意味 | 例文 (39件) |
silicidationとは 意味・読み方・使い方
追加できません
(登録数上限)
「silicidation」を含む例文一覧
該当件数 : 39件
To provide a method of controlling the height of a gate electrode in a silicidation process.例文帳に追加
シリサイドプロセスにおいてゲート電極の高さを制御する方法を提供する。 - 特許庁
The gate is silicided through its sides while limiting silicidation through the top of the gate.例文帳に追加
ゲートは、ゲートの上部を通じたシリサイド化を制限しつつ、その側面を通じてシリサイド化される。 - 特許庁
A spacer is formed on the side wall of a gate pattern constituted of the gate electrode and the silicidation prevention film pattern.例文帳に追加
ゲート電極及びシリサイド化防止膜パターンで構成されたゲートパターンの側壁にスペーサを形成する。 - 特許庁
To disclose a semiconductor device overcoming a structural instability caused by silicidation and a manufacturing method thereof.例文帳に追加
シリサイド化による構造的不安定性を克服できる半導体装置とその製造方法が開示されている。 - 特許庁
To provide a method of forming a film where contact resistance is reduced by sufficiently carrying out silicidation reaction.例文帳に追加
シリサイド化反応を十分に行わせることによってコンタクト抵抗を低減化させることが可能な成膜方法である。 - 特許庁
METHOD FOR CONTROLLING AND/OR CORRECTING RTP LOW TEMPERATURE OPERATION BY USING REFRACTORY METAL SILICIDATION PHASE TRANSITION TEMPERATURE POINT例文帳に追加
高融点金属シリサイド化相転移温度点を用いてRTP低温操作を制御及び/又は較正する方法 - 特許庁
A selective silicidation process is carried out using a metal gate film to form a metal gate silicide on the exposed gate.例文帳に追加
ゲート金属膜を利用した選択的シリサイド化工程を実行して露出されたゲートにゲート金属シリサイドを形成する。 - 特許庁
-
履歴機能過去に調べた
単語を確認! -
語彙力診断診断回数が
増える! -
マイ単語帳便利な
学習機能付き! -
マイ例文帳文章で
単語を理解! -
「silicidation」を含む例文一覧
該当件数 : 39件
To achieve uniform and sufficient full-silicidation on gate electrodes in extremely high yield without increasing processes.例文帳に追加
工程増を招くことなく、極めて高い歩留まりでゲート電極について均一で十分なフル・シリサイド化を確実に実現する。 - 特許庁
A semiconductor device comprises a gate 6 made of only metal silicide; and a metal silicide film 10 formed on a source/drain layer 9 thinner than the film thickness of the gate 6, and containing a silicidation restraining component for restraining silicidation of a silicon substrate 2.例文帳に追加
金属シリサイドのみからなるゲート6と、ソース/ドレイン層9上に形成されるとともに、ゲート6の膜厚よりも薄く、かつ、シリコン基板2のシリサイド化を抑制するシリサイド化抑制成分を含む金属シリサイド膜10と、を備えることを特徴とする。 - 特許庁
To prevent a microcrystal silicon thin film from being peeled by suppressing excessive silicidation reaction between the microcrystal silicon thin film and a metal thin film.例文帳に追加
マイクロクリスタルシリコン薄膜と金属薄膜との過剰なシリサイド化反応を抑制して、マイクロクリスタルシリコン薄膜の膜剥れを防止する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a semiconductor device capable of preventing both crystallization and silicidation in an insulating film containing hafnium.例文帳に追加
ハフニウムを含む絶縁膜の結晶化及びシリサイド化の両方を抑制することが可能な半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
Additionally, the silicide layer 30 contains a silicidation reaction suppressing metal, and has a concentration profile, wherein concentration of the silicidation reaction suppressing metal becomes higher, from the surface of the silicide layer 30 as going toward the substrate side, in a region from the surface of the silicide layer 30 to a predetermined depth.例文帳に追加
また、シリサイド層30はシリサイド化反応抑制金属を含み、シリサイド層30の表面から所定の深さに至る領域において、シリサイド層30の表面から基板側へ向かってシリサイド化反応抑制金属の濃度が高くなる濃度プロファイルを有する。 - 特許庁
Then, after the gate electrode is exposed by removing the silicidation prevention film pattern, a second silicide film is formed on the surface of the gate electrode.例文帳に追加
次に、シリサイド化防止膜パターンを除去してゲート電極を露出させた後、ゲート電極表面に第2金属シリサイド膜を形成する。 - 特許庁
Uniformity in the sheet resistance of the wafer is measured so that a silicidation phase transition temperature point can be detected at a highest uniformity point.例文帳に追加
前記ウエハのシート抵抗の均一性が測定され、これによりシリサイド化相転移温度点が最高の均一性点において検出される。 - 特許庁
At a first silicidation processing, only a surface layer of the gate electrode 5 reacts to the first metal film by a thermal treatment to form an upper silicide film 33.例文帳に追加
熱処理によってゲート電極5の表面層のみを第1金属膜と反応させる第1回目のシリサイド化を行い上層シリサイド膜33を形成する。 - 特許庁
|
意味 | 例文 (39件) |
|
ピン留めアイコンをクリックすると単語とその意味を画面の右側に残しておくことができます。 |
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|
「silicidation」のお隣キーワード |
weblioのその他のサービス
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|