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「rate of reaction」に関連した英語例文の一覧と使い方(11ページ目) - Weblio英語例文検索
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rate of reactionの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 898



例文

To provide a method for producing a chlorinated vinyl chloride-based resin while preventing the equipment from corrosion by byproduct hydrochloric acid and increasing the rate of chlorination reaction as well.例文帳に追加

塩素化塩化ビニル系樹脂の製造において、副生塩酸による設備の腐食を防止すると共に、塩素化反応の塩素化反応速度を高める方法を提供するものである。 - 特許庁

To provide a practical nonaqueous secondary battery in which the yield in thermal reaction increases and in which the capacity in a practical doping rate of lithium as a negative electrode material is enhanced.例文帳に追加

製造上、熱反応における収率がアップし、負極材料としてのリチウムの実用ドーピング速度における容量を高め、実用的な非水系2次電池を提供すること。 - 特許庁

To provide spraying concrete having enhanced adhesive strength in the case of spraying and a lower rebounding rate, hardly causing alkali aggregate reaction and excellent in durability and to provide a construction method for spraying the spraying concrete.例文帳に追加

吹付け時の付着性を向上し、リバウンド率を低減でき、アルカリ骨材反応を抑制し、耐久性に優れた吹付けコンクリートやそれを用いた吹付け工法を提供すること。 - 特許庁

To provide a honeycomb structure with small pressure loss and excellent durability against stress damages while suppressing the decline of a reaction rate, purification efficiency and regeneration efficiency, or the like, when used.例文帳に追加

使用時における反応率、浄化効率、再生効率等の低下を抑えつつ、圧力損失が小さく熱応力破損に対する耐久性に優れたハニカム構造体を提供する。 - 特許庁

例文

To provide a polymerization initiator which has a high monomer conversion rate on the cationic polymerization reaction of a monomer, gives a uniform polymer, and is industrially highly useful.例文帳に追加

本発明は、カチオン重合反応においてモノマーの変換率が高く、しかも均質なポリマーを与える、工業的に有用性が高い重合開始剤を提供することを目的とする。 - 特許庁


例文

To provide a method for producing a tetrakis(fluorinated aryl)borate ether complex having increased crystal particle diameter to improve the filtration rate in the separation of the complex from a reaction liquid.例文帳に追加

反応液から取り出す際の濾過速度を向上させることができるように結晶の粒径を大きくすることができるテトラキス(フッ化アリール)ボレート・エーテル錯体の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for producing a hydroxyalkyl ester by reaction between a carboxylic acid and an alkylene oxide in the presence of a catalyst with sufficient conversion rate and selectivity.例文帳に追加

触媒の存在下でカルボン酸とアルキレンオキシドを反応させてヒドロキシアルキルエステルを製造するプロセスにおいて、反応の転化率や選択率を十分に高める方法を提供する。 - 特許庁

A gas flow rate of the combustion gas supplied to the burner 7 or the glass raw material gas is controlled based on an atmospheric temperature in a reaction vessel 1 or an exhaust gas temperature in an exhaust pipe 15.例文帳に追加

反応容器1内の雰囲気温度又は排気管15内の排気温度に基づいて、バーナ7へ供給する燃焼用ガス又はガラス原料用ガスのガス流量を制御する。 - 特許庁

To provide a supercritical fluid plasma generating device and a supercritical fluid plasma generating method capable of generating high energy plasma in a supercritical fluid and attaining a high reaction rate.例文帳に追加

超臨界流体に高エネルギーのプラズマを発生でき、高い反応速度が実現できる超臨界流体プラズマ発生装置および超臨界流体プラズマ発生方法を提供すること。 - 特許庁

例文

To provide a method of manufacturing a battery in which battery characteristics can be improved in a simple manufacturing process by controlling reaction rate when lithium is made to be stored in the negative electrode.例文帳に追加

負極にリチウムを吸蔵させる際の反応速度を制御することにより、簡単な製造工程で電池特性を向上させることができる電池の製造方法を提供する - 特許庁

例文

To provide a method for saccharifying and separating a vegetable fiber material in a high reaction rate and in a high contact chance of a cluster acid catalyst with cellulose and hemicellulose contained in the vegetable fiber material.例文帳に追加

クラスター酸触媒と植物系繊維材料に含まれるセルロースやヘミセルロースとの接触機会が高く、植物系繊維材料の反応率の高い糖化分離方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for saccharifying and separating a vegetable fiber material in a high reaction rate and in a high contact chance of a cluster acid catalyst with cellulose and hemicellulose contained in the vegetable fiber material.例文帳に追加

クラスター酸触媒と植物系繊維材料に含まれるセルロースやヘミセルロースとの接触機会が高く、植物系繊維材料の反応率の高い糖化分離方法の提供。 - 特許庁

To provide an organism light measuring apparatus capable of obtaining information of not only a concentration change of a substance in the organism but also a change rate, a change amount and reaction time which are important for measuring and diagnosing the function of the organism as quantitative data.例文帳に追加

生体内物質の濃度変化のみならず、生体機能計測や診断に重要な変化率や変化量、反応時間等の情報を定量データとして得ることができる生体光計測装置を提供する。 - 特許庁

High-frequency power of 13.56 MHz and high-frequency power of 350 kHz is supplied to an electrode of a shower head 52 placed in the reaction chamber 51, where the flow rate ratio of the oxygen to TEOS is 3 or larger and smaller than 10.例文帳に追加

反応室51内に配置されたシャワーヘッド52の電極には、13.56MHzの高周波電力および350kHzの高周波電力を供給し、酸素とTEOSとの流量比を、3以上、10未満とする。 - 特許庁

The rate of the progression of the decomposition reaction is controlled by monitoring the change in the harmful chlorine compound concentration of a solution containing the harmful chlorine compound in treatment of a photodecomposition process step (S3) and a catalyst decomposition process step (S4).例文帳に追加

光分解工程(S3)および触媒分解工程(S4)の処理に際して、有害塩素化合物を含有する溶液の有害塩化合物濃度の変化をモニタすることにより分解反応の進行速度を制御する。 - 特許庁

To provide an agent for controlling the formation of a gas hydrate by the action to inhibit the formation of gas hydrate and the action to stabilize the gas hydrate from the viewpoint of equilibrium and reaction rate and provide a method for controlling the formation of a gas hydrate.例文帳に追加

ガスハイドレートの生成を阻害する働きと、ガスハイドレートを平衡論的および速度論的に安定化させる働きを併せ持つガスハイドレートの生成制御剤、およびガスハイドレートの生成制御方法を提供する。 - 特許庁

To provide a polymerization system and a method smoothly and properly performing polymerization reaction by controlling, when oxygen dissolved in a polymerization solution is substituted with an inert gas, the blowing-in flow rate of an inert gas flowed in the polymer reaction solution with the polymerization rate monitoring which polymerization varies in the polymerization solution.例文帳に追加

ポリマー重合溶液に溶存している酸素を不活性ガスで置換するに際して、ポリマー重合溶液中で変化するポリマーの重合率をモニタしつつ、ポリマー反応溶液に吹き込まれる不活性ガスの吹き込み流量を制御し、ポリマー重合反応を円滑に且つ適正に行うことが可能なポリマー重合装置及びポリマー重合方法を提供する。 - 特許庁

When the chlorination reaction of a vinyl chloride resin is carried out in an aqueous suspension, hydrogen peroxide is continuously or intermittently added to the vinyl chloride resin at an addition rate of 5 to 30 ppm/Hr, as the reaction temperature is kept 60 to 100°C and the partial pressure of chlorine is held at 0.2 to 1 MPa in the reaction vessel.例文帳に追加

塩化ビニル系樹脂を水懸濁状態で塩素化反応を行うにあたり、塩化ビニル系樹脂に対して過酸化水素を5〜30ppm/Hrの添加速度で連続的にまたは断続的に添加し、60〜100℃の温度で、反応器内の塩素分圧を0.2〜1MPaとして塩素化反応を行うことを特徴とする塩素化塩化ビニル系樹脂の製造方法。 - 特許庁

To provide a vapor phase growth device for a gallium nitride compound semiconductor, wherein a flow rate of GaCl gas can be increased by prolonging a reaction time with a Ga melt even when a flow rate of HCl gas is increased, and to provide a vapor phase growth method for a gallium nitride compound semiconductor.例文帳に追加

HClガスの流量を増やしても、Ga融液との反応時間を長くしてGaClガスの流量を増加させることができる窒化ガリウム系化合物半導体の気相成長装置及び窒化ガリウム系化合物半導体の気相成長方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a resin composition and a method for producing the same, wherein two or more monomer compositions are copolymerized to synthesize the resin composition in which a monomer having a higher rate of reaction is not unevenly distributed, so that a resin obtained in reaction has little variation in properties.例文帳に追加

2種類以上の単量体組成物を共重合させ、反応速度が速い単量体が偏在していない樹脂組成物を合成することで反応時において得られる樹脂の特性バラツキが少ない樹脂組成物とその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a liquid feeding device for liquid chromatography with two or more kinds of reaction reagents being added, the device enabling the reaction reagents to be easily mixed; allowing accurate liquid feeding on low flow rate region; and enabling a detector to obtain stabilized baseline.例文帳に追加

2種類以上の反応試薬を添加する液体クロマトグラフィにおいて、前記反応試薬の混合が容易であり、低流速域における正確な送液が可能であり、かつ検出器において安定したベースラインが得られる送液装置を提供すること。 - 特許庁

A rate of change of a spring load of both valve springs is set so as to become a nonlinear characteristic such as spring reaction to the rocking cam becomes large as a valve opening quantity of the engine valve increases when controlling a high valve lifting amount of the engine valve.例文帳に追加

前記両バルブスプリングのばね荷重の変化率を、機関弁の高バルブリフト量制御時において、前記揺動カムに対するばね反力が機関弁の開弁量が増大するに連れて大きくなるような非線形特性となるように設定した。 - 特許庁

To provide a liquid phase growth method which makes it possible to obtain a high growth rate, is uniform in the distribution of growth rates within and between substrates in spite of feeding many sheets of the substrates to one batch and easily lessens the reaction and contamination of a melt in spite of upsizing of the equipment, and an equipment therefor.例文帳に追加

高い成長速度が得られ、1バッチに多数枚の基板を投入しても、基板内や基板間の成長速度の分布が均一で、装置を大型化しても、メルトの反応や汚染を低減しやすい液相成長方法、および、装置を提供する。 - 特許庁

The carbonization and dry distillation of the waste are achied by using means for: forming layers of the waste which are vertically stacked with a height greater than ≥2 times the diameter of a furnace; forming layers for the dry distillation process of drying - decomposition - carbonization; and stirring the inside of the furnace with a built-in heating stirrer to increase the rate of reaction.例文帳に追加

廃棄物の炭化乾留を高い縦型で、炉の径に対して2倍以上の廃棄物の積層を作り、炉内に乾燥−−分解−−炭化の乾留工程の層を作り、この反応速度を上げるために炉内の攪拌に加熱攪拌機を内臓する手段を取る。 - 特許庁

Vinyl alcohol, which is produced as a by-product in the reaction of a polycarbonate polyol and a vinyl acrylate compound in the presence of a catalyst having transesterification capabilities, is isomerized at once into a keto-carbonyl compound, whereby an alcohol is removed from the reaction system and by-products are suppressed to attain a high rate of conversion to acrylates.例文帳に追加

ポリカーボネートポリオールと、アクリル酸ビニル化合物とを、エステル交換能を有する触媒の存在下で反応させることにより、副生物として生成するビニルアルコールは、即座にケト型であるカルボニル化合物へと異性化し、反応系からアルコールは除去され、副反応は抑制され、アクリレートへの高い変換率が達成される。 - 特許庁

Since the thin film is deposited through thermal decomposition caused by the reaction of alcohol vapor and a precursor, the deposition rate is high and a high deposition rate can also be attained even when a β-diketone based organic metal compound is used as the precursor.例文帳に追加

また、アルコールの蒸気と前駆体との化学反応による熱分解で薄膜が蒸着されるために蒸着速度が速く、特にβ−ジケトン系の有機金属化合物を前駆体として使用する場合にも速い蒸着速度を得ることができる。 - 特許庁

The valve control device 38 controls the variable conductance valve 33 so that the pressure between the flow rate limiter 36 and the variable conductance valve 33 is fixed and controls the variable conductance valve 32 so that reaction gas of a preset flow rate is allowed to flow into the piping.例文帳に追加

バルブ制御装置38は、流量制限器36と可変コンダクタンスバルブ33間の圧力が一定となるように、可変コンダクタンスバルブ33を制御し、配管に予め設定した流量の反応ガスが流れるように可変コンダクタンスバルブ32を制御する。 - 特許庁

To provide a device for preventing the adhesion of reaction side products to the inside of piping which prevents the adhesion and deposition of the reaction side products to the insider of the piping for connecting a vacuum chamber and a vacuum pump for evacuating this vacuum chamber to each other and does not degrade the working rate of a semiconductor manufacturing apparatus by periodic maintenance.例文帳に追加

真空チャンバーと該真空チャンバーを排気する真空ポンプの間を接続する配管内に反応副生成物が付着堆積することなく、定期的メンテナンスによる半導体製造装置の稼動率を低下させることのない反応副生成物の配管内付着防止装置及び付着防止方法を提供すること。 - 特許庁

A maximum reaction rate value in the decomposition reaction of a substance to be treated by bacteria is used as a parameter in a state of having a predetermined functional relation between the above maximum reaction value and the quantity of the substance to be treated loading on one bacterium cell per unit time or the quantity of the substance to be treated, treated by one bacterium cell per unit time in a biological treatment process.例文帳に追加

細菌による処理対象物質の分解反応における最大反応速度の値と、生物処理工程において細菌1個あたりに単位時間に負荷される前記処理対象物質の量または細菌1個あたりに単位時間に処理された前記処理対象物質の量との間に所定の関数関係を有する状態でパラメータに用いることで課題を解決する。 - 特許庁

When a trimethylene glycol ester of an bifunctional aromatic carboxylic acid and/or its low polymerizate or tetramethylene glycol ester of the carboxylic acid and/or its low polymerizate is subjected to a polycondensation reaction in the presence of a catalyst to produce a polyester, a reaction product obtained from previous reaction between a specific titanium compound and a phosphorus compound is used as this catalyst at the molar rate of (1/1)-(3/1).例文帳に追加

二官能性芳香族カルボン酸のトリメチレングリコールエステルおよび/もしくはその低重合体またはテトラメチレングリコールエステルおよび/もしくはその低重合体を、触媒の存在下重縮合反応させてポリエステルを製造するに際し、該触媒として特定のチタン化合物とリン化合物とをモル比で(1/1)〜(3/1)の割合で予め反応させて得られる反応生成物を使用する。 - 特許庁

To provide a method and device for cleaning pollutant which more accelerates the microorganism decomposition reaction rate, secures repeatability of the microorganism reaction upon cleaning pollutant containing chlorinated organic compounds by the microorganism decomposition reaction, and is more effective for decomposing the compound in the pollutant to not higher than the environmental reference value.例文帳に追加

塩素系有機化合物を含有する汚染物を微生物分解反応によって浄化するにあたり、微生物分解反応速度をより高速化すると共に微生物反応の再現性を確保し、汚染物中の前記化合物を環境基準値以下に分解するのにより有効な浄化方法及び浄化装置を提供する。 - 特許庁

To prevent the lowering of productivity and an yield by controlling the temperature increase of a housing with the enlargement and cost increase of a DVD production apparatus prevented, preventing the turbulence of the falling orbit of a cationic ultraviolet curable composition and the change in the reaction rate of the composition, and minimizing the generation of a defective product.例文帳に追加

DVD製造装置の大型化、高コスト化を回避しつつ筐体内部の温度上昇を抑制してカチオン型紫外線硬化性組成物の落下軌道の乱れや反応速度の変化を防止し、不良品の発生を極力抑えて生産性や歩留まりの低下を防止する。 - 特許庁

At dry etching of a silicon nitride film deposited on copper using a mixture gas containing a fluorocarbon based gas and an inert gas as a reaction gas, the fluorocarbon based gas contains CF4 and CHF3 at a flow rate ratio of 3:7 to 0:1 or CF4 and CH2F2 at a flow rate ratio of 2.5:1 to 0:1.例文帳に追加

銅の上に配されたシリコン窒化膜をフルオロカーボン系ガス及び不活性ガスとを含む混合ガスを反応ガスとしてドライエッチングするに際し、フルオロカーボン系ガスがCF_4とCHF_3とを3:7〜0:1の流量比、或いはCF_4とCH_2F_2とを2.5:1〜0:1の流量比で含むことを特徴とする。 - 特許庁

The control part 60 forecasts a target flow rate arrival timing for outflow of a desired amount of reaction gas from the injector 25 based on a measurement value of the downstream pressure measurement part 24d that increased with hydrogen injection from the injector 25 and opens the injector 25 according to the target flow rate arrival timing.例文帳に追加

制御部60は、インジェクタ25からの水素の噴射に伴って増大した下流側圧力計測部24dの計測値に基づいて、インジェクタ25から所望の量の反応ガスが流出する目標流量到達タイミングを予測し、その目標流量到達タイミングでインジェクタ25を開弁する。 - 特許庁

A frame-like surrounding wall member 56 is disposed on a holder 49 so as to surround an electrically connecting section 57 of a terminal 48 and the flow rate detecting element 51, and the bottom surface 56a of the surrounding wall member 56 is bonded and fixed to the holder 49 and the flow rate detecting element 51 by silicone adhesive 60 of a heating additive reaction type.例文帳に追加

枠状の周壁部材56がターミナル48と流量検出素子51との電気的接続部57を取り囲むようにホルダ49に配置され、周壁部材56の底面56aが加熱付加反応型のシリコーン接着剤60によりホルダ49および流量検出素子51に接着固定されている。 - 特許庁

The circulating line 21 detects flow rate by a flow rate sensor F3 and temperature by a temperature sensor T2 and depending on the detected data, the temperature of the circulating high-boiling fraction is controlled by a temperature controlling unit 6 through a controlling unit 8 to suppress fluctuation of the temperature and pressure of the reaction system.例文帳に追加

循環ライン21では、流量を流量センサF3で検出するとともに温度を温度センサT2で検出し、検出されたデータに基づいて、制御ユニット8を利用して、温度調整ユニット6により循環する高沸点成分の温度をコントロールし、前記反応系の温度及び圧力変動を抑制する。 - 特許庁

A reaction condition or an exclusion condition is modified by monitoring reactive gas or exhaust gas during the cleaning of the chamber to detect a completed point of cleaning and performing the feedback of the point to a flow rate control device or an exclusion device.例文帳に追加

チャンバーのクリーニング時に反応ガスもしくは排気ガスをモニタしてクリーニングの終点を検出し、流量制御装置もしくは除害装置にフィードバックすることにより、反応条件もしくは除害条件の変更を行う。 - 特許庁

To provide a clathrate complex suppressing curing reaction at low temperatures to improve storage stability (one-component stability) and effectively curing resins by heating, and to provide an epoxy resin composition improving storage stability of a sealing material, keeping fluidity of the sealing material in sealing and achieving an efficient curing rate of the sealing material by heating.例文帳に追加

低温での硬化反応を抑制して、貯蔵安定性(1液安定性)の向上を図るとともに、加熱処理を施すことにより、効果的に樹脂を硬化させることができる包接錯体を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for producing an organic oxide that achieves a good formation rate of the organic oxide particularly in the latter half of the reaction and a good yield in the production of the organic oxide and is simple and highly efficient.例文帳に追加

有機酸化物を製造するに際し、特に反応後半における有機酸化物の生成速度を良好なものとし、収率を良好なものとし、簡便でかつ高効率な有機酸化物の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for producing polycrystalline silicon in which the bond strength of a silicon core wire to a core wire holder is made sufficient in a short period of time, so that a growth rate control period in the initial stage of reaction can be shortened.例文帳に追加

短時間でシリコン芯線と芯線ホルダの接合強度を十分なものとし、その結果、反応初期の成長速度抑制期間を短縮することを可能とする多結晶シリコンの製造手法を提供すること。 - 特許庁

To provide a gasification technique for converting waste plastic into combustible gas, in which a stable reaction is kept by making slight changes of the flow rate and calorific value of the gas generated from a furnace and the gasification efficiency of waste plastic is improved.例文帳に追加

廃プラスチックを可燃性ガスに転換するガス化技術において、炉内からの発生ガスの流量変化、ガス発熱量変化等を小さくして、安定した反応を得ることと、廃プラスチックのガス化効率を向上させること。 - 特許庁

To provide a manufacturing process of polybutylene terephthalate, which is improved to be manufactured constantly by stabilizing the inversion rate and also stabilizing the amount of foreign materials commingled in polybutylene terephthalate at the time of an esterification or transesterification reaction.例文帳に追加

エステル化またはエステル交換化反応時の転化率の安定化およびポリブチレンテレフタレート中に混入する異物量の安定化を図り、安定した生産が出来る様に改良されたポリブチレンテレフタレートの製造方法を提供する。 - 特許庁

The generation amounts of hydrogen and oxygen can be controlled to be H_2:O_2=2:1 by positively utilizing the excess and deficiency of circulation substances, generated in a reaction device system, and mainly using the flow rate and the level of liquid which are easily treated as a chemical process.例文帳に追加

反応装置系内に生じる循環物質の過不足を積極的に利用し、化学プロセスとして扱いが容易な流量、液位を主として用いて水素と酸索の発生量をH_2:O_2=2:1に制御可能にした。 - 特許庁

To provide a method for forming a deposition film, which can form a reaction film in a satisfactory bottom-coverage rate even on a substrate with a groove of a high aspect ratio and a hole and even on a substrate with a low heat-resistance such as a resin substrate, regardless of material of the substrate.例文帳に追加

アスペクト比の高い溝、及びホールを有する基板に基板の材質を問わず、例えば樹脂基板のような耐熱性の低い基板にボトムカバレッジ率よく反応膜を成膜できる堆積膜形成法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for demineralizing recovered water which reduces the effect of PSS eluted from a cation exchange resin, prevents a reduction in reaction rate of an anion exchange resin and can maintain a good quality of treated water for a long time; and also to provide an apparatus.例文帳に追加

カチオン交換樹脂から溶出するPSSの影響を軽減し、アニオン交換樹脂の反応速度低下を防止し、良好な処理水水質を長期間維持できる復水脱塩方法及び装置を提供する。 - 特許庁

To provide a hydrogen storage material consisting essentially of Mg which has a high reaction rate and reduced hysteresis while making the most of high hydrogen storage capacity and excellent plateau flatness in a PCT (Pressure-Composition-Temperature) chart characteristic of Mg metal.例文帳に追加

Mg金属の特徴である高い水素貯蔵能力と、PCT線図における優れたプラトー平坦性とを活かしながら、反応速度が速く、ヒステリシスが小さい、Mgを主成分とする水素貯蔵材料を提供する。 - 特許庁

The total amount of the monomers contained in the solution Sm is 0.1 to 10 mass% of the feeding amount of the total monomers, and the solution Sm does not contain the monomer having the slowest reaction rate among the monomers α_1 to α_n.例文帳に追加

溶液Smに含まれる単量体の合計量が全単量体供給量の0.1〜10質量%であり、溶液Smは、単量体α_1〜α_nのうち、最も共重合反応速度が遅い単量体を含まない。 - 特許庁

There is provided a neutralizer with a low unreactive rate, in neutralizers used for the neutralization reaction by introducing an acidic gas into a finely-divided powder of an alkaline calcium compound, which contains 50 wt.% or more of the compound with a particle size of 1-10 μm.例文帳に追加

アルカリ性のカルシウム化合物を微粉砕し、粒径が1〜10μmのものを50wt%以上含むものに酸性ガスを導入して中和反応に用いる中和剤において、未反応率が低い中和剤を提供できた。 - 特許庁

To provide a method for producing an unsaturated carboxylic acid ester by performing a reaction of an unsaturated aldehyde with an alcohol in the presence of oxygen, stably maintaining a high unsaturated carboxylic acid ester production rate and a high unsaturated aldehyde conversion rate, and eliminating a risk of the damage of a reactor or the ignition of a catalyst.例文帳に追加

本発明は、酸素の存在下で不飽和アルデヒドとアルコールを反応させて不飽和カルボン酸エステルを製造する方法に関し、高い不飽和カルボン酸エステル生産速度と高い不飽和アルデヒド転化率を安定して維持し、反応器の損傷や触媒の発火の危険性を排除した不飽和カルボン酸エステルの製造方法を提供する。 - 特許庁

例文

To provide an apparatus for etching monitoring which can carry out precise monitoring of a member to be etched as to etching rate, end point of etching, or the like without affecting the etching reaction on the member to be etched; and to provide a method for etching monitoring.例文帳に追加

被エッチング部材へのエッチング反応に影響を与えず、被エッチング部材のエッチングレートやエッチングの終点を正確にモニタリングすることが可能な、エッチングモニタリング装置およびエッチングモニタリング方法を提供する。 - 特許庁




  
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