「reaction layer」に関連した英語例文の一覧と使い方(36ページ目) - Weblio英語例文検索

This method for producing 4,4'-bisphenolsulfone, comprising reacting phenol with sulfuric acid in a solvent comprising one or more aliphatic saturated hydrocarbons, adding a 1 to 3C alcohol to the reaction solution, and then recrystallizing the 4,4'-bisphenolsulfone in the separated alcohol layer.例文帳に追加

この発明は、フェノール及び硫酸を、１種または２種以上の脂肪族飽和炭化水素を含む溶媒中で反応させた後、この反応液に炭素数１〜３のアルコールを加え、分液したアルコール層から４，４’−ビスフェノールスルホンを再結晶させる４，４’−ビスフェノールスルホンの製造方法である。 - 特許庁

In the same low pressure CVD furnace, a buffer film is formed on a semiconductor wafer by introducing a first reaction gas in a step 2, an N2 gas is purged in the furnace in a step 3, and then a mask layer for oxidation resistance is formed on the buffer film.例文帳に追加

同一の減圧ＣＶＤ炉内においてステップ２の第１の反応ガス導入により、半導体ウェハ上にバッファ膜を形成し、ステップ３の炉内Ｎ_2 ガスパージ後、ステップ４において第２の反応ガス導入によって上記バッファ膜上に耐酸化用のマスク層を形成する工程とを有する。 - 特許庁

To provide an adhesive composition which does not contain chlorine and shows excellent adhesion to various substrates and adherends and slowly advances crosslinking reaction at room temperature after laminating substrates or adherends through the adhesive compositions to improve the heat resistance of the adhesive layer.例文帳に追加

塩素を含まず、各種基材、被着材に対して優れた接着性を示し、基材、被着材を接着剤組成物を介して貼り合わせ後、室温下でゆっくりと架橋反応を進行させ、接着剤層の耐熱性を改善する接着剤組成物を提供すること。 - 特許庁

In the image forming method, toner is used which includes a resin obtained by a polyaddition or polycondensation reaction and has an average circularity and an average circle-equivalent diameter each in a specified range, and a toner image is fixed with a fixing roller having a release layer on a surface of a thin core metal whose peripheral surface side is partly recessed.例文帳に追加

樹脂が重付加又は重縮合反応で得られ、円形度平均値と円相当径平均値が特定範囲内の値を有するトナーを用い、外周面側の一部が凹んだ薄肉の芯金表面に離型層を有する定着ローラでトナー像を定着する画像形成方法。 - 特許庁

To provide a waste liquid treating method by which development of a phenomenon that copper formed on an outer layer of iron powder is oxidized again by the waste liquid during use in a reaction area is decreased to improve a recovering ratio of the copper and which is used for treating waste liquid containing copper ions and ferrous ions.例文帳に追加

使用時に反応エリア内で鉄粉外層に形成される銅がまた廃液に酸化される現象の発生を減少し、銅の回収率を向上することができる、銅イオンと第一鉄イオンを含む廃液の処理に用いる廃液処理方法の提供。 - 特許庁

In this composite material, a metal layer containing photocatalyst particles is formed on a surface of a base material by electroplating or a reducing reaction by a reducing agent using an electroplating bath or a chemical plating bath wherein photocatalytic particles or metal-supporting photocatalytic particles are suspended and dispersed.例文帳に追加

基材表面に光触媒粒子または金属を担持した光触媒粒子を懸濁・分散した電気めっき浴または化学めっき浴を用いた電気めっきまたは還元剤による還元反応により、光触媒粒子を含む金属層を形成して複合材とした。 - 特許庁

In a semiconductor device formed on a GaAs substrate 1, a base to which an emitter electrode 9 contacts uses an n-GaAsNSb layer 8, and hence if the dry etching method using a chloric gas as an etching gas is applied to etch, there is no fear of impeding the etching reaction at all.例文帳に追加

ＧａＡｓ基板１上に形成された半導体装置に於いて、エミッタ電極９がコンタクトする下地がｎ−ＧａＡｓＮＳｂ層８になっているので、塩素系ガスをエッチング・ガスとするドライ・エッチング法を適用してエッチングを行なっても、エッチング反応が阻害されるおそれは皆無である。 - 特許庁

The lithographic printing plate is characterized by containing a substance which generates an active species performing a bonding reaction with a substrate by light on the substrate and having a recording layer wherein hot-melt particles which are not capsule particles containing a substance which is liquid at room temperature in their cores are main ingredients.例文帳に追加

支持体上に、光により支持体と結合反応する活性種を発生する物質を含有し、かつ、コアに室温で液状の物質を含むカプセル状粒子でない熱溶融性粒子を主成分とする記録層を有することを特徴とする平版印刷版。 - 特許庁

To improve the yield of a material by restraining the deterioration of quality such as the development of non-slag formation slag and segregation caused by this slag, without spoiling the refining reaction of fused slag layer, in the case of applying remelting of a primary cast block with an ESR (Electroslag Remelting) method by using a cold-start method.例文帳に追加

コールドスタート法を用いたＥＳＲ法により一次鋳塊の再溶解を行う場合において、溶融スラグ層の精錬作用を損なうことなく、未滓化スラグの発生及びこれに起因する偏析等の品質低下を抑制し、材料歩留まりを向上させること。 - 特許庁

The soft magnetic alloy powder is heated in a weak-oxidizing atmosphere obtained by mixing a weak-oxidizing gas such as water vapor into an inert gas, and the second element in the surface layer part of the powder is selectively subjected to oxidation reaction while suppressing the oxidation of iron to form a thin oxide film having high electric resistance.例文帳に追加

この軟磁性合金粉末を、不活性ガスに水蒸気等の弱酸化性ガスを混入した弱酸化性雰囲気中において加熱し、鉄の酸化を抑制しつつ粉末表層部の第２の元素を選択的に酸化反応させて高電気抵抗の薄い酸化膜を形成する。 - 特許庁

To provide a rare earth hydroxide composition adequately used in manufacturing a mold for casting a high melting point active metal, of which surface has a suitable thin reaction hardening layer, also to provide a long life mold using the same, and further to provide a method of manufacturing a high melting point active metal casting.例文帳に追加

表面の反応硬化層が薄くて良好な高融点活性金属鋳造用鋳型の作製に際して好適に用いられる希土類水酸化物組成物と、それを用いた寿命の長い鋳型及び高融点活性金属鋳造品の製造方法を提供する。 - 特許庁

The content rate of the ultraviolet absorption polymer in the coating layer 5 of the reflection plate 1 is higher on the side apart from the surface of the reflection film 4 than the side coming in contact with the surface of the reflection film 4, thus a chemical reaction due to the association of the ultraviolet absorption polymer and the reflection film 4 hardly takes place.例文帳に追加

この反射板１は、コーティング層５における紫外線吸収ポリマーの含有率が反射膜４の表面と接する側よりも反射膜４の表面から離れた側ほど高いので、紫外線吸収ポリマーと反射膜４の会合による化学反応が起き難くなる。 - 特許庁

The wire includes a first base material 2 containing Sn, Nb and Cu, a second base material 3 disposed adjacent to the first base material and containing Nb, and an Nb_3Sn compound layer generated between the first and second base materials by diffusion reaction of Nb with Sn.例文帳に追加

ＳｎとＮｂとＣｕを含む第１の基材２と、前記第１の基材に隣接して配置されたＮｂを含む第２の基材３と、ＮｂとＳｎとの拡散反応により前記第１の基材と前記第２の基材との間に生成されたNb_3Sn化合物層とを有する。 - 特許庁

To provide an inductor for electromagnetic pipe for prolonging the service life prolonged by improving the durability by means of reduction in the electromagnetic reaction force acting on a coil conductor and reduction of shear stress acting on an interface between the conductor covered with a resin impregnated fiber layer and a shaft, and a method of manufacturing the inductor.例文帳に追加

コイル導線に作用する電磁反力を低減し、樹脂含浸繊維層によって被覆された導線と軸部との界面に作用する剪断応力を低減して、耐久性を向上させ、長寿命化した電磁拡管成形用インダクタ及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

In a thermosensitive recording material wherein a thermosensitive recording layer containing a diazonium salt and a coupler developing the diazonium salt in reaction therewith in heating is provided on a substrate, the coupler is a compound expressed by a general formula 1 or 2.例文帳に追加

支持体上に、ジアゾニウム塩と、該ジアゾニウム塩と熱時反応して、該ジアゾニウム塩を発色させるカプラーとを含有する感熱記録層を設けた感熱記録材料において、前記カプラーが下記一般式（１）または一般式（２）で表される化合物であることを特徴とする感熱記録材料である。 - 特許庁

In the thermosensitive recording material, in which a thermosensitive recording layer including a diazo compound and a coupler compound, which forms color by reaction with the diazo compound, on a support, the coupler compound includes an anilide derivative expressed by general formula (1) or at least one kind of its tautomers.例文帳に追加

支持体上に、ジアゾ化合物と、該ジアゾ化合物と反応して発色するカプラー化合物とを含有する感熱記録層を設けた感熱記録材料において、前記カプラー化合物として下記一般式（１）で表されるアニリド誘導体又はその互変異性体の少なくとも１種を含む。 - 特許庁

To provide a photoelectric converter with which efficiency of a reaction gas in the forming process of a semiconductor film having a crystal structure is improved, a crystalline semiconductor film improved in a crystal quality is formed on an inexpensive substrate and that crystalline semiconductor film is made into photoelectric converting layer.例文帳に追加

結晶構造を有する半導体膜の形成過程における反応ガスの利用効率を向上させ、安価な基板上に結晶品質の優れた結晶質半導体膜を形成し、その結晶質半導体膜を光電変換層とする光電変換装置を得ることを目的とする。 - 特許庁

The method comprises a process that contacts an exposed copper surface with a gaseous compound comprising a noble metal, and a process that selectively forms a noble metal layer on the exposed copper surface by a copper substitution reaction or a noble metal selective depositing (for example, ALD or CVD).例文帳に追加

当該方法は、露出した銅表面を貴金属から成る気相化合物と接触させる工程と、銅置換反応または貴金属の選択的蒸着（例えば、ALDまたはCVD）により、露出した銅表面上に貴金属の層を選択的に形成する工程から成る。 - 特許庁

In a heat-sensitive recording material including a normally colorless or pale-colored electron donable dye precursor and an electron acceptable compound, which develops color in the dye precursor through a reaction under heat, the amine salt of a diphenylsulfone derivative is included in a heat- sensitive recording layer.例文帳に追加

電子供与性の通常無色ないし淡色の染料前駆体と、加熱時反応して該染料前駆体を発色させる電子受容性化合物とを含有する感熱記録材料において、感熱記録層中にジフェニルスルホン誘導体のアミン塩を含有させる。 - 特許庁

The method for manufacturing a thin film solar cell includes a step of forming a photoelectric conversion layer 230 on a substrate 200 using a plasma CVD method by introducing a reactive gas into a reaction chamber 100 and applying a high frequency to an RF electrode 120 to generate plasma.例文帳に追加

この薄膜太陽電池の製造方法は、反応室１００内に反応ガスを導入し、かつ高周波電極１２０に高周波を印加してプラズマを生成することにより、プラズマＣＶＤ法を用いて基板２００に光電変換層２３０を形成する工程を備える。 - 特許庁

A powdery molybdenum compound is supplied to a catalyst concentrated layer in a reactor when in reaction as 0.02-0.5 kg of Mo per ton of the catalyst in the reactor per day for an addition amount so as to satisfy a supplying rate of 0.03-10 kg/min when supplying.例文帳に追加

反応中に反応器内の触媒濃厚層へ粉末状のモリブデン化合物を、添加量として１日当たり、反応器内の触媒１トン当たり、Ｍｏとして０．０２〜０．５Ｋｇを添加し、かつ、その添加時の添加速度として０．０３〜１０Ｋｇ／ｍｉｎを満たすように添加する。 - 特許庁

When the nanocarbons are carbon nanotubes, the oxidizing agent which is brought into the endothermic oxidation reaction is gaseous carbon dioxide, and one of the carbon impurities is amorphous carbon, the amorphous carbon 8 is oxidized and removed and only a layer 7 of carbon nanotubes remains at a heating temperature of ≤600°C, as shown in Fig.(c).例文帳に追加

ナノカーボンがカーボンナノチューブであり、吸熱酸化反応を生ずる酸化剤が二酸化炭素ガスであり、カーボン不純物がアモルファスカーボンである場合、６００℃以下の加熱温度で、（ｃ）に示すように、アモルファスカーボン７が酸化除去され、カーボンナノチューブの層７のみが残留する。 - 特許庁

To provide a nitride semiconductor element in which a p-type nitride semiconductor layer can be crystal-grown at a low temperature, when Mg is used as a p-type impurity, and the adhesion of an Mg compound on a piping connected to a reaction chamber for executing crystal growing can be suppressed.例文帳に追加

ｐ型不純物をＭｇとする場合に、ｐ型窒化物半導体層を低温度で結晶成長させることができるとともに、結晶成長を行う反応室に接続されている配管へのＭｇ化合物の付着を抑制することができる窒化物半導体素子を提供する。 - 特許庁

It has been found that interface reaction can be controlled and it has also been verified that electrical and mechanical reliability can be obtained by combining a Sn-system solder 8 including Cu6Sn5 phase and a Ni-system layer 3 within the temperature range from a room temperature to 200°C at the solder connection part 1 in the electronic apparatus.例文帳に追加

電子装置のはんだ接続部１において、室温から２００℃においてCu6Sn5相を含有するSn系はんだ８とNi系層３とを組合せることで界面反応を抑制できることを見出し、電気的および機械的信頼性が得られることを確認した。 - 特許庁

It is especially preferable to obtain a high temperature member in which a dense cover layer having an opening part where the carbonaceous base material is exposed is formed on a surface of the carbonaceous base material by performing a chemical reaction operation after a flexible sheet is made to closely adhere to a portion of the surface of the carbonaceous base material.例文帳に追加

特に、炭素質基材の表面の一部に可撓性シートを密着した後化学反応操作を行って、前記炭素質基材の表面に該炭素質基材が露出する開口部を有する緻密質の被覆層が形成された高温部材を得ることが好ましい。 - 特許庁

To prevent the contamination of a target caused by a gaseous starting material or reaction gas to be introduced at the time of performing an ALD (Atomic Layer Deposition) process in the case a film deposition system is composed so that film deposition by an ALD process and film deposition by a sputtering process can be performed to a treatment substrate on a substrate stage in the same chamber.例文帳に追加

同一チャンバ内で基板ステージ上の処理基板に対し、ＡＬＤ法による成膜とスパッタリング法による成膜とを行い得るように成膜装置を構成する場合に、ターゲットが、ＡＬＤ法を行う際に導入する原料ガスや反応ガスによって汚染されないようにする。 - 特許庁

This is a method provided for measuring high temperature of process flow, by using a thermocouple installed in a thermometer protective tube, where the thermometer protective tube is at least partially covered with a catalyst material layer actively reacting at least to a certain endothermal reaction.例文帳に追加

本発明は、温度計保護管内に設置された熱電対によってプロセス流の高温を測定する方法であって、前記温度計保護管が、少なくとも一種の吸熱性反応に活性を示す触媒材料の層によって少なくとも部分的に覆われている、上記方法を提供する。 - 特許庁

To provide a membrane electrode junction body for realizing a high-output solid polymer fuel cell by reducing inner resistance through improvement of a junction state of a polymer electrolyte membrane with an electrode catalyst layer, and making a three-phase interface three-dimensional to enlarge a reaction area.例文帳に追加

高分子電解質膜と電極触媒層との接合状態を向上させて内部抵抗を低減させ、かつ三相界面を三次元化し、反応面積を拡大させることにより、高出力な固体高分子型燃料電池を実現するための膜電極接合体を提供する。 - 特許庁

The wavelength converting member in which the inorganic fluorescent powder is dispersed in the glass matrix, has a middle layer with a thickness of 0.01-5 μm consisting of a reaction product of the inorganic fluorescent powder and glass at the interface between the inorganic fluorescent powder and the glass matrix.例文帳に追加

無機蛍光体粉末がガラスマトリクス中に分散してなる波長変換部材であって、無機蛍光体粉末とガラスマトリクスの界面に、無機蛍光体粉末およびガラスの反応生成物からなる厚さ０．０１〜５μｍの中間層を有することを特徴とする波長変換部材。 - 特許庁

A substance firmly bonding to an impurity containing a hydrogen atom in a film is introduced into a film-deposition chamber to bring it into reaction with the hydrogen-atom-containing impurity remained in the film deposition chamber to denature it to a hydrogen-atom-containing stable substance, thereby forming a highly purified oxide semiconductor layer.例文帳に追加

成膜中に水素原子を含む不純物と強く結合する物質を成膜室に導入して、成膜室に残留する水素原子を含む不純物と反応せしめ、水素原子を含む安定な物質に変性することで、高純度化された酸化物半導体層を形成する。 - 特許庁

To provide a method for producing activated carbon for electric double-layer capacitor electrode, in which the contact efficiency between a carbon material and an activator is enhanced by improving wettability of the carbon material with an alkali activator, and thereby, the reaction of a source carbon material with the activator is efficiently progressed.例文帳に追加

炭素材料のアルカリ賦活剤との濡れ性を改善することにより、炭素材料と賦活剤との接触効率を向上させ、原料炭素材料と賦活剤の反応を効率的に進行させることができる電気二重層キャパシタ電極用活性炭の製造方法を提供する。 - 特許庁

A copper foil is laminated on a layer comprising the polyimide produced by the imidation reaction of polyamic acid obtained by reacting an aromatic diacid anhydride or an alicyclic diacid anhydride, an aliphatic or alicyclic diamine and an acid with a pKa of 3-5 to manufacture a copper clad laminated sheet.例文帳に追加

芳香族二酸無水物又は脂環式二酸無水物と、脂肪族ジアミン又は脂環式ジアミンと、ｐＫａが３〜５の酸とを反応させて得られたポリアミド酸をイミド化反応させて製造されるポリイミド層に銅箔を積層して銅張積層板を得る製造方法。 - 特許庁

Since the barrier metal layer 5 made of the TiWN is formed between the Al-containing ohmic electrode 2 and the Au wire electrode 7, the reaction can be prevented between the Al in the Al-containing ohmic electrode 2 and the Au in the Au wire electrode 7.例文帳に追加

この場合、Ａｌ含有オーミック電極２とＡｕ配線電極７との間にＴｉＷＮからなるバリアメタル層５が形成されていることから、Ａｌ含有オーミック電極２中のＡｌとＡｕ配線電極７中のＡｕとの反応を防止することができる。 - 特許庁

To provide a semiconductor device having a capacitor using a high dielectric film having easy control of capacitor characteristic and excellent characteristic capable of reducing leak current and to provide the manufacturing method of the semiconductor device having voltage resistance and reducing the existence of a deteriorating reaction layer.例文帳に追加

リーク電流の低減ができるなどキャパシタ特性の制御が容易で良好な特性を有する高誘電率誘電体膜用いたキャパシタを有する半導体装置及び耐圧が大きく劣化する反応層の存在を低減する半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

The first layer is formed by applying a first coating liquid using steam as a carrier, the first coating liquid comprising a condensate (A) obtained by carrying out a condensation reaction of an aldehyde compound and an aromatic hydroxy compound in the presence of a nitrite and/or a reducing sugar.例文帳に追加

第一層は、アルデヒド化合物と芳香族ヒドロキシ系化合物との縮合反応を亜硝酸塩及び／又は還元糖類の存在下で行うことにより得られた縮合物(Ａ)を含有する第一塗布液をキャリアーとして水蒸気を用いて塗布して形成する。 - 特許庁

In the optical equipment, a photocatalyst layer is disposed on at least a photographing beam incident surface of the optical element 410 arranged on the optical path and is irradiated with a light source 411 containing wavelength of ultraviolet ray region and, thereby, the progress of photocatalyst reaction is facilitated.例文帳に追加

この光学機器は、光路上に配置された光学素子４１０の少なくとも撮影光束入射面に光触媒層を設け、光触媒層を紫外線領域の波長を含む光源４１１で照射することにより、光触媒反応の進行を促進する。 - 特許庁

In the method for manufacturing the optical fiber by coating a quartz glass fiber 1 with a UV-setting resin and setting with a UV irradiation to form a coating layer 2, a UV-setting resin with an amount of heat of reaction ≤300 J/g is used.例文帳に追加

石英ガラスファイバ１の周囲に紫外線硬化樹脂をコーティングした後、そのコーティング材に紫外線を照射し、硬化させて被覆層２を形成するようにした光ファイバの製造方法において、上記紫外線硬化樹脂として、反応熱量が３００Ｊ／ｇ以下の紫外線硬化樹脂を用いる。 - 特許庁

To provide a die apparatus for blow-molding a multilayer film for molding a cylindrical multilayer film, hardly causing turbulence and chemical reaction at a layer interface between intermediate layers in forming the film, preventing a failure in appearance and securing transparency and thickness accuracy.例文帳に追加

円筒状の多層フィルムを成形する多層フィルムブロー成形用の金型装置であって、フィルム成形時に中間層間における層界面での乱れや化学反応が発生し難く、外観不良を防止でき、透明性および厚さ精度を確保し得る金型装置を提供する。 - 特許庁

The surface layer of the semiconductor substrate 1 exposed from the gate electrode 3a and the TEOS sidewall 5 is subjected to preprocessing based on a surface gas etching reaction in which processing of supplying a hydrofluoric acid gas and an ammonia gas and thermal processing are executed, thereby removing a natural oxidation film 6.例文帳に追加

ゲート電極３ａおよびＴＥＯＳサイドウォール５から露出された半導体基板１の表面層に対して、フッ酸ガスとアンモニアガスとを供給する処理とその後の熱処理とを行う表面ガスエッチング反応による前処理を行い、自然酸化膜６を除去する。 - 特許庁

A method is disclosed for using at least one kind of additive inside or over the electrode 2 of the fuel cell 1 having the ion- exchange membrane 6, the electrode catalyst layer 4, and the electrode 2 having at least one gas flow passage for the reaction gas 7.例文帳に追加

本発明はまた、イオン交換膜（６）と、電極触媒層（４）と少なくとも１本の反応ガス（７）用のガス流路を有している電極（２）と、を有している燃料電池（１）の電極（２）の内部または上に少なくとも１種の添加剤を使用する方法に関する。 - 特許庁

The addition reaction type silicone rubber layer is formed by reacting an organopolysiloxane having active hydrogen bonding to silicon with an organopolysiloxane having unsaturated aliphatic groups in such a proportion that the ratio of the number of the active hydrogen atoms to the number of the unsaturated aliphatic groups is set to ≥0.8.例文帳に追加

付加反応型シリコーンゴム層を、ケイ素に結合した活性水素を有するオルガノポリシロキサンと不飽和脂肪族基を有するオルガノポリシロキサンとを前記不飽和脂肪族基の数に対する前記活性水素原子の数の比が０．８以上となる割合で反応させることにより形成する。 - 特許庁

Provided is a method for producing a (meth)acrylate by the esterification reaction of an aliphatic carboxylic acid or polybasic carboxylic acid which may have hydroxyl groups with a hydroxyacrylate under a mild condition using a lipase derived from a specific microorganism or an arming yeast presenting the lipase on the cell surface layer.例文帳に追加

特定の微生物から得られるリパーゼ又はリパーゼを細胞表層に提示したアーミング酵母を用いて、温和な条件下で、水酸基を有してもよい脂肪族カルボン酸、又は多価カルボン酸とヒドロキシアクリレートとのエステル化反応による、（メタ）アクリレートの製造方法の提供。 - 特許庁

In the substrate for liquid discharge head, an upper protective layer 107a which is formed in the region corresponding to a heating part is constituted by laminating two or more first layers which dissolve into a liquid by an electrochemical reaction with the liquid and two or more second layers which change into a passivity.例文帳に追加

発熱部に対応する領域に形成された上部保護層１０７ａは、液体との電気化学反応により、前記液体中に溶出する第１の層と、不動態となる第２の層とが其々２層以上積層された構成である液体吐出ヘッド用基板。 - 特許庁

The developing roller has a surface layer which contains a urethane resin composed of a reaction product of an isocyanate with a group of specific alcohols and has a surface having a contact angle to ethylene glycol of from 60.0 degrees or more to 90.0 degrees or less and a contact angle to diiodomethane of from 30.0 degrees or more to 38.0 degrees or less.例文帳に追加

該現像ローラは、イソシアネートと特定のアルコール群との反応物からなるウレタン樹脂を表面層中に含み、かつ表面のエチレングリコールに対する接触角が６０．０度以上９０．０度以下であり、かつ、ジヨードメタンに対する接触角が３０．０度以上３８．０度以下である。 - 特許庁

Then, a silicon compound layer is formed by supplying plasma beams toward the vapor deposition material arrangement section so as to vaporize a vapor deposition substance from the vapor deposition material, at the same time, introducing a reaction gas into the film deposition chamber, and sticking the vapor deposition substance onto the surface of the substrate (sticking process).例文帳に追加

ついで、蒸着材料配置部に向けてプラズマビームを供給して蒸着材料から蒸着物質を蒸発させるとともに、反応ガスを成膜室に導入し、蒸着物質を該基板の表面に付着させて珪素化合物層を形成する（付着工程）。 - 特許庁