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「ion probe」に関連した英語例文の一覧と使い方(2ページ目) - Weblio英語例文検索
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ion probeの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 108



例文

An electrode of the 4PAFM probe is constituted by manufacturing three slits on a chip of a cantilever using a focused ion beam system (FIB).例文帳に追加

4PAFMのプローブの電極は、集束イオンビームシステム(FIB)を用いたカンチレバーのチップ上に、3つのスリットを作製することにより構成されている。 - 特許庁

The ignition control device 1 performs control for selecting the ignition point of the multiple ignition unit 20 and generates the uniform flame propagation in the combustion chamber 14 by the ECU 35, based on a difference between a flame arrival time the ion probe 31 detects and a flame arrival time the second ion probe 32 detects.例文帳に追加

点火制御装置1は、ECU35により、第1イオンプローブ31が検出する火炎到達時間と第2イオンプローブ32が検出する火炎到達時間との差に基づいて、多点点火手段20の点火地点を選択する制御を行い、燃焼室14内に均等な火炎伝播を生成する。 - 特許庁

An ignition control device 1 for the engine 10 includes: a multipoint ignition unit 20 that can select an ignition point from multiple points in the combustion chamber 14; a first ion probe 31 provided on a suction sidewall surface of the combustion chamber 14; a second ion probe 32 provided on an exhaust sidewall surface of the combustion chamber 14; and an ECU 35.例文帳に追加

エンジン10の点火制御装置1は、燃焼室14内の複数地点から点火地点を選択可能な多点点火手段20と、燃焼室14の吸気側壁面に設けた第1イオンプローブ31と、燃焼室14の排気側壁面に設けた第2イオンプローブ32と、ECU35とを備える。 - 特許庁

To implement extraction from a wide specific range with a probe device of a manipulator having a simple, low-cost and versatile device configuration for a convergent ion beam processing apparatus.例文帳に追加

集束イオンビーム加工装置用のマニピュレータのプローブ装置について、シンプルな構造で低コスト、汎用性のある装置構成で、広い特定領域からの抽出を実現する。 - 特許庁

例文

When a conductive foreign substance removal probe is used, the foreign substance or the scraped residue of the foreign substance is subjected to composition analysis by Auger electron spectroscopy or secondary ion mass spectrometry.例文帳に追加

導電性の異物除去探針の場合にはオージェ電子分光法または二次イオン質量分析法で異物または異物の削り滓を組成分析する。 - 特許庁


例文

The extracted residue is removed by physical removal by an AFM probe, electron beam gas assist etching, or focused ion beam gas assist etching to make the mold reusable.例文帳に追加

抽出された残渣をAFM探針による物理的な除去または電子ビームガスアシストエッチングまたは集束イオンビームガスアシストエッチングで除去してモールドを再利用可能にする。 - 特許庁

In one embodiment, the ion dosages can be controlled using an in-situ measurement of plasma from mass distribution sensor combined with the in-situ measurement from a high frequency probe.例文帳に追加

一実施形態において、イオンドーズは、高周波プローブからの現場測定値と結合して質量分布センサからのプラズマの現場測定値を使用して制御することができる。 - 特許庁

In a multi probe-type sensor having a plurality of projections (probe) 2 formed by crystal growth on a semiconductor substrate 1 as a base, an amino group is fixed to surfaces of the probes 2 to have a function sensing hydrogen ion concentration (pH) in the sample.例文帳に追加

半導体基板1を下地として結晶成長させた突起(プローブ)2を複数有するマルチプローブタイプのセンサであって、プローブ2の表面にアミノ基が固定され、試料中の水素イオン濃度(pH)に感応する機能を有することを特徴とする。 - 特許庁

This sampling apparatus used in preparing samples for transmission electron microscope observation by a focused ion beam processing apparatus includes a probe which can rotate which its shaft being as an axis of rotation and a rotating means for rotating the probe.例文帳に追加

また、集束イオンビーム加工装置による透過電子顕微鏡観察用試料作製に用いるサンプリング装置は、プローブの軸を回転軸とする回転が可能なプローブと、その回転を行うための回転手段とを備えることを特徴とする。 - 特許庁

例文

This constitution can, if an EMS belt, a sonic probe and an ion mat taken out from an attachment storage part are connected to predetermined terminals of the master machine unit or the slave machine unit 2, singularly or compositely perform the EMS, the sonic, and the potential ion beauty treatment.例文帳に追加

付属品収納部から取り出したEMSベルトやソニックプローブやイオンマットを親機ユニットまたは子機ユニット2の所定の端子に接続すれば、EMS美容、ソニック美容、電位式イオン美容を単独または複合的に行うことができる。 - 特許庁

例文

This measuring method of secondary copper ions in a specimen includes measurement of absorbance or fluorescence of the probe bonded to secondary copper ions in the specimen by bringing the secondary copper ion measuring probe into contact with the specimen containing secondary copper ions.例文帳に追加

また、本発明は、上記本発明の第二銅イオン測定用プローブを、第二銅イオンを含む検体と接触させ、検体中の第二銅イオンと結合した該プローブの吸光度又は蛍光を測定することを含む、検体中の第二銅イオンの測定方法を提供する。 - 特許庁

In the method of correcting a photomask defect, after making an electrical continuity in an isolated pattern by a metal deposition film 7 by use of an electron beam or a helium ion beam generating from a gas field ion source, the defect 3 is corrected; and after the correction, the metal deposition film 7 is physically removed by an AFM (atomic force microscope) scratch working probe 9.例文帳に追加

電子ビームまたはガスフィールドイオン源から発生するヘリウムイオンビームを用いた金属デポジション膜7で孤立したパターンに導通を作ってから欠陥3を修正し、修正後金属デポジション膜7をAFMスクラッチ加工探針9で物理的に除去する。 - 特許庁

Focused ion beam is irradiated at the distal end of a cone type near field probe material without small pores from lateral of the distal end to open a small pore with aperture diameter less than 5000 nm ϕ.例文帳に追加

小孔の空いていない錐体型の近接場プローブ用材料の先端に、先端の側方から集束イオンビームを照射し、開口径5000nmφ以下の小孔をあける。 - 特許庁

When the substance is gathered on a conductive pattern by a foreign substance removal probe, the foreign substance or the scraped residue of the foreign substance is subjected to composition analysis by Auger electron spectroscopy or secondary ion mass spectrometry.例文帳に追加

異物除去探針で導電性のパターン上に集めた場合にはオージェ電子分光または二次イオン質量分析法で異物または異物の削り滓を組成分析する。 - 特許庁

A corona charger 120 charges a corona-ion charge on the selected cell block, and a measurement probe chosen from a plurality of measurement probes measures the variation of the surface potential of the dielectric film.例文帳に追加

コロナチャージャー120は、前記選択されたセルブロック上にコロナイオン電荷を帯電し、複数の測定プローブから選択された測定プローブは、前記誘電膜の表面電圧の変化を測定する。 - 特許庁

In the atmosphere, hydrogen negative ions are discharged from a large-area capacitor of this type having multiple pores opened in one metal plate, and ion density is measured by a probe arranged in a remote position.例文帳に追加

(2)大気中で、片方の金属板に多数の小穴を開けた上記型の大面積コンデンサーから水素マイナスイオンを放出し、離れた場所にプローブを置いてイオン密度を測定する。 - 特許庁

In the method of measuring the concentration of polyelectrolyte contained in sample solution, after a predetermined amount of organic ion material as a probe is added, in advance, to the sample solution, and the organic ion material is made to react with polyelectrolyte, the concentration of unreacted organic ions is measured by using an organic ion sensor.例文帳に追加

試料溶液中に含まれる高分子電解質の濃度を測定する方法であって、予め試料溶液に所定量のプローブとなる有機イオン物質を添加し高分子電解質と反応せしめた後、未反応の有機イオンの濃度を有機イオンセンサを用いて測定することにより高分子電解質の濃度を求める方法である。 - 特許庁

A probe having 5-40 nm of tip curvature radius is brought in contact with a surface of the organic ion crystal, and the two-dimensional scanning is performed while applying the pressure at 5-300 nN to the probe, and grinding is performed till the center line surface roughness (Ra) ≤5 nm and the maximum height (Rmax) at 50 nm are obtained.例文帳に追加

有機イオン結晶表面に、先端曲率半径5〜40nmの探針を接触させ、この探針に5〜300nNの圧力を印加しながら二次元的に走査し、中心線表面粗さ(Ra)5nm以下及び最大高さ(Rmax)50nm以下になるまで研削する。 - 特許庁

Similarly in correcting a black defect, an etching source material in a liquid state is supplied from the probe of a scanning probe microscope onto only the black defect region by a similar method to Dip-Pen Nanolithography, and an ion beam or an electron beam is supplied to etch to correct the black defect.例文帳に追加

黒欠陥修正の場合も同様に、走査プローブ顕微鏡の探針から液体状のエッチング原料をDip−Pen Nanolithographyと同様な方法で黒欠陥領域上のみに供給し、イオンビームや電子ビームを供給してエッチングを行い黒欠陥を修正する。 - 特許庁

The sample 1 is cut to a block shape in a chamber of a focused ion beam (FIB) device, the sample block (bulk) 4 is taken out of vacuum and is brought into contact with a glass probe 5 set at the tip of a manipulator to be supported.例文帳に追加

集束イオンビーム装置のチャンバ内で試料1をブロック状に切り出し、その試料ブロック(バルク)4を真空外に取り出して、マニピュレータの先端にセットしたガラスプローブ5に接触させて支持する。 - 特許庁

To provide a technology for maintaining battery characteristics and storing for a long period of time, which is required for a lithium ion battery used after long-term storage in an open circuit state as in a case of the battery loaded on a space probe.例文帳に追加

宇宙探査機搭載の如く長期間の開路状態での保管の後に使用されるリチウムイオン電池に求められる、電池特性を維持しつつ長期保管する技術を提供する。 - 特許庁

A state of a probe tip is observed therein by an optical microscope, an electron microscope or an ion microscope, and the rotation of the low-vibration stepping motor is stopped when the micro sample is directed along a desired direction.例文帳に追加

この時プローブ先端の様子を工学顕微鏡、電子顕微鏡、あるいはイオン顕微鏡により観察し、微小試料が所望の向きになった時点で低振動ステッピングモータの回転を止める。 - 特許庁

Ultrasonic foam is spurted by the movable probe 30 dipped in warm water, and ion and the like produced from the foam act to discharge soiled components in the pores by ozone and lathering of soap.例文帳に追加

温水に浸された移動自在のプローブ30により超音波の泡を噴出し、泡から発生するイオン等が作用し、オゾン及び石鹸の泡立ちによって毛穴の汚れた成分を排出する。 - 特許庁

In mass spectrometry technique for introducing the sample gasified by a heating probe 2 into an ion source 4 and separating the ionized sample at each mass/charge ratio to detect the same, the heating probe 2 is covered with a cylindrical gas trap mechanism 3 and the gasified sample is efficiently guided to the ion source 4 by the gas trap mechanism 3 to allow even a sample component, which is conventionally diffused to be wasted, to contribute to spectrometry.例文帳に追加

加熱プローブ2によって気化した試料をイオン源4に導入し,イオン化された試料を質量/電荷比ごとに分離して検出する質量分析技術において,加熱プローブ2を筒型の気体捕集機構3で覆い,気化した試料を気体捕集機構3によって効率よくイオン源4へ導くことにより,従来は拡散して無駄になっていた試料成分も分析に寄与できるようにした。 - 特許庁

This method for analyzing the sample is characterized by detecting the presence or absence of the formation of the nucleic acid probe-target nucleic acid hybrid product formed in a measurement sample obtained by reacting a sample with the probe carrier by the measurement of a halogen atom labeling the target nucleic acid with a flight time type secondary ion mass spectrometry (TOF-SIMS).例文帳に追加

プローブ担体に試料を反応させた測定用試料に形成された核酸プローブと標的核酸とのハイブリッド体の形成の有無を、標的核酸に標識したハロゲン原子を飛行時間型二次イオン質量分析法(TOF−SIMS)によって測定することにより検出する。 - 特許庁

Prior to defect correction of the isolated pattern 4, a conductive coil spring 3 is formed at a tip of a conductive probe 1 by a focused ion beam-induced chemical vapor-grown metal film, and the probe is conducted with the isolated pattern 4 while reducing the contact pressure with a mask pattern by the coil spring 3 to prevent the charge-up.例文帳に追加

導電性プローブ1の先端に集束イオンビーム誘起化学気相成長金属膜で導電性のコイルバネ3を形成し、コイルバネ3によりマスクパターンとの接触圧を緩和して孤立したパターン4との導通を取り、チャージアップが起こらないようにしてから集束イオンビーム7で欠陥修正を行う。 - 特許庁

To provide a laser device which can eliminate the necessity of stopping and disassembling the device for regular cleaning of a measurement probe, can always correctly measure an electric resistance of a cooling liquid with the measurement probe, can properly maintain a filter or an ion-exchange resin and can achieve power saving and miniaturization thereof.例文帳に追加

レーザ装置を停止させ分解し、測定プローブを定期的に清掃する必要がなく、当該測定プローブによって冷却液の電気抵抗を常時正確に測定することができ、フィルタやイオン交換樹脂のメンテナンスを適切に行えるとともに、レーザ装置を省電力、小型化することができる。 - 特許庁

To adjust the angle (spray angle) of the center axis of the sprayed stream from an ionizing probe with respect to the inlet end of an ion introducing pipe and to effectively put the opening formed to a housing to practical use for the purpose of the adjustment of the angle of the center axis of the sprayed stream.例文帳に追加

イオン導入管の入口端に対するイオン化プローブからの噴霧流の中心軸の角度(噴霧角)の調整を可能とするとともに、そのためにハウジングに形成した開口を有効に活用する。 - 特許庁

An ice accretion sensor 51 is disposed at a prescribed position near an evaporation tube 27, and detects an electric resistance value, that is, the electric conductivity of cooling water and the like on the basis of ion current flowing between two probe electrodes.例文帳に追加

氷着センサ51は、蒸発管27の近傍、所定の位置に設置されており、2つのプローブ電極の間に流れるイオン電流に基づいて、冷却水等の電気抵抗値、即ち導電率を検出する。 - 特許庁

A probe, means for replacing the inside of a sample chamber with prescribed gas and means for turning into images by ion current detection or absorbed current detection are incorporated to realize a safe SEM (scanning electron microscope) whose risk of electrical discharge is low.例文帳に追加

探針と、試料室内を所定のガスで置換する手段と、イオン電流検出や吸収電流検出による画像化手段を備えることにより、放電の危険性の低い安全なSEMを実現する。 - 特許庁

A micromachining apparatus is used, which includes an AFM having a plurality of independently actuatable probes and uses an electron beam or a helium ion beam produced by a gas field ion source; wherein an isolating pattern 9 including a defect is grounded by bringing the conducting probe 6 into contact with the pattern, and then an opaque defect 8 is corrected while preventing charge-up by the electron beam 1.例文帳に追加

独立に駆動できる複数の探針を有するAFMを付加した電子ビームまたはガスフィールドイオン源から発生するヘリウムイオンビーム微細加工装置で、導電性探針6を接触させることで欠陥を含む孤立したパターン9を接地して、電子ビーム1によるチャージアップを防止しながら黒欠陥8を修正する。 - 特許庁

A sample solution from an LC 1 is atomized as charged fine droplets 6 from an atomizing probe 4 and the sample ion contained in the droplets 6 is discharged into the atmosphere in an atmospheric ion source 7 and made incident to a mass spectrometer 15 in a high-vacuum section 16 through a narrow pore 11, an intermediate chamber 12, and another narrow pore 14.例文帳に追加

LC1からの試料溶液は噴霧プローブ4から電荷を持った微細な液滴6として噴霧され、その中に含まれる試料イオンは大気圧イオン源7内の大気中に放出され、細孔11、中間圧力室12及び細孔14を経て高真空部16の質量分析計15に入射する。 - 特許庁

In the manufacturing method, a high crystalline region with little defect is locally formed on a low crystalline silicon layer with much defects, and a probe is brought into contact with an inside of the high crystalline region to measure sheet resistance, then an ion implant dose is adjusted from the ion concentration thus obtained.例文帳に追加

本発明は、欠陥が多い低結晶性シリコン層に、欠陥の少ない高結晶性領域を局所的に形成し、その高結晶性領域内に探針を接触させてシート抵抗を測定し、得られたイオン濃度からイオン注入量を調整する製造方法を持つことを解決手段とする。 - 特許庁

When this probe is dipped in molten steel, the slag is surely accumulated in the slag storage chamber 37, and an equilibrium reaction part between iron and ion oxides is formed between the standard electrode 3 and the measuring electrode 23, and the oxidation degree of the slag is measured.例文帳に追加

プローブ1は、溶鋼に浸漬された際、スラグ収容室37内に確実にスラグを溜め込み、標準電極3と測定極23との間で、鉄と酸化鉄との平衡反応部分が形成され、スラグ酸化度の測定をする。 - 特許庁

As for ion milling, the adjustment operation is successively carried out to the works 5 arranged like a matrix, and the frequency adjustment progress circumstances are monitored through an inspection probe P for each work by a frequency counter C for adjustment.例文帳に追加

イオンミーリングはマトリクス状に配されたワーク5に対し順次調整動作を行うが、ワーク毎に前述の検査プローブPを介して周波数カウンタCにより周波数調整進行状況をモニタリングし、調整を行う。 - 特許庁

The disclosed two-photon fluorescent probe for calcium ions near a cell membrane reacts with calcium cations to exhibit strong two-photon fluorescence and may be selectively and easily loaded into the cell membrane by forming a complex with a calcium ion.例文帳に追加

本発明による細胞膜近傍のカルシウムイオン二光子蛍光プローブは、カルシウム陽イオンと反応して強い二光子蛍光を表わし、カルシウムイオンとともに錯体を形成して細胞膜に選択的であり、容易にローディングされうる。 - 特許庁

In a step for removing mist by electrostatic attraction, the mist is preferably charged with the same polarity by blowing an ion gas from an ionizer to the mist of probe solution and attracted to the electrostatic attracting section before being removed.例文帳に追加

前記静電吸着によるミスト除去工程において、プローブ溶液のミストにイオナイザーからイオン気体を吹き付けることにより該ミストを同一極性に帯電させ、静電吸着部に静電吸着させて除去することが望ましい。 - 特許庁

To solve such problems in a prove device for manipulating a focused ion beam machining device that a conventional needle shaped probe requires frequent changes causing an increasing cost problem with the wide use of the technology and also that with the demand of higher degree fine machining, a thin wire probe is demanded which has a long life and a shape depending on the purpose.例文帳に追加

集束イオンビーム加工装置用のマニピュレート用プローブ装置において、従来の針形状プローブでは交換頻度が高く、同技術が汎用化されるにつれコスト問題が増大し、また一方で、より高度な微細加工が要求されるようになり、寿命が長く、また目的に応じた形状の細線プローブが要求されている。 - 特許庁

The correcting method for a photomask to correct a white defect in a photomask is characterized in that: a deposition film 11 is formed at a white defect portion C by a FIB-CVD (focused ion beam chemical vapor deposition) system; if the film protrudes a desired pattern, the protruding portion 2 is shaved off with a needle; and the needle is preferably a probe of a scanning probe microscope.例文帳に追加

フォトマスクの白欠陥を修正するフォトマスク修正方法において、白欠陥部CにFIB−CVD方式でデポジション膜11を形成し、膜の形状が所望の形状よりはみ出た場合、はみ出た部分2を針で削りとり、好ましくは前記針は、走査プローブ顕微鏡の探針であることを特徴とする。 - 特許庁

To provide a plasma potential measuring method and device for measuring plasma potential along with an analysis of ion species applying a mass spectrometer without depending on a probe measuring instrument at a low cost considering that both mass spectrometry and plasma potential measurement can be performed.例文帳に追加

プラズマ電位を、プローブ計測器に頼ることなく、質量分析器を応用して、イオン種の分析と併せて計測でき、質量分析とプラズマ電位計測の双方を行える割りには安価に済むプラズマ電位計測方法及び装置を提供する。 - 特許庁

After the surface of the sample for microscope observation, cut out from a substrate sample, is processed by FIB, the vicinity of the surface of the sample is scanned with a probe 4 of a probe microscope and ground by a mechanical method, electrochemical reaction, or an optical technique, such as oxidization or annealing, to conduct processing of removing ionic elements implanted by ion irradiation.例文帳に追加

基板サンプルより切り出された顕微鏡観察用試料の表面をFIBによって加工処理した後、試料の表面近傍をプローブ顕微鏡探針4を走査して機械的方法、電気化学的反応、あるいは酸化、アニーリングといった光学的手法によって研磨することによりイオン照射によって打ち込まれたイオン元素を除去する加工を行うものである。 - 特許庁

The minute sample processing observation device includes a focused ion beam optical system 31 and an electron beam optical system 41 in an identical vacuum device, and a probe 72 that separates a minute sample containing a desired area of the wafer 21 by a charged particle beam type molding process and takes out the separated minute sample.例文帳に追加

同一真空装置に集束イオンビーム光学系31と電子ビーム光学系41を備え、ウェーハ21の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し、分離した該微小試料を摘出するプローブ72を備えた。 - 特許庁

The micro testpiece processing and observation device are equipped with a focused ion beam optical system and an electron optical system in an identical vacuum device, and separate a micro testpiece including the desired region of the testpiece by a charged particle beam forming process, and have a probe for sampling the micro testpiece separated.例文帳に追加

上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 - 特許庁

The minute sample processing observation device includes a focused ion beam optical system and an electron optical system in the same vacuum device, as well as a probe 72 separating a minute sample including a desired region of the sample by a charged particle beam molding work and picking up the separated minute sample.例文帳に追加

上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 - 特許庁

A first reference element 6, a second reference element 8, the electrolyte 10 and an ion-permeable fine-pore high-viscosity polymer substance are housed in the inside of the space 4, and the polymer substance forms a filler 16 for the measuring probe, together with the electrolyte 10.例文帳に追加

このスペース4の内部には、第一の基準要素6と、第二の基準要素8と、電解質10と、イオンを透過する微孔性の高粘度ポリマー物質が収容されており、このポリマー物質が電解質10とともに測定プローブの充填材16を形成している。 - 特許庁

The manufacturing method includes: segmenting a comb-like portion 16 from a metal thin plate 15 with a thickness of 30 μm or less using a convergent ion beam processing technique; and mounting and integrating the comb-like portion with the probe supporting part 12 of a mechanism capable of manipulation within a vacuum device, using a gas deposition function.例文帳に追加

その製造方法は、30μm厚み以下の金属薄板15から櫛形状部位16を集束イオンビーム加工技術により切り出し、真空装置内でマニピュレート操作できる機構のプローブ支持部12に、ガスデポジション機能を用いて取り付けて一体化する。 - 特許庁

A process waste 5, produced in mechanical processing with an atomic force microscope probe 3, is irradiated with a gas cluster ion beam 1, having energy that will not damage a normal pattern 6 or a glass substrate 7, but which can remove the process waste 5 which is weakly depositing thereon, so as to remove the waste by sputtering effects.例文帳に追加

原子間力顕微鏡探針3による機械加工で発生した加工屑5を正常パターン6やガラス基板7にはダメージを与えないが弱く付着した加工屑5は除去できるようなエネルギーを持ったガスクラスターイオンビーム1を照射してスパッタ効果で除去する。 - 特許庁

To provide a scanning probe microscope for certainly sticking a sample to a substrate, more concretely, without using a metal ion source as a solution, and without requiring an expensive coat on the rear surface of a cantilever.例文帳に追加

本発明は走査型プローブ顕微鏡に関し、更に詳しくは溶液として金属イオン源を用いることなく、またカンチレバー背面に高価なコートをする必要がなく、かつ試料を確実に基板に付着させることができる走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的としている。 - 特許庁

This device includes a focus ion beam optical system and an electron optical system in the same vacuum device, and also includes a probe for separating the microscopic sample containing the desired region of the sample by a charged particle beam type molding process to take out the separated microscopic sample.例文帳に追加

上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 - 特許庁

例文

This device is provided with a focused ion beam optical system and an electron optical system in the same vacuum device, and a probe separating a trace sample including a desired region of the sample by a charged particle beam molding work and picking up the separated trace sample.例文帳に追加

上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 - 特許庁




  
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