debye lengthとは 意味・読み方・使い方

The grid 17 is also used at least at the beginning of deposition, and is formed of metal wires that are crossed at a pitch that is less than two or three times the Debye length (λD) of the plasma used.例文帳に追加

又この格子１７は少なくとも堆積の開始時に使用されるとともに、プラズマのデバイ長λＤの２倍または３倍より小さいピッチで交差した金属線で形成される。 - 特許庁

In MIS transistors 100A and 100B, a gate electrode 10 is formed like the laminated configuration of a plurality of kinds of metallic layers 11, 12, and 13 whose work functions are different, and the first metallic layer 11 brought into contact with the gate insulating film 2 is formed with not more than film thickness of 5 Debye length by an atomic layer CVD.例文帳に追加

ＭＩＳ型トランジスタ１００Ａ、１００Ｂにおいて、ゲート電極１０を、仕事関数が異なる複数種の金属層１１、１２、１３の積層構造とし、かつゲート絶縁膜２に接する第１の金属層１１を、原子層ＣＶＤにより、膜厚５デバイ長以下に形成する。 - 特許庁