Immersionを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 3841件
To reduce or dissolve temperature changes of liquid immersion solution being supplied to a lithographic apparatus.例文帳に追加
リソグラフィ装置に供給中の液浸液の温度変化を低減又は解消する。 - 特許庁
To prevent a liquid from invading inside the back surface of a substrate in an immersion exposure device.例文帳に追加
液浸露光装置において基板の裏面の内側への液体の侵入を防止する。 - 特許庁
SYSTEM AND METHOD FOR RAISING SURFACE TENSION AND CONTACT ANGLE OF IMMERSION LITHOGRAPHY例文帳に追加
液浸リソグラフィにおいて表面張力及び接触角を高めるシステム並びに方法 - 特許庁
PELLICLE AND METHOD (PELLICLE FILM OPTIMIZED FOR IMMERSION LITHOGRAPHY SYSTEM WITH NA>1)例文帳に追加
ペリクル、方法(NAが1より大きい液浸リソグラフィ・システム用に最適化されたペリクル被膜) - 特許庁
To provide a sense of immersion into a virtual space provided by a multimedia reproducing apparatus.例文帳に追加
マルチメディア再生装置によって提供される仮想空間への没入感を高める。 - 特許庁
To provide an inexpensive water-proof cable that can surely prevent running of water under water immersion.例文帳に追加
浸水時の水の走りを確実に防ぐことができる安価な防水ケーブルを提供する。 - 特許庁
Consequently, the substrate can be exposed well when the substrate is exposed based on liquid immersion method.例文帳に追加
これにより、液浸法に基づいて基板を露光する際、基板を良好に露光できる。 - 特許庁
The exposure apparatus 17 performs exposure processing for a substrate W according to an immersion method.例文帳に追加
露光装置17においては、液浸法により基板Wの露光処理が行われる。 - 特許庁
A plurality of extraction conduits are provided in order to remove the immersion liquid prior to entry into a chamber.例文帳に追加
液浸液を除去してチャンバに入れるために、複数の抽出導管が設けられる。 - 特許庁
DEVICE FOR REDUCING CONTAMINATION IN IMMERSION LITHOGRAPHY, WAFER CHUCK ASSEMBLY, AND METHOD例文帳に追加
液浸リソグラフィにおける汚染を低減させるための装置、ウェーハ・チャック・アセンブリ、および、方法 - 特許庁
FLUID HANDLING STRUCTURE, TABLE, LITHOGRAPHY DEVICE, IMMERSION LITHOGRAPHY DEVICE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
流体ハンドリング構造、テーブル、リソグラフィ装置、液浸リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁
A cleaning liquid can be used as a liquid for forming the immersion region AR2 during cleaning.例文帳に追加
洗浄時に液浸領域AR2を形成する液体として洗浄液を用い得る。 - 特許庁
A liquid immersion preventing structure 6 is constituted of a valve seat 14, a valve body 15 and a spring 16.例文帳に追加
弁座14と弁体15とばね16とで浸液阻止構造6を構成する。 - 特許庁
The inner peripheral surfaces of a circulating tube 3 and an immersion tube 5 are overhauled with a boring bit 9.例文帳に追加
還流管3と浸漬管5との内周面をボーリングビット9でオーバーホールする。 - 特許庁
A hopper 3 constituting the weighing machine for water immersion aggregate is formed in a tapered state.例文帳に追加
水浸骨材用計量器を構成するホッパ−3がテ−パ状に形成されている。 - 特許庁
The metal bump is formed in the hole by non-electrolysis immersion plating and electroplating.例文帳に追加
無電解浸せきめっき及び電気めっきにより、穴の中に金属バンプを形成する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing an immersion type cartridge enhanced in durability to aeration.例文帳に追加
曝気に対する耐久性を高めた浸漬型膜カートリッジの製造方法を提供する。 - 特許庁
In an all wet lithography apparatus, the immersion liquid can fall from an edge of a substrate table.例文帳に追加
オールウェットリソグラフィ装置では、液浸液は基板テーブルの縁部から落下することができる。 - 特許庁
FLUORINE-CONTAINING COMPOUND, IMMERSION EXPOSURE POSITIVE TYPE RESIST COMPOSITION AND RESIST PATTERN-FORMING METHOD例文帳に追加
含フッ素化合物、液浸露光用ポジ型レジスト組成物、およびレジストパターン形成方法 - 特許庁
DUMMY EXPOSURE SUBSTRATE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, IMMERSION EXPOSURE APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
ダミー露光基板及びその製造方法、液浸露光装置、並びに、デバイス製造方法 - 特許庁
After exposure processing, the resist cover film is removed in the liquid immersion processing block 13.例文帳に追加
露光処理後に、液浸露光用処理ブロック13においてレジストカバー膜が除去される。 - 特許庁
An immersion exposure process is performed for the acid compensating layer and the photo resist layer.例文帳に追加
前記酸補償層及び前記フォトレジスト層に対して液浸露光工程を行う。 - 特許庁
Regarding the top coating layer composition, special applicability for liquid immersion lithography processing is found.例文帳に追加
この組成物について、液浸リソグラフィー処理に対する特別な適用性を見いだした。 - 特許庁
To provide a method and apparatus for cleaning the inside of a liquid immersion lithographic apparatus.例文帳に追加
液浸リソグラフィ装置の内部を洗浄するための方法と装置を提供すること。 - 特許庁
The sampler 90 is provided to collect particles in an immersion system of a lithographic apparatus.例文帳に追加
リソグラフィ装置の液浸システム内で粒子を採取するために、サンプラ90を設ける。 - 特許庁
The thermal measurement system 100 detects a temperature of the immersion liquid contacting the coating.例文帳に追加
熱測定システム100は、コーティングに接触している液浸液の温度を検出する。 - 特許庁
To provide a method for preventing the sticking of oxide in molten steel to the inner surface of an immersion nozzle.例文帳に追加
浸漬ノズル内面への溶鋼中の酸化物の付着の防止方法の提供。 - 特許庁
Then, the solidified product in the container 1 is subjected to water-cooling together with the container 1 by a method of underwater immersion.例文帳に追加
その後、容器1と共に内部の凝固物を水中浸漬により水冷する。 - 特許庁
To provide a video image appreciation apparatus from which a user can obtain a high sense of immersion in sound.例文帳に追加
音響に関しても、高い没入感を得られる映像鑑賞装置を実現する。 - 特許庁
To enable a shape of a resist pattern obtained by immersion lithography to be excellently formed.例文帳に追加
液浸リソグラフィにより得られるレジストパターンの形状を良好にできるようにする。 - 特許庁
An immersion photolithographic apparatus that has the liquid sealing unit is also provided.例文帳に追加
また、本発明は前記液体シーリングユニットを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置も提供する。 - 特許庁
To improve throughput when transferring a pattern onto a substrate by using a liquid immersion method.例文帳に追加
液浸法を利用して基板上にパターンを転写する際のスループットの向上を図る。 - 特許庁
In the supporting arm 13, a supporting member 15 freely holding/releasing the immersion tube 2, is arranged.例文帳に追加
支持アーム13には、浸漬管2を保持、解放自在の支持部材15が設けられている。 - 特許庁
To provide a method and equipment for cleaning the interior of oil immersion lithographic equipment.例文帳に追加
液浸リソグラフィ装置の内部を洗浄するための方法と装置を提供すること。 - 特許庁
In the exposure system 17, the exposure processing of the substrate W is performed by an immersion method.例文帳に追加
露光装置17においては、液浸法により基板Wの露光処理が行われる。 - 特許庁
To obtain a display device which is capable of enhancing an immersion feel and has a good feel of use.例文帳に追加
没入感を高めることができ且つ使用感のよいディスプレイ装置を提供する。 - 特許庁
CHEMICALLY AMPLIFIED RESIST COMPOSITION FOR LIQUID IMMERSION PROCESS AND METHOD FOR FORMING PATTERN USING THE SAME例文帳に追加
液浸プロセス用化学増幅型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法 - 特許庁
To prevent water immersion from a crimping terminal connection part of a covered electric wire terminal inexpensively.例文帳に追加
被覆電線端末の圧着端子接続部からの浸水を低コストに防止する。 - 特許庁
SOLID IMMERSION MIRROR, MANUFACTURE OF THE SAME, AND DEVICE AND METHOD FOR REPRODUCING INFORMATION例文帳に追加
固浸ミラー、固浸ミラーの製造方法、情報再生装置、及び情報再生方法 - 特許庁
Thereby, the substrate can be exposed well in exposing the substrate on the basis of the liquid immersion method.例文帳に追加
これにより、液浸法に基づいて基板を露光する際、基板を良好に露光できる。 - 特許庁
To provide a system and method for an immersion lithography system, capable of using an organic fluid.例文帳に追加
液浸リソグラフィシステムで有機流体を使用できるシステム及び方法を提供する。 - 特許庁
In a liquid immersion exposure device, hydrogen is dissolved in water filled between the final lens and the wafer.例文帳に追加
最終レンズとウエハとの間に満たす水の中に水素を溶解させたものである。 - 特許庁
BRUSHLESS MULTIPLE PATH CLEANING METHOD FOR SILICON WAFER AFTER CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING USING IMMERSION例文帳に追加
浸漬を用いた化学的機械的研磨後のシリコンウエハーのブラシレス多重パス洗浄方法 - 特許庁
The foregoing refractory products include insert nozzles, short nozzles, long nozzles, stoppers, slide plates, or immersion nozzles.例文帳に追加
前記耐火物は、インサートノズル,シュートノズル,ロングノズル,ストッパー,スライドプレート,又は漬漬ノズルである。 - 特許庁
Prior to exposure processing, a resist cover film is formed in the liquid immersion processing block 13.例文帳に追加
露光処理前に、液浸露光用処理ブロック13においてレジストカバー膜が形成される。 - 特許庁
In order to form a latent image in the resist film, immersion exposure is performed (ST108).例文帳に追加
前記レジスト膜中の潜像を形成するために、液浸露光を行う(ST108)。 - 特許庁
To stably form a liquid immersion region even if the attitude control of a substrate is performed.例文帳に追加
基板の姿勢制御を実施する際にも安定して液浸領域を形成する。 - 特許庁
Treatment of the substrate is often performed by immersion in an aqueous bath.例文帳に追加
基材の処理は、水性液浴中に浸漬することによって行われる場合が多い。 - 特許庁
To provide an oil immersion type push/pull solenoid which has little risk of effusion of oil.例文帳に追加
油の外部流出の危険性の少ない油浸型プッシュプルソレノイドを提供する。 - 特許庁
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