| 意味 | 例文 (999件) |
Vapor Depositionの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 5223件
The vapor deposition mask return passage 75 is provided with a plasma processing apparatus, and the plasma irradiation to the vapor deposition masks 40 in the vapor deposition mask return passage 75 removes organic matters deposited on the vapor deposition masks 40.例文帳に追加
蒸着マスク返却路７５にはプラズマ処理装置が設けられており、蒸着マスク返却路７５において蒸着マスク４０にプラズマを照射することにより、蒸着マスク４０に付着した有機物を除去する。 - 特許庁
Vapor deposition is performed while travelling the long-size substrate 6 along travelling courses R1 to R3 assuming a concave shape toward a vapor deposition source 5 in at least an area where the vapor deposition surface side faces the vapor deposition source 5.例文帳に追加
長尺状の基板６を、その蒸着面側が少なくとも蒸着源５に対向する領域において、蒸着源５に対して凹状となる走行経路Ｒ１〜Ｒ３に沿って走行させながら蒸着を行う。 - 特許庁
To provide an apparatus capable of increasing the use frequency of a vapor deposition mask and improving the reuse efficiency of a vapor deposition agent by efficiently cleaning the vapor deposition mask for an organic EL element and efficiently recovering the vapor deposition agent.例文帳に追加
有機ＥＬ素子の蒸着マスクを低ダメージで効率よく洗浄し、蒸着剤を効率よく回収することで、蒸着マスクの利用回数を上げ、蒸着剤の再利用効率を上げることができる装置を実現する。 - 特許庁
A cassette comprising a pair of a substrate and a vapor deposition source is set in a vacuum chamber in which vapor deposition power source electrodes are arranged, vapor deposition of necessary layers is conducted, and after completion of vapor deposition, the pair of cassette is taken out of the vacuum chamber.例文帳に追加
基板と蒸着源を１対としたカセットを蒸着電源電極が設置された真空チャンバーにセットし、必要な層の成膜を行い、成膜終了後に前記１対のカセットを真空チャンバーから取り出すこと。 - 特許庁
To provide a vapor deposition apparatus and a vapor deposition method, capable of reducing the amount of a vapor deposition material to be deposited on other parts than a substrate to be treated, and easily collecting and recycling the vapor deposition material deposited on other parts than the substrate.例文帳に追加
被処理基板以外に堆積する蒸着材料を減らすとともに、被処理基板以外に堆積した蒸着材料を容易に回収、再利用することのできる蒸着装置および蒸着方法を提供すること。 - 特許庁
This cleaning device for vapor deposition mask is of such a constitution that the vapor deposition mask 2 includes a first surface and a second face, a vapor depositing agent being applied to the first surface, and the circumferential side of the first surface of the vapor deposition mask 2 is fitted to a frame part 3 whose thickness is larger than the vapor deposition mask 2.例文帳に追加
蒸着マスク２は第１の面と第２の面を有し、前記第１の面には蒸着剤が付着しており、前記蒸着マスクの第１の面の周辺が前記蒸着マスクよりも厚さの大きい枠部３に取り付けられている。 - 特許庁
To provide a vapor depositing material capable of obtaining a vapor deposition film in which the composition in the initial stage of the vapor deposition is enriched in aluminum, and the composition in the last stage is enriched in a metallic material having vapor pressure lower than that of aluminum by single vapor deposition operation.例文帳に追加
１回の蒸着作業で蒸着初期の組成はアルミニウムがリッチであり、蒸着終期の組成はアルミニウムより蒸気圧の低い金属材料がリッチである蒸着膜が得られる蒸着材を提供する。 - 特許庁
Thereby, even when the distribution density changes, discrepancy between the deposition amount of the vapor deposition material M depositing on a vapor deposition position and a deposition amount of the vapor deposition material depositing on a detection position can be prevented.例文帳に追加
このため、分布密度が変化する場合であっても、蒸着位置に付着する蒸着材料Ｍの付着量と検出位置に付着する蒸着材料Ｍの付着量とが異なる値になってしまうのを防ぐことができる。 - 特許庁
To provide a vapor deposition source in which the width of an aperture portion of the vapor deposition source and the width of a substrate to be vapor-deposited are specified and kinetic energy of vapor is increased, thereby improving the density and the uniformity of a vapor-deposited film.例文帳に追加
蒸着源の開口部の幅と被蒸着基板の幅を特定し、蒸気の運動エネルギーを増大させて、蒸着膜の密度と均一性を向上させる蒸着源を提供する。 - 特許庁
A film thickness meter of adjacent vapor deposition holders is alternately disposed in the plurality of vapor deposition source holders 104.例文帳に追加
また、複数個設置した蒸着源ホルダ１０４において、隣りあう蒸着ホルダの膜厚計は交互に配置する。 - 特許庁
METHOD FOR FORMING METAL OXIDE FILM, AND PHYSICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE例文帳に追加
金属酸化膜の形成方法及び物理蒸着装置 - 特許庁
VAPOR DEPOSITION APPARATUS FOR GENERATING TRIGGER DISCHARGE BY USING TRANSFORMER例文帳に追加
トランスを用いてトリガ放電を発生させる蒸着装置 - 特許庁
Further, the thin film of metal nitride is the one formed by a vapor deposition process.例文帳に追加
また、金属窒化物の薄膜が、気相成長（vapor deposition）法で形成された薄膜である、前記に記載の製造方法を提供する。 - 特許庁
METHOD AND APPARATUS FOR PERFORMING VACUUM VAPOR DEPOSITION OF ORGANIC MATERIAL例文帳に追加
有機材料の真空蒸着方法およびその装置 - 特許庁
A chemical vapor deposition silicon carbide product and a method of manufacturing the chemical vapor deposition silicon carbide product are disclosed.例文帳に追加
化学気相堆積炭化ケイ素物品および化学気相堆積炭化ケイ素物品を製造する方法が開示される。 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING SUBSTRATE AND VAPOR DEPOSITION APPARATUS USED THEREFOR例文帳に追加
基板の製造方法及びこれに用いる蒸着装置 - 特許庁
PATTERN FORMING METHOD BY VAPOR DEPOSITION, AND METHOD OF MANUFACTURING COLOR CONVERSION FILTER SUBSTRATE AND COLOR ORGANIC EL ELEMENT INCLUDING THE VAPOR DEPOSITION METHOD例文帳に追加
蒸着によるパターン形成方法、該方法を含む色変換フィルタ基板およびカラー有機ＥＬ素子の製造方法 - 特許庁
TRANSPARENT VAPOR DEPOSITION FILM AND RETORT PACKAGING MATERIAL USING IT例文帳に追加
透明蒸着フィルムおよびそれを用いたレトルト包材 - 特許庁
To provide a vapor deposition system capable of high precision vapor deposition treatment, and having excellent safety and mass-productivity.例文帳に追加
高精度な蒸着処理が可能であり、かつ、安全性および量産性に優れた蒸着装置を提供する。 - 特許庁
VAPOR DEPOSITION METHOD FOR FORMING ATOM LAYER BY USING GROUP IV METAL PRECURSOR例文帳に追加
ＩＶ族金属前駆体を用いた原子層蒸着法 - 特許庁
The rectangular vapor deposition holder may be moved while keeping the longitudinal direction of the rectangular vapor deposition holder oblique relative to one side of the substrate.例文帳に追加
また、基板の一辺に対して矩形形状の蒸着ホルダの長手方向を斜めにしたまま移動させてもよい。 - 特許庁
As a result, the vapor deposition mask 2 is cleaned without damage and the vapor deposition agent is recovered with high efficiency.例文帳に追加
これにより、蒸着マスク２をダメージなく洗浄出来るとともに、蒸着剤を高い効率で回収することが出来る。 - 特許庁
CATALYST CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE AND METHOD OF PRODUCING THIN FILM例文帳に追加
触媒化学蒸着装置及び薄膜の製造方法 - 特許庁
METHOD OF VAPOR DEPOSITION OF HEUSLER ALLOY BY CO- SPUTTERING METHOD例文帳に追加
同時スパッタリング法によるホイスラー合金の蒸着方法 - 特許庁
SYSTEM FOR FORMING PATTERN VAPOR DEPOSITION FROM COMPRESSION FLUID例文帳に追加
圧縮流体からパターン蒸着を形成するためのシステム - 特許庁
TITANIUM OXIDE BASED VAPOR DEPOSITION MATERIAL AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME例文帳に追加
チタン酸化物系蒸着材料及びその製造方法 - 特許庁
To provide a vacuum vapor-deposition apparatus which can more effectively improve a throughput of a vapor deposition operation for a substrate.例文帳に追加
基板の蒸着作業のスループットを更に効果的に向上することのできる真空蒸着装置を提供する。 - 特許庁
VAPOR DEPOSITION MASK FOR ORGANIC EL ELEMENT AND ITS MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
有機ＥＬ素子用の蒸着マスクとその製造方法 - 特許庁
First and second detecting means 11 and 12 detect the vapor deposition state from the first and second vapor deposition sources 3 and 4.例文帳に追加
第１，第２の検出手段１１，１２は第１，第２の蒸着源３，４からの蒸着状態を検出する。 - 特許庁
VACUUM VAPOR DEPOSITION APPARATUS, OPTICAL COMPONENT, AND PROJECTION AND EXPOSURE APPARATUS例文帳に追加
真空蒸着装置、光学部品及び投影露光装置 - 特許庁
METHOD FOR FORMING METALLIC OXIDE FILM AND VAPOR DEPOSITION APPARATUS例文帳に追加
金属酸化物被膜の成膜方法および蒸着装置 - 特許庁
STRUCTURE OF DISCHARGE ELECTRODE IN PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM例文帳に追加
プラズマ化学蒸着装置における放電電極の構造 - 特許庁
GUIDE ROLL DEVICE PROVIDED IN VACUUM CHAMBER OF VAPOR-DEPOSITION APPARATUS例文帳に追加
蒸着装置の真空室内に設置するガイドロール装置 - 特許庁
A vapor deposition mask is cleaned by plasma in the forming chamber.例文帳に追加
また、成膜室内で蒸着マスクをプラズマでクリーニングする。 - 特許庁
To provide a metal complex of a tridentate β-ketoiminate which can be used as a precursor of chemical vapor deposition or atomic layer vapor deposition.例文帳に追加
化学蒸着又は原子層蒸着の前駆体として使用される三座β-ケトイミネートの金属錯体の提供。 - 特許庁
VAPOR DEPOSITION MASK AND MANUFACTURING METHOD OF ORGANIC EL DISPLAY DEVICE例文帳に追加
蒸着マスク及び有機ＥＬ表示デバイスの製造方法 - 特許庁
SHOWER HEAD AND CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS HAVING THE SAME例文帳に追加
シャワーヘッド及びこれを備える化学気相蒸着装置 - 特許庁
SUBSTRATE CONVEYING APPARATUS AND VAPOR DEPOSITION APPARATUS PROVIDED WITH SAME例文帳に追加
基板搬送装置およびこれを備えた気相成長装置 - 特許庁
HEATER OF VAPOR DEPOSITION APPARATUS AND EVAPORATION SOURCE EMPLOYING THE SAME例文帳に追加
蒸着装置のヒータ及びこれを採用した蒸発源 - 特許庁
SILICON OXIDE FOR VAPOR DEPOSITION OF FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME例文帳に追加
フィルム蒸着用酸化珪素及びその製造方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET MATERIAL, AND VAPOR DEPOSITION MATERIAL AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR例文帳に追加
スパッタリングターゲット材および蒸着材とその製造方法 - 特許庁
SILICON MONOXIDE-BASED VAPOR DEPOSITION MATERIAL, AND ITS MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
一酸化珪素系蒸着材料及びその製造方法 - 特許庁
REDUCED PRESSURE VAPOR PHASE DEPOSITION SYSTEM AND METHOD FOR FORMING FILM例文帳に追加
減圧化学気相堆積装置及びその成膜方法 - 特許庁
MULTIFUNCTIONAL PHOTOCATALYTIC COATING AGENT AND VAPOR DEPOSITION METHOD例文帳に追加
多機能性光触媒コーティング剤及び蒸着加工方法 - 特許庁
To provide a thin film vapor deposition system and a vapor deposition method which can improve the quality of the formed thin film.例文帳に追加
薄膜の成膜品質を向上させることができる薄膜蒸着装置および蒸着方法を提供する。 - 特許庁
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