Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP3242537B2 - Plating equipment - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP3242537B2 - Plating equipment - Google Patents

Plating equipment

Info

Publication number
JP3242537B2
JP3242537B2 JP22831294A JP22831294A JP3242537B2 JP 3242537 B2 JP3242537 B2 JP 3242537B2 JP 22831294 A JP22831294 A JP 22831294A JP 22831294 A JP22831294 A JP 22831294A JP 3242537 B2 JP3242537 B2 JP 3242537B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
plating
work
cylinder
pellet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP22831294A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0892789A (en
Inventor
裕彦 池ケ谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yamaha Motor Co Ltd
Original Assignee
Yamaha Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yamaha Motor Co Ltd filed Critical Yamaha Motor Co Ltd
Priority to JP22831294A priority Critical patent/JP3242537B2/en
Publication of JPH0892789A publication Critical patent/JPH0892789A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3242537B2 publication Critical patent/JP3242537B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、エンジンのシリンダブ
ロック等の筒状部分に電気めっきを施すめっき装置にお
いて、特に、ニッケル等の可溶性陽極物質からなるペレ
ットを電極に装填するようにしためっき装置に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plating apparatus for electroplating a cylindrical portion such as a cylinder block of an engine, and more particularly to a plating apparatus in which a pellet made of a soluble anode material such as nickel is loaded on an electrode. It is about.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、めっき装置本体に電極を設
け、この電極とワークの被めっき部分とを対向させてそ
の間にめっき液を介在させた状態で上記電極を陽極、ワ
ークを陰極とするように電源に接続することにより、ワ
ークの被めっき部に電気めっきを施すようにした装置が
知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an electrode is provided on a plating apparatus main body, and the electrode is used as an anode and the work is used as a cathode in a state where a plating solution is interposed between the electrode and a portion to be plated of the work. There is known an apparatus in which a portion to be plated of a workpiece is subjected to electroplating by being connected to a power source.

【0003】特に、エンジンのシリンダブロックのシリ
ンダ等の円筒部分を有するワークにニッケルめっき等を
施す装置として、例えば特開平4−333594号公報
に示されるような装置が知られている。この装置によれ
ば、ワーク設置台の上方に筒状の電極が配置され、設置
台上にワークがセットされたときに電極がワーク内に位
置してワークの筒状部分周面に対向するとともに、ワー
ク内にめっき液が供給されて、ワーク内でめっき液が流
動するようにめっき液が循環させられることにより、高
速でめっきが施されるようになっている。
[0003] In particular, as an apparatus for applying nickel plating or the like to a work having a cylindrical portion such as a cylinder of a cylinder block of an engine, for example, an apparatus as disclosed in JP-A-4-333594 is known. According to this device, the cylindrical electrode is arranged above the work setting table, and when the work is set on the setting table, the electrode is located in the work and faces the cylindrical portion peripheral surface of the work. The plating solution is supplied into the work, and the plating solution is circulated so that the plating solution flows in the work, so that plating is performed at high speed.

【0004】また、この装置においては、電極部分が、
網状の陽極管(電極本体)とその内側の管とから構成さ
れ、こらの間にニッケル塊等の可溶性陽極物質が収納さ
れるようになっており、めっきが促進されるにつれて上
記可溶性陽極物質がめっき液中に溶出するようになって
いる。
In this device, the electrode portion is
It is composed of a reticulated anode tube (electrode main body) and a tube inside thereof, and a soluble anode material such as a nickel lump is accommodated between these tubes. It elutes in the plating solution.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、電極本体の
内部に可溶性陽極物質を収納した電極を用いて電気めっ
きを行う場合、めっきが繰返し行われるにつれて電極内
の可溶性陽極物質が減少するため、適当な期間をおい
て、電極内の可溶性陽極物質の補給を行う必要があり、
従来、このような可溶性陽極物質の補給は、電極を取外
すことにより行われていた。
When electroplating is performed using an electrode containing a soluble anode material inside the electrode body, the amount of soluble anode material in the electrode decreases as plating is repeated. After a short period of time, it is necessary to replenish the soluble anode material in the electrode,
Conventionally, such replenishment of the soluble anode material has been performed by removing the electrode.

【0006】しかし、高速めっきを行う上記装置では可
溶性陽極物質の消耗が激しく、それ故に補給頻度が高く
なり可溶性陽極物質の補給作業が煩雑になるといった不
都合がある。
However, in the above-described apparatus for performing high-speed plating, there is a disadvantage that the soluble anode material is greatly consumed, so that the frequency of replenishment increases, and the work of replenishing the soluble anode material becomes complicated.

【0007】そこで、可溶性陽極物質を補給するための
補給口を電極に形成し、非めっき時には、電極を取外す
ことなく外部から可溶性陽極物質を補給し得るようにし
て補給時の作業性を高め得るような構造とすることが考
えられるが、このような構造の場合、収納された可溶性
陽極物質がめっき時に補給口から流出する(飛び出る)
といった虞がある。特に、高速でめっきを行う上記装置
では、めっき液の流動速度を高めると、その影響を受け
て可溶性陽極物質が補給口からより流出し易くなるた
め、めっき液の流動速度を高めて処理速度を高めること
ができなくなるという不都合がある。
Therefore, a replenishing port for replenishing the soluble anode material is formed in the electrode, so that the soluble anode material can be supplied from the outside without removing the electrode at the time of non-plating, so that workability at the time of replenishment can be improved. Such a structure can be considered, but in such a structure, the stored soluble anode material flows out (pops out) from the supply port during plating.
There is a possibility that. In particular, in the above-described apparatus that performs plating at a high speed, if the flow rate of the plating solution is increased, the soluble anode material is more likely to flow out of the supply port under the influence of the plating solution. There is a disadvantage that it cannot be increased.

【0008】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、電極への可溶性陽極物質の補給性を高
めつつ、めっき時の可溶性陽極物質の流出を確実に防止
することができるめっき装置を提供することを目的とし
ている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problem, and a plating method capable of reliably preventing the soluble anode material from flowing out at the time of plating while improving the replenishability of the soluble anode material to the electrode. It is intended to provide a device.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
筒状部分を有するワークの筒状部分の内周面にめっき液
を供給してめっきを施すように構成されためっき装置に
おいて、めっき装置本体に、上記筒状部分の下方開口部
を塞ぐようにワークを支持するワーク支持部と、ワーク
が支持された状態で上記筒状部分に突入する電極とが設
けられ、前記電極が、筒状の電極本体と、この電極本体
内に可溶性陽極物質からなる多数のペレットを収納する
ペレット収納部と、ペレット導入用の開口部とを具備す
る一方、めっき時に上記ワークに装着されて筒状部分の
上方開口部をシールするシール部材が設られ、このシー
ル部材に、ワークが上記ワーク支持部に支持された状態
で上記電極の開口部を閉塞する閉塞部材が設けられたも
のである。
The invention according to claim 1 is
In a plating apparatus configured to supply a plating solution to the inner peripheral surface of a cylindrical portion of a workpiece having a cylindrical portion to perform plating, a plating apparatus main body may be closed with a lower opening of the cylindrical portion. A work supporting portion for supporting the work, and an electrode protruding into the cylindrical portion while the work is supported are provided, and the electrode is formed of a cylindrical electrode body and a soluble anode material in the electrode body. A seal member is provided, which is provided with a pellet accommodating portion for accommodating a large number of pellets and an opening for introducing a pellet, and is attached to the work at the time of plating to seal an upper opening of the cylindrical portion. And a closing member that closes the opening of the electrode while the work is supported by the work supporting portion.

【0010】請求項2に係る発明は、請求項1記載のめ
っき装置において、上記電極の電極本体が内筒部と外筒
部とからなって、これら内外筒部の間にペレット収納部
が形成され、かつその上端部に上記開口部を具備するも
のであって、上記閉塞部材は、めっき液の流通を可能と
する多孔状部材から構成され、上記ワーク支持部にワー
クが支持された状態で、上記閉塞部材が上記電極の上端
部を覆うように配置されるとともに、上記電極本体の外
筒部の外側の空間と内筒部の内側の空間とがめっき液の
流路となって、これらの流路がめっき液供給部に接続さ
れる液導入管及びめっき液排出管に連通し、上記閉塞部
材を介して電極上端部で互いに連通するように構成され
たものである。
According to a second aspect of the present invention, in the plating apparatus of the first aspect, the electrode main body of the electrode includes an inner cylindrical portion and an outer cylindrical portion, and a pellet housing portion is formed between the inner and outer cylindrical portions. And the upper end thereof is provided with the opening, wherein the closing member is formed of a porous member that allows a plating solution to flow therethrough, and the work is supported by the work supporting portion. The closing member is disposed so as to cover the upper end portion of the electrode, and the space outside the outer tube portion and the space inside the inner tube portion of the electrode main body serve as a plating solution flow path. Are connected to a liquid introduction pipe and a plating liquid discharge pipe connected to the plating liquid supply section, and are connected to each other at the upper end of the electrode via the closing member.

【0011】請求項3に係る発明は、請求項3記載のめ
っき装置において、上記閉塞部材が、中空状に形成され
たものである。
According to a third aspect of the present invention, in the plating apparatus according to the third aspect, the closing member is formed in a hollow shape.

【0012】[0012]

【作用】上記請求項1記載の発明によれば、めっき時に
は、ワークの筒状部分の内部にに電極が位置し、筒状部
分の上方開口部がシール部材によりシールされるととも
に、電極に形成されたペレット導入用の開口部が閉塞部
材により閉塞された状態で、ワークの筒状部分の内面に
めっきが施される。そして、めっきが完了すると、ワー
クとシール部材が取外され、これによって電極の上記開
口部が開口状態とされ、この開口部を介してペレット収
納部へのペレットの補給が容易に行われる。
According to the first aspect of the present invention, at the time of plating, the electrode is located inside the cylindrical portion of the work, and the upper opening of the cylindrical portion is sealed by the seal member and formed on the electrode. The plating is applied to the inner surface of the cylindrical portion of the work in a state where the formed pellet introduction opening is closed by the closing member. When the plating is completed, the work and the seal member are removed, whereby the opening of the electrode is opened, and the supply of pellets to the pellet storage portion is easily performed through the opening.

【0013】上記請求項2記載の発明によれば、めっき
時には、ワークの筒状部分の内部に電極が位置する状態
でめっき液が流動しつつめっきが高速で行われる。この
際、めっき液は、電極の上端部において閉塞部材を介し
て電極本体の内外へと流動する。そして、非めっき時に
は、ワークとシール部材が取外されることにより、ペレ
ット収納部の開口部が開口状態とされ、これによりペレ
ットが電極上端からペレット収納部内に補給される。
According to the second aspect of the present invention, at the time of plating, plating is performed at a high speed while the plating solution flows while the electrodes are located inside the cylindrical portion of the work. At this time, the plating solution flows into and out of the electrode main body via the closing member at the upper end of the electrode. Then, at the time of non-plating, the work and the seal member are removed, so that the opening of the pellet accommodating portion is opened, whereby the pellet is supplied from the upper end of the electrode into the pellet accommodating portion.

【0014】上記請求項3記載の発明によれば、めっき
液の流動に対する閉塞部材の剛性が高められる。
According to the third aspect of the present invention, the rigidity of the closing member against the flow of the plating solution is increased.

【0015】[0015]

【実施例】本発明の第1実施例を図面に基づいて説明す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0016】図1乃至図3は、本発明に係るめっき装置
の断面を概略的に示している。同図に示すワークは、エ
ンジンのシリンダブロック1であり、そのシリンダ1b
(筒状部分)の内面にめっきを施すようになっている。
めっきの種類は本発明で限定するものではないが、本実
施例においては、ニッケルに分散剤としてのシリコンカ
ーバイト及びリンを含む複合めっきを施すようになって
おり、特に、この装置においては、シリンダブロック1
のシリンダ1bに対してめっき液を流動させて高速めっ
きを行うようになっている。
1 to 3 schematically show a cross section of a plating apparatus according to the present invention. The work shown in the figure is a cylinder block 1 of an engine, and its cylinder 1b
The inner surface of the (cylindrical portion) is plated.
Although the type of plating is not limited by the present invention, in the present embodiment, nickel is subjected to composite plating containing silicon carbide and phosphorus as a dispersant, and in particular, in this apparatus, Cylinder block 1
The high-speed plating is performed by flowing the plating solution to the cylinder 1b.

【0017】これらの図において、めっき装置本体2の
基台3上には、ワーク支持部としての支持ブロック4が
設けられ、この支持ブロック4上にシリンダブロック1
が支持されて、シリンダ1bの下方開口部が支持ブロッ
ク4で塞がれるようになっている。具体的には、並列配
置の4つのシリンダ1bを有するシリンダ構成部分1a
とスカート状のクランクケース部1cとが一体に形成さ
れたシリンダブロック1が、車両への搭載時の状態と比
べて上下反転した状態で、クランクケース部1cの上端
に結合される後述の治具20とともに、支持ブロック4
に支持されており、この状態で各シリンダ1bの下方開
口部(ヘッド側開口部)が支持ブロック4で塞がれるよ
うになっている。
In these figures, a support block 4 as a work support is provided on a base 3 of a plating apparatus main body 2, and a cylinder block 1 is provided on the support block 4.
Is supported, and the lower opening of the cylinder 1 b is closed by the support block 4. Specifically, a cylinder component 1a having four cylinders 1b arranged in parallel
And a skirt-shaped crankcase portion 1c are integrally formed with the cylinder block 1 in a state in which the cylinder block 1 is turned upside down as compared with a state when mounted on a vehicle, and is coupled to an upper end of the crankcase portion 1c. 20 and support block 4
In this state, the lower openings (head-side openings) of the respective cylinders 1 b are closed by the support blocks 4.

【0018】上記支持ブロック4には、シリンダブロッ
ク1のシリンダ構成部分1aの下方となる位置に、横方
向(シリンダ配列方向)に延びる処理液導出通路5が形
成されている。支持ブロック4の上面には、シリンダブ
ロック1の各シリンダ1bに対応する位置に、上記処理
液導出通路5に連通する開口部5aが設けられるととも
に、その周辺にシール部5bが設けられている。そし
て、支持ブロック4上に上述のようにシリンダブロック
1が支持された状態では、シリンダブロック1の各シリ
ンダ1bの下方開口部と上記開口部5aとが合致し、そ
の周辺部において上記シール部5bにより支持ブロック
4の上面とシリンダブロック1の下端面(ヘッド側端
面)との間がシールされるようになっている。
The support block 4 is provided with a processing liquid outlet passage 5 extending in a lateral direction (cylinder arrangement direction) at a position below the cylinder component 1a of the cylinder block 1. On the upper surface of the support block 4, an opening 5a communicating with the treatment liquid outlet passage 5 is provided at a position corresponding to each cylinder 1b of the cylinder block 1, and a seal portion 5b is provided around the opening 5a. When the cylinder block 1 is supported on the support block 4 as described above, the lower opening of each cylinder 1b of the cylinder block 1 and the opening 5a coincide with each other, and the sealing portion 5b Thereby, the gap between the upper surface of the support block 4 and the lower end surface (head side end surface) of the cylinder block 1 is sealed.

【0019】さらにめっき装置本体2には、上述のよう
に支持されたシリンダブロック1の各シリンダ1bに対
応する位置に電極6が配設されている。この電極6は、
筒状の電極本体内にペレット収納部7を備え、このペレ
ット収納部7に可溶性陽極物質としてのニッケルからな
る多数のペレット10を収納したものである。上記電極
本体は、金属パイプからなる内筒部8と多孔状金属板等
からなる外筒部9とで構成され、その内外筒部8,9の
間にペレット収納部7が形成されている。外筒部9は、
内筒部8よりもわずかに上方に突出しており、また、内
筒部8の上端部には、多孔状金属板等からなるカバー8
aが取付けられている。
Further, the plating apparatus main body 2 is provided with electrodes 6 at positions corresponding to the respective cylinders 1b of the cylinder block 1 supported as described above. This electrode 6
A pellet accommodating portion 7 is provided in a cylindrical electrode body, and a large number of pellets 10 made of nickel as a soluble anode material are accommodated in the pellet accommodating portion 7. The electrode main body is composed of an inner cylindrical portion 8 made of a metal pipe and an outer cylindrical portion 9 made of a porous metal plate or the like, and a pellet accommodating portion 7 is formed between the inner and outer cylindrical portions 8 and 9. The outer cylinder 9 is
A cover 8 made of a porous metal plate or the like protrudes slightly above the inner cylindrical portion 8,
a is attached.

【0020】上記電極6は、上記基台3に取付けられた
ホルダー11に円筒状の取付部材12を介して取付けら
れ、上記処理液導出通路5を突き抜けて上記開口部5a
から上方に突出している。そして、支持ブロック4上に
上記のようにシリンダブロック1が支持された状態で、
上記電極6がシリンダブロック1の各シリンダ1b内に
突入して、電極6の上端がシリンダ1bの上端近傍に達
し、かつ電極6の外周面とシリンダ内周面との間に一定
隙間が保たれるようになっている。これにより、シリン
ダブロック1の各シリンダ1b内で電極6の内側(内筒
部8の内側)と外側に、カバー8aを介して上部で互い
に連通する流路14,15が形成されるとともに、外側
の流路15が処理液導出通路5に連通するようになって
いる。
The electrode 6 is mounted on a holder 11 mounted on the base 3 via a cylindrical mounting member 12, and penetrates the processing liquid outlet passage 5 to open the opening 5a.
Projecting upwards. Then, with the cylinder block 1 supported on the support block 4 as described above,
The electrode 6 protrudes into each cylinder 1b of the cylinder block 1, the upper end of the electrode 6 reaches near the upper end of the cylinder 1b, and a constant gap is maintained between the outer peripheral surface of the electrode 6 and the inner peripheral surface of the cylinder. It is supposed to be. Thus, inside each of the cylinders 1b of the cylinder block 1, channels 14 and 15 communicating with each other at the upper portion via the cover 8a are formed inside and outside the electrode 6 (inside the inner cylindrical portion 8) and outside. Flow path 15 communicates with the processing liquid outlet passage 5.

【0021】また、上記ホルダー11には貫通孔が形成
され、この貫通孔と上記取付部材12の内部空間とで、
電極6の内側の流路14に連通する処理液導入通路16
が形成されている。
A through hole is formed in the holder 11, and the through hole and the internal space of the mounting member 12
Processing liquid introduction passage 16 communicating with flow passage 14 inside electrode 6
Are formed.

【0022】なお、上記めっき装置本体2に対するめっ
き液の給排系統及び電気系統につては図示を省略する
が、めっき液はめっき浴槽からポンプを備えためっき液
供給管を介して上記処理液導入通路16に送り込まれ、
上記流路14,15を通った後に処理液導出通路5から
めっき液回収管を介してめっき浴槽に回収されるよう
に、めっき液給排系統が構成されている。また、上記電
極6が電源回路のプラス側に接続されるとともに、上記
シリンダブロック1が後述の治具20等を介して電源回
路のマイナス側に接続されることにより、上記電極6と
シリンダブロック1との間に電圧が印加されるように電
気系統が構成されている。
The supply and discharge system and the electric system for the plating solution to and from the plating apparatus body 2 are not shown, but the plating solution is introduced from the plating bath through the plating solution supply pipe equipped with a pump. Sent into passage 16,
A plating solution supply / discharge system is configured so that the plating solution is recovered from the processing solution outlet passage 5 to the plating bath via the plating solution recovery pipe after passing through the flow paths 14 and 15. The electrode 6 is connected to the positive side of the power supply circuit, and the cylinder block 1 is connected to the negative side of the power supply circuit via a jig 20 or the like, which will be described later. The electric system is configured so that a voltage is applied between the electric system and the power supply.

【0023】上記シリンダブロック1に結合される治具
20には、上記各シリンダ1bの、上記支持ブロック4
側とは反対側の開口部である上部開口部(クランクケー
ス側開口部)に挿入されるシール部材が具備されてい
る。
The jig 20 connected to the cylinder block 1 includes the support block 4 of each cylinder 1b.
A seal member is provided to be inserted into an upper opening (an opening on the crankcase side) which is an opening opposite to the side.

【0024】この治具20は、図3に示すように、シリ
ンダブロック1の上端に当接するプレート21を有する
とともに、シリンダブロック1の各シリンダ1bに対応
する位置にそれぞれ、シリンダ1bに対する係止板22
と、その下側に位置するシール押え板23と、シリンダ
ボア径に応じた所定径に形成されて上記両板22,23
の外周の間に挾み込まれたOリング24と、上記シール
押え板23の下部に一体に取付けられた収納部カバー2
6と、上記シール押え板23に連結されたロッド25と
を具備している。
As shown in FIG. 3, the jig 20 has a plate 21 which is in contact with the upper end of the cylinder block 1 and a locking plate for the cylinder 1b at a position corresponding to each cylinder 1b of the cylinder block 1. 22
And a seal holding plate 23 located below the plate, and both plates 22, 23 formed to have a predetermined diameter corresponding to the cylinder bore diameter.
O-ring 24 sandwiched between outer peripheries of the housing, and a housing cover 2 integrally attached to the lower portion of the seal holding plate 23.
6 and a rod 25 connected to the seal holding plate 23.

【0025】上記ロッド25は、プレート21に対して
上下動可能な状態で、プレート21に設けられた挿通孔
に挿通されて上端部がプレート21の上方に突出し、こ
の上端部にねじ部25aが設けられ、このねじ部25a
にナット部材27が螺合している。このロッド25の下
端部はシリンダ1bの上方開口部に対応する位置に達し
ている。また、ロッド25の下端部付近において、上記
係止板22がロッド25に上下方向相対移動可能に嵌合
されるとともに、上記シール押え板23がロッド25に
一体的に上下動するように取付けられている。
The rod 25 is vertically movable with respect to the plate 21 and is inserted into an insertion hole provided in the plate 21 so that an upper end protrudes above the plate 21 and a screw portion 25a is formed on the upper end. This screw part 25a is provided.
Is screwed with the nut member 27. The lower end of the rod 25 has reached a position corresponding to the upper opening of the cylinder 1b. In the vicinity of the lower end of the rod 25, the locking plate 22 is fitted to the rod 25 so as to be relatively movable in the vertical direction, and the seal holding plate 23 is attached to the rod 25 so as to move vertically. ing.

【0026】上記両板22,23及びOリング24はシ
リンダ1bの上方開口部をシールするシール部材を構成
するもので、シリンダブロック1と治具20とが結合さ
れた状態において上記両板22,23及びOリング24
がシリンダ1bの上方開口部内に位置し、かつ係止板2
2がシリンダ壁とこれに連なるクランクシャフト支持壁
1dとの間の段部に係止されるようになっている。ま
た、上記ロッド25及びナット部材27により、シール
押え板23を介してOリング24に上向きの押圧力を与
えるようになっている。
The two plates 22, 23 and the O-ring 24 constitute a sealing member for sealing the upper opening of the cylinder 1b, and when the cylinder block 1 and the jig 20 are joined together, 23 and O-ring 24
Are located in the upper opening of the cylinder 1b and the locking plate 2
2 is locked at a step between the cylinder wall and the crankshaft support wall 1d connected thereto. The rod 25 and the nut member 27 apply an upward pressing force to the O-ring 24 via the seal holding plate 23.

【0027】上記収納部カバー26は、上記電極6のペ
レット収納部7の上方開口部分を閉塞する閉塞部材であ
って、例えば、多孔状金属板等からなり、中空の円柱構
造を有し、外径が上記電極6の外筒部9の内径よりもわ
ずかに小さくなるように構成されている。そして、シリ
ンダブロック1が支持ブロック4にセットされた状態
で、収納部カバー26の下端部が適度に上記電極6の外
筒部9内に突入し、上記カバー8aの直上方に位置する
ようになっている。
The housing cover 26 is a closing member for closing the upper opening of the pellet housing 7 of the electrode 6, and is made of, for example, a porous metal plate or the like, has a hollow cylindrical structure, The diameter is configured to be slightly smaller than the inner diameter of the outer cylindrical portion 9 of the electrode 6. Then, in a state where the cylinder block 1 is set on the support block 4, the lower end portion of the storage unit cover 26 appropriately protrudes into the outer cylindrical portion 9 of the electrode 6, and is located directly above the cover 8 a. Has become.

【0028】次に、以上のように構成された本実施例の
装置の作用について説明する。
Next, the operation of the apparatus of the present embodiment configured as described above will be described.

【0029】めっきを行うに先立って、シリンダブロッ
ク1に治具20が装着される。シリンダブロック1に治
具20を装着するときには、先ず、シリンダブロック1
の各シリンダ1bの上方開口部内に上記係止板22、シ
ール押え板23、収納部カバー26及びOリング24が
セットされるとともに、各ロッド25の上部が上記プレ
ート21の挿通孔に挿通された状態で、そのねじ部25
aにナット部材27が螺合される。そして、上記ナット
部材27が回動操作されることにより、ロッド25を介
してシール押え板23が図3中に二点鎖線位置から実線
位置へと引上げられる。これによりシリンダ上端部に係
止された係止板22と、シール押え板23とでOリング
24が上下に圧縮され、これに伴ってOリング24が外
方に膨出してシリンダ1bの内周面に圧接する。これに
よりシリンダ1bの上部開口部のシールが達成される。
Prior to plating, a jig 20 is mounted on the cylinder block 1. When mounting the jig 20 on the cylinder block 1, first,
The locking plate 22, the seal holding plate 23, the housing cover 26, and the O-ring 24 are set in the upper opening of each cylinder 1b, and the upper part of each rod 25 is inserted through the insertion hole of the plate 21. In the state, the screw part 25
The nut member 27 is screwed into a. Then, by rotating the nut member 27, the seal holding plate 23 is pulled up from the position indicated by the two-dot chain line to the position indicated by the solid line in FIG. As a result, the O-ring 24 is vertically compressed by the locking plate 22 locked to the upper end of the cylinder and the seal holding plate 23, and the O-ring 24 bulges outward with this, and the inner circumference of the cylinder 1b is expanded. Press against the surface. This achieves sealing of the upper opening of the cylinder 1b.

【0030】こうして治具20が装着されると、シリン
ダブロック1がめっき装置本体2の支持ブロック4にセ
ットされる。そして、図外のポンプが作動されることに
より、めっき液がめっき装置本体2へと供給され、これ
によりめっき液が処理液導入通路16へと流入し、流路
14,15を通って処理液導出通路5から流出し、被め
っき面であるシリンダ1bの内面に沿ってめっきが流動
しつつ、上記電極6とシリンダブロック1との間に電圧
が印加されることにより、高速めっきが行われる。
When the jig 20 is mounted in this way, the cylinder block 1 is set on the support block 4 of the plating apparatus main body 2. Then, by operating a pump (not shown), the plating solution is supplied to the plating apparatus main body 2, whereby the plating solution flows into the processing solution introduction passage 16, passes through the flow paths 14, 15, and is treated with the processing solution. High-speed plating is performed by applying a voltage between the electrode 6 and the cylinder block 1 while flowing out of the lead-out passage 5 and flowing along the inner surface of the cylinder 1b, which is the surface to be plated.

【0031】そして、このようにめっきが行われている
間は、上述のように治具20に設けられた収納部カバー
26が電極6の外筒部9の内部に突入され、これにより
ペレット収納部7の上方開口部分が閉塞されて、めっき
液の流れの影響によるペレット10の外部への飛び出し
(流出)が阻止される。その一方、めっき液は、内筒部
8のカバー8a及び収納部カバー26の孔部を介して良
好に流動するため、シリンダ1bへの高速めっきが促進
される。
While the plating is being performed as described above, the housing cover 26 provided on the jig 20 protrudes into the outer cylindrical portion 9 of the electrode 6 as described above, whereby the pellet is stored. The upper opening of the portion 7 is closed, so that the pellet 10 is prevented from jumping out (flowing out) due to the flow of the plating solution. On the other hand, the plating solution flows favorably through the cover 8a of the inner cylinder portion 8 and the hole of the storage portion cover 26, so that high-speed plating on the cylinder 1b is promoted.

【0032】そして、めっき液中のニッケルがシリンダ
ブロック1の被めっき面に析出していくにつれて電極6
のペレット10からニッケルがめっき液内に溶出し、こ
れによりペレット収納部7内のペレット10が次第に消
耗されて減少していく。こうして、ペレット収納部7内
のペレットが所定量以下となると、めっき装置本体2か
らシリンダブロック1及び治具20が取外された非めっ
き時に、上記ペレット収納部7へのペレット10の補給
が行われる。この際、非めっき状態では、収納部カバー
26が治具20と一体に取り外されているので、ペレッ
ト収納部7の上方開口部分の開口状態が確保され、この
上方開口部分を介してペレット収納部7へのペレット1
0の補給が行われる。しかも、内筒部8の上部にカバー
8aが取付けられているので補給時に内筒部8の内部、
するわち流路15内にペレット10が落ち込むようなこ
とがない。
As the nickel in the plating solution precipitates on the surface of the cylinder block 1 to be plated, the electrode 6
Nickel elutes from the pellet 10 into the plating solution, whereby the pellet 10 in the pellet storage 7 is gradually consumed and reduced. In this way, when the amount of the pellets in the pellet storage section 7 becomes equal to or less than the predetermined amount, the pellet storage section 7 is replenished with the pellets 10 during the non-plating when the cylinder block 1 and the jig 20 are removed from the plating apparatus main body 2. Will be At this time, in the non-plated state, since the storage unit cover 26 is removed integrally with the jig 20, the open state of the upper opening of the pellet storage unit 7 is ensured, and the pellet storage unit is opened via the upper opening. Pellets 1 to 7
Zero supply is performed. In addition, since the cover 8a is attached to the upper portion of the inner cylinder portion 8, the inner
That is, the pellets 10 do not fall into the flow path 15.

【0033】このように上記実施例の装置によれば、ペ
レット収納部7へのペレット10の補給が、ペレット収
納部7の上方開口部分から容易に行われる。しかも、め
っき時には、収納部カバー26によりペレット収納部7
の上方開口部分が閉塞されるので、ペレット収納部7内
のペレット10が流動するめっき液の影響を受けて外部
に飛び出すようなことがない。従って、シリンダ1bに
対するめっきをより高速で行うべくめっき液を高速度で
流動させるような場合であっても、ペレット収納部7か
らのペレット10の飛び出しを確実に防止して適切にめ
っきを行うことができる。
As described above, according to the apparatus of the above-described embodiment, the supply of the pellets 10 to the pellet storage section 7 is easily performed from the upper opening portion of the pellet storage section 7. Moreover, at the time of plating, the pellet storage section 7 is provided by the storage section cover 26.
Is closed, so that the pellets 10 in the pellet storage portion 7 do not jump out to the outside under the influence of the flowing plating solution. Therefore, even when the plating solution is caused to flow at a high speed in order to perform plating on the cylinder 1b at a higher speed, it is necessary to reliably prevent the pellets 10 from jumping out of the pellet storage unit 7 and to perform appropriate plating. Can be.

【0034】また、上記装置によれば、ペレット収納部
7の上方に開口部分を設け、治具20のシール部材に円
柱状カバー26を設けただけの簡単な構造であるから、
電極6の構造をいたずらに複雑化するようなことがない
点で有利である。しかも、円柱状カバー26を治具側に
設けたことにより、ペレット収納部7の上方開口部分の
開口操作が、シリンダブロック1の取外し操作により行
われるので極めて作業性がよいという利点もある。
Further, according to the above-described apparatus, since the opening portion is provided above the pellet accommodating portion 7 and the columnar cover 26 is provided on the sealing member of the jig 20, the structure is simple.
This is advantageous in that the structure of the electrode 6 is not unnecessarily complicated. In addition, since the cylindrical cover 26 is provided on the jig side, the opening operation of the upper opening portion of the pellet accommodating portion 7 is performed by removing the cylinder block 1, so that there is an advantage that workability is extremely good.

【0035】ところで、本発明は、第1実施例の治具2
0と異なる構成のシール部材を具備した治具を用いる場
合にも適用可能である。以下、その例について説明す
る。
The present invention relates to a jig 2 of the first embodiment.
The present invention is also applicable to a case where a jig provided with a seal member having a configuration different from zero is used. Hereinafter, the example will be described.

【0036】図4は、本発明に係る装置の第2実施例を
示している。
FIG. 4 shows a second embodiment of the apparatus according to the present invention.

【0037】この図において、治具30には、シリンダ
ブロック1の各シリンダ1bに対応する位置にそれぞ
れ、シリンダブロック1の上端に当接するプレート31
から下方にシリンダ1bの上方開口部付近に達する柱状
の取付部材32が設けられ、この取付部材32の下端部
にゴム等の弾性材料により略円盤状に形成された弾性シ
ール部材33が取付けられている。
In this figure, a jig 30 is provided with a plate 31 abutting on the upper end of the cylinder block 1 at a position corresponding to each cylinder 1b of the cylinder block 1.
A column-shaped mounting member 32 reaching the upper opening of the cylinder 1b from below is provided, and an elastic sealing member 33 formed in a substantially disk shape by an elastic material such as rubber is attached to a lower end of the mounting member 32. I have.

【0038】また、取付部材32及び弾性シール部材3
3を上下に貫通するテンションロッド34が治具30に
対して上下動可能に設けられ、このテンションロッド3
4の下端に、上記弾性シール部材33の下面に位置する
板体34aが取付けられるとともに、さらにこの板体3
4aの下面に上記収納部カバー26とほぼ同様に構成さ
れた収納部カバー26aが取付けられている。また、エ
アシリンダ35が治具30の上方部分に設けられ、この
エアシリンダ35内のピストン36の下方のエア室35
aがポート35bを介して図外のエア供給部に接続され
ることにより、エアが供給されたときにピストン36及
びテンションロッド34を上昇させるようになってい
る。
The mounting member 32 and the elastic sealing member 3
3 is provided so as to be vertically movable with respect to the jig 30.
4, a plate 34a located on the lower surface of the elastic sealing member 33 is attached to the lower end of the elastic member 33.
On the lower surface of the housing 4a, a housing cover 26a substantially similar to the housing cover 26 is mounted. An air cylinder 35 is provided above the jig 30, and an air chamber 35 below a piston 36 in the air cylinder 35 is provided.
By connecting a to an air supply unit (not shown) via the port 35b, the piston 36 and the tension rod 34 are raised when air is supplied.

【0039】この治具30によれば、シリンダブロック
1への治具30の装着が、エアシリンダ35にエアが供
給されていない状態で行われ、これにより上記弾性シー
ル部材33がシリンダ1bの上方開口部内に挿入される
(図4中の二点鎖線の状態)。それから、上記エアシリ
ンダ35に対してエアが供給されることにより、同図中
に実線で示すように、テンションロッド35を介して板
体34aが引上げられて弾性シール部材33が上下に圧
縮されて、それに伴い弾性シール部材63が外方に膨出
し、その外周がシリンダ1bの内面に圧接される。これ
により、シリンダ1bの上方開口部のシールが達成され
る。また、この状態で、上記収納部カバー26aが電極
6の外筒部9の内部に突入されてペレット収納部7の上
方開口部分が閉塞され、これによりめっき時のペレット
収納部7からのペレット10の飛び出しが防止される。
According to the jig 30, the jig 30 is mounted on the cylinder block 1 in a state where air is not supplied to the air cylinder 35, whereby the elastic seal member 33 is moved above the cylinder 1b. It is inserted into the opening (the state shown by the two-dot chain line in FIG. 4). Then, when air is supplied to the air cylinder 35, the plate body 34a is pulled up via the tension rod 35 as shown by a solid line in FIG. Accordingly, the elastic seal member 63 bulges outward, and the outer periphery thereof is pressed against the inner surface of the cylinder 1b. Thereby, sealing of the upper opening of the cylinder 1b is achieved. In this state, the housing cover 26a protrudes into the outer cylindrical portion 9 of the electrode 6, and the upper opening of the pellet housing 7 is closed, whereby the pellet 10 from the pellet housing 7 during plating is closed. Is prevented from jumping out.

【0040】図5は、本発明に係る装置の第3実施例を
示している。
FIG. 5 shows a third embodiment of the apparatus according to the present invention.

【0041】この図において、治具40には、シリンダ
ブロック1の各シリンダ1bに対応する位置にそれぞ
れ、シリンダブロック1の上端に当接するプレート41
から下方にシリンダ1bの上方開口部付近に達する柱状
の取付部材42が設けられ、この取付部材42の下端部
に、扁平なエアチューブ43が取付けられている。この
エアチューブ43は、内部にエアが供給されるとともに
上下に圧縮されたときに外周がシリンダ内周面に圧接す
るようになっている。
In this figure, a jig 40 has a plate 41 abutting on the upper end of the cylinder block 1 at a position corresponding to each cylinder 1b of the cylinder block 1.
A column-shaped mounting member 42 is provided from below to near the upper opening of the cylinder 1b, and a flat air tube 43 is mounted to a lower end of the mounting member 42. The outer periphery of the air tube 43 comes into pressure contact with the inner peripheral surface of the cylinder when air is supplied to the inside and compressed vertically.

【0042】上記取付部材42には、図外のエア供給部
に接続されるエアポート44と、このエアポート44に
連通して取付部材42の中心部を通るエア通路45とが
形成され、エア通路45の下端が連通孔76を介してエ
アチューブ43内に連通している。
The mounting member 42 has an air port 44 connected to an air supply unit (not shown) and an air passage 45 communicating with the air port 44 and passing through the center of the mounting member 42. Is connected to the inside of the air tube 43 through the communication hole 76.

【0043】さらに、上記取付部材42を上下に貫通す
るテンションロッド47が治具40に対して上下動可能
に設けられ、このテンションロッド47の下端に、上記
エアチューブ43の下面に位置する板体47aが取付け
られるとともに、この板体47aの下面に上記収納部カ
バー26とほぼ同様に構成された収納部カバー26bが
取付けられている。その一方で、テンションロッド47
の上端が、治具40の上方部に設けられたエアシリンダ
48のピストン49に連結されている。上記エアシリン
ダ48は、ピストン49の下方のエア室48aがポート
48bを介して図外のエア供給部に接続されることによ
り、エアが供給されたときにピストン49及びテンショ
ンロッド47を上昇させるようになっている。
Further, a tension rod 47 vertically penetrating the mounting member 42 is provided so as to be vertically movable with respect to the jig 40, and a plate body located on the lower surface of the air tube 43 at the lower end of the tension rod 47. At the same time, a storage portion cover 26b having substantially the same configuration as the storage portion cover 26 is mounted on the lower surface of the plate body 47a. On the other hand, tension rod 47
Is connected to a piston 49 of an air cylinder 48 provided above the jig 40. The air cylinder 48 raises the piston 49 and the tension rod 47 when air is supplied by connecting an air chamber 48a below the piston 49 to an air supply unit (not shown) via a port 48b. It has become.

【0044】この治具40によれば、シリンダブロック
1への治具40の装着が、エアチューブ43及びエアシ
リンダ48にエアが供給されていない状態で行われ、こ
れによりエアチューブ43がシリンダ1bの上方開口部
内に挿入される(図5中の二点鎖線に示す状態)。それ
から、上記エアチューブ43及びエアシリンダ45に対
してエアが供給されることにより、同図中に実線で示す
ように、板体34aが引上げられてエアチューブ43が
上下に圧縮されつつ、エア圧でエアチューブ43が外方
に膨出し、その外周がシリンダ1bの内面に圧接され
る。これにより、シリンダ1bの上方開口部のシールが
達成される。また、この状態で、上記収納部カバー26
bが電極6の外筒部9の内部に突入されてペレット収納
部7の上方開口部分が閉塞され、これによりめっき時の
ペレット収納部7からのペレット10の飛び出しが防止
される。
According to the jig 40, the jig 40 is mounted on the cylinder block 1 in a state where air is not supplied to the air tube 43 and the air cylinder 48. (In a state shown by a two-dot chain line in FIG. 5). Then, by supplying air to the air tube 43 and the air cylinder 45, the plate 34a is pulled up and the air tube 43 is compressed up and down as shown by the solid line in FIG. As a result, the air tube 43 bulges outward, and its outer periphery is pressed against the inner surface of the cylinder 1b. Thereby, sealing of the upper opening of the cylinder 1b is achieved. In this state, the storage unit cover 26
b is inserted into the outer cylindrical portion 9 of the electrode 6 to close the upper opening of the pellet storage portion 7, thereby preventing the pellet 10 from jumping out of the pellet storage portion 7 during plating.

【0045】図6は、本発明に係る装置の第4実施例を
示している。
FIG. 6 shows a fourth embodiment of the apparatus according to the present invention.

【0046】この図において、治具50には、シリンダ
ブロック1の上端に当接するプレートから下方にシリン
ダ1bの上方開口部付近に達する柱状の取付部材51が
設けられ、この取付部材51の下端部に、突出部材53
を保持した保持枠52が取付けられるとともに、この保
持枠52の下部に上記収納部カバー26とほぼ同様に構
成された収納部カバー26cが取付けられている。上記
保持枠52は、シリンダ1bよりも少し小径の円形プレ
ートの下面側周辺部に、径方向に開口した断面コ字形の
枠部を有する形状とされている。上記突出部材53は、
例えば、環状の収縮ゴム等からなり、上記保持枠52の
枠部に嵌合状態に保持されている。
In this figure, a jig 50 is provided with a column-shaped mounting member 51 which reaches the vicinity of the upper opening of the cylinder 1b below a plate abutting on the upper end of the cylinder block 1, and a lower end of the mounting member 51. The projecting member 53
Is attached, and a storage section cover 26c having substantially the same configuration as the storage section cover 26 is mounted below the holding frame 52. The holding frame 52 is formed in a shape having a U-shaped cross section that is opened in the radial direction in a peripheral portion on the lower surface side of a circular plate slightly smaller in diameter than the cylinder 1b. The projecting member 53 includes:
For example, the holding frame 52 is made of, for example, an annular shrink rubber, and is held in a fitted state on the frame portion of the holding frame 52.

【0047】また、上記保持枠52には、上記突出部材
53の内側の枠部内に液導入室54が形成されるととも
に、この液導入室54の内周側に液流入口55が設けら
れ、これら液導入室54及び液流入口55により、シリ
ンダ1b内を流動するめっき液を利用して上記突出部材
を外方に膨出(突出)させるようになっている。
In the holding frame 52, a liquid introduction chamber 54 is formed in a frame portion inside the projecting member 53, and a liquid inlet 55 is provided on the inner peripheral side of the liquid introduction chamber 54. The projecting member is bulged (projected) outward by using the plating solution flowing in the cylinder 1b by the liquid introducing chamber 54 and the liquid inlet 55.

【0048】この治具50によれば、支持ブロック4上
にシリンダブロック1が支持された状態で上記収納部カ
バー26cが電極6の外筒部9の内部に突入されてペレ
ット収納部7の上方開口部分が閉塞され、これによりめ
っき時のペレット収納部7からのペレット10の飛び出
しが防止される。また、めっき液の循環が行われるとき
に、シリンダ1b内において、上記流路14から流路1
5へ流れるめっき液の一部が上記収納部カバー26c及
び液導入口55を介して液導入室54へ流入し、その液
圧で上記突出部材53が径方向外方へ拡開することによ
り、その外周面がシリンダ1bの内面に圧接される。こ
れにより、シリンダ1bの上方開口部のシールが達成さ
れる。
According to the jig 50, the housing cover 26 c is pushed into the outer cylindrical portion 9 of the electrode 6 in a state where the cylinder block 1 is supported on the support block 4, and The opening is closed, thereby preventing the pellet 10 from jumping out of the pellet storage section 7 during plating. Further, when the circulation of the plating solution is performed, the flow path 14 is connected to the flow path 1 in the cylinder 1b.
5, a part of the plating solution flows into the solution introduction chamber 54 via the housing cover 26c and the solution introduction port 55, and the projecting member 53 expands radially outward by the solution pressure. The outer peripheral surface is pressed against the inner surface of the cylinder 1b. Thereby, sealing of the upper opening of the cylinder 1b is achieved.

【0049】図7は、本発明に係る装置の第5実施例を
示している。
FIG. 7 shows a fifth embodiment of the apparatus according to the present invention.

【0050】この図において、治具60には、シリンダ
ブロック1の上端に当接するプレートから下方にシリン
ダ1bの上方開口部付近に達する柱状の取付部材61が
設けられ、この取付部材61の下端部に、上記第4実施
例における保持枠52とほぼ同様の形状の保持枠62が
取付けられるとともに、この保持枠62の下部に上記収
納部カバー26とほぼ同様に構成された収納部カバー2
6dが取付けられている。上記保持枠62における断面
コ字形の枠部の外周側には、ゴムチューブからなる突出
部材63が固着されている。そして、上記保持枠62に
おける上記突出部材63の内側に液導入室64が形成さ
れるとともに、この液導入室64の内側に液流入口65
が設けられている。
In this figure, a jig 60 is provided with a column-shaped mounting member 61 which reaches the vicinity of the upper opening of the cylinder 1b below the plate abutting on the upper end of the cylinder block 1, and a lower end of the mounting member 61. A holding frame 62 having substantially the same shape as the holding frame 52 in the fourth embodiment is attached to the storage unit cover 2, and the storage unit cover 2 having substantially the same configuration as the storage unit cover 26 is provided below the holding frame 62.
6d is attached. A protruding member 63 made of a rubber tube is fixed to the outer peripheral side of the U-shaped frame portion of the holding frame 62. A liquid introducing chamber 64 is formed inside the projecting member 63 in the holding frame 62, and a liquid inlet 65 is formed inside the liquid introducing chamber 64.
Is provided.

【0051】この治具60の場合にも、支持ブロック4
上にシリンダブロック1が支持された状態で上記収納部
カバー26dが電極6の外筒部9の内部に突入されてペ
レット収納部7の上方開口部分が閉塞され、これにより
めっき時のペレット収納部7からのペレット10の飛び
出しが防止される。また、めっき液の循環が行われると
きに、流路14から流路15へ流れるめっき液の一部が
上記収納部カバー26d及び液導入口65を介して液導
入室64へ流入し、その液圧で上記突出部材53が径方
向外方へと膨出することにより、その外周面がシリンダ
1bの内面に圧接される。これによりシリンダ1bの上
方開口部のシールが達成される。
Also in the case of this jig 60, the support block 4
With the cylinder block 1 supported above, the housing cover 26d protrudes into the outer cylindrical portion 9 of the electrode 6, and the upper opening of the pellet housing 7 is closed, whereby the pellet housing during plating is closed. The pellet 10 is prevented from jumping out of the nozzle 7. Also, when the plating solution is circulated, a part of the plating solution flowing from the flow path 14 to the flow path 15 flows into the liquid introduction chamber 64 through the housing cover 26d and the liquid introduction port 65, and The outer peripheral surface is pressed against the inner surface of the cylinder 1b by swelling the projecting member 53 radially outward by pressure. This achieves sealing of the upper opening of the cylinder 1b.

【0052】図8は、本発明に係る装置の第6実施例を
示している。
FIG. 8 shows a sixth embodiment of the apparatus according to the present invention.

【0053】この図において、治具70には、シリンダ
ブロック1の上端に当接するプレートから下方にシリン
ダ1bの上方開口部付近に達する柱状の取付部材71が
設けられ、この取付部材71の下端部に押え部材72に
より円錐、かつ環状のエアチューブ73が取付けられる
とともに、押え部材72の下部に上記収納部カバー26
とほぼ同様に構成された収納部カバー26eが取付けら
れている。
In this figure, a jig 70 is provided with a column-shaped mounting member 71 which reaches the vicinity of the upper opening of the cylinder 1b below a plate abutting on the upper end of the cylinder block 1, and a lower end of the mounting member 71. A conical and annular air tube 73 is attached to the holding member 72 by a holding member 72, and the storage portion cover 26 is provided below the holding member 72.
The storage unit cover 26e having substantially the same configuration as that described above is attached.

【0054】上記取付部材71には、図外の負圧供給部
に接続されるエアポートと、このエアポートに連通して
取付部材71の内部を通るエア通路74とが形成され、
エア通路74の下端が連通孔75を介してエアチューブ
73内に連通している。
The mounting member 71 is formed with an air port connected to a negative pressure supply unit (not shown) and an air passage 74 communicating with the air port and passing through the inside of the mounting member 71.
The lower end of the air passage 74 communicates with the inside of the air tube 73 via the communication hole 75.

【0055】この治具70によれば、シリンダブロック
1への治具70の装着が、エアチューブ73に負圧が供
給される状態で行われ、これによりエアチューブ73が
縮径状態とされてシリンダ1bの上方開口部内に挿入さ
れる(図8中の実線に示す状態)。それから、上記エア
チューブ73に対する負圧供給が遮断されることによ
り、同図中に二点鎖線で示すように、エアチューブ73
が外方に膨出し、その外周がシリンダ1bの内面に圧接
される。これにより、シリンダ1bの上方開口部のシー
ルが達成される。また、この状態で、上記収納部カバー
26eが電極6の外筒部9の内部に突入されてペレット
収納部7の上方開口部分が閉塞され、これによりめっき
時のペレット収納部7からのペレット10の飛び出しが
防止される。
According to the jig 70, the jig 70 is mounted on the cylinder block 1 in a state where the negative pressure is supplied to the air tube 73, whereby the air tube 73 is reduced in diameter. It is inserted into the upper opening of the cylinder 1b (the state shown by the solid line in FIG. 8). Then, when the supply of the negative pressure to the air tube 73 is cut off, as shown by a two-dot chain line in FIG.
Bulges outward, and its outer periphery is pressed against the inner surface of the cylinder 1b. Thereby, sealing of the upper opening of the cylinder 1b is achieved. In this state, the housing cover 26e protrudes into the outer cylindrical portion 9 of the electrode 6, and the upper opening of the pellet housing 7 is closed, whereby the pellet 10 from the pellet housing 7 during plating is closed. Is prevented from jumping out.

【0056】なお、以上説明した実施例は、本発明のめ
っき装置の構成を示す例であって、その具体的な構造
は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能であ
る。例えば、上記実施例においては、ペレット収納部7
の上方開口部分に対する閉塞部材として多孔状金属板等
からなる中空状の収納部カバー26,26a〜26eが
適用されているが、プレート状の収納部カバーを形成す
るようにしても構わない。但し、中空状の収納部カバー
は、プレート状の収納部カバーに比べてめっき液の液圧
に対する剛性が高くなるという利点がある。また、収納
部カバー26,26a〜26eを構成する多孔状金属板
としては、網目状の材料を適用するのがめっき液の流通
性の点で望ましい。
The embodiment described above is an example showing the configuration of the plating apparatus of the present invention, and the specific structure can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention. For example, in the above embodiment, the pellet storage unit 7
Although hollow storage portion covers 26, 26a to 26e made of a porous metal plate or the like are applied as a closing member for the upper opening portion, a plate-shaped storage portion cover may be formed. However, the hollow storage section cover has an advantage that the rigidity against the plating solution pressure is higher than that of the plate-shaped storage section cover. Further, it is desirable to use a mesh-like material as the porous metal plate constituting the storage unit covers 26, 26a to 26e from the viewpoint of the circulation of the plating solution.

【0057】[0057]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ワーク
の筒状部分の下方開口部を塞ぐようにワークを支持する
ワーク支持部と、ワークが支持された状態で上記筒状部
分に突入する電極とを設け、この電極の電極本体内に、
可溶性陽極物質からなるペレットを収納するペレット収
納部と、ペレット導入用の開口部とを設けるようにする
一方で、めっき時に上記ワークに装着されるシール部材
に、ワークが上記ワーク支持部に支持された状態で電極
のペレット導入用の開口部を閉塞する閉塞部材を設ける
ようにしたので、めっき時には、電極に形成されたペレ
ット導入用の開口部が閉塞部材により閉塞され、これに
より電極からのペレットの流出が確実に防止される。そ
の一方で、ワーク及びシール部材が取外された非めっき
時には、電極のペレット導入用の開口部が開口状態とさ
れ、これによりペレット収納部へのペレットの補給性が
高められる。
As described above, according to the present invention, a work supporting portion for supporting a work so as to close a lower opening of a cylindrical portion of the work, and a work which is inserted into the cylindrical portion while the work is supported is provided. And an electrode to be provided, and within the electrode body of this electrode,
A pellet storage portion for storing a pellet made of a soluble anode material, and an opening for introducing a pellet are provided, while a seal member attached to the work at the time of plating, the work is supported by the work support portion. In the plating state, a closing member for closing the opening for introducing the pellet of the electrode is provided, so that at the time of plating, the opening for introducing the pellet formed on the electrode is closed by the closing member, whereby the pellet from the electrode is removed. Outflow is reliably prevented. On the other hand, when the workpiece and the sealing member are removed and the plating is not performed, the opening for introducing the pellet of the electrode is in an open state, whereby the replenishment of the pellet to the pellet storage portion is improved.

【0058】また、このような構成において、電極の電
極本体を、内筒部と外筒部とから構成し、これら内外筒
部の間にペレット収納部を設けてその上端部にペレット
導入用の開口部を形成するとともに、上記閉塞部材をめ
っき液の流通を可能とする多孔部材から形成するように
し、ワーク支持部にワークが支持された状態で、閉塞部
材が電極の上端部を覆うように配置され、さらに電極の
外筒部の外側の空間と内筒部の内側の空間とがめっき液
の流路となって、これらの流路が閉塞部材を介して電極
上端部で互いに連通するように構成すれば、めっき液を
流動させながらめっきを高速で行うことができるととも
に、めっき液の流動によるペレット収納部からのペレッ
トの流出を適切に防止することができる。しかも、非め
っき時には、ワークとシール部材が取外されることによ
り、ペレット収納部の開口部が開口状態とされ、これに
よりペレットを電極上端から容易にペレット収納部内に
補給することができる。
In such a configuration, the electrode body of the electrode is composed of an inner cylindrical portion and an outer cylindrical portion, and a pellet accommodating portion is provided between the inner and outer cylindrical portions, and a pellet introduction portion is provided at an upper end thereof. While forming the opening, the closing member is formed from a porous member that allows the plating solution to flow, and in a state where the work is supported by the work supporting portion, the closing member covers the upper end of the electrode. It is arranged, furthermore, the space outside the outer cylindrical portion of the electrode and the space inside the inner cylindrical portion serve as the flow path of the plating solution, and these flow paths communicate with each other at the upper end of the electrode via the closing member. With this configuration, plating can be performed at a high speed while flowing the plating solution, and the outflow of the pellets from the pellet storage portion due to the flow of the plating solution can be appropriately prevented. In addition, at the time of non-plating, the work and the seal member are removed, so that the opening of the pellet accommodating portion is opened, so that the pellet can be easily supplied from the upper end of the electrode into the pellet accommodating portion.

【0059】さらに、上記閉塞部材を、中空状に形成す
るようにすれば、流動するめっき液の液圧に対する閉塞
部材の剛性が高められる。
Further, if the closing member is formed in a hollow shape, the rigidity of the closing member against the liquid pressure of the flowing plating solution can be increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るめっき装置の第1実施例を示す断
面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of a plating apparatus according to the present invention.

【図2】図1におけるII−II断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II in FIG.

【図3】治具のシール部材を示す図1における拡大断面
図である。
FIG. 3 is an enlarged sectional view of FIG. 1 showing a sealing member of the jig.

【図4】本発明に係るめっき装置の第2実施例を示す要
部拡大断面図である。
FIG. 4 is an enlarged sectional view of a main part showing a second embodiment of the plating apparatus according to the present invention.

【図5】本発明に係るめっき装置の第3実施例を示す要
部拡大断面図である。
FIG. 5 is an enlarged sectional view of a main part showing a third embodiment of the plating apparatus according to the present invention.

【図6】本発明に係るめっき装置の第4実施例を示す要
部拡大断面図である。
FIG. 6 is an enlarged sectional view showing a main part of a fourth embodiment of the plating apparatus according to the present invention.

【図7】本発明に係るめっき装置の第5実施例を示す要
部拡大断面図である。
FIG. 7 is an enlarged sectional view of a main part showing a fifth embodiment of the plating apparatus according to the present invention.

【図8】本発明に係るめっき装置の第6実施例を示す要
部拡大断面図である。
FIG. 8 is an enlarged sectional view of a main part showing a sixth embodiment of the plating apparatus according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 シリンダブロック 1b シリンダ 2 めっき装置本体 4 支持ブロック 5 処理液導出通路 6 電極 7 ペレット収納部 8 内筒部 8a カバー 9 外筒部 10 ペレット 14,15 流路 16 処理液導入通路 20 治具 21 プレート 22 係止板 23 シール押え板 24 Oリング 25 ロッド 25a ねじ部 26 収納部カバー 27 ナット部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cylinder block 1b Cylinder 2 Plating apparatus main body 4 Support block 5 Treatment liquid lead-out passage 6 Electrode 7 Pellet storage part 8 Inner cylinder part 8a Cover 9 Outer cylinder part 10 Pellet 14, 15 Flow path 16 Processing liquid introduction passage 20 Jig 21 Plate DESCRIPTION OF SYMBOLS 22 Locking plate 23 Seal holding plate 24 O-ring 25 Rod 25a Screw part 26 Storage part cover 27 Nut member

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI C25D 17/12 C25D 17/12 J (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C25D 17/00 C25D 5/02 C25D 7/04 C25D 17/08 C25D 17/12 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 identification code FI C25D 17/12 C25D 17/12 J (58) Investigated field (Int.Cl. 7 , DB name) C25D 17/00 C25D 5 / 02 C25D 7/04 C25D 17/08 C25D 17/12

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 筒状部分を有するワークの筒状部分の内
周面にめっき液を供給してめっきを施すように構成され
ためっき装置において、めっき装置本体に、上記筒状部
分の下方開口部を塞ぐようにワークを支持するワーク支
持部と、ワークが支持された状態で上記筒状部分に突入
する電極とが設けられ、前記電極が、筒状の電極本体
と、この電極本体内に可溶性陽極物質からなる多数のペ
レットを収納するペレット収納部と、ペレット導入用の
開口部とを具備する一方、めっき時に上記ワークに装着
されて筒状部分の上方開口部をシールするシール部材が
設られ、このシール部材に、ワークが上記ワーク支持部
に支持された状態で上記電極の開口部を閉塞する閉塞部
材が設けられたことを特徴とするめっき装置。
In a plating apparatus configured to supply a plating solution to an inner peripheral surface of a cylindrical portion of a work having a cylindrical portion and perform plating, a lower opening of the cylindrical portion is formed in a plating apparatus main body. A work support portion that supports the work so as to close the portion, and an electrode that protrudes into the cylindrical portion in a state where the work is supported, is provided, and the electrode is a cylindrical electrode main body, and inside the electrode main body. A sealing member is provided for accommodating a large number of pellets made of a soluble anode material, and an opening for introducing a pellet, and is provided on the work at the time of plating to seal an upper opening of the cylindrical portion. And a sealing member for closing the opening of the electrode while the work is supported by the work supporting portion.
【請求項2】 上記電極の電極本体は内筒部と外筒部と
からなって、これら内外筒部の間にペレット収納部が形
成され、かつその上端部に上記開口部を具備するもので
あって、上記閉塞部材は、めっき液の流通を可能とする
多孔状部材から構成され、上記ワーク支持部にワークが
支持された状態で、上記閉塞部材が上記電極の上端部を
覆うように配置されるとともに、上記電極本体の外筒部
の外側の空間と内筒部の内側の空間とがめっき液の流路
となって、これらの流路がめっき液供給部に接続される
液導入管及びめっき液排出管に連通し、上記閉塞部材を
介して電極上端部で互いに連通するように構成されたこ
とを特徴とする請求項1記載のめっき装置。
2. An electrode body for an electrode comprising an inner cylindrical portion and an outer cylindrical portion, wherein a pellet accommodating portion is formed between the inner and outer cylindrical portions, and the opening is provided at an upper end thereof. The closing member is formed of a porous member that allows a plating solution to flow therethrough, and is arranged so that the closing member covers the upper end of the electrode while the work is supported by the work supporting portion. And a space outside the outer cylinder portion and a space inside the inner cylinder portion of the electrode body serve as a plating solution flow path, and these flow paths are connected to a plating solution supply section. The plating apparatus according to claim 1, wherein the plating apparatus is configured to communicate with a plating solution discharge pipe and communicate with each other at an upper end portion of the electrode via the closing member.
【請求項3】 上記閉塞部材が、中空状に形成されてな
ることを特徴とする請求項2記載のめっき処理装置。
3. The plating apparatus according to claim 2, wherein said closing member is formed in a hollow shape.
JP22831294A 1994-09-22 1994-09-22 Plating equipment Expired - Lifetime JP3242537B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22831294A JP3242537B2 (en) 1994-09-22 1994-09-22 Plating equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22831294A JP3242537B2 (en) 1994-09-22 1994-09-22 Plating equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0892789A JPH0892789A (en) 1996-04-09
JP3242537B2 true JP3242537B2 (en) 2001-12-25

Family

ID=16874473

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22831294A Expired - Lifetime JP3242537B2 (en) 1994-09-22 1994-09-22 Plating equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3242537B2 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5167986B2 (en) * 2008-06-30 2013-03-21 スズキ株式会社 Plating equipment
JP5471388B2 (en) * 2009-12-10 2014-04-16 スズキ株式会社 Cylinder block plating apparatus and cylinder block plating method
JP5428818B2 (en) * 2009-12-10 2014-02-26 スズキ株式会社 Cylinder block plating equipment
JP5447007B2 (en) * 2010-03-03 2014-03-19 トヨタ自動車株式会社 Masking jig

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0892789A (en) 1996-04-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5853559A (en) Apparatus for electroplating a semiconductor substrate
US6113759A (en) Anode design for semiconductor deposition having novel electrical contact assembly
KR100840526B1 (en) Chambers, Systems and Methods for Electrochemical Processing of Microstructured Workpieces
US3957593A (en) Method of forming an abrasive tool
TWI623652B (en) Holding device and high-speed plating device having the same
JP3242537B2 (en) Plating equipment
JP4822858B2 (en) Plating equipment
JP2018154854A (en) Metal film deposition method
JP2023063249A (en) Surface treatment equipment and membrane protection member
EP0032954B1 (en) A cassette-type automatic hollow roller mounting and demounting apparatus
TWI646224B (en) Power supply member and high speed plating device therewith
JPH08209384A (en) Surface treatment equipment
TW201510292A (en) Anode and high-speed plating device provided with same
JP3496814B2 (en) Surface treatment device for cylinder block and masking device for surface treatment
JP3337920B2 (en) Sealing equipment in surface treatment equipment
JP2022115344A (en) Semiconductor production device
JP2024013565A (en) Surface treatment device, surface treatment method, and drainage channel forming member
US5312540A (en) Method of and apparatus for producing a grinder used for a grinding machine and grinding-particles packing apparatus
JP3236750B2 (en) Method and apparatus for sealing cylindrical portion in surface treatment apparatus
US7179359B2 (en) Cup-shaped plating apparatus
JP3286064B2 (en) Wafer plating rack and plating method using the same
EP0728852A1 (en) Plating device and device for supplying pellets to said plating device
JP3366193B2 (en) Sealing equipment in surface treatment equipment
JP7831336B2 (en) Method for forming metal films
JP2000239893A (en) Apparatus and method for plating a wafer

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101019

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101019

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111019

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121019

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131019

Year of fee payment: 12

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term