「exfoliation」に関連した英語例文の一覧と使い方(21ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a mobile wireless apparatus whereby when a force in a lateral direction or the like is exerted to an earphone plug loaded to an earphone jack in its axial direction, destruction of the earphone jack and exfoliation of the earphone jack from a board are prevented.例文帳に追加

イヤホンプラグがイヤホンジャックに装着された状態で、イヤホンプラグにその軸方向に対して、横方向などの力が加わっても、イヤホンジャックが破壊されたり、イヤホンジャックが基板から剥離したりするのを防止することのできる携帯無線機を提供すること。 - 特許庁

Since the fluctuation of the exfoliation point can be prevented and the fluctuation of the lift can be reduced in this way, appearance of hysteresis in a measurement result can be prevented, and vibration of the detector mounting part 34 can be prevented, to thereby enable measurement with high measuring accuracy.例文帳に追加

このように剥離点の変動を防止し、揚力の変動を小さくすることができるので、測定結果にヒステリシスが現れることを防ぐとともに、検出器取付部３４の振動を防止して、高い測定精度で測定することが可能になる。 - 特許庁

To provide a phosphor paste from which a phosphor film having both of high recording density and anti-exfoliation property can be obtained by a simple process without using a binder resin, a method for producing the phosphor paste, the phosphor film obtained by using the phosphor paste and a method for producing the phosphor film.例文帳に追加

バインダー樹脂が不要で、簡単な方法で製造することができ、高い記録密度と耐剥離性とを兼ね備えた蛍光体膜を得ることができる蛍光体ペーストとその製造方法及びそれを用いた蛍光体膜とその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a parabolic acoustic diagnostic device hardly causing exfoliation of an adhesive between a parabolic sound collector and a pedestal for fixing it, relative to an impact force applied inevitably to the parabolic sound collector or vibration transferred constantly from a diagnosis object.例文帳に追加

パラボラ集音器に不可抗力的に加わる衝撃力や診断対象物からの恒常的に伝わる振動に対してパラボラ集音器とこれを固定する台座との間の接着剤の剥離が生じ難いパラボラ型音響診断装置を提供する。 - 特許庁

The reduction of the concentration of the rare gas to a value less than 1×10^20 cm^-3 reduces the quantity of desorption of the rare gas from the amorphous semiconductor thin film in a process performed after the formation of the amorphous semiconductor thin film, and effectively prevents film exfoliation in the process.例文帳に追加

希ガスの濃度の１×１０^２０ｃｍ^−３未満への低減は、非晶質半導体薄膜の形成の後に行われるプロセスにおける非晶質半導体薄膜からの希ガスの離脱量を減少し、プロセスにおける膜剥がれを効果的に防止する。 - 特許庁

To provide a painting managing system which quantitatively obtains the extent of the occurrence of rust and the exfoliation and degradation of a coating in large-scaled structures and plants configured by painted steel, comprehensively and properly determines the time for performing repair painting and the performance of proper painting work, and performs it.例文帳に追加

塗装された鋼材で構成された大型構造物やプラント類の錆の発生、塗膜のはがれ，劣化の程度等を定量的に把握し、総合的かつ的確に、補修塗装実施時期および適切な塗装工事の実施を判定し、実行してゆく塗装管理システムを構築してゆくこと。 - 特許庁

To provide panels for a noiseproof wall and a mounting method of the same, which is effective for preventing or diffusing noises, and by which the exfoliation of concrete debris from an elevated body or a noiseproof wall can be prevented and the panels are easily installed even if a install cite is in a high place.例文帳に追加

騒音の防止ないしはその拡散に効果があるとともに、高架躯体や、防音壁から、コンクリート小片の剥落を効果的に防止することができ、しかも取付場所が高所にあっても容易に設置できる防音壁用パネルおよびその取付方法を提供する。 - 特許庁

Since an insulator 1, i.e. the base material of a substrate exposed to a part where the circuit pattern is not formed, and the translucent resin 9 form an adhesion interface, adhesion strength is enhanced and interfacial exfoliation of the circuit patterns 2a, 5a and a conductive adhesive 6 can be suppressed.例文帳に追加

すると、回路パターンが形成されない部分に露出した基板の母材である絶縁体１と透光性樹脂９とが密着界面を形成することによって密着強度が高まり、回路パターン２ａ、５ａと導電性接着剤６との界面剥離を抑制できる。 - 特許庁

Thus, the heat stress, caused by the thermal expansion difference between the belt-like conductive material 18 and the electrode of the semiconductor device 14, can be absorbed fully by the flexibility of the loop 18a, and thus can prevent generation of wiring exfoliation in a bonded part 18b.例文帳に追加

よって、帯状導電部材１８と半導体素子１４の電極との熱膨張差に起因して発生する熱応力を、ループ部１８ａの撓み性で十分に吸収することが可能となり、接合部１８ｂにおける配線剥離の発生を防ぐことが可能となる。 - 特許庁

To prevent defective insulation or short circuit due to contact between a bonding wire of an electronic component at a lower stage side and an electronic component at an upper stage side, in addition, to suppress exfoliation defect among electronic components or increase in the production cost.例文帳に追加

複数の半導体素子等の電子部品を積層して搭載した積層型電子部品において、下段側の電子部品のボンディングワイヤと上段側の電子部品との接触に基づく絶縁不良やショート等を防止した上で、電子部品間の剥離不良や製造コストの増加等を抑制する。 - 特許庁

To provide an electrode for an electrochemical device for manufacturing the electrochemical device such as a lithium-ion secondary battery and an electric double layer capacitor which has an active material free from exfoliation from an electric collector and also low in internal resistance, and to provide the electrochemical device using such an electrode for the electrochemical device.例文帳に追加

活物質が集電体から剥離することがなく、内部抵抗が小さな、リチウムイオン二次電池や電気二重層キャパシタなどの電気化学素子を製造するための電気化学素子用電極、およびそのような電気化学素子用電極を用いた電気化学素子を提供すること。 - 特許庁

To provide a device which can easily pulverize, especially, a sheet- shaped dried thing low in glass transition temperature and easy of thermosoftening and discharge it out of a discharge system continuously and stably, regardless of the physical property of the dried thing after exfoliation by scraper from the surface of a drum, in a drum drier.例文帳に追加

ドラムドライヤーにおいてドラムの表面からスクレーパーにより剥離後の乾燥物の物性に関係なく、特にガラス転移温度が低く熱軟化し易いシート状の乾燥物を容易に粉末化して、連続的にかつ安定に真空系外に排出することができる装置を提供する。 - 特許庁

To provide an etching method applicable in a process for etching an organic material film with an inorganic material film serving as a mask, capable of maintaining a high etching rate according to a pattern to be etched with a superior result in shape and in in-plane uniformity, and which is free of inorganic material film exfoliation.例文帳に追加

無機材料膜をマスクとして有機材料膜をエッチングする場合に、エッチングパターンに対応して、高いエッチングレートを維持しつつ、良好なエッチング形状で、良好な面内均一性でかつ無機材料膜の膜剥がれが生じずにエッチングすることができるエッチング方法を提供すること。 - 特許庁

This is a method of forming an element by an ITO simple exfoliation method and by pasting two sheets of support substrates formed by this method.例文帳に追加

本発明は透明電極成膜において有機薄膜上に透明電極をスパッタリング法により直接成膜するのではなく、ＩＴＯ簡易剥離法により形成した透明電極と有機薄膜を形成した支持基板とを貼り合せることで素子作製を行う方法を提供する。 - 特許庁

Since each lead frame 21 is fixed onto the first face 2a of the component body 2 through a fixing portion 22 and connected electrically and physically with each terminal electrode 17-19, exfoliation of the terminal electrode 17-19 from the third face 2c of the component body 2 can be prevented.例文帳に追加

ところが、各リードフレーム２１は、固定部２２を介して部品本体２の第１の面２ａ上に固定されて、各端子電極１７〜１９と電気的且つ物理的に接続されているため、端子電極１７〜１９が部品本体２の第３の面２ｃから剥離するのを防止することができる。 - 特許庁

The conductive regions 104 are so arranged to be electrically connected with the individual masks 101 as well as with the conductive frame 103 via the support substrate 102, so that static charge due to the exfoliation charging is guided from the individual masks 101 to the evaporation substrate to prevent damage of the evaporation substrate.例文帳に追加

導電性領域１０４は、個別マスク１０１と電気的に接続され、支持基板１０２を介して導電性のフレーム１０３と電気的に接続されるよう配置され、剥離帯電による静電気を個別マスク１０１から被蒸着基板へと導き、被蒸着基板の破損を防止する。 - 特許庁

Therefore, the viscosity μ is evaluated by the viscometer 6, and water is supplied from the moisture supply part 4 to a resist exfoliating liquid tank 3 when the viscosity μ is larger than a predetermined value to control the viscosity μ of the liquid to the predetermined value or lower so that the resist exfoliating liquid capable of attaining the excellent resist exfoliation effects can be obtained.例文帳に追加

従って、粘度計６により粘度μを求め、粘度μが所定値より大きいときに水分補給部４からレジスト剥離液タンク３に水を補給しレジスト剥離液の粘度μを所定値以下にして、優れたレジスト剥離効果が得られるレジスト剥離液を得ることができる。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of an oxide superconductor thick film, an oxide superconductor thick film, and a magnetic field shield and a superconduction current limiter using the oxide superconductor thick film which are excellent in properties of critical current density, and capable of readily manufacturing the superconductor thick film that prevents exfoliation.例文帳に追加

臨界電流密度の特性に優れ、かつ剥離を防止した超電導体厚膜を容易に製造することができる酸化物超電導体厚膜の製造方法、酸化物超電導体厚膜、これを用いた磁場遮蔽体及び超電導限流器を提供する。 - 特許庁

A surface-active agent having the same or close polar character is added in the coloring resin material layer and the rubber magnet material at the same time to provide a high adherence effect between the surface of the resin material layer and the rubber magnet, which can prevent the exfoliation during use.例文帳に追加

該彩色樹脂材料層中とラバーマグネット材料中には同時に同一或いは極性が接近した界面活性剤を添加し、これにより該樹脂材料層とラバーマグネットの表面間には高い密着効果が生まれ、使用中の剥落を防止することができる。 - 特許庁

By this, repulsion function and separation/exfoliation function (non-adhesiveness against metal) against and from metal of the fluororesin particles 35 appropriately act, and the formation and transcription of the intermetallic compound due to the connection between a protruding electrode 42 and the connection part can be suppressed more as compared with the conventional method.例文帳に追加

これにより、前記フッ素樹脂粒子３５の金属に対する反発機能や分離・剥離機能（金属に対する非付着性）が適切に作用し、突出電極４２と接続部間の接続による金属間化合物の生成及び転写を従来に比べて抑制することが可能である。 - 特許庁

To provide a sintering apparatus for ceramic parts that exfoliation of the ceramic part caused by a crack formed in the layer direction is reduced and the lowering of the performance at the time of initial operation of the gas turbine can be prevented by previously forming desired cracks in the thickness direction within a ceramic part such as a turbine shroud or the like.例文帳に追加

タービンシュラウド等のセラミックス部品に予め所望の板厚方向クラックを形成することができ、これにより、層方向クラックによるセラミックス部の剥離を低減し、ガスタービンの初期運転時の性能低下を未然に防止することができる、セラミックス部品の焼結装置を提供する。 - 特許庁

The multilayered sheet 1A is provided with: an outermost layer 11 consisting of a polyolefin layer 111, a barrier layer 112 and a moisture absorbing adhesive agent layer 113; a base material layer 12 consisting of a first polyolefin layer 121, a barrier layer 122 and a second polyolefin layer 123; and an exfoliation layer 13.例文帳に追加

多層シート１Ａは、ポリオレフィン層１１１とバリア層１１２と水分吸収接着剤層１１３とからなる最外層１１と、第一のポリオレフィン層１２１とバリア層１２２と第二のポリオレフィン層１２３とからなる基材層１２と、剥離層１３とを備えている。 - 特許庁

To provide a method for preventing an exfoliation of an exfoliative metal foil at the side and the outer periphery of a reference hole in a method for manufacturing a wiring board for laminating the exfoliative metal foil on a supporting body, and forming a build up wiring after forming the reference hole penetrating through them.例文帳に追加

剥離性金属箔を支持体の上に積層し、それらを貫通する基準穴を形成した後にビルドアップ配線を形成する配線基板の製造方法において、剥離性金属箔の基準穴の側面及び外周部での剥がれを防止できる方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a bonded wafer having a surface roughness that maintains a sufficient film evenness and can sufficiently apply to a device manufacture after a bonded wafer is exfoliated and flattening process is performed thereon in a method for manufacturing a bonded wafer prepared using ion implantation exfoliation process.例文帳に追加

イオン注入剥離法を用いて作製する貼り合わせウエーハの製造方法において、剥離後の平坦化処理を経た後に、十分な膜厚均一性を維持し、デバイス製造に十分に適用できる表面粗さを有する貼り合わせウエーハの製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide an easy to assemble ink jet head exhibiting excellent reproducibility by contriving an adhesive sheet method causing no exfoliation nor cracking on the periphery of a hole at the time of punching an adhesive sheet, and an adhesion process more convenient than conventional one.例文帳に追加

本発明では、接着シートの打ち抜き加工時に抜き穴周辺部の剥離やクラックが発生しない接着シート法、及び、従来法よりも簡易な接着工法を考案することにより、生産上組立容易で、かつ、再現性に優れるインクジェットヘッドを提供することを課題とする - 特許庁

To enable to efficiently manufacture a junction body suitable as a membrane-electrode junction in a electrochemical device such as a direct methanol type fuel cell with excellent dimensional stability, heat resistance, and methanol non-permeability, and with an excellent jointing property between an electrode layer and an ion exchange membrane hardly generating exfoliation.例文帳に追加

直接メタノール型燃料電池等の電気化学的デバイスにおける隔膜−電極接合体として好適な、寸法安定性、耐熱性、メタノール非透過性に優れ、かつ電極層とイオン交換膜との接合性がよく、剥離等の生じ難い接合体を効率よく製造する。 - 特許庁

To provide a resin film with an adhesive, which is imparted with antistatic properties, does not cause exfoliation even in a test under a severe environment assuming a use in vehicle mounting or the like when adhering to glass, and has an adhesive layer excellent in durability on the surface of the resin film.例文帳に追加

帯電防止性が付与されるとともに、ガラスに貼合したときに車載用途などを想定した過酷な環境下での試験においても剥れを生じず、耐久性に優れる粘着剤層を樹脂フィルムの表面に設けた粘着剤付き樹脂フィルムを提供する。 - 特許庁

To provide a pressure-sensitive adhesive sheet for stratum corneum exfoliation which can uniformly and efficiently exfoliate stratum corneum, is excellent in, especially the capacity of exfoliating stratum corneum in virtue of its high capacity of following the skin contour, and leaves little amount of a component of the adhesive layer (residual adhesive) on the skin surface.例文帳に追加

均一かつ効率よく角質層を剥離することができ、皮膚への追従性が良好なため特に角質剥離性に優れ、低分子成分やオリゴマーを添加する系と比較して、粘着層の成分の皮膚表面への残り（糊残り）のない角質剥離用粘着シートを提供する。 - 特許庁

To prevent exfoliation of a near-field light generating element, and to suppress a drop in use efficiency of light propagating via a waveguide resulting from an adhesion layer, in a near-field light generating device having the near-field light generating element disposed above the waveguide with a buffer layer and the adhesion layer interposed therebetween.例文帳に追加

導波路上に緩衝層および密着層を介して近接場光発生素子が配置された構成の近接場光発生装置において、近接場光発生素子の剥離を防止し、且つ導波路を伝播する光の利用効率の、密着層に起因した低下を抑制する。 - 特許庁

To prevent a film formed on the surface of a substrate from interfering with a groove side surface resulting in the undesirable exfoliation thereof or the like by improving the cross-sectional shapes of the grooves of a substrate-storing body container wherein the peripheral end surfaces of a film coated glass substrate such as a mask blank or a transfer mask are inserted and held into the grooves.例文帳に追加

マスクブランク、転写マスクなどの膜付きガラス基板の外周端面が挿入保持される基板収納容器の溝の断面形状を改良して、基板表面に形成されている膜が溝側面に干渉して剥離するなどの弊害が発生しないようにすること。 - 特許庁

To provide toner that achieves both of low temperature fixability and high temperature offset resistance, has strong adhesion of toner image to a support body after fixation, and is excellent in a folded-part-fixing strength that exfoliation of toner at a folded part hardly occurs even when the support body is folded, and provide a method of manufacturing the toner.例文帳に追加

低温定着性と耐高温オフセット性の両立が可能で、且つ、定着後のトナー像と支持体との接着強度が高く、支持体を折り曲げても折り曲げ部のトナーが剥離しない折り目定着強度に優れたトナー及びトナーの製造方法を提供。 - 特許庁

In the piezoelectric layer 22 divided in stages, flexural force in the flow direction A is thereby dispersed in comparison with a piezoelectric layer 22 not divided in stages, and the amount of flexure is comparatively small to suppress the exfoliation, crack initiation, breakage, etc. of the laminated vibrating plate 20 including the piezoelectric layer 22.例文帳に追加

従って、段分けされた圧電体層２２は、段分けされていない圧電体層２２に比べて流れ方向Ａにおける撓み力は分散され、比較的小さな撓み量となり、圧電体層２２を含む積層振動板２０の剥離やクラック発生、破壊等を抑制することが可能となる。 - 特許庁

To provide a flexible circuit board enabling the expansion of life with a simple structure, by reducing possibility of exfoliation and disconnection in a wiring layer and breakage of the flexible circuit board itself, even when the flexible circuit board comes into contact with a peripheral component etc. or a large external force such as vibration or impact acts thereon.例文帳に追加

周辺部品等と接触した際、又は振動、衝撃等の大きな外力が作用した際でも、配線層が剥離、断線したり、フレキシブル回路基板自体が破損する可能性を低減し、簡易な構成で寿命を延ばすことが可能なフレキシブル回路基板を提供する。 - 特許庁

By the constitution, even when the defect occurs on the phosphor layer, the exfoliation layer and the phosphor layer are removed from the support member or the sensor panel at once, and the radiation detection device with high reliability is obtained at a low cost by enabling reproduction use.例文帳に追加

この構成により、蛍光体層に不良が生じた場合にも、剥離層と蛍光体層が一度に支持部材もしくはセンサーパネルから除去することが可能となり、再生使用が可能になることにより低コストで耐久性の高い放射線検出装置が得られる。 - 特許庁

To provide a resin composition for camera modules capable of reducing generation of dust (dropping of particles) during manufacturing of cameras, during use of cameras and during driving of camera modules, and having high surface hardness and excellent balance between heat resistance, rigidity and moldability and surface exfoliation characteristics, with no operation failure of automatic focus control, etc.例文帳に追加

カメラ生産工程中、使用中およびカメラモジュールの駆動中に発塵（粉の脱落）が少なく、表面硬度が高く、耐熱性、剛性、成形性、と、表面脱落物特性とのバランスに優れ、自動焦点調整の動作不良等のないカメラモジュール用樹脂組成物の提供。 - 特許庁

To provide a balloon catheter which is inserted into a living body for an examination or a remedy and facilitates dilatation of a narrowed area and its sustainment, exfoliation of a tissue and its sustainment, and lifting of the tissue or its sustainment.例文帳に追加

本発明は、検査や治療のために生体内に挿入して、狭窄部の拡張及びその拡張状態の維持、組織の剥離及びその剥離状態の維持、並びに、組織の持ち上げ或いはこの持ち上げ状態の維持を円滑に行なうことができるバルーンカテーテルを提供する。 - 特許庁

To provide an anode for a lithium secondary battery, and its manufacturing method, capable of restraining deterioration with time of adhesiveness of a thin film containing silicon with a collector, restraining exfoliation of the film containing silicon from the collector, and enhancing charge/discharge cycle characteristics, and a lithium secondary battery using the anode.例文帳に追加

シリコンを含む薄膜と集電体との密着性の経時劣化や、シリコンを含む薄膜の集電体からの剥離を抑制することができ、充放電サイクル特性を高めることができるリチウム二次電池用負極及びその製造方法並びに該負極を用いたリチウム二次電池を得る。 - 特許庁

Although the silicon nitride film 4 is removed by wet etching after exfoliation of a first resist pattern 10 an etching amount is adjusted such that the film thickness of the gate insulating film in the first semiconductor device is substantially same film thickness with that in the second semiconductor device.例文帳に追加

第１のレジストパターン１０を剥離後に窒化シリコン膜４をウェットエッチングにより除去するが、第１の半導体装置におけるゲート絶縁膜の膜厚と、第２の半導体装置におけるゲート絶縁膜がほぼ同じ膜厚となるように、エッチング量を調整していることを特徴とする。 - 特許庁

The release sheet has an exfoliation layer formed by using a thermoplastic resin composition containing a resin mixture comprising (A) 25-93 mass% a crystalline polyolefin resin, and (B) 75-7 mass% an amorphous polyolefin resin at least on one side of the substrate.例文帳に追加

基材の少なくとも一方の面に、（Ａ）結晶性ポリオレフィン樹脂２５〜９３質量％および（Ｂ）非結晶性ポリオレフィン樹脂７５〜７質量％からなる樹脂混合物を含む熱可塑性樹脂組成物を用いて形成された剥離層を有することを特徴とする離型シート。 - 特許庁

The exfoliation of the electrode can be prevented by being equipped with a GaNX contact layer containing one or more elements X selected from among As, P, or Sb in contact with an area to the electrode containing at least on of a nitride semiconductor layer, Pd, and Pt.例文帳に追加

本発明は、窒化物半導体層とＰｄもしくはＰｔのうち少なくとも何れかを含む電極との間に接して、Ａｓ、ＰまたはＳｂから選ばれる１種類以上の元素Ｘを含む、ＧａＮＸコンタクト層を具備することによって、電極剥離を防止することが可能である。 - 特許庁

To provide laminated type piezoelectric ceramics excellent in quality and yield, wherein crack at the time of sintering which is to be caused by difference of sintering behavior of an active part and an inert part, and exfoliation on the interface between the active part and the inert part which is to be caused by low adhesion in the case using laminated type piezoelectric ceramics are prevented.例文帳に追加

活性部と不活性部の焼結挙動の差による、焼結時の割れや、積層型圧電セラミックスとした場合の密着強度が低いが為におこる活性部と不活性部の界面での剥離を防止した品質の優れ、歩留まりの良い積層型圧電セラミックスを提供すること。 - 特許庁

To provide a continuous-suction type microsampling system and a microcapillary of the same type utilized for collecting a microsample of, for example, 100 μm or smaller, such as foreign matters mixed in industrial products (which include intermediate products) films, plastics, coating films, etc., by cutting or exfoliation.例文帳に追加

フィルム、プラスチックス、塗料膜などの工業品（中間品を含む）への混入異物などで例えば１００μｍ以下の微小なサンプルを切除或いは剥離などにより採取して分析測定するのに利用される連続マイクロサンプリングシステム及び連続吸引式マイクロキャピラリを明らかにする。 - 特許庁

In the method for inspecting the film-shaped optical waveguide, a film-shaped optical wavguide A is fixed to the fixing stage S1 of a alignment device with a substrate 1 and a heating exfoliation type double coated adhesive sheet 2 which is stuck on the surface of the substrate 1, and the light loss of the film-shaped optical waveguide A is measured in that state.例文帳に追加

調芯装置の固定ステージＳ_1 に、基板１およびこの基板１の表面に貼着された加熱剥離型両面粘着シート２を介して、フィルム状光導波路Ａを固定し、その状態で、フィルム状光導波路Ａの光損失を測定する。 - 特許庁

To provide the grooving and rolling dies preventing an edge bulge and the inner surface exfoliation of retaining ring grooves and improving the rolling machining accuracy of raw materials for rolling without machining beforehand an prepared groove for rolling a retaining ring groove on a raw material.例文帳に追加

被転造素材に止め輪溝を転造するための下溝を予め加工せずに、止め輪溝の縁部の盛り上がりや止め輪溝の内面に生じる表層剥離を抑制して、被転造素材の転造加工精度を向上することができる溝用ダイス及び転造ダイスを提供すること。 - 特許庁

To provide a method for forming a deposited film, which is excellent in productivity and by which the generation of the exfoliation of a deposited film deposited on the inner wall of a dielectric material constituting a portion of a reaction vessel can be suppressed even when the dielectric material is used repeatedly by efficiently removing the deposited film deposited on the inner wall.例文帳に追加

反応容器の一部を構成する誘電体材料の内壁に形成した堆積膜を効率良く除去することによって、該誘電体材料を繰り返し使用しても堆積膜の膜剥れが発生しない生産性に優れた堆積膜形成方法を提供すること。 - 特許庁