「reaction - reaction」に関連した英語例文の一覧と使い方(112ページ目) - Weblio英語例文検索

In the process for producing polyamide by melt polycondensation reaction between dicarboxylic acid and diamine, recovered polyamide is added into the polycondensation reaction system and the recovered polyamide added to the reaction system is melted.例文帳に追加

溶融ジカルボン酸にジアミンを添加し、溶融状態で重縮合反応を行ってポリアミドを製造する方法において、前記重縮合反応系中に回収ポリアミドを添加し、同反応中に添加した回収ポリアミドを溶解させる。 - 特許庁

To obtain a vehicular steering control device equipped with a means for determining the reliability of road surface reaction torque computing, and capable of restricting or stopping the computing of the road surface reaction torque if the road surface reaction torque is not correctly computed.例文帳に追加

路面反力トルク演算の信頼性を判定する手段を備え、路面反力トルクが正しく演算されない状況では路面反力トルクの演算を制限・停止することを可能とする車両用操舵制御装置を得る。 - 特許庁

To provide a method for producing an amino acid ester hydrochloride, which do not cause abrupt rise of reaction temperature, abrupt generation of by-product gas, bumping of reaction solution, etc., readily and safely controls reaction and can industrially be performed.例文帳に追加

反応温度の急激な上昇、副生ガスの急激な発生、反応液の突沸等が起こらない、反応の制御も容易で安全な、工業的に実施可能なアミノ酸エステル塩酸塩の製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for producing a carbonic acid ester, which enables a high reaction speed and a high reaction rate by reacting a monohydric alcohol with carbon dioxide in the presence of a solid catalyst, even under a mild reaction condition of relatively low pressure.例文帳に追加

圧力が比較的低い温和な反応条件下でも、一価アルコールと二酸化炭素を固体触媒存在下で反応させて高い反応速度且つ高い反応率を可能にする炭酸エステルの製造方法を提供する。 - 特許庁

As indicated in Fig. 3, a contaminated nitrogen discharged continuously from a reaction tank 31 in which chemical reaction is performed under the presence of gaseous nitrogen is introduced to an adsorption tower 37A and returned to the reaction tank 31 as a high purity nitrogen and reused in circulation.例文帳に追加

図３に示すように、窒素ガスの存在下に化学反応を行う反応槽31から連続的に排出される“汚染窒素”を吸着塔37Ａに導入し、Ｃ-2から“高純度窒素”として反応槽31に戻し、循環再使用する。 - 特許庁

Also, in a vehicle state detecting device, the road reaction torque compensator for compensating the phase of the actual road reaction torque obtained by a measuring device identical to that of normal road reaction torque is used so as to prevent erroneous determination.例文帳に追加

また、車両状態検出装置では、測定装置によって得る実路面反力トルクの位相を、規範路面反力トルクと同位相になるように補正する路面反力トルク補正器を用いることで、誤判定を防ぐことができる。 - 特許庁

To develop a quick reaction system specifically decomposing only peptide bond of all amino acid residues in a peptide without causing side reaction, and to determine an amino acid sequence by combining the reaction system with MALDI-TOFMS characterized by microanalytic performance.例文帳に追加

ペプチドにおけるすべてのアミノ酸残基のペプチド結合だけを特異的に分解し、副次反応なしで迅速な反応系を開発し、微量解析能を特長とするMALDI-TOFMSと組み合わせてアミノ酸配列を決定できるようにすること。 - 特許庁

To produce a high-purity (meth)acrylic ester with easy separation of a catalyst from a product after completing the reaction at a high rate of the reaction without producing polymers in the course of the reaction.例文帳に追加

本発明は、反応終了後の生成物からの触媒の分離が容易で、また反応途中で重合物の生成がなく高い反応率で高純度の（メタ）アクリル酸エステルを製造する方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

The quartz top plate for a plasma nitriding device is disposed between an antenna for producing plasma in a vacuum reaction chamber of the plasma nitriding device, and a plasma region in the vacuum reaction chamber, and used as a top plate of the vacuum reaction chamber.例文帳に追加

プラズマ窒化装置用石英天板は、プラズマ窒化装置の真空反応室内にプラズマを発生させるアンテナと前記真空反応室内のプラズマ領域との間に配置されて前記真空反応室の天板として用いられる。 - 特許庁

The organic reaction liquid is a liquid containing alkyne with the unsaturated bonded portion activated with electronic attractive property or a conjugated system substituent, and light radiation is not performed on the organic reaction liquid as an energy source in a reaction process.例文帳に追加

その有機反応液は電子吸引性又は共役系置換基をもって不飽和結合部分が活性化されたアルキンを含む液であり、反応工程では有機反応液にエネルギー源としての光照射を行なわない。 - 特許庁

The method for producing the imide resin by continuously carrying out imidation reaction and esterification reaction in one twin-screw extruder uses the extruder having two or more reaction parts.例文帳に追加

本発明のイミド樹脂の製造方法は、1台の二軸押出機内で連続的にイミド化反応とエステル化反応を実施するイミド樹脂の製造方法であって、該押出機が、二箇所以上の反応部を有することを特徴とする。 - 特許庁

The method for producing the graft polymer comprises polymerizing an unsaturated carboxylic acid according to reaction equation (2) to produce a polycarboxylic acid and then performing an esterification reaction of the polycarboxylic acid with a polyoxyalkylene glycol according to reaction equation (3).例文帳に追加

グラフト重合体は、下記反応式（２）に従って不飽和カルボン酸を重合してポリカルボン酸を製造した後、下記反応式（３）に従って前記ポリカルボン酸及びポリオキシアルキレングリコールをエステル化反応させることにより製造される。 - 特許庁

To simply remove high boiling point impurities attached to the reaction gas inlet of a cooling column in cooling a reaction gas by the cooling column in producing (meth)acrylic acid and/or (meth)acrolein by catalytic gas phase oxidation reaction.例文帳に追加

接触気相酸化反応により（メタ）アクリル酸又は／かつ（メタ）アクロレインを製造する方法において、反応ガスを冷却塔で冷却する際、冷却塔の反応ガス入口部に付着した高沸点不純物を簡便に除去すること。 - 特許庁

This method for detecting the gene amplification product comprises subjecting a gene to an amplification reaction in the reaction liquid containing a surfactant having the cloud point higher than the reaction temperature of the gene amplification to detect the gene amplification product.例文帳に追加

遺伝子増幅反応温度よりも高い曇点を有する界面活性剤を含む反応液中で遺伝子増幅反応に付し、遺伝子増幅産物を検出することを特徴とする遺伝子増幅産物の検出方法。 - 特許庁

This method for producing the 1-methoxy-2-propanol comprises a reaction process for reacting methanol with propylene oxide in the presence of a tertiary amine at 90 to 110°C to obtain the crude reaction solution, and a distillation process for distilling the crude reaction solution.例文帳に追加

第三級アミンの存在下、メタノールとプロピレンオキシドとを９０〜１１０℃で反応させて反応粗液を得る反応工程と、反応粗液を蒸留する蒸留工程とを経て、１−メトキシ−２−プロパノールを製造する。 - 特許庁

The outflow system of the reaction product is provided with a water cooler 32, a self-operated pressure control valve 34, and a gas liquid separator 36 successively at a reaction product outflow pipe 31 where the reaction product flowing out of the reactor 12 flows.例文帳に追加

反応生成物の流出系統は、反応器から流出した反応生成物が流れる反応生成物流出管３１に、順次、水冷却器３２と、自力式圧力制御弁３４と、気液分離器３６とを備えている。 - 特許庁

A metal chloride as raw material is heated to temperature exceeding its boiling point or subliming temperature, so as to substantially be the state of simple substance gas, and thereafter, the same is mixed with reaction gas, or is introduced into a reaction furnace separately from reaction gas.例文帳に追加

原料である金属塩化物をその沸点または昇華点を超える温度に加熱して実質的に単体ガスの状態としたのち、反応ガスと混合して、または反応ガスとは別個に、反応炉内に導入する。 - 特許庁

A microreactor array 10 includes: a plurality of reaction vessels 104 formed on a transparent substrate 101; a reaction liquid introducing flow path 105; a reaction liquid accommodating section 107; and a waste liquid accommodating section 106 formed on a transparent substrate 102.例文帳に追加

マイクロリアクターアレイ１０は、透明基板１０１に形成された複数の反応容器１０４、反応液導入用流路１０５、反応液収容部１０７と、透明基板１０２に形成された廃液収容部１０６を備えている。 - 特許庁

The seed crystal is added to the reaction mixture in a ratio of 0.1-20 mass% with respect to the silica component in the reaction mixture, and the reaction mixture to which the seed crystal is added is sealed and heated at 100-200°C.例文帳に追加

前記種結晶を、前記反応混合物中のシリカ成分に対して０．１〜２０質量％の割合で該反応混合物に添加し、前記種結晶が添加された前記反応混合物を１００〜２００℃で密閉加熱する。 - 特許庁

A reaction chamber is provided with at least one gas inlet for a reaction gas and at least one jet outlet (JL) communicating with a substrate chamber (VC), and the substrate chamber is provided with a pump evacuation system which keeps vacuum in the substrate chamber to be lower in pressure than the operation pressure of gas reaction in the reaction chamber.例文帳に追加

反応チャンバ（ＧＣ）は少なくとも１つの反応ガスのガス入口（ＧＬ）と基板チャンバに通じる少なくとも１つの射出出口（ＪＬ）を有し、一方で、基板チャンバ（ＶＣ）は、基板チャンバ内の真空を反応チャンバ（ＧＣ）のガス反応の動作圧力より高くない圧力に維持するポンプ排気システム（ＰＰ）を備えている。 - 特許庁

To provide a catalyst for the reaction of carbon monoxide and water (water gas shift reaction) with a higher catalytic activity at a low temperature than that of a conventional one and for the reaction of methanol and water (steam reforming reaction of methanol), to provide a method for producing hydrogen, to provide a carbon monoxide removal method, and to provide their apparatus.例文帳に追加

本発明の目的は、従来よりも低温度において触媒活性が高い一酸化炭素と水との反応（水性ガスシフト反応）及びメタノールと水との反応（メタノール水蒸気改質反応）用触媒および水素製造方法、及び一酸化炭素除去方法、及びこれらの装置を提供するものである。 - 特許庁

This method of controlling a reaction of an unsaturated polyester resin comprizes reacting an unsaturated polyester resin source material, measuring the viscosity of the reaction resin liquid with a vibration-type viscometer successively, and terminating the reaction when the viscosity of the reaction resin liquid reaches a predetermined viscosity in the range of 10-500 mPas.例文帳に追加

不飽和ポリエステル樹脂原料を反応し、振動式粘度計で反応樹脂液の粘度を逐次測定し、反応樹脂液の粘度が１０〜５００ｍＰａｓの範囲内の予め指定した粘度に到達した時点で反応を終了することを特徴とする不飽和ポリエステル樹脂の反応制御方法。 - 特許庁

The high-purity unsaturated secondary alcohol can be efficiently produced by a method for reacting a vinyl or ethynylmagnesium halide with p- or m-tert-butoxybenzaldehyde by a Grignard reaction and hydrolyzing the reaction product or reacting p- or m-tert-butoxyphenylmagnesium halide with acrolein by a Grignard reaction and hydrolyzing the reaction product.例文帳に追加

これはビニルまたはエチニル・マグネシウムハライドとp-またはm-tert-ブトキシベンズアルデヒドとをグリニヤール反応により反応させ、次いで加水分解させるか、あるいはp-またはm-tert-ブトキシフェニル・マグネシウムハライドとアクロレインとをグリニヤール反応により反応させ、次いで加水分解させることから成る方法により効率よく高純度で製造できる。 - 特許庁

A reaction map coordinate conversion device 16 extracts an area of the display range shown by the image display range information output by the display device 10, of the reaction map data output by the display device 10, to generate a reaction map and outputs the generated reaction map to an operation device 14.例文帳に追加

そして反力マップ座標変換装置１６が、表示装置１０が出力した反力マップデータのうち、表示装置１０が出力した画像表示範囲情報により示される表示範囲の領域を抽出して、反力マップを生成し、生成した反力マップを操作装置１４へ出力する。 - 特許庁

To prevent not only a mixture with air bubbles at the filling time of a reagent but also the effect of air bubbles received at the time of reaction in a reaction chip having a well-shaped reaction part used in the reaction and detection of the reagent in a field such as a life science field or the like.例文帳に追加

本発明はライフサイエンス分野など分野における試薬の反応検出に用いられる、ウェル状反応部を有する反応チップにおいて、試薬充填時に気泡の混入のない、また反応時に気泡影響を受けることのない反応容器及びこれを用いた物質の検出方法を提供することを目的とする - 特許庁

The immunoassay system has a container storage part for storing reaction containers under a light-shielded environment, the function of recording storage times of the reaction containers and selecting reaction containers to be used for analysis according to their storage times, and the function of selecting whether to use reaction containers for analysis or not according to background noise.例文帳に追加

遮光環境下にて反応容器を格納する容器格納部と、反応容器の保管時間を記録し、保管時間によって分析に使用する反応容器を選定する機能と、反応容器のバックグラウンドノイズによって分析に使用するかどうかを選定する機能とを有することを特徴とする免疫分析システム。 - 特許庁

To provide a fuel cell separator which can improve characteristics of a fuel cell by enabling reaction products derived from electrochemical reaction of a fuel cell to be easily exhausted and enabling an oxidant and fuel to be smoothly supplied to promote oxidation reaction of fuel and reduction reaction of an oxidant.例文帳に追加

本発明の燃料電池用セパレータは、燃料電池の電気化学反応による反応生成物の排出を容易にして、円滑に酸化剤および燃料が供給できることにより、燃料の酸化反応および酸化剤の還元反応を促進させて、燃料電池の特性を向上させることができる。 - 特許庁

To provide a method for producing an aromatic carboxylic acid, capable of recovering a reaction mother liquor from a reaction mother liquor slurry of an aromatic carboxylic acid by a simple process, returning the reaction mother liquor with a small amount of water mixed to a reactor and transporting a water slurry with a small amount of the reaction mother liquor mixed to a purifying process.例文帳に追加

簡単な工程により芳香族カルボン酸の反応母液スラリーから反応母液を回収し、水の混入の少ない反応母液を反応器に返送することができるとともに、反応母液の混入の少ない水スラリーを精製工程へ送ることができる芳香族カルボン酸の製造方法を提案する。 - 特許庁

The lower end of the reaction rod 15 on an upper side is inserted so as to fit in the connecting rod spot-welded to the upper end of the reaction rod 15 on the lower side, and then a new reaction rod 15 is spot-welded to the connecting rod 17 through a through hole 15b formed in the lower end part of the reaction rod having newly added.例文帳に追加

下部側反力ロッド１５の上端に点溶接された連結ロッド１７に嵌合するように、上部側反力ロッド１５の下端を差込み、次いで新たに継ぎ足された反力ロッド１５の下端部に形成された貫通孔１５ｂを介して該新たな反力ロッド１５を連結ロッド１７に点溶接する。 - 特許庁

The microreactor has a mixing reactor 103 having a mixing channel which mixes two types of raw materials 101 and 102 together and a reaction reactor 109 having a reaction channel connected downstream of the mixing channel and having a reaction channel which receives the mixture flowing out of the mixing channel and in which the mixture undergoes a chemical reaction.例文帳に追加

２種類の原料１０１，１０２を混合させる混合流路を有する混合リアクタ１０３と、混合流路の下流側に接続され、混合流路から流出した混合物を受け入れて、その内部で前記混合物が化学反応を起こす反応流路を有する反応リアクタ１０９を有する。 - 特許庁

The controller detects the robot's attitude inclinations, determines the compensated overall floor reaction moments around target overall floor reaction center points, distributes them to each sole, and decides the robot's sole positions and attitudes so that they are rotated at predetermined angles around the target overall floor reaction center points and the target individual sole floor reaction center points.例文帳に追加

ロボットの姿勢傾斜を検出し、目標全床反力中心点まわりの補償全床反力モーメントを決定し、各足平に分配して目標全床反力中心点まわりと目標各足平床反力中心点まわりに、それぞれ所定角度回転させるよう足平の位置・姿勢を決定する。 - 特許庁

The device is provided with a reaction tube, an exhausting means depressurizing the reaction tube, a means introducing gas heating or cooling the object to be treated which is installed in the reaction tube, a light source heating the object to be treated which is installed in the reaction tube, and a means for flickering the light source in a pulse shape.例文帳に追加

反応管と、反応管内を減圧にする排気手段と、反応管内に設置される被処理体を加熱または冷却する気体を導入する手段と、反応管内に設置される被処理体を加熱するための光源と、当該光源をパルス状に点滅させる手段とを備えている。 - 特許庁

A first inlet passage 9d extending along the center axis of a reaction vessel 9 is disposed on the outer periphery of a hollow part 9c of the reaction vessel 9, and a first outlet passage 9i that connects the first inlet passage 9d and the hollow part 9c of the reaction vessel 9 is disposed on a side part 9e of the reaction vessel 9.例文帳に追加

反応容器９の中空部９ｃの外周に、反応容器９の中心軸に沿って延びる第１導入通路９ｄを設け、反応容器９の側部９ｅに、第１導入通路９ｄと反応容器９の中空部９ｃとを接続する第１出口通路９ｉを設ける。 - 特許庁

The Joule heat is generated to control the temperature of the reaction solution by providing an electrode pair disposed to face each other with a gap along a flow of the reaction solution on the inner surface of a container for carrying out polymerase chain reaction (PCR) and applying an AC voltage to the electrode pair to make an AC current flow through the reaction solution.例文帳に追加

ポリメラ−ゼ連鎖反応（ＰＣＲ）を行う容器の内面に、反応液の流れに沿うギャップを挟んで対向して配置される電極対を設け、該電極対に交流電圧を印加して反応液に交流電流を流すことによってジュール熱を発生させて前記反応液の温度を制御する。 - 特許庁

The nucleic acid amplifier includes a holder 3 having a plurality of temperature adjusting blocks 10 which respectively hold at least one reaction vessel 105 housing a reaction fluid, and the temperature of the reaction fluid is individually adjusted in each reaction vessel 105 by temperature adjusting devices 14 and 15 disposed in the plurality of temperature blocks 10 respectively.例文帳に追加

反応液を収容した少なくとも１つの反応容器１０５をそれぞれ保持する複数の温調ブロック１０を設けた保持具３を設け、複数の温調ブロック１０のそれぞれに設けられた温度調整装置１４，１５により、各反応容器１０５において個別に反応液の温度を調整する。 - 特許庁

The method for producing the (poly)glyceryl ether by reacting alcohols (other than glycidol and glycerol) and glycidol comprises: adjusting the pressure inside a reaction system to 0.1-25 MPa (gauge pressure) with an inert gas; and carrying out the reaction while maintaining a reaction temperature of within 150-270°C and the pressure inside the reaction system within the pressure range.例文帳に追加

アルコール類（但し、グリシドール及びグリセリンを除く）とグリシドールを反応させる（ポリ）グリセリルエーテルの製造方法であって、不活性ガスで系内圧力を０．１〜２５ＭＰａ（ゲージ圧）に調整した後、反応温度を１５０〜２７０℃で、かつ系内圧力を当該範囲に維持して反応させる、（ポリ）グリセリルエーテルの製造方法である。 - 特許庁

In the method for catalytic gas-phase oxidation of acrolein into acrylic acid, the initial mixture of reaction gas, with an acrolein charge of 150 Nl/l h, is fed over a fixed-bed catalyst that is accommodated in two reaction zones A, B arranged in a spatially successive manner, whereby the temperature of reaction zone B is kept at a higher temperature than that of reaction zone A.例文帳に追加

アクロレインをアクリル酸に接触気相酸化する方法において、反応ガス出発混合物を、アクロレイン負荷量が１５０Ｎｌ／ｌ・ｈで、２つの空間的に連続する反応帯域Ａ、Ｂに収容された固定床触媒上を通過させ、反応帯域Ｂは反応帯域Ａより高い温度に保持される。 - 特許庁

To provide a photocatalyst for a water photolysis reaction, which has both of a promotor for an oxidation reaction and a promoter for a reduction reaction on one and the same particle, which can increase a photolysis reaction velocity drastically when irradiated with light and which is efficient and industrially advantageous.例文帳に追加

光水分解反応用の触媒であって、同一粒子上に酸化反応用および還元反応用双方の助触媒を併せ持ち、光照射下における光水分解反応速度を飛躍的に増大させることができる、効率的で工業的に有利な水分解反応用光触媒を提供する。 - 特許庁

An air-fuel ratio detection sensor abnormality diagnosis device includes a reaction delay determination unit 44 for determining that abnormality of reaction delay is occurring in an air-fuel ratio sensor 28 in a case where reaction delay condition is satisfied for a predetermined number of times, and a sensor abnormality diagnosis unit 45 for diagnosing abnormality of the air-fuel ratio sensor 28 based on a determination result of the reaction delay determination unit 44.例文帳に追加

反応遅れ条件が所定回数満たされた場合に空燃比センサ２８には反応遅れの異常が生じていると判定する反応遅れ判定部４４と、反応遅れ判定部４４の判定結果に基づき空燃比センサ２８の異常を診断するセンサ異常診断部４５とを備えて構成する。 - 特許庁

The slag surface is covered with a pozzolanic reaction product according to the pozzolanic reaction, the slag covered with a pozzolanic reaction product is brought into contact with CO_2, thereby, the surface layer of the pozzolanic reaction product is carbonated, therefore, the alkali component is not eluted because the carbonated layer becomes a barrier and the pH rise of water can be suppressed even when the slag is brought into contact with water.例文帳に追加

ポゾラン反応によりスラグ表面がポゾラン反応生成物で覆われ、このスラグをＣＯ_２と接触させることにより、ポゾラン反応生成物の表層が炭酸化するので、スラグが水と接触しても、前記炭酸化層がバリアとなってアルカリ成分が溶出せず、水のｐＨ上昇が抑えられる。 - 特許庁

The manufacturing process of the polybenzoxazole resin precursor comprises silylating a diamine compound and mixing and reacting the reaction product containing at least two of the three kinds of 2-4 substituted silylated diamine compounds separated from the reaction liquid or the reaction liquid before the separation of the reaction product with a dicarboxylic acid dihalide.例文帳に追加

ポリベンゾオキサゾール樹脂前駆体の製造方法は、ジアミン化合物をシリル化反応させた後、反応液から分離した、２〜４置換の、３種のシリル化ジアミン化合物のうちの少なくとも２種を含む反応生成物、または反応生成物を分離する前の反応液を、ジカルボン酸ジハライドと混合して反応させる。 - 特許庁

A preparation process of an acylated cellulose nitrate comprises a reaction step wherein a cellulose nitrate is allowed to react with an acylating agent such as acid halide or the like in a reaction solvent in the presence of a catalyst such as a tertiary amine or the like and a purification process wherein the reaction solution obtained in the reaction process is purified with water and a purification solvent.例文帳に追加

アシル化硝酸セルロースの製造方法は、反応溶媒中で第三級アミン等の触媒の存在下に、硝酸セルロースと酸ハロゲン化物等のアシル化剤とを反応させる反応工程と、その反応工程で得られた反応液を水と精製溶媒とにより精製を行う精製工程とよりなる。 - 特許庁

The plurality of microorganism carriers 20 formed by housing, in a housing member 21 having a large number of through-holes 22, granules 23 having a diameter smaller than the diameter of the granule 23 are charged to a biological reaction chamber 8 and raw water is fed to the biological reaction chamber 8 in an upward current to execute denitrification reaction by an anammox reaction.例文帳に追加

表面に多数の通孔２２を保持し、且つグラニュール２３径より小さい通孔２２の収容具２１にグラニュール２３を収容した微生物担体２０を生物反応室８に複数投入し、上向流により原水を生物反応室８に供給して、アナモックス反応により脱窒処理を行う。 - 特許庁

A production process of semiconductor integrated circuit device comprises applying plasma to excite reaction gas to deposit a desired film in a reaction chamber 52, supplying a cleaning gas excited in a remote plasma excitation chamber to the reaction chamber to perform a remote plasma cleaning of the reaction chamber under non-plasma excitation atmosphere, and repeating these steps.例文帳に追加

そこで成膜用の励起電極を利用して検出用にプラズマ励起したり、局所的にプラズマを励起することが考えられるが、もともと励起に適合した条件でないため、局所的にプラズマを励起すること自体が困難であり、また、大域的にプラズマ励起することはリモートプラズマクリーニングの目的に反する。 - 特許庁

There are provided a reaction chamber the inside of which is kept vacuum, an antenna system disposed at an upper portion in the reaction chamber for inducing an electric field for ionizing reaction gas injected into the reaction chamber to produce plasma, and at least one RF power supply coupled to the antenna system for supplying RF power to the antenna system.例文帳に追加

内部が真空状態に保持される反応チャンバと、反応チャンバの上部に設けられて反応チャンバ内部に注入された反応ガスをイオン化してプラズマを生成する電場を誘導するアンテナシステムと、アンテナシステムに連結されてアンテナシステムにＲＦパワーを供給する少なくとも１つのＲＦ電源とを備える。 - 特許庁