-ionを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 30833件
A deposited substance on a monitoring substrate 3 is etched by applying a voltage for etching several kVs to the monitoring substrate 3, which is loaded inside a plasma apparatus, and the substance emitted from the deposited substance is analyzed by a mass spectrometer or an ion chamber.例文帳に追加
プラズマ装置の内部に設けられたモニタ基板3に、数kVのエッチング用電圧を印加してモニタ基板3上の堆積物をエッチングし,堆積物から放出される物質を質量分析装置又はイオンチャンバを用いて分析する。 - 特許庁
To provide an inexpensive solid polymer electrolyte membrane which has ion-exchanging property and yet has mechanical strength next to that of a polymer base material itself as well as high durability.例文帳に追加
高分子基材に、人為的に部分的なアニオン基を導入することによって、イオン交換性を持ちながら、高分子基材本来の機械強度に近い機械強度を有し、高い耐久性を持ち、かつ安価な固体高分子電解質膜を提供する。 - 特許庁
In the emitter aperture window forming process, immediately after a SiO_2 layer is removed with the dry etching method using a resist mask, the phosphorus ion is implanted into an Si substrate through the IBDP layer, SiO_2 layer and Si/SiGe layer using the same resist mask.例文帳に追加
エミッタ開口窓の形成工程において、レジストマスクを用いてSiO_2層をドライエッチングした直後に、同じレジストマスクを用いてIBDP層とSiO_2層とSi/SiGe層を貫通させて、Si基板中にPのイオン注入を行う。 - 特許庁
Then the polysilicon films 2, 4 are covered with a resist 7 and only the polysilicon film 3 is doped with low concentration P (phosphorus) ion so as to control the threshold voltage of the pixel sampling n-chTFT to be lower than the threshold voltage of the n-chTFT of the CMOS transistor.例文帳に追加
次にポリシリコン膜2,4をレジスト7を覆い、ポリシリコン膜3のみに、低濃度のP(リン)イオンをドープし、画素・サンプリングn−chTFTの閾値電圧をCMOSトランジスタのn−chTFTの閾値電圧よりも低く設定する。 - 特許庁
The acid type catalyst is preferably prepared and used by subjecting mordenite type zeolite, beta type zeolite, or CFI type zeolite (called CIT-5) to an ion exchange treatment, or the like, to impart the solid acidity and further carrying a hydrogenation active metal such as platinum, palladium, or rhenium on the product.例文帳に追加
酸型触媒としては、モルデナイト型ゼオライト、ベータ型ゼオライト、またはCFI型ゼオライトに、イオン交換処理等により固体酸性を付与し、さらに白金、パラジウム、レニウム等の水素化活性金属を担持したものが好ましく使用できる。 - 特許庁
To provide a high polymer solid electrolyte having an excellent safety, stability with age, and displaying a high ion conductivity of 10^-3 S/cm or more, which is excellent in moldability and is simply manufactured in a condition wherein impurities are lessened as far as possible.例文帳に追加
安全性・経時安定性に優れ、室温付近でも10^-3S/cm以上の高いイオン導電性を発揮し、成形性にも優れ、簡便に、且つ不純物の出来るだけ少ない状態で製造した高分子固体電解質を提供する。 - 特許庁
To provide a film forming apparatus which is configured to form a thin film having a high light transmittance and a high surface smoothness by accelerating the reactivity of a film formed on a film forming plane of a substrate by irradiating the film forming plane with ion beams, when a dielectric film is formed.例文帳に追加
誘電体膜を成膜する際に、基板の被成膜面にイオンビームを照射して、被成膜面に形成された膜の反応性を促進させることで、光透過率が高く、かつ、表面平滑性の高い成膜装置を提供する。 - 特許庁
To provide a polymer electrolyte for an electrolytic-capacitor driving having high ion conductivity in room temperature, superior heat-resistance, characteristics hard to react with electrode foil like aluminum foil, and superior formability in mold and a long life, and to provide an electrolytic capacitor with the electrolyte.例文帳に追加
室温におけるイオン伝導度および耐熱性が高く、アルミニウムなどの電極箔と反応せず、成形性ならびに長寿命化の点で優れた電解コンデンサ駆動用電解質およびそれを用いた電解コンデンサを提供する。 - 特許庁
Also, lead wires 37a, 37b, 38a and 38b do not change their positions after being mounted, causing no change in the stray capacitance to eliminate need of readjustment at each maintenance of the resonant circuit constituted by an external voltage source and the ion lens 19.例文帳に追加
また、取り付けた後のリード線37a、37b、38a、38bの位置が変化しないため、それによる浮遊容量が変化せず、外部の電圧源とイオンレンズ19とにより構成される共振回路のメンテナンス毎の再調整が不要となる。 - 特許庁
An alkali is added to dissolved lead-containing water to be treated, in the presence of an oxidizing agent and a carbonate ion, thereby dissolved lead ions contained in the water are insolubilized as a mineral-like substance, such as insoluble hydrocerrussite (lead hydroxycarbonate), which is separated and removed.例文帳に追加
溶存鉛を含有する被処理水中に、酸化剤と炭酸イオンの存在下でアルカリを添加して、該水中に含まれる溶存鉛イオンを不溶性のhydrocerrussite(ヒドロオキシ炭酸鉛)などのミネラル様物質として不溶化して、分離除去する。 - 特許庁
To provide a gel ion conducting electrolyte that has a high mechanical strength and excellent form maintenance against outside stress, and an electrochemical device that is capable of thin film, lamination forming, simplification and light weight, and is excellent in dimension accuracy of a package.例文帳に追加
機械的強度が高く、外部応力に対する形状維持性が優れるゲル状イオン伝導性電解質及び薄膜化、積層形成、簡略化及び軽量化が可能であり、パッケージの寸法精度に優れる電気化学的デバイスを提供する。 - 特許庁
When the electrophoresis is started, the DNA sealed in the gel plug 8 is eluted in an electrophoresis solution at the first step, and the phase of the DNA is changed to a globule structure in the solution by the bond of the DNA with a metal ion at the second step.例文帳に追加
電気泳動操作を開始すると、第1段階では、ゲルプラグ8に封入されたDNAが電気泳動溶液中に溶出され、第2段階では、金属イオンとDNAとの結合により、DNAが溶液中でグロビュール構造に相転移する。 - 特許庁
An atomization amount keeping means for keeping the amount of the nanometer sized ion mist atomized by impressing the high voltage unchanged even when the water level in the liquid storing part 1 is changed is provided in the electrostatic atomization apparatus 6.例文帳に追加
この静電霧化装置6に、液溜め部1の水位が変化しても高電圧の印加によって生成するナノメータサイズのイオンミストの霧化量が液溜め部1の水位の変化により変わらないように維持するための霧化量維持手段を設ける。 - 特許庁
To obtain a material for gloves, useful for inner gloves especially for clean room operation since the material hardly causes stuffiness and tackiness, has excellent wearing comfortableness, no heavy metal adsorptivity, durable antistatic properties and slight ion diffusion by sweat.例文帳に追加
蒸れやべたつきが生じにくく、着用快適性に優れ、重金属吸着性がなく、耐久的制電性に優れ、汗によるイオンの発散も少ないため、特にクリーンルーム作業用インナー手袋に有用な手袋用素材を提供する。 - 特許庁
This composition comprises an oxidant, a nonferous inhibitor, 0 to 15 weight% of water-soluble reformed cellulose, 0 to 15 weight% of phosphorous compound, 0.005 to 5 weight% of amphiphilic polymer with an ion hydrophilic part of 2 to 250 carbon numbers, and water.例文帳に追加
組成物は、酸化剤、非鉄金属のインヒビター、水溶性改質セルロース0〜15重量%、リン化合物0〜15重量%、炭素数2〜250のイオン親水部分を有する両親媒性ポリマー0.005〜5重量%及び水を含む。 - 特許庁
DRIE (Deep Reactive Ion Etching) is executed from the surface 153b side, the silicon substrate 153 is selectively removed by using the rough comb mask pattern 155 as a mask, and the silicon substrate 151 is selectively removed by using the comb electrode mask pattern 152a as a mask.例文帳に追加
面153bの側からDRIEをおこなって、粗櫛歯マスクパターン155をマスクにしてシリコン基板153を選択的に除去し、さらに櫛歯電極用マスクパターン152aをマスクにしてシリコン基板151を選択的に除去する。 - 特許庁
The vibration energy of the negative ion generating electric refrigerator/freezer 10 is used as it is in the external energy, and the vibrational energy is applied to a coral-containing water-proof solidified material or a coral block work as the coral work 20.例文帳に追加
外的エネルギーの中でマイナスイオン発生電気冷蔵・冷凍10が持つ振動エネルギーをそのまま使用するもので、この振動エネルギーを珊瑚加工物20である珊瑚含有耐水性固化物または珊瑚塊加工物に投与するものである。 - 特許庁
In particular, wettability on the surface is improved by providing a modified layer 22 treated by plasma ion etching and/or with a high concentration of ozone water, preferably, on the surface of the cyclic polyolefin resin, so as to enhance remarkably a close contact property onto the bright decorative layer.例文帳に追加
特に、環状ポリオレフィン樹脂の表面に、プラズマイオンエッチング処理及び/又は高濃度オゾン水処理された改質層22を有すると、表面の濡れ性が向上し、光輝装飾層との密着性が格段に向上するので好ましい。 - 特許庁
To provide a non-aqueous electrolytic solution primary battery in which fluorocarbon is used for a cathode while a material that can release lithium ion is used for an anode, in which reduction of voltage at the time of discharging electricity is suppressed and discharge properties are enhanced.例文帳に追加
正極にフッ化炭素を用い、負極にリチウムイオンを放出可能な材料を用いた非水電解液一次電池において、放電時の電圧降下を抑制し、放電特性の向上した非水電解液一次電池を提供する。 - 特許庁
In the bar type static eliminator provided with a plurality of discharge needles arranged so as to alternately irradiate positive and negative ions by way of positions, impression voltage on the discharge needles at both ends is made lower than that on the discharge needle at the center to improve an ion balance distribution.例文帳に追加
+と−のイオンを位置的に交互に放射するように配置された複数の放電針を有するバータイプ除電器において、両端の放電針への印加電圧を中央の放電針への印加電圧より低くして、イオンバランス分布を良くする。 - 特許庁
This cosmetic contains water which is separated from one or more vegetables selected from tomato, carrot, spinach, cabbage, green pepper, lettuce, celery, beet, turnip, radish, burdock, pumpkin, eggplant, and cucumber in a process for concentrating the vegetables, in stead of tap water or ion exchanged water.例文帳に追加
水道水、イオン交換水の替わりに、野菜濃縮工程で分離される、トマト、ニンジン、ほうれん草、キャベツ、ピーマン、レタス、セロリ、ビート、カブ、ダイコン、ゴボウ、カボチャ、ナス、キュウリの中から選ばれる一種または二種以上である野菜由来の水を化粧料に配合する。 - 特許庁
To inexpensively provide quartz glass usable for various kinds of optical material, a member for manufacturing a semiconductor and a member for manufacturing a liquid crystal and having high transmittance to ultraviolet light, visible light and infrared light, high purity and high heat resistance and the low diffusion rate of Cu ion.例文帳に追加
各種光学材料、半導体製造用部材、液晶製造用部材に利用可能な、紫外線、可視光線、赤外線の透過率が高く、高純度で耐熱性の高く、Cuイオンの拡散速度の遅い石英ガラスを安価に提供する。 - 特許庁
As the secondary battery for driving an information processing device, a lithium ion secondary battery pack 8 is installed between the hinge parts 3 of the body 1 and a polymer secondary battery unit is installed on the back side of the liquid crystal display panel 5 within the display part 4.例文帳に追加
この情報処理装置の駆動用の二次電池として、本体1のヒンジ部3の間の領域に設けられたリチウムイオン二次電池パック8と、表示部4内で液晶表示パネル5の背面側に設けられたポリマ二次電池ユニットとを有する。 - 特許庁
In the ion exchange film-calalytic electrode joined body used in the electrochemical type hydrogen gas sensor, one having no pore, each of which has a pore size measured by a mercury prosimeter method of 100-1,000 nm in the pore distribution of a gas sensing electrode, is used.例文帳に追加
電気化学式水素ガスセンサで用いるイオン交換膜−触媒電極接合体において、ガス検知電極の細孔分布が、水銀ポロシメーター法により測定される孔径で100〜1000nmの範囲にある細孔を有さないものを用いる。 - 特許庁
During use, one low-voltage trigger pulse is generated at a time position at which an ion gate is needed to be opened so as to pass thorough ions with time width equal to or proportional to a width of a gate pulse T_gd and also with correct nominal mass.例文帳に追加
使用時、ゲートパルスT_gdの幅と等しい又は比例する時間幅をもって且つ正しい公称質量のイオンを通過させることができるようにイオンゲートを開放する必要がある時間位置で1つの低電圧トリガパルスが生成される。 - 特許庁
To provide a water cleaning agent which can remove both of an anion such as an arsenate ion (an oxyanion) and a cation by adsorption, has no possibility of coming apart or draining away of an adsorbent when used in a water cleaning facility or a filtration tank, and is excellent in handleability.例文帳に追加
砒素(オキシアニオン)等の陰イオンと同時に陽イオンを吸着除去可能で、しかも、水質浄化設備や濾過槽に使用した場合、吸着剤の離散または流亡が懸念されない取り扱い性に優れた水質浄化剤を提供すること。 - 特許庁
To provide an electric deionized water production apparatus and a deionized water production method which cause no ion exchange membrane deterioration even when applied current is increased, and prevent generation of scale like iron oxide, iron hydroxide or hardness components.例文帳に追加
印加電流を上げても、イオン交換膜の膜焼けが発生せず、酸化鉄や水酸化鉄、あるいは硬度成分などのスケール発生を防止することができる電気式脱イオン水製造装置及び脱イオン水製造方法を提供すること。 - 特許庁
To provide an ion beam generating device capable of removing an insulation film deposited on the surface of an electrode by a highly reactive ionic species without the release of vacuum, the disassembly of the device and the exchange of a parts, and a cleaning method therefor.例文帳に追加
本発明の課題は、真空の解除,装置の分解,部品交換なしに、反応性の高いイオン種によって電極表面に堆積する絶縁被膜が除去できるイオンビーム発生装置及びそれのクリーニング方法を提供するにある。 - 特許庁
To provide an electrolyte excelling in ion conductivity and electrochemical stability, in relation to a nonaqueous electrolytic solution used for primary and secondary lithium batteries, a dye-sensitized solar cell, an electric double-layer capacitor or the like.例文帳に追加
一次、二次のリチウム電池、色素増感型太陽電池、電気二重層キャパシタ等に用いる非水電解液において、電極表面における不純物の電気分解や熱的分解を起因とする経時的なデバイス特性の低下の問題を解決する。 - 特許庁
The lowering of the Q value at high temperatures is controlled by making an ion having a larger coefficient of thermal expansion than that of a basic composition in the microwave dielectric porcelain composition, dissolved in a crystal or finely dispersed in a crystal grain of the basic composition.例文帳に追加
マイクロ波誘電体磁器組成物の基本組成中に、基本組成よりも熱膨張率の大きいイオンを、基本組成の結晶中に固溶または結晶粒中に微細分散させることによって高温におけるQ値の低下を抑制する。 - 特許庁
In the glow discharge taking oxygen gas as discharge gas, oxygen active seed (oxygen atom and oxygen ion rich in energy) having a strong oxidizing action is generated to thereby decompose organic contaminant adhering to the inner wall by oxidizing so that the contaminant is changed into small molecules easy to be exhausted.例文帳に追加
酸素系ガスを放電ガスとするグロー放電では、強い酸化作用を持つ酸素系活性種(エネルギーに富む酸素原子や酸素イオン)を生成し、内壁に付着した有機汚染物を酸化分解して排気されやすい小さな分子に変える。 - 特許庁
The metal ion is one or more selected from Pt, Pd, Au, Ru, Cu, Ag, Sn, Ni and Fe, and the zeolite is one or more selected from mordenite, faujasite, L, ZSM and βtype zeolites.例文帳に追加
金属イオンは、Pt、Pd、Au、Ru、Cu、Ag、Sn、Ni、Fe から選ばれる1種または2種以上の金属イオンであり、ゼオライトは、モルデナイト型ゼオライト、フォージャサイト型ゼオライト、L型ゼオライト、ZSM型ゼオライト、β型ゼオライトのいずれか1種または2種以上である。 - 特許庁
To provide a positive electrode for a secondary battery and a nonaqueous electrolytic solution secondary battery wherein a better charge- discharge cycle property can be satisfied simultaneously while a superior high- capacity property of the nonaqueous secondary battery such as a lithium-ion secondary battery is being maintained.例文帳に追加
リチウムイオン二次電池などの非水二次電池の優れた高容量特性を維持しつつ、さらに良好な充放電サイクル特性をも同時に満足させることが可能な二次電池用正極および非水電解液二次電池を提供する。 - 特許庁
To provide a semiconductor integrated circuit device, where a parasitic diode whose anode is an ion implantation resistor and whose cathode is an epitaxial region will not occur even if the power voltage is different, and moreover which operates so that a startup sequence circuit can be dispensed with at the outside.例文帳に追加
電源電圧が異なっていてもイオン注入抵抗をアノード、エピタキシャル領域をカソードとする寄生ダイオードが生じず、且つ、外部にて立ち上げ順序回路が不要となるように動作する半導体集積回路装置を提供する。 - 特許庁
Regarding the discharge electrode 1 of the ion generating element 21, the surface other than the surface coming in contact with a dielectric 4 is exposed in atmosphere and the surface other than the surface exposed in atmosphere of the discharge electrode 1 is arranged while being buried in the dielectric 4.例文帳に追加
イオン発生素子21の放電電極1は、誘電体4と接する表面以外の表面が雰囲気中に露出しており、放電電極1の雰囲気中に露出した面以外の面は、誘電体4の内部に埋もれて配置されている。 - 特許庁
An anion exchange resin packed in a mixed bed ion exchange column is changed for a new one while leaving a cation exchange resin in the column, and after the lapse of a prescribed period of time, the packed cation exchange resin is changed for a new one.例文帳に追加
混床型イオン交換塔に充填されているカチオン交換樹脂を塔内に残したままアニオン交換樹脂を新品アニオン交換樹脂と取替えた後、所定期間経過後、充填されているカチオン樹脂を新品カチオン交換樹脂に取替える。 - 特許庁
This water conditioner is provided with a first electrolysis part in which an anode and a cathode are arranged oppositely to each other and a second electrolysis part which supplies hydrogen ion to the alkaline water produced in a cathode chamber and, thereby permits the intake of the alkaline water in which the dissolved hydrogen is increased.例文帳に追加
陽極と陰極とを対向配置した第1の電解部と、前記陰極室で生成したアルカリ性水に水素イオンを供給する第2の電解部とを備え、溶存水素を増加させたアルカリ性水を取水可能とした。 - 特許庁
Sputter ion cells 34 having a pair of cathodes 36a, 36b successively arranged in a direction perpendicular to the surface of the flat substrate, and an anode 38 located between the cathodes, are arranged in the vacuum envelope.例文帳に追加
真空外囲器の内部にはスパッタイオンポンプセル34と、を備え、スパッタイオンポンプセルは、平面基板の表面と垂直な方向に沿って順に配設された一対の陰極36a、36bおよびこれら陰極間に配設された陽極38を有している。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a lithium iron phosphate-contained positive electrode active material capable of improving high rate performance of a battery using a positive electrode containing lithium ion phosphate as a positive electrode active material, and a battery using the same.例文帳に追加
リン酸鉄リチウムを正極活物質として含有した正極を用いた電池のハイレート性能を向上させることのできるリン酸鉄リチウム含有正極活物質の製造方法及びそれを用いた電池を提供することを目的とする。 - 特許庁
The ion source 2 includes a hot cathode 10 with a hollow outer conductor 12, a hollow inner conductor 14 arranged concentrically inside the same, and an annular connection conductor 16 electrically connecting tips of both conductors 12, 14.例文帳に追加
このイオン源2は、中空の外部導体12と、その内側に同軸状に配置された中空の内部導体14と、両導体12、14の先端部を電気的に接続する環状の接続導体16とを有する熱陰極10を備えている。 - 特許庁
To provide a CMOS image sensor capable of minimizing the occurrence of defect due to impurity ion implantation at the boundary of an active region and an isolation film beneath the gate electrode of a transistor constituting a CMOS image sensor, and to provide its fabrication process.例文帳に追加
CMOSイメージセンサを構成するトランジスタのゲート電極の下のアクティブ領域と素子分離膜間の境界で不純物イオン注入による欠陥発生を最小化できるCMOSイメージセンサ及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
The solder flux is heated, and the active degree of the flux is evaluated by measuring the ion conductivity in two different temperature ranges, a room temperature range and a high temperature range, thereby selecting the solder flux in response to use of the solder paste.例文帳に追加
はんだフラックスを加熱するとともに、常温域及び高温域の二つの異なる温度領域におけるイオン伝導率を測定してフラックスの活性度を評価することにより、はんだペーストの用途に応じたはんだフラックスを選定する。 - 特許庁
As shown in (d), a photoresist pattern of a ring shape having a width of 5 μm is formed and etched deeper than an MQW active layer 4 from a P-electrode 7 by dry etching such as RIBE(reactive ion beam etching).例文帳に追加
(d)に示すように、幅5μmのリング形状のフォトレジストパターンを形成し、Cl_2などを用いたRIBE(Reactive Ion Beam Etching)などのドライエッチングによりP−電極7からMQW活性層4より深くセルフアラインにエッチングする。 - 特許庁
This method comprises the steps of irradiating the explant of petunia with heavy ion beams and selecting the chimera individuals differentiated from the explant (FSRP method), and then selecting chimera individuals with stable character redifferentiated by tissue culture method from explant obtained from the former chimeric individuals (SSRP method).例文帳に追加
ペチュニアの外植片に重イオンビームを照射し、その外植片から分化してきたキメラ個体を選抜し(FSRP法)、そのキメラ個体より得た外植片より組織培養法によって再分化した安定した形質のキメラ個体を選抜する(SSRP法)。 - 特許庁
To provide an ammonia gas trapping composite material which can sufficiently trap ammonia gas in the solution, in particular, alkaline solution and has no bad effect of leaving a new ion in the fluid, and which is low in cost and easy to manufacture, and an alkaline battery using the same.例文帳に追加
溶液中、特にアルカリ溶液中のアンモニアガスを十分に捕捉することができ、液体中に新たなイオンが残るなどの弊害がなく、安価で製造の容易なアンモニアガス捕捉複合材、及びこれを用いたアルカリ電池を提供すること。 - 特許庁
In the reflection mirror 10, a gold coating film 26 whose thickness is 10nm is formed on the side of the ion conductive coating film 24 of a conductive reflection film 16 formed of aluminum or the like, and is made to react on a hydroxyl group produced in electrolysis.例文帳に追加
本反射鏡10では、アルミニウム等で形成された導電性反射膜16のイオン導電性被膜24側に厚さ10nmの金薄膜26を形成して、この金被膜26が電気分解で生じた水酸基と反応する構成とした。 - 特許庁
A processing liquid stored in a recovery tank 110 passes through an impurity removal filter 114 and an ion removal filter 115 via piping 111 by the suction operation of a pump 113, and then it is collected in a refining tank 112.例文帳に追加
回収タンク110内に貯留されている処理液は、ポンプ113の吸引動作により配管111を介して不純物除去フィルタ114およびイオン成分除去フィルタ115を通った後、精製タンク112内に貯留される。 - 特許庁
To provide a method for producing a lithium-transition metal compound oxide suitable for a positive electrode active material of a lithium ion secondary battery, particularly, a method for mass-producing the lithium-transition metal compound oxide storing an electric charge or discharging electricity at high current density at a low cost.例文帳に追加
リチウムイオン二次電池の正極活物質として好適な、リチウム遷移金属複合酸化物を製造する方法、特に高い電流密度での充放電可能なリチウム遷移金属複合酸化物を安価に量産する方法を提供する。 - 特許庁
Hereby, the controllability of thickness of a polycrystalline silicon film 8b, which contains relatively large crystal grains and is formed in the upper part of the film 8, is improved and moreover, uniformity of the temperature within the surface of a semiconductor wafer at these ion implantations is improved.例文帳に追加
これにより、シリコン膜8の上部に形成される結晶粒が相対的に大きい多結晶のシリコン膜8bの厚さの制御性が向上し、さらに、これらイオン打ち込み時の半導体ウエハ面内の温度の均一性が向上する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a semiconductor integrated circuit device which performs ashing processing for a resist film which is cured after high concentration ion implantation under a vacuum at a higher temperature without a popping phenomenon, and therefore does not cause a scattered residue of a degeneration layer etc.例文帳に追加
高濃度イオン注入後の硬化したレジスト膜を温度を上げて真空中でアッシング処理してもポッピング現象がなく、そのため飛散した変質層等の残渣の発生のない半導体集積回路装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
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