「Oxidation」に関連した英語例文の一覧と使い方(239ページ目) - Weblio英語例文検索

In the method for reducing COD in the waste water, a valent ion that can terminate ozone oxidation of the organic substances contained in the waste water is used together with ozone to reduce the COD in the waste water.例文帳に追加

本発明は、廃水における化学的酸素要求量（ＣＯＤ）を低下させるための方法を提供し、この方法は、廃水中に含まれる有機物のオゾンによる酸化を終結させ得る原子価イオンが、オゾンと共に使用され、この廃水におけるＣＯＤを低下させることを特徴とする。 - 特許庁

In the manufacture of the catalyst used for catalytic oxidation of the ammonia-containing water with an oxygen-containing gas and prepared by supporting Pt and other noble metals except Pt on a titania carrier, titania is impregnated with a solution containing both a Pt compound and a compound of other noble metals.例文帳に追加

アンモニア含有水を酸素含有ガスで接触酸化処理する際に用いられる、チタニア担体にＰｔとＰｔ以外の他の貴金属とを担持してなる触媒を製造するに当たり、Ｐｔの化合物と、該他の貴金属の化合物との両方を含む溶液にチタニアを含浸する。 - 特許庁

In this method for removing nitrogen from waste water containing ammonia in a biological denitrifying process comprising a denitrification vessel and an aerobic vessel, the ammonia nitrogen in the waste water is oxidized by ammonia oxidation bacteria in the presence of a sulfur compound to produce nitrite nitrogen in the aerobic vessel.例文帳に追加

脱窒槽と好気槽からなる生物学的脱窒素プロセスで、アンモニアを含有する廃水から窒素を除去する方法であって、好気槽において、硫黄化合物を用いてアンモニア酸化細菌によって該廃水中のアンモニア性窒素を酸化して亜硝酸性窒素を生成させる。 - 特許庁

The method for producing the epoxy compound includes subjecting a compound having a carbon-carbon double bond to an oxidation reaction in the presence of hydrogen peroxide, a quaternary ammonium salt and a heteropolyacid, and removing the quaternary ammonium salt remaining in a reaction mixture by a composite metal salt.例文帳に追加

炭素−炭素二重結合を有する化合物を過酸化水素、４級アンモニウム塩及びヘテロポリ酸の存在下に酸化反応した後、複合金属塩にて反応混合物に残存する４級アンモニウム塩を除去することを特徴とするエポキシ化合物の製造方法。 - 特許庁

In the method for determining the quantity of hydrogen peroxide in a mixture containing quinone compounds represented by formula (1) and/or (2) and hydrogen peroxide, hydrogen peroxide is extracted from the mixture in water and this hydrogen peroxide is subjected to oxidation-reduction titration.例文帳に追加

下記一般式（１）及び／又は（２）で表されるキノン体と、過酸化水素とを含有する混合物から、水中に過酸化水素を抽出し、該過酸化水素を酸化還元滴定することを特徴とする前記混合物に含まれる過酸化水素を定量する方法。 - 特許庁

In the method for treating an ion exchange resin, ion exchange groups near the surface of the ion exchange resin are subjected to slight oxidative decomposition by carrying out oxidation treatment and surface charges are diminished by the decomposition to eliminate or prevent clamping phenomenon.例文帳に追加

酸化処理を行って、イオン交換樹脂表面近傍のイオン交換基を軽度に酸化分解して表面電荷を低減させることにより、クランピング現象を解消または防止することを特徴とする、イオン交換樹脂の処理方法、およびその処理を受けたイオン交換樹脂。 - 特許庁

Lower alcohol partial oxides are produced by vapor phase catalytic oxidation of lower alcohols with a gas containing molecular oxygen in the presence of the catalyst for selective oxidization reaction having rhenium oxide or rhenium oxide deposited on a metal oxide carrier such as iron, titanium, zirconium, silicon, aluminum, vanadium or the like as the active component.例文帳に追加

酸化レニウム、又は鉄、チタン、ジルコニウム、ケイ素、アルミニウム、バナジウム等の金属酸化物担体に担持された酸化レニウムを活性成分とする選択酸化反応用触媒の存在下、低級アルコールを分子状酸素含有ガスにより気相接触酸化して、低級アルコール部分酸化物を製造する。 - 特許庁

To provide a method for producing hydrogen reduction water capable of efficiently producing the hydrogen reduction water which can generate microbubbles of hydrogen efficiently and stably, and contain hydrogen in water for a long period of time to maintain a low oxidation-reduction potential.例文帳に追加

水素の微細気泡を効率的かつ安定的に発生させることができ、長時間にわたって水中に水素を存在させて酸化還元電位を低く維持することができる水素還元水を効率的に製造可能な水素還元水の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method and a device capable of efficiently oxidizing and eliminating the exhaust gas of a lean combustion gas engine without using a large amount of expensive catalyst even when a temperature of the exhaust gas is low, particularly in oxidizing and eliminating a hydrocarbon component by using an oxidation catalyst.例文帳に追加

希薄燃焼ガスエンジンの排ガスの処理に関し、特に炭化水素成分を酸化触媒を用いて酸化除去するにあたって、排ガス温度が低い場合にも高価な触媒を大量に用いることなく効率的に酸化除去を行うことを可能にする方法及び装置を提供する。 - 特許庁

The exhaust gas is adjusted temperature for both the nitrogen removal and deodorization at the temperature adjuster, at first the organic nitrogen is removed with the catalyst 33, is deodorized with the oxidation catalyst 34 and is discharged into the atmosphere.例文帳に追加

排気は、温度調整装置２２において温度が有機窒素除去処理と脱臭処理との両処理用に調整され、触媒反応装置３１において最初に有機窒素分解触媒３３で有機窒素除去処理され、次に酸化触媒３４で脱臭処理され、大気に放出される。 - 特許庁

To provide a method for producing a corresponding unsaturated acid or unsaturated nitrile by subjecting propane or isobutane to a gas phase catalytic oxidation or a gas phase catalytic ammoxidation reaction, and capable of obtaining the unsaturated acid or unsaturated nitrile more simply and also at a high selectivity.例文帳に追加

プロパン又はイソブタンを気相接触酸化又は気相接触アンモ酸化反応に供することよって、対応する不飽和酸又は不飽和ニトリルを製造する方法であって、不飽和酸又は不飽和ニトリルをより簡便に且つ高選択率で得ることができる製造方法を提供すること。 - 特許庁

A macrolide compound (for example, tacrolimus) as a raw material is subjected to Wacker oxidation by using as a solvent a dialkyl sulfoxide, an alkylaryl sulfoxide or a diaryl sulfoxide or by using a palladium complex comprising as a ligand a dialkyl sulfoxide, an alkylaryl sulfoxide or a diaryl sulfoxide.例文帳に追加

マクロライド化合物（例えばタクロリムス）、を原料として、ジアルキルスルホキシド類、アルキルアリールスルホキシド類又はジアリールスルホキシド類を溶媒とするか、ジアルキルスルホキシド類、アルキルアリールスルホキシド類又はジアリールスルホキシド類を配位子として含むパラジウム錯体を用いるＷａｃｋｅｒ酸化を行う。 - 特許庁

The method comprises using a photoexcitation semiconductor producing electrons excited by photoirradiation, and an electrochromic material having an oxidation-reduction potential which is more negative than the corrosion potential of the metallic material and more positive than the potential of a conductor of the photoexcitation semiconductor.例文帳に追加

光照射時に励起されて電子を生成する光励起半導体と、金属材料の腐食電位よりも負の酸化還元電位を有しており、かつ光励起半導体の伝導体の電位よりも正の酸化還元電位を有するエレクトロクロミック材料とを使用する。 - 特許庁

Umesu, which contains citric acid as the main component, was used for metal plating and soldering and the oxidation coating treatment of bronze and iron ware (copper oxide (II) and iron oxide (II), an anti-rust treatment using an oxide film made of ferrous oxide called "kurodome"), in addition to the sterilization of tools and bodily wounds. 例文帳に追加

また、クエン酸を主成分とする梅酢は器具や人体の傷口の消毒の他、金属のめっきやはんだ付け、青銅器・鉄器の酸化皮膜処理(酸化銅(II)および酸化鉄(II)：酸化第一鉄による『黒留め』と呼ばれる酸化皮膜による防錆処理)のためにも用いられた。 - Wikipedia日英京都関連文書対訳コーパス

To provide a solution modifying device for modifying a solution, for example, increasing the rate of change in the oxidation-reduction potential of water and stabilize the pH of the water by electrolysis, or ejecting groups of electrolytically-produced fine bubbles by water flow, and a solution modifying method.例文帳に追加

溶液の改質、たとえば電気分解により水の酸化還元電位の変換率の向上及びｐＨ（ペーハー）の安定化を図り、或いは、電気分解により発生した微細な気泡を水流にて気泡郡噴射させる溶液改質装置及び溶液改質方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a product in which processing is further facilitated without losing sericin which is a silk protein having properties effectively acting on the human skin, e.g. antimicrobial properties, resistance to oxidation, moisture retention, odor-absorbing properties and resistance to ultraviolet light, and aromatherapy efficacy can decoratively and daily easily be obtained.例文帳に追加

抗菌性、抗酸化性、保湿性、吸臭性、抗紫外線など、人間の肌に有効に作用する特性を有する絹蛋白質であるセリシンを失うことなく、さらに加工を容易にし、装飾的にかつ日常手軽にアロマテラピー効果が得られる製品を提供する。 - 特許庁

To suppress ignition to the powder caused by the oxidation of the powder by improving the heat resistance of the sheet in a flexible magnet sheet containing a rare-earth-based ferromagnetic material as a magnetic component and at the same time, to improve the appearance of the magnetic attracting surface of the sheet.例文帳に追加

希土類系強磁性材料を磁性成分とする可撓性磁石シートにおいて、該磁石シートの耐熱性を向上させることにより希土類系強磁性材料粉末の酸化による発火を抑制すると共に、該磁石シート磁気吸着面の意匠性を改善する。 - 特許庁

The films have firm adhesion by diffusion and penetration to the base material and fusion of the upper and lower films and an Al2O3 film superior in heat resistance and oxidation resistance is formed on the film surface, and stable operation of a tube and a nozzle is ensured over a long period.例文帳に追加

これらの皮膜は、基材への拡散浸透及び上下の皮膜の融合により強固な密着性を有すると共に、皮膜表面に耐熱性・耐酸化性に優れたＡｌ_２Ｏ_３膜を生成し、長期間チューブ及びノズルの安定した運転を確保することを可能にする。 - 特許庁

An annular thermal oxide film 17 is formed though the thermal oxidation process under the condition that the silicon nitride films 11, 11a are left and moreover a deep N well 3 is also formed at the lower entire surface of the silicon nitride film 11a like an island with the lateral diffusion of phosphorus through the annealing process (b).例文帳に追加

シリコン窒化膜１１，１１ａを残した状態で熱酸化処理を施して環状の熱酸化膜１７を形成し、さらにアニール処理を施してリンの横方向拡散によって島状のシリコン窒化膜１１ａの下部全面にもディープＮウエル３を形成する（ｂ）。 - 特許庁

(1) The sufficient foreign matter stripping effect is exhibited, an oxidization product is removed and the oxidation protective coating film is formed by producing the ozone water stabilized in concentration by forcibly circulating inside of a water receiving tank 1 and a head tank 3 and generating an air hammer from the lowermost part of the water supply pipe line.例文帳に追加

（１）受水槽、及び高架水槽内部で強制循環させて濃度を安定させた、オゾン水を生成し、給水配管最下部からエアーハンマーを発生させ、十分な異物剥離効果が発揮でき、酸化生成物の除去と酸化保護被膜の形成ができる。 - 特許庁

To provide a lubricant composition which is used for internal combustion engines, can inhibit exhaust gas-cleaning catalysts for the internal combustion engines and/or the exhaust gas post-treating devices for Diesel engines from being poisoned with phosphorus, can further inhibit the accumulation of ash, and has excellent abrasion resistance, slag-preventing property, oxidation stability and piston cleanability.例文帳に追加

内燃機関の排気ガス浄化触媒及び／又はディーゼルエンジン用排気ガス後処理装置におけるリン被毒を抑制し、更には灰分の堆積を抑制するとともに、耐摩耗性、スラッジ防止性、酸化安定性、ピストン清浄性に優れた内燃機関用潤滑油組成物を提供する。 - 特許庁

To provide an oxidation hair dye composition which has good spreadability on the hair and excellent usability at application and imparts excellent combability and the natural gloss inherent in hair after dyeing by preventing the damage of the hair under application, and exhibits excellent levelness of dyeing of the hair.例文帳に追加

施術の際には毛髪上での延びがよく使用性に優れ、施術中の毛髪の損傷を防止して染毛後の毛髪に優れた指どおり性と毛髪本来の自然な艶を付与し、しかも毛髪の均染性にも優れる酸化染毛剤組成物を提供することである。 - 特許庁

A new non-magnetic oxidation shielding conductive layer and a new oxide formation protecting film are successively layered adjacent to a soft magnetic free layer on the surface side of a spin valve and giant magneto resistive effect is more increased than that of conventional spin valve to be able to obtain a magnetic head having high output.例文帳に追加

スピンバルブにおいて軟磁性自由層に隣接して表面側に新たに非磁性酸化遮蔽導電層と酸化物形成保護膜を順次積層させ、従来スピンバルブより巨大磁気抵抗効果を増大させることにより高出力の磁気ヘッドが選られる。 - 特許庁

A method of manufacturing a laminated wafer includes an oxidation step forming an oxide film on at least one side of a base wafer, a lamination step laminating the base wafer on which the oxide film is formed to a top wafer, and a thinning step thinning the top wafer in the laminated wafer.例文帳に追加

ベースウェーハの少なくとも一方の面上に酸化膜を形成する酸化工程と、前記酸化膜を形成したベースウェーハをトップウェーハと貼り合せる貼り合わせ工程と、前記貼り合わせたウェーハ中のトップウェーハを薄膜化する薄膜化工程とを含む貼り合わせウェーハの製造方法。 - 特許庁

To provide an oxidation hair dye composition which has good spreadability on hairs, when applied to the hairs, is excellent in usability, prevents the damages of the hairs during the application, has good finger passableness, imparts the original natural gloss of the hairs, and is excellent in hair-dyeing levelness.例文帳に追加

施術の際には毛髪上での延びがよく使用性に優れ、施術中の毛髪の損傷を防止して染毛後の毛髪に優れた指どおり性と毛髪本来の自然な艶を付与し、しかも毛髪の均染性にも優れる酸化染毛剤組成物を提供すること。 - 特許庁

To obtain a deodorant composition for hair color, having excellent long-lasting stability even in a high pH region, and capable of reducing the unpleasant smell derived from ammonia when being formulated with a hair- treating agent containing the ammonia, e.g. the first agent of an oxidation hair color and the first agent of a hair bleach.例文帳に追加

アンモニアを含有する毛髪処理剤、例えば、酸化ヘアカラー第１剤、ヘアブリーチ第１剤に配合した際に、高いｐＨ範囲においても長期間安定性に優れ、アンモニアに由来する不快臭を緩和することができるヘアカラー用消臭剤組成物を提供すること。 - 特許庁

To provide a semiconductor optical integrated element which is composed of a semiconductor laser and semiconductor optical modulator integrated on one substrate using an Al-based semiconductor material, wherein the effects of oxidation and side etch of the Al-based semiconductor material are suppressed, and reflection and dispersion in the BJ (butt-joint) surface are suppressed.例文帳に追加

Ａｌ系半導体材料を用いて同一の基板上に集積した半導体レーザ及び半導体光変調器であって、Ａｌ系半導体材料の酸化とサイドエッチの影響を抑制し、ＢＪ結合面の反射や散乱を抑えた半導体光集積素子を提供する。 - 特許庁

When As is injected into a silicon substrate 10 having a natural oxidation film 11, an amorphous region 10a is formed, and the amorphous region 10a is divided into a high concentration oxygen region 10aa where the oxygen concentration is more than a critical value and a low concentration oxygen region 10ab where the oxygen concentration is lower than the critical value.例文帳に追加

自然酸化膜１１を有するシリコン基板１０にＡｓを注入すると、アモルファス領域１０ａが形成され、アモルファス領域１０ａは、酸素濃度が臨界値以上の高濃度酸素領域１０aaと、酸素濃度が臨界値よりも低い低濃度酸素領域１０abとに分かれる。 - 特許庁

To provide a method for preserving a coffee extract liquid in the atmosphere without damaging the taste and aroma each peculiar to coffee, capable of suppressing lowering the flavor caused by change with time during long-term preservation and its deterioration by oxidation, and of maintaining the excellent flavor and efficacy of coffee.例文帳に追加

コーヒー特有の味及び香りを損なうことなく、コーヒー抽出液の長期保存における経時変化による風味の低下、酸化による劣化を抑え、風味が良好でかつコーヒーの効能が維持されるようにした大気中でのコーヒー抽出液の保存方法を提供する。 - 特許庁

A light-shielding film having oxidation resistance properties is further provided after forming an active layer pattern in a manufacturing process of a bottom gate top contact type field effect transistor and after forming source/drain electrode patterns in a manufacturing process of a bottom gate bottom contact type field effect transistor.例文帳に追加

ボトムゲート型トップコンタクト型の電界効果トランジスタの製造工程においては活性層パターン形成後に、またボトムゲート型ボトムコンタクト型の電界効果トランジスタの製造工程においてはソース／ドレイン電極パターン形成後に、耐酸性を有する遮光膜を一層設ける。 - 特許庁

By the above, since oxidation/reduction reaction and dendrite formation reaction are generated only in the recess formed by surface patterning of the anode current collector, volumetric expansion and contraction of a battery cell due to the change of the thickness of the lithium anode is restrained, and cycle stability and life property are improved.例文帳に追加

これにより、負極集電体の表面パターニングによって形成されたリセス内だけで、リチウムの酸化／還元及びデンドライト形成反応が起こるので、リチウム負極の厚さの変化による電池セルの体積膨脹及び収縮が抑制され、サイクル安定性及び寿命特性が向上する。 - 特許庁

To provide a charge transfer type catalyst which can give contamination preventing property, antibacterial property and or deodorizing property without depending on the changes in the environmental conditions such as presence of light or water and to provide an oxidation-reduction functional material which uses the aforementioned catalyst and a material containing the charge transfer type catalyst.例文帳に追加

光や水の存在といった環境条件の変化に関わりなく、防汚性を付与可能にし、また抗菌性や防臭性の付与も可能にした電荷移動型触媒、該触媒を利用した酸化還元機能材及び電荷移動型触媒含有材を提供する。 - 特許庁

In the structure, the surface of a heat resistant support is provided with an aluminum alloy having a purity of ≥99.7% at a thickness of 30 to 300 μm, the aluminum alloy has micropores by anode oxidation treatment on the surface, and the regularization degree of the arrangement of the micro pores is ≥20%.例文帳に追加

耐熱性支持体上に、純度が９９．７％以上のアルミニウム合金を３０μｍ〜３００μｍの厚さで有し、該アルミニウム合金がその表面に陽極酸化処理によるマイクロポアを有し、該マイクロポアの配列の規則化度が２０％以上である構造体。 - 特許庁

A hydrogen-bondable group is formed on the surface of a resin by the oxidation treatment and polyvinyl alcohol is gelled by the freeze-thawing to be a polymeric gel 1 and a hydrogen bonding is formed between the polyvinyl alcohol and the surface of the base material 2, then generated polymeric gel 1 is fixed on the base material.例文帳に追加

酸化処理により樹脂表面には水素結合性官能基が形成され、凍結解凍によりポリビニルアルコールがゲル化して高分子ゲルになるととともに、ポリビニルアルコールと基材表面との間に水素結合が形成されて、生じた高分子ゲルが基材に固定される。 - 特許庁

In the method of oxidizing the substance by bringing the substance into contact with the solution containing nitrous oxide (N_2O) and irradiating the solution with ultraviolet ray, the time of the oxidation of the substance is controlled by the time of the irradiation with the ultraviolet ray.例文帳に追加

亜酸化窒素（Ｎ_２Ｏ）を含む溶液と物質を接触させ、該溶液に対して紫外光を照射することによって前記物質の酸化を行う物質の酸化方法であって、紫外光の照射時間により物質の酸化時間を制御することを特徴とする物質の酸化方法。 - 特許庁

To allow an electrode short circuit to occur by cutting the surface of an HSG silicon layer together with a natural oxidation film and producing HSG grain peeling due to lack of mechanical strength of a lower electrode when a wet etching process is performed before formation of a dielectric film in a manufacturing method of a capacitor utilizing HSG formation.例文帳に追加

ＨＳＧ形成を利用したキャパシタの製造方法で、誘電体薄膜の形成前にウェットエッチング工程を行うと自然酸化膜と一緒にＨＳＧシリコン層の表面も削られて、下部電極の機械的強度不足によりＨＳＧ粒剥がれが発生して電極短絡が起こる。 - 特許庁

Since the branched polymer is doped to high polymer such as polypyrrole, a branched polymer anion is tangled with a polymer chain, the dopant is hard to be released, and an anion site is hard to be generated, thereby oxidation-reduction reaction (redox reaction) yields the conductive polymer which is formed by cation exchange of an electrolyte.例文帳に追加

分岐ポリマーは、ポリピロール等の高分子にドープし、分岐ポリマーアニオンが高分子鎖にからみあって、ドーパントが抜けにくく、アニオンサイトが発生しにくいので、電解質のカチオン交換による酸化還元反応（レドックス反応）を生じる導電性高分子を形成する。 - 特許庁

In the method for manufacturing the planographic printing plate, after an aluminum plate subjected at least to surface roughening treatment and to anodic oxidation treatment is cleaned with water, a liquid containing physical developing nuclei is applied on the plate while the surface of the aluminum plate is in a wet state, and then a silver halide emulsion layer is applied thereon.例文帳に追加

少なくとも粗面化処理及び陽極酸化処理を施したアルミニウム板を水洗した後、アルミニウム板表面が湿潤状態で、物理現像核を含む液を塗布し、次いで、ハロゲン化銀乳剤層を塗布することを特徴とする平版印刷版の製造方法。 - 特許庁

When an insulating layer of the TFD element is formed with the anode oxidation under the condition of initial circuit board 200 for taking many element circuit board 20, the electrical power is supplied to each data line 52 and a first metal layer 222 connected thereto by radially extending the branching lines 253 to 258 from the center of the initial circuit board 200.例文帳に追加

素子基板２０を多数取りきる元基板２００の状態でＴＦＤ素子の絶縁層を陽極酸化で形成する際、元基板２００の中心から支線部分２５３〜２５８を放射状に延ばして各データ線５２およびそれに接続する第１金属層２２２に給電する。 - 特許庁

To heat a conversion part 5 in a short time without installing new power supply wiring or heat piping, in a fuel cell reformer provided with a partial oxidation reforming part 4, and thereby to reduce the starting time of the reformer.例文帳に追加

部分酸化改質型の改質部（４）を備えた燃料電池改質装置において、新たな給電配線や熱媒体配管を設けることなく、変成部（５）を短時間のうちに昇温させられるようにし、もって、改質装置の起動時間の短縮化が図れるようにする。 - 特許庁

Therefore, the oxidation of the molten metallic material can be prevented and the improvements of the working environment and the safety can be obtained, and since the molten metallic material in one time can be weighed as the fixed quantity with the fixed quantity weighing means, the supplying accuracy of the molten metallic material is improved.例文帳に追加

そのため、溶融金属材料の酸化を防止することができ、作業環境の改善および安全性の向上が図れ、１回の射出分の溶融金属材料が定量計量手段で定量計量されるので、溶融金属材料の供給精度が向上する。 - 特許庁

The method for the production of adamantanols comprises the oxidation of adamantanes with a nitrous acid salt or a nitric acid salt in the presence of a strong acid having an acid dissociation constant (pKa) of ≤1 in an aqueous solution, preferably trifluoroacetic acid, methanesulfonic acid, etc., and the hydrolysis of the produced acid ester of adamantanols.例文帳に追加

アダマンタン類を、水溶液中の酸解離定数（pKa）が１以下の強酸、好適にはトリフルオロ酢酸、メタンスルホン酸等の存在下、亜硝酸塩または硝酸塩で酸化した後、生成したアダマンタノール類の酸エステルを加水分解することを特徴とするアダマンタノール類の製造方法。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of an organic EL display, with prevention of oxidation of the surface of a lead-out pad for an electrode, capable of easily forming an electrode and the lead-out pad at low cost, and capable of preventing rise of contact resistance between the electrode and the lead-out pad.例文帳に追加

電極用の引き出しパッドの表面の酸化を防止しつつ、電極および引き出しパッドを低コストで容易に形成することができ、もって電極と引き出しパッドとの接触抵抗の上昇を防止することができる有機ＥＬディスプレイの製造方法を提供する。 - 特許庁

An adhesive film consisting of titanium nitride (TiN) is formed in a contact hole where an upper electrode of the ferroelectric capacitor is exposed after thermal treatment is performed on it in an oxidation atmosphere, and the contact hole is filled by depositing a W layer with the CVD process while using the TiN film as a hydrogen barrier.例文帳に追加

強誘電体キャパシタの上部電極を露出するコンタクトホールに、酸化雰囲気での熱処理の後、ＴｉＮよりなる密着膜を形成し、かかるＴｉＮ密着膜を水素バリアとして使いながら、Ｗ層をＣＶＤ法により堆積し、コンタクトホールを充填する。 - 特許庁

To solve the problem that the uniformity in film thickness becomes poor when a treatment temperature is reduced in the so called dry oxidation method for obtaining a silicon oxide film, by supplying oxygen and hydrogen chloride gases into the reaction tube of, for example, a vertical heat-treating device and oxidizing the silicon layer of a semiconductor wafer.例文帳に追加

例えば縦型熱処理装置の反応管内に酸素ガスと塩化水素ガスとを供給して半導体ウエハのシリコン層を酸化し、シリコン酸化膜を得るいわゆるドライ酸化法において、処理温度を低くしようとすると膜厚均一性が悪くなることを解決する。 - 特許庁