「Immersion」に関連した英語例文の一覧と使い方(35ページ目) - Weblio英語例文検索

To reduce fluctuations of refractive index resulting from temperature gradients occurring within the immersion liquid (34), the projection exposure apparatus (10) includes heat transfer elements (50; 501; 502; 503; 504) that heat or cool areas of the immersion liquid (34) so in a predetermined mode.例文帳に追加

液浸液（３４）内で生じる温度勾配に起因する屈折率の変動を低減するために、投影露光装置（１０）は伝熱要素（５０；５０１；５０２；５０３；５０４）を含み、それにより液浸液（３４）の区域は指定の様態で加熱または冷却される。 - 特許庁

To provide a laminated sheet which is good in lamination aptitude on a metal sheet, has embossment heat resistance, and has neither cracks even when being subjected to an alkaline immersion test, nor appearance change in a boiling water immersion test.例文帳に追加

金属板へのラミネート適性が良好であり、エンボス耐熱性を有し、アルカリ浸漬試験に供してもクラックを生じる事のない積層シートであり、沸騰水浸漬試験での外観変化も生じない積層シートを提供する。 - 特許庁

The system includes a process that forms a first liquid immersion region on the substrate to expose the substrate by radiating exposing beam onto the substrate through the first liquid and an immersion process that immerses the substrate in a second liquid before an exposure process.例文帳に追加

第１の液体の液浸領域を基板上に形成し、第１の液体を介して基板上に露光光を照射して基板を露光する工程と、露光工程の前に、基板を第２の液体に浸漬する浸漬工程とを含む。 - 特許庁

To provide a purifier of a liquid for liquid immersion lithography, wherein the impurity generated by exposure in the liquid for liquid immersion lithography is efficiently removed, to stabilize optical nature of the liquid, for reusing.例文帳に追加

露光により液浸型露光用液体中に生成された不純物を、効率よく除去し、液浸型露光用液体の光学的性質を安定させた上で、再利用を可能とする、液浸型露光用液体の精製器を提供すること。 - 特許庁

To provide an immersion nozzle for continuous casting with which the electric power can efficiently be supplied at a low cost by a simple method and the sticking/depositing of oxide-base inclusion to the inner wall surface of the immersion nozzle can be prevented.例文帳に追加

低コストかつ簡便な方法で、効果的に通電可能であり、電流を印加することにより、浸漬ノズル内壁面への酸化物系介在物の付着・堆積を防止することができる連続鋳造用浸漬ノズルを提供する。 - 特許庁

The liquid immersion optical system is characterized in that there is provided between a lens and the wafer or the mask the immersion liquid in which a moisture content rate in the liquid is reduced from several hundreds of ppm-several tens of ppm to several ppm by dehydrating agent.例文帳に追加

脱水剤によって、液中の水分含有率を数百ｐｐｍ〜数十ｐｐｍから数ｐｐｍまで低減する前述の液浸液が、レンズと、ウェハ又はマスクとの間に設けられていることを特徴とする液浸光学系。 - 特許庁

To provide an aligner capable of obtaining high exposure accuracy and measurement accuracy by excellently implementing liquid feed operation and liquid recovering operation for forming a liquid immersion region and forming the liquid immersion region into a desired state.例文帳に追加

液浸領域を形成するための液体供給動作及び液体回収動作を良好に行い、液浸領域を所望状態に形成して、高い露光精度及び計測精度を得ることができる露光装置を提供する。 - 特許庁

The thickness of the optical transmissible layer is larger than the one wavelength of the light to be used and the spacing between the surfaces of the solid immersion lens (or solid immersion lens optical system 64) and the optical transmissible layer is smaller than the one wavelength of the light to be used.例文帳に追加

光学的透過層の厚さは使用する光の一つの波長より大きく、固体含浸レンズ（または固体含浸光学系６４）と光学的透過層の表面間の間隔は使用する光の１波長より小さい。 - 特許庁

To provide immersion oil for a microscope whose own fluorescence is low, which has excellent property required for the immersion oil for the microscope such as a refractive index, an Abbe number, viscosity and resolving power, and especially which is suitable for a fluorescence microscope.例文帳に追加

それ自体の蛍光性が低く、屈折率、アッベ数、粘度、解像力など顕微鏡用液浸油に要求される諸性質も良好であり、特に蛍光顕微鏡用として好適な顕微鏡用液浸油を提供すること。 - 特許庁

To provide a liquid feed system that can supply immersion liquid at a very stable flow rate with the minimum pressure fluctuation to a space between the last element and the substrate of a projection lens in an immersion liquid lithography equipment.例文帳に追加

液浸リソグラフィ装置において、投影レンズの最終エレメントと基板との間の空間に、極めて安定した流量で、且つ最小の圧力変動で浸液を供給することができる液体供給システムを提供すること。 - 特許庁

To provide a pigment for cosmetics capable of improving its water repellency after immersion into a 1-4C alcohol and drying at least similar or more in comparison with that before the immersion; and cosmetics containing the pigment for cosmetics.例文帳に追加

炭素数１〜４のアルコールへの浸漬乾燥後の撥水性を浸漬前と比較して同等以上に向上させることのできる化粧料用顔料を提供し、併せてその化粧料用顔料を含有する化粧料を提供する。 - 特許庁

The non-self developing type and developing type norbornene polymers useful for the liquid-immersion lithography process, the method for manufacturing such polymers, the composition using such a polymer, and the liquid-immersion lithography process using such a composition, are provided.例文帳に追加

液浸リソグラフィプロセスに有用な非自己現像型及び現像型のノルボルネン系ポリマー、このようなポリマーの製造方法、このようなポリマーを使用する組成物、及びこのような組成物を使用する液浸リソグラフィプロセスを提供する。 - 特許庁

The last element 50 of a projection system that is a parallel plate used for sealing a projection system PL from an immersion liquid 10 by immersion lithography changes the angle of incidence of a projected beam when tilting to the optical axis of the device.例文帳に追加

液浸リソグラフィで投影系ＰＬを浸液１０から密封するのに使用される平行平板である投影系の最終要素５０が、装置の光軸に対して傾斜する場合投影ビームの入射角を変化させる。 - 特許庁

A final element 50 in a projection system that is a parallel plate used for sealing a projection system PL against an immersion liquid 10 in immersion lithography changes an incidence angle of projection beams when the final element inclines to the optical axis of the device.例文帳に追加

液浸リソグラフィで投影系ＰＬを浸液１０から密封するのに使用される平行平板である投影系の最終要素５０が、装置の光軸に対して傾斜する場合投影ビームの入射角を変化させる。 - 特許庁

In the immersion nozzle having twisting tape-like swivel wings for making the molten steel flow inside the nozzle the swivel flow, the immersion nozzle is characterized in that the upper end portion of the swivel wing has a shape projected upward in view of the thickness direction.例文帳に追加

ノズル内の溶鋼流を旋回流とするねじりテープ状の旋回羽根を装着した浸漬ノズルにおいて、旋回羽根の上端部が厚さ方向から見て上に凸の形状であることを特徴とする浸漬ノズルである。 - 特許庁

To provide an immersion type membrane separator which can discharge sludge efficiently in order to keep stable operation, is also simple in execution and maintenance control and can be constituted compactly as a whole by suppressing the total height of an immersion tank low.例文帳に追加

安定運転を維持するための排泥を効率よく実施可能で、施工、維持管理も簡便であり、かつ、浸漬槽の全高を低く抑えて装置全体をコンパクトに構成可能な浸漬型の膜分離装置を提供する。 - 特許庁

This method for alkali-reducing the polytrimethylene terephthalate-based fibers, comprising subjecting a fabric comprising the polytrimethylene terephthalate-based fibers to an immersion treatment using an alkali solution, is characterized by carrying out the immersion treatment under a high pressure condition at >100°C.例文帳に追加

ポリトリメチレンテレフタレート系繊維からなる布帛をアルカリ溶液で浸漬処理して減量加工するのに際して、１００℃超の高圧条件下で処理することを特徴とするポリトリメチレンテレフタレート系繊維のアルカリ減量加工方法。 - 特許庁

To provide a protective film forming material which simultaneously prevents deterioration of a resist film during liquid immersion lithography and deterioration of a liquid used for the liquid immersion lithography, and which forms a resist pattern of a good shape without increasing the number of processing steps.例文帳に追加

液浸露光中のレジスト膜の変質および使用液浸露光用液体の変質を同時に防止し、かつ処理工程数の増加なしに、形状良好なレジストパターンを形成可能な保護膜形成用材料を提供する。 - 特許庁

A liquid handling structure for a lithographic apparatus comprises a droplet controller configured to allow a droplet of immersion liquid to be lost from the handling structure and to prevent the droplet from colliding with the meniscus of the confined immersion liquid.例文帳に追加

リソグラフィ装置の液体ハンドリング構造は、液浸液の液滴が液体ハンドリング構造から失われるようにし、閉じ込められた液浸液のメニスカスと液滴が衝突するのを防止するように構成された液滴コントローラを備える。 - 特許庁

The acceleration profile is asymmetric in time and is dimensioned so that when the substrate table is accelerated according to the acceleration profile, a force to break a meniscus of the immersion liquid remains lower than a force to maintain the meniscus of the immersion liquid.例文帳に追加

加速プロフィールは時間が非対称であり、基板テーブルが加速プロフィールに従って加速されると、液浸液のメニスカスを破壊する力が、液浸液のメニスカスを維持する力より低いままであるように寸法決定されている。 - 特許庁

The final element 50 of a projection system PL which is parallel plate used to seal the projection system from the immersion liquid 10 in the immersion lithography varies incident angle of a projected beam when it tilts relative to the optical axis of the apparatus.例文帳に追加

液浸リソグラフィで投影系ＰＬを浸液１０から密封するのに使用される平行平板である投影系の最終要素５０が、装置の光軸に対して傾斜する場合投影ビームの入射角を変化させる。 - 特許庁

Especially when only a water level measurement controller 6 is exchanged or the like, in a state that the immersion type water level sensor 1 has been already set in a sewage tub, a raw water tub, or the like, the immersion type water level sensors 1 of both modes can be easily responded.例文帳に追加

特に、既に投込式水位センサー１を下水中継槽や原水槽等に設置した状態で、水位測定制御装置６のみを交換する場合等に、両方式の投込式水位センサー１に容易に対応できる。 - 特許庁

To provide an immersion tube for treating molten steel, which reduces the expansion/shrinkage of studs for holding refractory, prevents the peeling, the spalling, or the like, of the refractory to extend the service life thereof and can reduce the number of spare immersion tubes and the refractory cost.例文帳に追加

耐火物を保持するスタッドの膨張・収縮を小さくし、耐火物の剥離やスポーリング等を防止して浸漬管の寿命を延長し、予備浸漬管数、耐火物コストを低減できる溶鋼処理用浸漬管を提供する。 - 特許庁

To provide a water immersion warning system for a ship which gives an alarm according to water immersion level in order to prevent a foundering accident of a cargo ship as requested by International Maritime Organization for installation, where a sensor part can be checked even under existence of a cargo.例文帳に追加

貨物船の沈没事故防止のため国際海事機関により浸水水位により警報を発する装置の設置の要望があり、積荷があってもセンサ部の点検が可能な船舶用浸水警報装置を提供する。 - 特許庁

To prevent nonuniform plating from occurring by loading or unloading a workpiece into or to the outside of an immersion tank quickly without allowing the workpiece to rub thereon without changing the carrying attitude of the workpiece in a workpiece carrying device in the immersion tank.例文帳に追加

浸漬槽のワーク搬送装置において、ワークの搬送姿勢を変更することなく、速やかに、かつ、ワークが擦れることなく、ワークを浸漬槽内に搬入し、あるいは浸漬槽外に搬出し、めっきむらの発生を防止できるようにする。 - 特許庁

To provide a liquid immersion exposure apparatus enabling a liquid immersion exposure with little dopant contamination by supplying standard waters such as city waters or the like from a plant and equipment, and by newly establishing pure water generating means and ultrapure water generating means.例文帳に追加

工場設備より市水等の標準水を供給し、純水並びに超純水生成手段を新たに設けることにより、不純物の混入の少ない液浸露光を可能とする液浸型露光装置を提供すること。 - 特許庁

To suppress bad influence with respect to a resolving of resist pattern which is caused by waterdrop left on a substrate by liquid immersion exposure in an exposure device performing development treatment with respect to the substrate after carrying out the liquid immersion exposure by forming resist film in the substrate.例文帳に追加

基板にレジスト膜を形成し、液浸露光した後の基板に対して現像処理を行う装置において、液浸露光により基板上に残留する水滴によるレジストパターンの解像に対する悪影響を抑えること。 - 特許庁

A porous member is used for a liquid removing system of an immersion lithography projector to make an inhomogeneous flow uniformly.例文帳に追加

不均一な流れを均一にするために、浸漬リソグラフィ投影装置の液体除去システムで、多孔性部材を使用する。 - 特許庁

To provide a liquid immersion exposure apparatus equipped with a liquid recovering mechanism suppressed in influence from a recovered liquid.例文帳に追加

回収した液体から受ける影響を抑えられた液体回収機構を備える液浸露光装置を提供する。 - 特許庁

To enable the formation of a pattern having a bad profile to be prevented by further enhancing resolution resulting from liquid immersion lithography.例文帳に追加

液浸リソグラフィによる解像度をより向上させることにより、パターンの形状不良を防止できるようにする。 - 特許庁

To provide a low-temperature vessel which can reduce power required for cooling by reducing heat immersion to a low-temperature region.例文帳に追加

低温領域への熱侵入を低減し、冷却に必要な動力を低減できる低温容器を提供する。 - 特許庁

To provide a substrate treating device which prevents operation failure of an exposing device in exposure treatment by a liquid immersion method.例文帳に追加

液浸法による露光処理時に露光装置の動作不良が防止された基板処理装置を提供することである。 - 特許庁

To provide a lithographic apparatus that can reduce formation of a droplet on a surface by being uncovered by an immersion liquid.例文帳に追加

液浸液で覆われていないことによる表面の液滴の生成を低減できるリソグラフィ装置を提供する。 - 特許庁

By this structure, the lower end part of the immersion tube easily received with the influence of molten steel is made to be the definite refractory having high corrosion resistance.例文帳に追加

この構造により、溶鋼の影響を受けやすい浸漬管下端は耐食性の高い定形耐火物となる。 - 特許庁

The travel clutch is an oil immersion type cone clutch of which the incomplete clutching condition is changed by bearing pressure between male and female taper faces.例文帳に追加

走行クラッチは、雌・雄テーパ面間の面圧によって半クラッチ状態が変化する油中式円すいクラッチである。 - 特許庁

Oil immersion exposure is realized by making the exposure light reach the image surface side excellently through the projection optical system and the liquid.例文帳に追加

投影光学系と液体とを介して露光光を像面側まで良好に到達させて、液浸露光を実現する。 - 特許庁

To provide an immersion system microscopic objective lens, whose numerical aperture is ≥1.6 and also which is manufactured comparatively easily.例文帳に追加

開口数が１．６以上で、且つ比較的製造が容易である液浸系顕微鏡対物レンズを提供すること。 - 特許庁

Also, inside the immersion tub 411, an ultrasonic washing means 4132 is provided facing a fourth guide roller.例文帳に追加

また、この浸漬槽４１１内には、第４のガイドローラー４８と対向して超音波洗浄手段４１３２が設けられている。 - 特許庁

To provide a method for correcting an exposure parameter of an immersion lithographic apparatus, and to provide a device and/or a computer program product.例文帳に追加

浸漬式リソグラフィ装置の露光パラメータを補正するための方法、装置及び／又はコンピュータ・プログラム製品を提供する。 - 特許庁

DEVELOPING METHOD FOR IMMERSION LITHOGRAPHY, SOLVENT USED FOR THE DEVELOPING METHOD, AND ELECTRONIC DEVICE USING THE DEVELOPING METHOD例文帳に追加

液浸リソグラフィの現像処理方法、該現像処理方法に用いる溶液および該現像処理方法を用いた電子デバイス - 特許庁

To provide an objective lens socket capable of firmly attaching a solid immersion lens to an observation object with simple configuration.例文帳に追加

簡易な構成で固浸レンズを観察対象物に密着させることが可能である対物レンズソケットを提供する。 - 特許庁

To efficiently determine whether abnormality exists in a portion contacting with a liquid in an exposure apparatus for performing exposure by an immersion method or not.例文帳に追加

液浸法で露光を行う露光装置の液体に接する部分に異常があるかどうかを効率的に判定する。 - 特許庁

To provide an immersion tube for a vacuum degassing apparatus, with which timing for performing repair of an outside main refractory layer can be visually recognized.例文帳に追加

外側主耐火物層に対して補修を行うタイミングを視認できる減圧脱ガス装置の浸漬管を提供する。 - 特許庁

The position of the immersion nozzle 2 is adjusted when needed during the time from the start of the casting to the halfway of the casting by using this system.例文帳に追加

この装置により、鋳込み開始前から鋳込み途中の間の必要時に浸漬ノズル２の位置を調整する。 - 特許庁

To provide a resist composition suitable for immersion exposure and a method of forming a resist pattern using the resist composition.例文帳に追加

液浸露光用として好適なレジスト組成物、当該レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法の提供。 - 特許庁