erosion rateとは 意味・読み方・使い方

To provide a polishing composition for polishing a tungsten film and an insulation film at a high selective rate while scarcely causing erosion.例文帳に追加

タングステン膜と絶縁体膜とを高い選択比で研磨でき、かつエロージョンの少ない研磨用組成物の提供。 - 特許庁

The scan film deposition is carried out while the gas flow rate of the first gas with a low sputtering rate is always increased, and the gas flow rate of the second gas with a high sputtering rate is always reduced correspondingly to the secular change of the target shape caused by the erosion of the target 5, thus a film thickness change is prevented.例文帳に追加

ターゲット５のエロージョンに起因するターゲット形状の経時変化に対応させて、スパッタレートの小さい第１のガスのガス流量を常に増加させ、スパッタレートの大きい第２のガスのガス流量を常に減少させながらスキャン成膜を行うことで、膜厚変化を防ぐ。 - 特許庁

To provide a polishing liquid which can achieve a high polishing rate for metal, a low etching rate and a reduced polishing friction, to adapt for producing a semiconductor device having a metal interconnection of a reduced dishing and erosion with a high productivity.例文帳に追加

生産性が高く金属配線のディッシングとエロージョンが小さい半導体デバイスを得るために、金属の研磨速度が大で、エッチング速度が小で、かつ研磨摩擦が小さい研磨液を提供する。 - 特許庁

To provide a crucible for melting rare earth alloy capable of elongat ing the life with little erosion even when the rare earth alloy is melted therein, and a yield rate of the alloy can be improved.例文帳に追加

希土類合金を溶融しても溶損が少なく寿命が長く、合金の歩留まりを向上できる希土類合金溶解用のるつぼを提供する。 - 特許庁

To improve response of a nozzle needle and prevent cavitation erosion by making volume of a valve chamber 13 small without causing insufficient flow rate.例文帳に追加

流量不足を生じることなく、バルブ室１３の容積を小さくして、ノズルニードルの応答性を向上でき、キャビテーションエロージョンの発生を防止すること。 - 特許庁

To provide a polishing solution for metal which has a rapid CMP rate, and is capable of fabricating LSIs with little occurrence of corrosion, scratch, thinning, dishing, erosion and the like.例文帳に追加

迅速なCMP速度を有し、かつコロージョンやスクラッチ、シニング、ディッシング、エロージョンなどの発生が少ない、LSIの作製を可能とする金属用研磨液を提供すること。 - 特許庁

An implant includes at least two degradation zones, each of which has a degradation rate, wherein the first degradation zone 34 degrades by surface erosion and the second degradation zone 32 degrades by bulk erosion.例文帳に追加

少なくとも２つの分解ゾーンを備える移植物であって、各分解ゾーンが分解速度を有し、該少なくとも２つの分解ゾーンは、表面腐食により分解する第一の分解ゾーン３４、および内部腐食により分解する第二の分解ゾーン３２を備える、移植物。 - 特許庁

To obtain a polymer having an erosion rate in seawater and improved flexibility, suitable for binders of antifouling marine coating materials.例文帳に追加

船舶用防汚塗料のバインダーとして使用するのに好適な海水浸食速度を有し且つ改善された柔軟性を有する重合体の提供を課題とする。 - 特許庁