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「antireflection」に関連した英語例文の一覧と使い方(63ページ目) - Weblio英語例文検索
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antireflectionを含む例文一覧と使い方

該当件数 : 3570



例文

A structure having a mode field diameter conversion part (4) with an antireflection part necessary to decrease the coupling loss between a micro optical circuit (12) and a single mode optical fiber (11) is fabricated in a lump by using a technique of controlling the effective refractive index by a photonic crystal structure.例文帳に追加

フォトニック結晶構造による実効屈折率制御を用いて、微小光回路(12)とシングルモード光ファイバ(11)との結合損失を低減させるに必要な反射防止部付きモードフィールド径変換部(4)を有する構造を一括して作製する。 - 特許庁

In the method for manufacturing a polarizing film, high refractive index layers and low refractive index layers are alternately laminated to form an antireflection layer on at least one surface of a web type polarizing film composed of a polarizer protected by a protective film.例文帳に追加

偏光子を保護フィルムにて保護した構成のウェブ状偏光フィルムの少なくとも片面に、高屈折率層と低屈折率層が交互に積層させた反射防止層を設けることを特徴とする偏光フィルムの製造方法を提供するものである。 - 特許庁

Furthermore, antireflection films 4 comprising of multilayered films are formed in the low-density region which is relatively high in the spectral reflectivity of the visible wavelength region of the ND film 2, for example, in the region of 0.3 or lower in density for improving the anti-reflection function.例文帳に追加

更に、ND膜2の可視波長領域の分光反射率が比較的大きく、膜厚が比較的薄い低濃度領域、例えば濃度0.3以下の領域に多層膜から成る反射防止膜4を成膜して反射防止機能を向上させる。 - 特許庁

To provide an ultraviolet-curable low-refractive index material composition which exhibits good curability even with a small quantity of irradiated light, exhibits excellent scratch resistance, coatability and durability when cured, and gives a cured film substantially transparent and excellent in color tones, and an antireflection film.例文帳に追加

低照射光量でも硬化性が良好で、硬化させたときに耐擦傷性、塗工性及び耐久性に優れ、かつ、硬化膜が実質的に透明で色調に優れた紫外線硬化型低屈折率材組成物及び反射防止膜を提供する。 - 特許庁

例文

To provide an optical film and antireflection film including an antistatic layer that has high film strength, high hard coat property, high transparency, high antistatic property, high heat resistance, high moist heat resistance, and high light resistance, to provide a polarizing plate using this, and to provide an image display device.例文帳に追加

膜強度が強く、ハードコート性、透明性、帯電防止性に優れ、かつ耐熱性、耐湿熱性、耐光性に優れた帯電防止層を備えた光学フィルム及び反射防止フィルム、これを用いた偏光板、並びに画像表示装置を提供すること。 - 特許庁


例文

The conductive optical element having an antireflection function includes: a base having a surface; a structure composed of a plurality of projections or recesses arranged on the surface of the base at a fine pitch that is not more than the wavelength of visible light; and a transparent conductive film formed on the structure.例文帳に追加

反射防止機能を有する導電性光学素子は、表面を有する基体と、基体の表面に可視光の波長以下の微細ピッチで多数配置された、凸部または凹部からなる構造体と、構造体上に形成された透明導電膜とを備える。 - 特許庁

The antireflection film 11 has a non-periodical sponge-like microstructure with a complicated structure of a substance and vacancies formed on the surface of optical parts or optical element 12, and the non-periodical sponge-like microstructure is formed from the residue of plasma processing containing metal compounds.例文帳に追加

反射防止膜11は、光学部品ないし光学素子12の表面に形成された物質と空隙の錯綜した非周期的な海綿状微細構造を有し、非周期的海綿状微細構造が金属化合物を含むプラズマ加工残渣物から形成されている。 - 特許庁

Moreover, the element has a first electrode (64) formed of silicide, electrically connected to the first conductivity-type semiconductor substrate or the semiconductor layer, covered by an upper film (59), constituting the antireflection film (57), and formed along the surface of the isolation region (55).例文帳に追加

さらに、第1導電型の半導体基板または半導体層に電気的に接続され、反射防止膜(57)を構成する上層膜(59)で被覆されて分離領域(55)の表面に沿って形成されたシリサイドによる第1電極(64)を有する。 - 特許庁

To provide a polyorganosiloxane superior in keeping quality, a curable composition having excellent curability, heat resistance and scratch resistance and capable of forming a cured product such as a coating film easily controlled to a desired refraction index, and an antireflection film with a low degree of reflection.例文帳に追加

保存性に優れるポリオルガノシロキサン、及び、硬化性に優れ、耐熱性及び耐擦傷性に優れ、所望の屈折率に容易に制御された皮膜等の硬化物を形成する硬化性組成物、並びに低反射率を有する反射防止膜を提供する。 - 特許庁

例文

To provide a film having significantly decreased cracks, improved curling, and little decrease in conductivity in a conductive film or an antireflection film having a metal oxide nitride layer deposited on a polyester film as an optical film to be used for various kinds of display devices.例文帳に追加

各種表示装置に用いられる光学フィルムとしてのポリエステルフィルム上に金属酸窒化物層を設けた導電性フィルム、反射防止フィルムにおいて、クラックが著しく低減され、カールも改善され、導電性の低下も少ないフィルムを提供すること。 - 特許庁

例文

To inexpensively provide a low refractive index organic film which can be used as an optical material such as an antireflection film, an optical waveguide or the like that does not generate a fluorescence to become a noise with a low refractive index and a low absorption loss in a specific wavelength range.例文帳に追加

特定の波長領域において低屈折率でかつ低吸収ロスであり、しかもノイズとなる蛍光を発しない、反射防止膜や光導波路等の光学材料として利用することのできる低屈折率有機薄膜を、安価に提供する。 - 特許庁

The antireflection film bas a low refractive index layer 1 having a refractive index of 1.30-1.55, containing 50-95 mass % short fiber-shaped inorganic fine particles 11 and 5-50 mass % polymer 12 and having microvoids 13 formed among the inorganic fiber particles.例文帳に追加

短繊維状無機微粒子(11)を50〜95質量%、およびポリマー(12)を5〜50質量%含み、該短繊維状無機微粒子間に微細な空隙(13)が形成されている屈折率が1.30〜1.55の低屈折率層(1)を有する反射防止膜。 - 特許庁

To provide an optical element and a method for manufacturing the element by which manufacturing failure such as cracks and peeling in an optical film such as an antireflection film can be effectively suppressed and optical performance, quality of appearance and production yield can be improved.例文帳に追加

反射防止膜等の光学膜にクラックや剥離等の製造不良が生じることを有効に抑制することができ、ひいては、光学性能、外観品位および歩留まりを向上させることができる光学素子およびその製造方法を提供すること。 - 特許庁

Thus, with no severe etching condition as even an antireflection film of inorganic compound is removed employed, a contact point for transferring a charge photoelectric-converted by a light receiving part formed on the surface of a semiconductor substrate 1 to the outside is assured.例文帳に追加

このようにして、無機化合物である反射防止膜までをも除去するような厳しいエッチング条件を採用することなく、半導体基板1の表面に形成された受光部により光電変換された電荷を外部へと伝達するための接点が確保される。 - 特許庁

To provide a positive type photoresist composition less liable to cause development defects in the production of a semiconductor device, excellent in adhesion on an inorganic antireflection film and excellent also in exposure margin (in particular, exposure margin in the case of isolated lines), sensitivity change with age, etc.例文帳に追加

半導体デバイスの製造において、現像欠陥の発生が少なく、無機反射防止膜上での密着性に優れ、更には、露光マージン(特に孤立ラインの露光マージン)、経時感度変動等にも優れたポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。 - 特許庁

To obtain a layer system which uses well-known advantages (namely, high corrosion resistance and aging resistance) of the layer system containing an upper antireflection layer containing metal nitrides, which contains the aforementioned coating layer, and which has further improved properties concerning to mechanical and chemical durability.例文帳に追加

金属窒化物を含む上位反射防止層を含む層システムの公知利点(即ち高い耐蝕及び耐老化性)を利用し、このコーティング層を含み、特に機械的及び化学的耐性に関して更に改善された性質をもつ層システムを開発する。 - 特許庁

The reflection of the laser light L from the reflection face 33a and the nozzle forming face 31a is controlled by counteractively intervening the reflection light L1 from the reflection face 33a of the antireflection film 33 and the reflection light L2 from the nozzle forming face 31a.例文帳に追加

そして、反射防止膜33の反射面33aからの反射光L1とノズル形成面31aからの反射光L2を相殺的に干渉させて、反射面33aやノズル形成面31aからのレーザ光Lの反射を抑制するようにした。 - 特許庁

To provide an antiglare antireflection film excellent particularly in mechanical durability and suitable for a display where pen input resistance is required, such as a touch panel, as regards an optical functional film for use on surfaces of various kinds of displays such as LCD and CRT.例文帳に追加

本発明は、LCD、CRT等の各種ディスプレイの表面に用いられる光学機能フィルムに関し、特に機械的耐久性に優れ、タッチパネル等のペン入力耐性が要求されるディスプレイに好適な防眩性反射防止フィルムの提供を目的とする。 - 特許庁

To provide a back-illuminated CMOS solid-state image sensor, which increases antireflection efficiency to allow improvement in sensitivity, while reducing shading and mixing of colors in neighboring pixels, and also to provide a camera module and an electronic equipment module with the solid-state image sensor.例文帳に追加

反射防止効率を向上してより感度向上を可能にし、シェーディング、隣接画素への光学的な混色を低減した、裏面照射型のCMOS固体撮像素子、及びこの固体撮像素子を備えたカメラモジュール、電子機器モジュールを提供する。 - 特許庁

To provide an absorption type multi-layer film ND filter, excellent in environmental resistance, having a fluorine resin film layer as an antireflection film, less reflective and hardly adhering contaminations, and capable of adhering an ND filter chip obtained by processing to another base by using an adhesive.例文帳に追加

耐環境性に優れ、反射防止膜として低反射で汚れの付着し難いフッ素系樹脂膜層を有し、且つ加工して得られたNDフィルターチップを他の基材に接着剤によって接着することが可能な吸収型多層膜NDフィルターを提供する。 - 特許庁

The method of producing an antireflection layer includes a step for coating at least one side of a resin substrate with dispersion liquid containing fine particles having peroxidized surfaces, and a step for making the fine particles adhere to the surface of the substrate by external stimulation treatment.例文帳に追加

樹脂基材の少なくとも片面に、表面が過酸化された微粒子を含む分散液を塗布する工程と、外部刺激処理によって前記微粒子を固着させる工程とを少なくとも含むことを特徴とする反射防止層の製造方法。 - 特許庁

The antireflection region 30 adopts silicon as a first material and air as a second material and has a two-dimensional periodic structure in which prismatic bodies 31 comprising silicon as the first material and having a horizontal section shape of a regular triangle are periodically arranged.例文帳に追加

そしてこの反射防止領域30は、第1の物質としてシリコン、第2の物質として空気を採用し、第1の物質であるシリコンからなる平断面形状が正三角形状の柱状体31を周期的に配列した2次元の周期構造を有する。 - 特許庁

To provide a laminated polyester film for transferring reflection prevention suitable as a base film used for a transferring antireflection film provided on a display screen such as LCD, PDP, and an organic EL, the polyester film having a release layer having a small precipitation amount of oligomer due to heating.例文帳に追加

加熱によるオリゴマーの析出量が少ない離型層を有し、LCD、PDP、有機EL等の表示画面上に設けられる転写用反射防止フィルムに用いられるベースフィルムとして好適な転写性反射防止用積層ポリエステルフィルムを提供する。 - 特許庁

To provide a method for forming an electrode pattern required for obtaining a device having good characteristics and quality through a simple process while forming an antireflection film for preventing diffuse reflection of UV-rays on a transparent substrate in a process for forming an electrode pattern thereon.例文帳に追加

透明基板に電極パターンを形成する工程において、透明基板の紫外光の乱反射を防ぐ反射防止膜を形成しつつ、簡易な工程で、良好な特性および品質の部品を得る電極パターンの形成方法を提供する。 - 特許庁

The porous glass 1 includes a porous layer 2 which is mainly composed of silica and which has pores attributed to spinodal phase separation and pores attributed to binodal phase separation, which is industrially utilized as an optical material having various optical functions such as antireflection.例文帳に追加

シリカを主成分とし、スピノーダル型の相分離由来の孔およびバイノーダル型の相分離由来の孔が形成された多孔質層2を有する反射防止など様々な光学機能を有する光学材料として工業的利用される多孔質ガラス1。 - 特許庁

The antireflection multilayer film laminating a high refractive index material film and a low refractive index material film is provided by interposing a mixing film of the high refractive index material film and the low refractive index material.例文帳に追加

高屈折率材料膜と低屈折率材料膜を積層してなる反射防止多層膜において、高屈折率材料膜と低屈折率材料膜の間に高屈折率材料と低屈折率材料の混合膜を設けた反射防止多層膜である。 - 特許庁

In the exposure apparatus to transfer a circuit pattern formed on a reticle onto a substrate such as a wafer, an antireflection film is applied to the effective region for the exposure rays on the opposite face of the reticle to the face where at least a reticle device pattern is formed.例文帳に追加

レチクル上に形成された回路パターンをウエハなどの基板上に転写する露光装置において、少なくともレチクルデバイスパターンが形成してある面の反対側の面の露光光線有効領域に反射防止膜を施したことを特徴とする露光方法。 - 特許庁

The film thickness of the photoelectric converting region 2 on the transparent electrode 1 is formed smaller than the film thickness in parts other than the photoelectric converting region 2, and an antireflection film 8 consisting of a silicon nitride film, etc., is formed above the photoelectric converging region 2.例文帳に追加

そして、透明電極1表面の光電変換領域2の部分の膜厚がそれ以外の部分の膜厚よりも薄く形成されているとともに、光電変換領域2の上方にシリコン窒化膜等からなる反射防止膜8が形成されている。 - 特許庁

To provide a laminated polyester film for an antireflection film which enhances the brightness place contrast when arranged on the uppermost surface of an electronic display such as a plasma display or the like and having sufficient heat resistance even in the case mounted on a filter type optical filter.例文帳に追加

プラズマディスプレイなどの電子ディスプレイの最表面に配置されたときにディスプレイの明所コントラストを向上させ、かつフィルムタイプの光学フィルターに搭載された場合においても十分な耐熱性を有する反射防止フィルム用積層ポリエステルフィルムを提供する。 - 特許庁

To provide a coating material for forming a transparent coating film, the material which can be used for forming a transparent coating film having two or more kinds of functions, for example, an antireflection performance, hard-coat function, antistatic performance and antiglare property, by applying once a single coating material.例文帳に追加

1種の塗料を一回塗布することによって少なくとも2種以上の機能、例えば反射防止性能、ハードコート機能、帯電防止性能、防眩性等を有する透明被膜の形成に用いることのできる透明被膜形成塗料を提供する。 - 特許庁

To provide a low-cost electrically conductive antireflection laminate consisting essentially of a substrate, a visible light absorbing film and a low refractive index film and capable of preventing the oxidation of the visible light absorbing film without disposing an oxidation preventing film.例文帳に追加

本発明は、可視光吸収膜の酸化防止を可能とした、酸化防止膜を設ける必要のない、基材/可視光吸収膜/低屈折率膜の構成を基本とする低コストの導電性反射防止積層体を提供することを目的とするものである。 - 特許庁

To provide a transparent pressure-sensitive adhesive functional film which includes a functional layer for exerting scratch resistance and/or antireflection function and a pressure-sensitive adhesive layer for fixing by laminating to the adherend and in which interference fringes hardly occur and corrosion resistance is excellent.例文帳に追加

耐擦傷性及び/又は反射防止性の機能を発揮させるための機能層と、被着体に貼り付けて固定するための粘着剤層とを有し、干渉縞を生じにくく、耐腐食性にも優れた透明な粘着型機能性フィルムを提供する。 - 特許庁

To provide an optical film (e.g. a polarizing plate protection film or a phase difference film) having a low water vapor permeability and an improved dimensional stability, a phase difference film with suppressed retardation variation, a polarizing plate and an antireflection film both excellent in durability, and manufacturing processes for them.例文帳に追加

透湿度が低く、寸法安定性が改善された偏光板保護フィルム、位相差フィルム等の光学フィルム、さらに、位相差フィルムのリターデーション変動を抑制し、又、耐久性の優れた偏光板、反射防止フィルムおよびそれらの製造方法を提供する。 - 特許庁

This impact-resistant resin laminated sheet is constituted by forming hard coat layers (D) on both sides of a base sheet (C) which is made by providing an acrylic resin layer (B) on one side of a polycarbonate resin layer (A), and further by forming antireflection layers (E) over both surfaces of the hard coat layers (D).例文帳に追加

ポリカーボネート樹脂層(A)の片面にアクリル樹脂層(B)が設けられた基材シート(C)の両面にハードコート層(D)が形成され、更に該ハードコート層(D)の両面に反射防止層(E)が形成されてなることを特徴とする耐衝撃性樹脂積層板。 - 特許庁

To provide an antireflection mechanism for a photoelectronic safety device for preventing the reflection of the light emitted from a light-emitting device, having a length of a guide plate as a safety distance, and capable of preventing the reflection of the light to provide a comfortable working condition.例文帳に追加

本発明の課題は、発光素子から出射された光の反射を防止する反射防止機構に関し、ガード板の長さを安全距離とし、光の反射も防止し、作業し易い状態とする光線式安全装置の反射防止機構を提供するものである。 - 特許庁

To provide a liquid crystal display device using an optical anisotropic layer and a light diffusing layer that contribute to improvement in the contrast depending on a viewing angle and color changes depending on a viewing angle, and to provide a liquid crystal display device improved in an antireflection property, particularly, visibility in a bright room.例文帳に追加

視野角コントラスト及び視野角色味変化の改善に寄与する光学異方性層及び光拡散層を用いた液晶表示装置、更に反射防止性を高め、特に明室での視認性を向上できる液晶表示装置を提供すること。 - 特許庁

The substrate W is placed in a standby state in a hot plate HP1 in this state until the substrate temperature is decreased to at least a temperature at which the generation of the sublimate is stopped, from the antireflection film after the stoppage of firing, and thereafter, a transport robot transports the substrate W from the hot plate HP1.例文帳に追加

この状態にて焼成後の反射防止膜から昇華物の発生が停止する温度以下に基板温度が降温するまでホットプレートHP1内に基板Wを待機させてから搬送ロボットがホットプレートHP1から基板Wを搬出する。 - 特許庁

To provide an antireflection film which is provided, successively from a lower layer side, with a transparent conductive layer, a high-refractive index hard coating layer and a low-refractive index hard coating layer on a front surface of an organic film, is free of a problem of "whiteness" and can obtain high contrast.例文帳に追加

有機フィルムの表面に、下層側から透明導電層と、高屈折率ハードコート層と、低屈折率ハードコート層とを設けてなる反射防止フィルムであって、「白味」の問題がなく、高いコントラストを得ることができる反射防止フィルムを提供する。 - 特許庁

Since there is a characteristic where the interference color becomes purplish red color, as the film thickness decreases or becomes pale, as the film thickness increases, so that a sample of the interference color of the organic antireflection film 13, before burning is previously prepared, and the suitability is determined by comparison with this sample.例文帳に追加

膜厚が小さいほど干渉色は赤紫色となり、膜厚が大きいほど干渉色が青白いという特性があるので、焼成前の有機反射防止膜13の干渉色のサンプルを予め準備し、このサンプルとの比較により判定する。 - 特許庁

To provide a solid-state imaging device which allows downsizing and thinning, having an auxiliary function of an imaging lens, a filter function for cutting infrared radiation, an antireflection function, a function of protecting from dust for down-sized packaging, an infrared imaging function to take a picture of a night scene, etc.例文帳に追加

撮像レンズの補助機能、赤外線カットフィルタ機能、反射防止機能、パッケージングの小型化のためのダスト防止機能や、夜を撮影するための赤外線撮像機能などを有しながら、小型化及び薄型化を実現し得る固体撮像素子等を提供する。 - 特許庁

In the article thus manufactured, the antireflection film of a low-refractive index is formed on the surface of the article while a plurality of the amorphous fluorinated resins different in refractive index and adhesiveness are mixed in such a proportion as to be able to obtain the specified refractive index and the adhesiveness.例文帳に追加

このようにして作った物品は、屈折率と密着性について異なる複数のアモルファスフッ素樹脂が所定の屈折率と密着性を得られるような割合で混合された状態で、低屈折率の反射防止膜が表面に形成されている。 - 特許庁

The antireflection film 10 is constituted in such a manner that the surface roughness of the boundary F_2 between the high-refractive index hard coating layer 3 and the low-refractive index hard coating layer 4 is smaller than the surface roughness of the boundary F_1 between the transparent conductive layer 2 and the layer 3.例文帳に追加

透明導電層2と高屈折率ハードコート層3との界面F_1の表面粗さよりも、高屈折率ハードコート層3と低屈折率ハードコート層4との界面F_2の表面粗さを小さくすることにより「白味」を解消した反射防止フィルム10。 - 特許庁

The antireflection material 1 is made into a layered structure of a transparent substrate 2, a hard coat layer 2, a conductive layer as a medium refractive index layer containing transparent conductive ultrafine particles of a metal oxide, a low refractive index layer 5, and so on successively deposited.例文帳に追加

反射防止材1を、透明基材2、ハードコート層2、金属酸化物の透明導電性超微粒子を含有し、中屈折率層でもある導電性層4、および低屈折率層5等を順に積層した構造として課題を解決することができた。 - 特許庁

To provide novel silica-based hollow fine particles which can be appropriately used for forming a transparent coating film which improves antireflection performance enhanced in strength, scratch resistance and alkali resistance, a coating material for transparent coating film formation using the fine particles and a base material with the transparent coating film.例文帳に追加

強度、耐擦傷性、耐アルカリ性等が向上した反射防止性能に優れた透明被膜の形成に好適に用いることのできる新規シリカ系中空微粒子、該微粒子を用いた透明被膜形成用塗料および透明被膜付基材に関する。 - 特許庁

To provide a shaped structure which can develop antireflection effect and functions such as hydrophilicity, antifogging properties and self-cleaning properties only by processing of a base material surface without applying or laying a functional film or using a heating means such as a heater, and which has excellent durability.例文帳に追加

機能膜の塗布や積層、又はヒータなどの加熱手段に頼ることなく、基材表面の加工だけで、反射防止効果や、親水性、防曇性、セルフクリーニング性などの機能を発現することができ、なお且つ、耐久性に優れた成形構造体を提供する。 - 特許庁

To provide a long-sized antiglare film which realizes antiglare effect, visibility, and black sharpness in moving picture display, an antiglare antireflection film, a polarizing plate, a display device using them, and an antiglare processing method.例文帳に追加

本発明の目的は、防眩効果、視認性及び動画を表示したときの黒のしまりの両立した長尺防眩性フィルム、防眩性反射防止フィルム、偏光板及びそれらを用いた表示装置、並びに防眩加工方法を提供することにある。 - 特許庁

To provide an antireflection hard-coated film which has excellent transparency without unevenness in color even if manufactured by a solution phase method, and has the excellent adhesion of a hard-coated layer to a base material film even if metallic particulates with a high refractive index are contained in the hard-coated layer.例文帳に追加

液相法で製造する場合においても色ムラがなく透明性に優れ、またハードコート層中に高屈折率の金属微粒子を含有する場合であっても、ハードコート層と基材フィルムの密着性が優れる反射防止ハードコートフィルムを提供する。 - 特許庁

To provide a cycloolefin resin film reduced in irregularily and singly produced tailing streaks markedly occurring when long-time operation of a day or above is performed and utilizable in a polarization plate, an optical compensation film, an antireflection film, a liquid crystal display device, etc.例文帳に追加

1日以上の長時間運転を行った際に顕著に発生する、不規則に単発的に発生する尾びきスジの少ない、偏光板、光学補償フィルム、反射防止フィルム、等の液晶表示装置に差に利用できるシクロオレフィン樹脂フィルムを提供する。 - 特許庁

The composition for forming an upper antireflection film contains a polymer (A), soluble in an alkali developer and having an aromatic group, and at least one of a radiation-sensitive acid generator (B) and a compound (C) having sulfonic acid residue.例文帳に追加

本発明の上層反射防止膜形成用組成物は、アルカリ現像液に可溶であり、且つ芳香族基を有する重合体(A)と、感放射線性酸発生剤(B)及びスルホン酸残基を有する化合物(C)のうちの少なくとも一方と、を含有する。 - 特許庁

例文

This semiconductor device manufacturing method is characterized by an antireflection film whose refractive index changes in the direction of film thickness, changing the composition ratio of raw material gas on a semiconductor device by the plasma CVD technique.例文帳に追加

本発明は、プラズマCVD法により、半導体素子上に、原料ガスの組成比を変化させながら、膜厚方向で屈折率が変化する反射防止膜を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法を提供することで、上記課題を解決した。 - 特許庁




  
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