例文 (376件) |
radiation actionの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 376件
To provide a method for producing a three-dimensional object by solidification of a material solidifiable under the action of electromagnetic radiation by means of energy input via an imaging unit comprising a predetermined number of discrete imaging elements (pixels).例文帳に追加
本発明は、所定の数の個別の画素(ピクセル)を備えるイメージングユニットを用いたエネルギー入力により、電磁放射作用の下で固化可能な材料を固化することによって3次元物体を生成するための方法を提供すること。 - 特許庁
To secure heat radiation action for a device main body when a display part is opened and an information processor is used and to prevent dust and dirt in outer air from intruding into the device main body when the display part is closed and the information processor is not used.例文帳に追加
表示部を開いた情報処理装置の使用状態では装置本体からの放熱作用を確保することができ、表示部を閉じた非使用状態では外部空気の塵埃が装置本体の内部に入らないようにする。 - 特許庁
The photoresist composition includes: a polymer (A) having a repeating unit represented by the general formula (1) and having alkaline insolubility or poor alkaline solubility, wherein the polymer becomes alkali-soluble due to action of an acid; and a radiation-sensitive acid generator (B).例文帳に追加
下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有し、アルカリ不溶性又はアルカリ難溶性であり、酸の作用によりアルカリ可溶性となる重合体(A)および感放射線性酸発生剤(B)を含有するフォトレジスト組成物。 - 特許庁
Each of the radiation sensitive resist compositions contains a resin having a velocity of dissolution in an alkali developing solution increased by the action of an acid, a photo-acid generating agent, a solvent and a specified alicyclic or aromatic compound.例文帳に追加
酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が変化する樹脂、光酸発生剤、溶剤、及び、特定の脂環式又は芳香環式化合物を含有してなることを特徴とする感放射線性レジスト組成物。 - 特許庁
The photosensitive resin composition comprises the condensate of the alkoxysilane, an acid or base generator (A) which generates an acid or base upon irradiation with light or radiation, and a thermal acid generator (B) which generates an acid by the action of heat.例文帳に追加
アルコキシシランの縮合物と、光線もしくは放射線の照射により酸または塩基を発生する酸又は塩基発生剤(A)と、熱の作用により酸を発生する熱酸発生剤(B)とを含有する、感光性樹脂組成物。 - 特許庁
The positive photosensitive composition contains a compound which generates an acid when irradiated with active light or radiation, a resin which is decomposed by the action of the acid to increase its solubility in an alkali developing solution and an N,N-dialkylcarboxylic acid amide.例文帳に追加
活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及びN,N−ジアルキルカルボン酸アミドを含有するポジ型感光性組成物。 - 特許庁
The resist composition contains (A) a resin increasing a dissolution speed to an alkali developer due to the action of an acid having a specific repeating unit, and (B) a compound generating the acid due to irradiation with an active light or radiation.例文帳に追加
特定の繰り返し単位を有する酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、および(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有するレジスト組成物。 - 特許庁
The present invention provides the device and the method for producing a three-dimensional object by solidifying a solidifiable material under an action of electromagnetic radiation by means of energy input via a raster imaging unit having a predetermined number of discrete imaging elements (pixels).例文帳に追加
所定数の独立した画素(ピクセル)を有するラスターイメージングユニットを用いてエネルギーを入力することにより、電磁放射の作用で硬化性材料を硬化させて、三次元物体を作製する装置及び方法に関する。 - 特許庁
The positive type photoresist composition contains a resin containing specified repeating structural units and having a velocity of dissolution in an alkali developing solution increased by the action of an acid and a compound which generates the acid when irradiated with active light or radiation.例文帳に追加
特定の繰り返し構造単位を含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型フォトレジスト組成物。 - 特許庁
The positive photosensitive composition contains a compound which generates an acid when irradiated with active light or radiation, a resin which is decomposed by the action of the acid to increase its solubility in an alkali developing solution and an acetylene alcohol derivative.例文帳に追加
活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及びアセチレンアルコール誘導体を含有するポジ型感光性組成物。 - 特許庁
The positive type photoresist composition contains a compound which generates an acid when irradiated with active light or radiation and a resin containing repeating units each having a specified lactone structure and having alkali solubility increased by decomposition by the action of the acid.例文帳に追加
活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、ならびに特定のラクトン構造を有する繰り返し単位を含有する、酸の作用により分解しアルカリに対する溶解性が増加する樹脂を含有する。 - 特許庁
The Peltier element body can effectively prevent an entrance of solar radiation into the indoor side at the window, and can transfer desired heat between the obverse side and the reverse side of the blind by the Peltier action.例文帳に追加
ペリチェ素子体は、窓際において日射が室内側に進入することを有効に防ぐことを可能にするとともに、ペルチェ作用によりブラインドの表面側と裏面側との間で所望の熱伝達を行わせることができる。 - 特許庁
The present invention provides a device for producing a three-dimensional object by solidifying a material that is solidifiable under an action of electromagnetic radiation by means of energy input via an imaging unit equipped with a predetermined number of discrete pixels.例文帳に追加
互いに独立した所定数の画素(ピクセル)を備えたイメージングユニットを通じてエネルギーを入力することにより、電磁放射の作用で硬化し得る材料を硬化させて三次元物体を製造する装置を提供する。 - 特許庁
The radiation-sensitive resin composition contains (A) a polymer containing repeating units with a specified structure and having a group which is decomposed by the action of an acid, (B) a photo-acid generating agent and (C) a specified mixed solvent.例文帳に追加
(A)特定構造の繰り返し単位を含有し、かつ酸の作用により分解する基を有する重合体 (B)光酸発生剤 (C)特定の混合溶剤 を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。 - 特許庁
The radiation-sensitive resin composition comprises a resin, a radiation-sensitive acid generator, a nitrogen-containing compound and a solvent, wherein the resin contains a repeating unit having a structure which exhibits alkali solubility under the action of an acid and the content of this repeating unit is ≥60 mol% based on the total amount of repeating units constituting the resin.例文帳に追加
本組成物は、樹脂と、感放射線性酸発生剤と、含窒素化合物と、溶剤とを含有し、前記樹脂が、酸の作用によりアルカリ可溶性を発現する構造を有する繰り返し単位を含み、この繰り返し単位の含有量が、前記樹脂を構成する繰り返し単位の全量に対して、60モル%以上である。 - 特許庁
The positive type radiation sensitive resin composition contains at least (a) a resin having a group which is decomposed by the action of an acid and increases solubility in an alkali developing solution, (b) a compound which generates the acid when irradiated with active light or radiation, (c) an organic carboxylic acid compound, (d) a basic compound and (e) a solvent.例文帳に追加
(a)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、(c)有機カルボン酸化合物、(d)塩基性化合物、及び(e)溶剤を少なくとも含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。 - 特許庁
The actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition contains a resin that includes a first repeating unit having a first structural moiety that is decomposed by irradiation with actinic rays or radiation to generate an acid, and a second repeating unit having a second structural moiety that is decomposed by an action of an acid to generate sulfonic acid.例文帳に追加
本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する第1構造部位を備えた第1繰り返し単位と、酸の作用により分解してスルホン酸を発生する第2構造部位を備えた第2繰り返し単位とを含んだ樹脂を含有している。 - 特許庁
By covering agricultural crops with a vegetable covering belt transmiting near ultraviolet radiation of purple visible light and invisible light having germicidal action, and raising the crops, the inside of the belt is colored to be purple and disinfected with the near ultraviolet radiation of purple visible light and invisible light so as not to develop vermin, and healthy agricultural products without using chemicals perfectly can be produced.例文帳に追加
殺菌作用のある紫の可視光線と、不可視光線の近紫外線を透過する植物被覆帯で、農産物を覆って栽培すれば、被覆帯の内部は紫色となり、紫の可視光線と不可視光線の近紫光線で殺菌されるので、害虫が発生せず、完全な無農薬で健康的な農作物を提供できる。 - 特許庁
The positive resist composition for an electron beam, X-rays or EUV (extreme-ultraviolet radiation) comprises (a) a resin which has a structural unit containing an acid-decomposable group of formula (X) and is decomposed by the action of an acid to increase solubility in an alkali developer and (b) a compound which generates an acid upon irradiation with an actinic radiation.例文帳に追加
(a)下記一般式(X)の酸分解性基を含有する構造単位を有し、酸の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂、及び(b)活性放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型電子線、X線又はEUV用レジスト組成物。 - 特許庁
This has a nearly round squeezing part 17 installed at a bottom wall face 15 of a heat chamber 10, an electric wave radiation means 22 having a directivity and being installed in the squeezing part 17, a motor 23 to rotate and drive the electric wave radiation means 22, and a control means 31 to control a rotating position discriminating means 25 and the rotation action.例文帳に追加
本発明の高周波加熱装置は、加熱室10の底壁面15に設けた略円形の絞り部17、絞り部17内に設けた指向性を有する電波放射手段22、電波放射手段22を回転駆動するモータ23、回転位置識別手段25および回転動作を制御する制御手段31とを備えた。 - 特許庁
The radiation sensitive positive type resist composition contains a resin having a rate of dissolution in an alkali developing solution increased by the action of an acid, a compound which generates the acid when irradiated with active light or radiation, a solvent and a compound having a bond which is cleaved under heat to separate two or more components including a radical species and/or an ionic compound.例文帳に追加
酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、溶剤及び熱により結合が開裂して、ラジカル種及び/又はイオン性化合物を含む2成分以上に分離する化合物を含有する感放射線性ポジ型レジスト組成物。 - 特許庁
The positive type resist composition contains (A) a compound which generates a strong acid when irradiated with active light or radiation, (B) resin which is decomposed by the action of the acid to increase its solubility in an alkali developing solution and (C) a compound which generates a carboxylic acid having a steroid structure when irradiated with active light or radiation.例文帳に追加
(A)活性光線または放射線の照射により強酸を発生する化合物 (B)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂 (C)活性光線または放射線の照射によりステロイド構造を有するカルボン酸を発生する化合物 を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 - 特許庁
The actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition comprises (A) a resin which contains a unit represented by general formula (AI) and a unit represented by general formula (AII) and exhibits increased solubility in an alkali developer under the action of an acid, and (B) a compound which generates a sulfonic acid upon irradiation with actinic rays or radiation.例文帳に追加
(A)一般式(AI)で表される単位と一般式(AII)で表される単位を含有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、及び(B)活性光線または放射線の照射によりスルホン酸を発生する化合物、を含有することを特徴とする感活性光線または感放射線樹脂組成物。 - 特許庁
The fresh food-thawing action is performed by applying ceramic to irradiate far infrared radiation to pyrogenic nichrome wires, arranging in a given position of the refrigerator a pyrogenic member obtained by coating the nichrome wires subjected to ceramic processing with a synthetic resin material, heating the pyrogenic member, and irradiating far infrared radiation to set a given thermal insulation temperature.例文帳に追加
また、発熱素材のニクロム線に遠赤外線を放射させるセラミックを付加したセラミック加工したニクロム線を合成樹脂材で被覆した発熱部材を、冷蔵庫内の所定位置に配設すると共に、この発熱部材を発熱させて、遠赤外線を放射し所定の加熱保温温度に設定すると、生鮮食料品の解凍作用を行うことができる。 - 特許庁
This positive resist composition contains a compound (A) forming an acid when irradiated with an active ray of light or a radiation, a resin (B) which is insoluble or hardly soluble in an alkaline developer but becomes soluble in the alkaline developer by the action of an acid and a basic compound (C) having the group forming a polar group by the action of an acid.例文帳に追加
(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)アルカリ現像液に対して不溶性あるいは難溶性であり、酸の作用でアルカリ現像液に可溶性となる樹脂及び(C)酸の作用によって極性基を発生する基を有する塩基性化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 - 特許庁
The positive resist composition contains (A) a specified group having a group which is decomposed by the action of an acid, a specified group having another group which is decomposed by the action of an acid, and a fluorine-containing resin having a structure with a substituted fluorine atom or a trifluoromethyl group in the main chain: and (B) a compound which generates an acid by irradiation of active rays or radiation.例文帳に追加
(A)酸の作用により分解する基を有する特定の基と、酸の作用により分解する基を有する特定の基と、主鎖にフッ素原子又はトリフルオロメチル基が置換した構造を有するフッ素含有樹脂及び(B)活性光線若しくは放射線の照射により、酸を発生する化合物を含有するポジ型レジスト組成物。 - 特許庁
The positive resist composition comprises (a) a resin in which a group which is released by decomposition by the action of an acid contains at least one fluorine atom and a cyclic structure and which is decomposed by the action of an acid to increase solubility in an aqueous alkali solution, (b) a compound which generates an acid upon irradiation with an actinic ray or a radiation and (c) a solvent.例文帳に追加
(a)酸の作用による分解で離脱する基が、少なくとも1つのフッ素原子と環状構造とを含有する、酸の作用により分解してアルカリ水溶液に対する溶解性が向上する樹脂、(b)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(c)溶剤を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 - 特許庁
A coolant represented by cooling oil or the like or a fixing part for fixing the magnetic field generator 4 is to be kept in contact with the high thermally conductive part 4B so that the same 4B may have a heat radiation action as one with a higher coefficient of thermal conductivity.例文帳に追加
部品のうち高い方の熱伝導率である高熱伝導部4Bが放熱作用を有するように、冷却用のオイルなどに代表される冷媒あるいは磁場発生器4を固定する固定部を高熱伝導部4Bに接触させる。 - 特許庁
The positive photosensitive composition comprises (A) a resin which has a repeating unit represented by formula (I) and is decomposed by the action of an acid to increase solubility in an alkaline developer and (B) a compound capable of generating an acid upon irradiation with an actinic ray or radiation.例文帳に追加
(A)一般式(I)で表される繰り返し単位を有する、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及び、(B)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、を含有する。 - 特許庁
Thereby, freezing of the humidifying water is accelerated from the bottom side, volume expansion caused by freezing appears as rising of the surface of the water, and action stress to the heat radiation plates 52, 53, 54, 55 in freezing of the humidifying water is relaxed.例文帳に追加
これにより、加湿水の凍結は水タンク33の底部側から促進されて、凍結による体積膨張は水面上昇となって現れることになり、加湿水凍結時における各放熱板52,53,54,55への作用応力を緩和できる。 - 特許庁
The water which is increased in volume and becomes lighter since the temperature locally rose by absorbing the heat is elevated by convection action is made to reach a radiation position PA contacted with the inner wall face IW of the body, and made to radiate heat to the exterior at that position PA.例文帳に追加
熱を吸収して局部的に温度が上がりかさが増え軽くなった水を対流作用により上昇させボディの内壁面IWに接する放熱位置PAに到達させて、その位置PAで外部へと放熱させる。 - 特許庁
To provide a radiation image detection device in which the temperature rise in the device during charging is suppressed and deterioration of image quality is prevented from occurring by absorbing/dissipating heat generated during charging by utilizing heat absorbing action possessed by a rechargeable battery showing heat absorbing reaction.例文帳に追加
吸熱反応を示す充電池の持つ吸熱作用を利用して充電時に発生する熱を吸熱・放熱することにより、充電時の装置内の温度上昇を抑制し、画質の劣化を生じない放射線画像検出装置を提供する。 - 特許庁
The positive resist composition comprises (A) a compound which generates an acid upon irradiation with an actinic ray or a radiation, (B) an organic fluoropolymer whose solubility in an alkali developer is increased by the action of an acid having a specified structure and (C) a solvent.例文帳に追加
(A)活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する化合物、(B)特定の構造を有する酸の作用によりアルカリ現像液への溶解性が増大する有機フッ素ポリマー及び(C)溶剤を含有するポジ型レジスト組成物。 - 特許庁
To provide bamboo charcoal-contained wall paper having a high absorption effect of bad smell substances and allergic materials, attaining a humidity conditioning action and a far-infrared radiation effect as those of a conventional product, and having reduced manufacturing cost; and a method for manufacturing the same effectively.例文帳に追加
悪臭物質やアレルギー物質を吸着する効果が高く、調湿作用、遠赤外線効果が従来品と同様に得られ、しかも安価に製造することができる竹炭含有壁紙およびその効率的な製造法を提供する。 - 特許庁
The positive photoresist composition contains a resin having a velocity of dissolution in an alkali developing solution increased by the action of an acid, a compound which generates the acid when irradiated with active light or radiation and a solvent and has 2-7 cP viscosity at 25°C.例文帳に追加
酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び溶剤を含有し、25℃での粘度が2〜7センチポアズであるポジ型フォトレジスト組成物。 - 特許庁
The positive type photosensitive composition contains a compound which generates an acid when irradiated with active light or radiation and a resin having a specified alicyclic hydrocarbon structure and having solubility in an alkali developing solution increased when the resin is decomposed by the action of the acid.例文帳に追加
活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、特定の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有するポジ型感光性組成物。 - 特許庁
The negative resist composition comprises (A) an alkali-soluble polymer, (B) a crosslinker which crosslinks with the alkali-soluble polymer (A) under the action of an acid and (D) a specified sulfonimido compound which generates the acid when irradiated with active light or radiation.例文帳に追加
(A)アルカリ可溶性ポリマー、(B)酸の作用により(A)のアルカリ可溶性ポリマーと架橋する架橋剤及び(D)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する、特定のスルホンイミド化合物を含有するネガ型レジスト組成物。 - 特許庁
The positive type photoresist composition contains (a) a resin having a specified structural unit and having solubility in an alkali developing solution increased by decomposition under the action of an acid and (b) a compound which generates the acid when irradiated with active light or radiation.例文帳に追加
(a)特定の構造単位を有する、酸の作用により分解し、アルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂、及び(b)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型フォトレジスト組成物。 - 特許庁
To provide a method for treating tumor, high in specificity of suppressing tumor proliferation, having no gene instability, combining an angiotensin II receptor antagonist with radiation therapy and increased in vascularization-resisting action, and to provide an antitumor agent.例文帳に追加
腫瘍の増殖を抑制する特異性が高く、遺伝子不安定性がない、アンギオテンシンII受容体拮抗薬と放射線照射療法を組み合わせた抗血管新生作用の増強された腫瘍治療方法および抗腫瘍剤を提供する。 - 特許庁
The positive resist composition contains a resin which has a specified repeating unit and of which the solubility in an alkaline developing solution increases in the presence of an acid; and a compound which generates an acid by the action of active rays or radiation.例文帳に追加
特定の繰り返し単位を含有する、酸によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂(B) 活性光線または放射線の作用により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 - 特許庁
The positive resist composition contains a resin containing a specified (meth)acrylic ester repeating unit and having velocity of dissolution in an alkaline developer increased by the action of an acid, and a compound which generates an acid upon irradiation with active light or radiation.例文帳に追加
特定の(メタ)アクリル酸エステル繰り返し単位を含有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂、及び活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型レジスト組成物。 - 特許庁
The EUV radiation source (12) generates the sheet of the liquid target material (36) having the width compatible with a desired laser spot dimension (28) and the thickness compatible with the depth for a mutual action of laser beam and target for the purpose of superior conversion efficiency.例文帳に追加
EUV放射線源(12)は良好な変換効率のために所望のレーザースポット寸法(28)に適合する幅と、レーザービーム/標的の相互作用深さに適合する厚さとを有する液体標的材料のシート(36)を発生させる。 - 特許庁
The positive photoresist composition contains (A) compound which generates an acid when irradiated with active light or radiation, (B) an alkali-insoluble or slightly alkali-soluble resin which is made to be alkali- soluble by the action of the acid and (C) a specified compound.例文帳に追加
(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)アルカリに対して不溶性又は難溶性から酸の作用でアルカリ可溶性となる樹脂、及び(C)特定の化合物を含有するポジ型フォトレジスト組成物。 - 特許庁
The photocatalyst film is coated on the heat radiating member and the light is illuminated thereon, so that a thin water film is formed by the action of the photocatalyst and, when evaporating, it takes the evaporation heat to improve the heat radiation effect in the heat radiating member.例文帳に追加
放熱部材に光触媒膜を塗布し、これに光を照射するようにしたので、光触媒の作用により薄い水膜が形成され、それが気化するときに気化熱を奪い、放熱部材における放熱効果を高めることができる。 - 特許庁
The radiation-sensitive resin composition for liquid immersion exposure is used in liquid immersion exposure by which a resist film is exposed through water, and contains an alkali-insoluble or slightly alkali-soluble resin which contains a methacrylate unit of norborneol having a lactone ring and becomes alkali-soluble under the action of an acid and a radiation-sensitive acid generator.例文帳に追加
本液浸露光用感放射線性樹脂組成物は、水を介してレジスト被膜を露光する液浸露光に用いられる液浸露光用感放射線性樹脂組成物であって、ラクトン環を有するノルボルネオールのメタアクリレート単位を含有し、酸の作用によりアルカリ可溶性となるアルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂と、感放射線性酸発生剤と、を含有する。 - 特許庁
The active light sensitive or the radiation sensitive resin composition contains (A) a resin that has a repeating unit including structure represented by general formula (1) and a repeating unit including structure represented by general formula (I) and increases solubility in an alkali developing solution by the action of an acid, and (B) a compound that produces an acid by active light or radiation irradiation.例文帳に追加
(A)下記一般式(1)で表される構造を含む繰り返し単位及び下記一般式(I)で表される構造を含む繰り返し単位を有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、及び(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有してなる感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。 - 特許庁
The radiation sensitive resin composition contains a polymer (A)having a carbonyl group on at least one terminal of a molecular chain, having weight average molecular weight in terms of polystyrene by gel permeation chromatography of ≥11,000 and decomposed by action of an acid and increasing solubility in an alkali developer and a radiation-sensitive acid generator (B).例文帳に追加
(A)分子鎖の少なくとも一方の末端にカルボニル基を有し、かつ、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによるポリスチレン換算重量平均分子量が11000以上である、酸の作用により分解しアルカリ現像液に対する溶解度が増大する重合体、及び、(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする、感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
The actinic ray-sensitive or radiation-sensitive composition comprises: a low molecular weight compound (1) having a molecular weight of 500 to 5,000 containing an acid-decomposable group (G) that is decomposed by an action of an acid to accelerate the dissolution in an alkali developing solution; and a compound (2) capable of generating an acid of 305 Å^3 or more in volume upon irradiation with actinic rays or radiation.例文帳に追加
酸の作用により分解してアルカリ現像液への溶解性を促進させる酸分解性基(G)を有する分子量500〜5000の低分子化合物(1)および、活性光線又は放射線の照射により体積305Å^3以上の酸を発生する化合物(2)を含有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性組成物。 - 特許庁
This radiation sensitive positive composition contains a polymer having structural units each represented by formula I and an acid generator to be induced to produce an acid by irradiation with radiation, and in formula I, A is an organic group to be decomposed by action of the acid and to produce an alkali soluble group and has at least ≥1 silyl group, and X is a halogen atom or a cyano group.例文帳に追加
下記一般式(1)で示される構造単位を含む重合体および放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有し、該重合体中のAが酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を生成する有機基でかつシリル基を1つ以上含むことを特徴とするポジ型感放射線性組成物およびこれを用いたレジストパターンの製造法。 - 特許庁
An actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition contains (A) a resin that has a repeating unit having a specific lactone structure and a repeating unit having a specific monoalicyclic structure and whose solubility in an alkaline developer is increased by the action of an acid and (B) a compound having a specific structure which generates an acid upon irradiation with an actinic ray or a radiation.例文帳に追加
(A)特定のラクトン構造を有する繰り返し単位と、特定の単環脂環構造を有する繰り返し単位とを有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、及び(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する特定構造を有する化合物を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。 - 特許庁
例文 (376件) |
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