を形成する工程よりも後に、チャネル領域となるP型基板領域3をイオン注入法により形成することによって、深さ方向に急峻な勾配を有するP型不純物濃度分布を形成する。 - 特許庁
To provide a mass spectroscope which can analyze with high resolution and precision by eliminating disturbances in multi-pole field, by giving an ion incident energy without applying electrode bias on a multiple pole itself of a multi-pole mass spectroscope.例文帳に追加
多重極質量分析計の多重極自身へバイアス電圧を印加することなく、イオンへ入射エネルギーを与えるようにして、多重極場の乱れをなくして分解能、精度の高い分析を行うことができるようにした質量分析装置を提供する。 - 特許庁
A hydrogen permeable structure 3 has the porous base material 2 and the hydrogen permeable film 1 of 1 μm or below thickness which is formed on the surface of the base material 2 by applying an electric potential difference pulsewise between the base material 2 and a deposition raw material by an ion plating method.例文帳に追加
水素透過構造体3は、多孔質の基材2と、基材2と蒸着原料との間に電位差をパルス的に印加してイオンプレーティング法で基材2の表面上に形成された厚みが1μm以下の水素透過性膜1とを備える。 - 特許庁
This alarm device of the blast type ion generator is provided with: a wind-speed sensor 12 for detecting the speed of wind sucked in a suction port; and a blower alarm signal generation circuit 25 for inputting output from the wind-speed sensor 12 to generate a blower alarm signal based on its output drop.例文帳に追加
吸い込み口に吸い込まれる風速を検出する風速センサ12と、この風速センサ12からの出力を入力し、その出力低下に基づいて送風機警報信号を発生する送風機警報信号発生回路25とを備える - 特許庁
In this manufacturing method for the micro space structure bio-nano tool, a beam irradiation position and an irradiation time are determined based on three-dimensional model data designed by using a computer and the front end of a glass capillary is cut by a focused ion beam.例文帳に追加
微小立体構造バイオナノツールの製造方法において、電子計算機を利用して設計した微小立体構造物の三次元モデルデータに基づき、ビームの照射位置、照射時間を決定し、集束イオンビームによりガラスキャピラリーの先端部の切断加工を行う。 - 特許庁
To provide an ion generator which is interlocked with the operation of a fan in an air handling unit or the like, mounted on a wall or the like, and can diffuse ions efficiently into a living space by utilizing winds generated by the fan without modifying the fan.例文帳に追加
壁等に設置されている空気調和機等の送風機を改造することなく、該送風機の運転に連動し、該送風機が発生する風を利用してイオンを効率よく居住空間内に拡散することができるイオン発生装置を提供する。 - 特許庁
The blackening-treated plate has the film which is formed by applying the paint composition, which contains (a) a metal ion, (b) a water soluble organic resin, (c) a water dispersible organic resin, (d) a glycoluril resin and (e) an acid, on the steel plate surface subjected to the black-coloring treatment and Zn-Ni plating.例文帳に追加
黒色化処理されたZn−Niめっき鋼板表面に、(a)金属イオン、(b)水溶性有機樹脂、(c)水分散性有機樹脂、(d)グリコールウリル樹脂、および(e)酸が添加された塗料組成物を塗布して形成された皮膜を有する黒色鋼板。 - 特許庁
To provide an improved method for producing an antimicrobial glass substrate or a glass-like substrate and to provide a method for producing the substrate containing a metal ion with a concentration effective for antimicrobial action on at least one selected surface area of substantially colorless, clear substrate.例文帳に追加
ガラス又はガラス様基体の少なくとも1つの表面領域に、接触致死性で非浸出性の、抗菌に有効な量の金属イオンを含有している該基体であって、CIE国際色彩標準でb^*≦+6の色彩を有する該基体を開示する。 - 特許庁
The main control unit 13 determines the direction and speed in which the ion generator 1 should move based on the detected signal obtained by the contact sensors 12l, 12f, 12r, and controls appropriately a drive control unit 14 according to the determined direction and speed.例文帳に追加
主制御ユニット13は、接触センサ12l,12f,12rから取得した検出信号に基づいてイオン発生装置1が移動すべき方向及び速度を決定し、決定した方向及び速度に従って駆動制御ユニット14を適切に制御する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a plastic optical waveguide which can manufacture a core part easily without generating cracks on both sides of the core and which can manufacture an optical waveguide in which an optical transmission loss value is stable and which has a low optical transmission loss in core formation by RIE (Reactive Ion Etching) while using a heat resistive resin.例文帳に追加
耐熱性樹脂を用いながら、RIEによるコア形成において、コア部の両サイドにクラックを生じないでコア部を設計通りに容易に作製でき、光損失値が安定した低損失な光導波路作製法を提供することにある。 - 特許庁
To provide a conductive coupling structure of a conductive handle for a lithium-ion secondary battery capable of coupling each conductive handle and a conductive terminal without relying on a welding work, with a manufacturing process more simplified, an assembly work made more easy, and with capital investment reduced.例文帳に追加
溶接作業を実施しなく各導電柄と導電端子とを電気的に連結することができ、製造プロセスが簡単化になり、組付作業が容易になり、設備投資が降下になるリチウムイオン二次電池用導電柄の導電連結構造を提供する。 - 特許庁
To provide a solid polymer fuel cell which suppresses corrosion of a metallic separator on the side of a hydrogen electrode 12 and contamination of a polymer ion-exchange membrane 11 by humidifying only oxidant gas, enables operation with a high output for a long period of time and is suitable for space saving.例文帳に追加
酸化剤ガスのみを加湿することにより、水素極12側の金属製セパレータの腐食,高分子イオン交換膜11の汚染を抑え、長期間にわたって高出力で運転でき、省スペース化にも好適な固体高分子型燃料電池を提供する。 - 特許庁
The diffusing means is provided with a flow line expanding means to expand the flow line at the discharge of the transported negative ions, a number of negative ion discharging holes opened on the transporting means or a mobile louver attached to the diffusing means to vary the flow direction.例文帳に追加
拡散手段は、搬送された負イオンを放出するとき、その流路を拡大する流路拡大手段や、搬送手段に設けられた多数の負イオン放出孔であったり、拡散手段に可動式のルーバーを設け、風向を変化させることを特徴とする。 - 特許庁
To provide a qigong (a traditional Chinese breathing exercise) detecting and evaluating apparatus which can exactly detect and evaluate the qigong based on a knowledge that essence of the qigong regarding a life effect resides in a modifying effect of water molecule, life ion or the like due to a pulse-like magnetic field of milligauss order.例文帳に追加
生命効果に関する気功の本質は、ミリガウスオーダーのパルス状の磁界による水分子や生命イオン等への改質効果にあるとの知見に基づいて、気功の検出と評価を的確に行うことができる気功の検出・評価装置を提供する。 - 特許庁
The method includes a process for forming the primary film on the metal surface by the sol-gel method, and a process for soaking it in a solution containing a metal ion, and subjecting it to the electrolytic precipitation and the baking process in the holes present in the primary film.例文帳に追加
金属表面にゾルゲル法を用いて一次被膜を形成する工程と、金属イオンを含有する溶液中に浸漬して、当該金属イオンを一次被膜に有する孔に電解析出及び焼成処理する工程とを有することを特徴とする。 - 特許庁
Positive and negative electrode terminal plates 42 and 43 conducting into the series circuit of the lithium ion batteries 30 and connectors 44 and 45 into which the monitored result by the voltage monitoring circuit and the temperature monitoring circuit is output are provided on a lid 50 so as to project toward the outside of the case 5.例文帳に追加
蓋50には、リチウムイオン電池30の直列回路に導通する正負の電極端子板42,43と電圧監視回路および温度監視回路による監視結果が出力されるコネクタ44,45とが外部へ突出した状態で設けられている。 - 特許庁
The lithium ion secondary battery includes: a negative electrode having a collector and a negative electrode active material layer formed on the collector and having a negative electrode active material where lithium ions are doped; a positive electrode; and an electrolyte layer arranged between the positive electrode and the negative electrode.例文帳に追加
集電体と;前記集電体上に形成され、リチウムイオンがドープされた負極活物質を含む負極活物質層と;を有する負極と、正極と、前記正極と前記負極との間に介在する電解質層とを有するリチウムイオン二次電池である。 - 特許庁
Then, at least one main surface of the SiGe epitaxial film 11 on which an ion implantation layer is formed and a support substrate 20 is subjected to plasma treatment and ozone treatment for purposes of surface cleaning, surface activation, or the like, and both main surfaces are laminated for bonding.例文帳に追加
続いて、イオン注入層を形成したSiGeエピタキシャル膜11と支持基板20の少なくとも一方の主面に、表面清浄化や表面活性化などを目的としたプラズマ処理やオゾン処理を施し、主面同士を密着させて貼り合わせる。 - 特許庁
A semiconductor device 25, where a surface protective film 23 constituted of a silicon oxide insulating film, is installed on a semiconductor substrate 16 and at least the surface area of the surface protection film 23 is improved by ion implantation 37 and the manufacturing method are arranged.例文帳に追加
半導体基体16上にシリコン酸化物絶縁膜からなる表面保護膜23を有し、この表面保護膜23の少なくとも表面域が、イオン注入37によって改質されている、半導体装置25及びその製造方法を特徴とする。 - 特許庁
A p-type clad layer 15 and a p-side contact layer 16 are formed sequentially on an active layer 14, which are selectively ion-implanted with a material as that lowering the refractive index to form a low refractive-index region 17.例文帳に追加
活性層14上にp型クラッド層15およびp側コンタクト層16を順次形成し、このp型クラッド層15、p側コンタクト層16に、その屈折率を減少させる材料を選択的にイオン注入することにより低屈折率領域17を形成する。 - 特許庁
In a compound semiconductor substrate 11 in which a plurality of semiconductor elements 12 are formed, modified layers 17 in which crystallinity is collapsed by ion implantation or the like are formed on regions (dicing regions 14) between forming regions of the semiconductor elements 12.例文帳に追加
複数の半導体素子12を形成された化合物半導体基板11において、半導体素子12の形成領域と形成領域との間の領域(ダイシング領域14)にイオン注入等によって結晶性の崩れた改質層17を形成する。 - 特許庁
A fluorine capturing agent is added to a fluorotitanium complex ion-containing aq. soln. mixed with the P-type semiconductor component and the composite film consisting of titanium and the P-type semiconductor is precipitated on the substrate immersed in this aq. soln. to produce a composite film having photocatalytic activity.例文帳に追加
p型半導体成分を混合したフルオロチタン錯イオン含有水溶液にフッ素捕捉剤を添加し、この水溶液に浸漬した基板上に、酸化チタン及びp型半導体からなる複合膜を析出させる、光触媒活性を有する複合膜の製造方法。 - 特許庁
An objective lens having a built-in ion drawing/einzel pipe lens is used in a laser irradiation section of the flight time mass spectrometer, and a laser beam can be narrowed to several ten μm and radiated on the sample plate, and thus interference between eluant spots is prevented.例文帳に追加
また飛行時間質量分析計のレーザー照射部にイオン引き出し・アインシェルパイプレンズ内臓対物レンズを用い、サンプルプレート上にレーザー光を数10μmに絞って照射することが可能で、これにより、溶離液スポット相互間の干渉を防止した。 - 特許庁
An amorphous silicon nitride film is formed on the surface of a silicon substrate as a buffer layer, the buffer layer is annealed by microwave excitation high density radical ion irradiation, or the like, and a crystalline silicon nitride film is formed, thus obtaining the silicon nitride film whose characteristics are stable.例文帳に追加
シリコン基板表面に、バッファ層として、非晶質のシリコン窒化膜を形成し、当該バッファ層をマイクロ波励起高密度ラジカルイオン照射等により、アニールを施し、結晶質のシリコン窒化膜にすることにより、特性の安定なシリコン窒化膜が得られる。 - 特許庁
In the method and the apparatus for ion milling, a thin film formed on a sample is irradiated by ions, and then the position of the thin film to be cut out by the collision of ions is confirmed, and then the position of the collision of ions is corrected.例文帳に追加
上記目的を達成するために、本発明によれば、試料上に形成された薄膜にイオンを衝突させ、このイオンの衝突によって薄膜が削り取られる位置を確認して、イオンの衝突位置を補正するイオンミリング加工方法、及び装置を提案する。 - 特許庁
An ultrasonic drive part for driving a solution, an electrical sample drive part having a split electrode for driving ions, an ultraviolet light emitting diode for ionizing a substance to be detected and an ion detection part of ISFET are provided to one microcapillary part formed on the same substrate.例文帳に追加
同一の基板上に形成した1個のマイクロキャピラリ部に、溶液を駆動する超音波駆動部とイオンを駆動する分割電極を持つ電気的試料駆動部、被検出物質をイオン化する紫外線発光ダイオード、ISFETをイオン検出部を設ける。 - 特許庁
A raw material to be used as a niobium ion source is melted into a molten salt, a reducing agent 8 in a crucible 9 is acted on the molten salt 3, and the niobium ions melted into the molten salt 3 are reduced into a metallic state, by which niobium powder containing columnar particles is obtained.例文帳に追加
ニオブイオン源となる原料を溶融塩3に溶解し、この溶融塩3に対してるつぼ9内の還元剤8を作用させて溶融塩3に溶解したニオブイオンを金属状態に還元することにより、柱状の粒子を含むニオブ粉末を得る。 - 特許庁
The glycerol is reduced by making an ion exchange resin having ≤10×10^6 ppm SO_2 concentration based on 1 equivalent measured under conditions of 10 mL/min nitrogen gas flow rate, 5 K/min heating rate and 418 K atmospheric temperature coexist with the glycerol, hydrogen and Ru.例文帳に追加
窒素ガス流量10ml/分、昇温速度5K/分、雰囲気温度418Kの条件で測定したSO_2濃度が、1eq当たり10×10^6ppm以下であるイオン交換樹脂を、グリセリン、水素、およびRuと共存させてグリセリンの還元を行う。 - 特許庁
To provide an electrospray ion source capable of surely discriminating a signal originated in a standard material even when it is accumulated on a signal originated in an unknown sample at the time of carrying out precise mass measurement by simultaneously using the unknown sample and the standard material.例文帳に追加
未知試料と標準物質を同時に用いて精密質量測定を行なう際に、標準物質由来の信号が未知試料由来の信号の上に重なっていても、それを確実に判別することのできるエレクトロスプレー・イオン源を提供する。 - 特許庁
This composition comprising a polymer having at least one kind of silicon, germanium and tin, and a protective group grafted on the skeleton of the polymer is useful as a resist, has a sensitivity to the radiation for forming an image, and exhibits an enhanced resistance to reactive ion etching.例文帳に追加
シリコン、ゲルマニウム、スズのうちの少なくとも1種類を有する重合体と、重合体の骨格にグラフトさせた保護基を含む組成物は、レジストとして有用であり、像形成する放射に感度を有するとともに、強化された耐反応性イオン・エッチング性を示す。 - 特許庁
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