「reaction-tube」に関連した英語例文の一覧と使い方(4ページ目) - Weblio英語例文検索

A control unit 100 controls a temperature rising heater 16 to heat the interior of a reaction tube 2 to the loading temperature before a semiconductor wafer W is housed in the reaction tube 2.例文帳に追加

制御部１００は、昇温用ヒータ１６を制御して反応管２内をロード温度に加熱した後に反応管２内に半導体ウエハＷを収容する。 - 特許庁

A plurality of burner structures 13 are arranged along reaction tube rows 4A, 4B so as to comprise more than one row of burner rows between two rows of the reaction tube rows 4A, 4B.例文帳に追加

複数のバーナ構造体１３は、２列の反応管列４Ａ，４Ｂの間に１列以上のバーナ列をなすように反応管列４Ａ，４Ｂに沿って配置されている。 - 特許庁

(1) The thermal storage board 7 is disposed out of the reaction tube 1 and is made to face the wafer 8.例文帳に追加

（１）蓄熱板７を反応管1外に配置してウェーハ８と対面させる。 - 特許庁

Since the wall surface of the hydrogen manufacturing reaction tube 112 and the carrier 202 are integrally joined, the structure of the hydrogen manufacturing reaction tube can be made simple and the manufacturing is made easy.例文帳に追加

水素製造用反応管１１２の壁面と担体２０２とが一体に接合されるので水素製造用反応管の構造を簡素にでき、製造が容易になる。 - 特許庁

Further, the carrier gas and Arsine (AsH_3) are introduced to a quartz reaction tube 10.例文帳に追加

また、キャリアガスとアルシン（Arsine：ＡｓＨ_３）が石英反応管１０中に導入される。 - 特許庁

In this method, when filling a cylindrical reaction tube with catalyst, such a spiral body that satisfies the conditions (1)-(3) following is inserted into the reaction tube to fill the catalyst.例文帳に追加

触媒を円筒状反応管に充填するにあたり、該反応管内部に下記（１）〜（３）の条件を満たす螺旋状物体を挿入して触媒を充填する方法。 - 特許庁

The reaction tube 3 has therein the substrate 7 held by the susceptor, and the upper wall 4 of the reaction tube as a transparent window for observing the substrate 7.例文帳に追加

反応管３は、サセプタにより保持される基板７が内部に配置され、当該基板７を観察するための透明窓部としての反応管上壁４を有する。 - 特許庁

A heated flow passage 32 through which the combustion exhaust gas passed to heat the reforming reaction tube 18 is formed between the reforming reaction tube 18 and the outer casing 22.例文帳に追加

改質反応筒１８と外筒２２との間には、改質反応筒１８を加熱するために燃焼排ガスが通過する加熱流路３２が形成されている。 - 特許庁

A two fluids nozzle 70 connected to a tube 22 for liquid to be treated and an air introducing tube 26 is penetrated into an upper part of the reaction cartridge and the liquid to be treated is splayed with the air to be introduced into the reaction region in the reaction cartridge.例文帳に追加

処理液管２２及び空気送入管２６と接続した二流体ノズル７０が、反応カートリッジの上部に貫入し、被処理液を空気で噴霧化して反応カートリッジ内の反応域に導入する。 - 特許庁

To improve a sealing method for divided points disposed at a reaction tube of a reaction furnace which houses a glass objects therein and reacts the glass object.例文帳に追加

ガラス物体を内部に収容して反応させる反応炉の反応管に設けた分割箇所の．シール方法を改善する。 - 特許庁

Then, the temperature inside the reaction tube 2 is increased to a predetermined temperature, and a purge-out gas is supplied to the inside of the reaction chamber 2 having the increased temperature.例文帳に追加

そして、反応管２内を所定の温度に昇温し、昇温した反応管２内にパージアウトガスを供給する。 - 特許庁

To secure a stable reducing reaction and operation by eliminating the clogging of a pressure relief tube over the whole time from the reducing reaction to a vacuum separation.例文帳に追加

還元反応から真空分離にわたって圧抜き管の固着を排除し、安定した還元反応、操業が確保できる。 - 特許庁

Consequently, since the detergent, etc., discharged in each reaction tube can be kept in the tube for the suction waiting time, a high cleaning effect can be obtained and the accumulation of dirt in the reaction tube can be prevented.例文帳に追加

これにより、吐出した洗剤等を吸引待ち時間分反応管内に留めておくことができるため、高い洗浄効果を得ることができ、反応管内に汚れが蓄積する不都合を防止することができる。 - 特許庁

REACTION TUBE FOR VERTICAL THERMAL TREATMENT DEVICE AND THERMAL TREATMENT APPARATUS PROVIDED THEREWITH例文帳に追加

縦型熱処理装置用の反応管および該反応管を用いた縦型熱処理装置 - 特許庁

The cleaning gas passed through the heater 15 and heated is supplied to the reaction tube 2.例文帳に追加

そして、加熱器１５を通過して加熱されたクリーニングガスが反応管２に供給される。 - 特許庁

Thereby, reaction gas is supplied into an ionization chamber 11 through the conduit tube 14.例文帳に追加

これにより、反応ガスが導管１４を通してイオン化室１１内に供給される。 - 特許庁

REACTION TUBE, METHOD FOR MANUFACTURING CATALYST, METHOD FOR MANUFACTURING UNSATURATED ALDEHYDE AND UNSATURATED CARBOXYLIC ACID例文帳に追加

反応管、触媒の製造方法、不飽和アルデヒドおよび不飽和カルボン酸の製造方法 - 特許庁

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND REACTION TUBE FOR PROCESSING SUBSTRATE例文帳に追加

基板処理装置及び半導体装置の製造方法及び基板処理用反応管 - 特許庁

REACTION TUBE FOR HYDROGEN PRODUCTION, HYDROGEN PRODUCTION APPARATUS EQUIPPED WITH THE SAME, AND HYDROGEN PRODUCTION METHOD例文帳に追加

水素製造用反応管及びそれを備えた水素製造装置、水素製造方法 - 特許庁

To insert a temperature sensor inside a reaction tube without decomposing a vertical thermal treatment equipment.例文帳に追加

縦型熱処理装置を分解することなく温度センサを反応管内部に挿入する。 - 特許庁

The pair of electrodes 3, 4 are formed outside the reaction tube 2 by facing them to each other.例文帳に追加

反応管２の外側に一対の電極３、４を互いに対向させて設ける。 - 特許庁

A reaction tube 16 is charged with a proper amt. of water in which LiOH and Co(NO3)2 are dissolved.例文帳に追加

反応管１６内に、ＬｉＯＨおよびＣｏ（ＮＯ_3）_2を溶解した水を適量仕込む。 - 特許庁

The method of producing (meth)acrylic acid comprises: packing the solid catalyst into the reaction tube according to the above-mentioned packing method; removing the organic matter contained in the solid catalyst in the reaction tube; and subjecting (meth)acrolein to vapor phase contact oxidation by using molecular oxygen in the reaction tube.例文帳に追加

固体触媒を上記方法で反応管に充填し、当該反応管中で固体触媒に含まれる有機物を除去した後、当該反応管を使用して（メタ）アクロレインを分子状酸素により気相接触酸化して、（メタ）アクリル酸を製造する方法。 - 特許庁

The plasma-generating gas feed mechanism 12 discharges the plasma-generating gas b along the inner side surface of the reaction tube 10, and the raw material feed mechanism 11 feeds the powder raw material a into the reaction tube 10 at a position distant from the inner side surface of the reaction tube 10.例文帳に追加

プラズマ生成ガス供給機構１２は、反応管１０の内側面に沿ってプラズマ生成ガスｂを吐出し、原料供給機構１１は、反応管１０の内側面から離れた位置で反応管１０内に粉体原料ａを供給する。 - 特許庁

When the inside of a reaction tube 2 is stabilized at a predetermined pressure and temperature, the controller 100 allows cleaning gas consisting of hydrogen fluoride and nitrogen to be introduced into the reaction tube 2 from a treatment gas introduction tube 17 and eliminates a reaction product adhered to the interior of the apparatus.例文帳に追加

反応管２内が所定の圧力及び温度で安定すると、制御部１００は、処理ガス導入管１７からフッ化水素と窒素とからなるクリーニングガスを反応管２内に導入し、装置内部に付着した反応生成物を除去する。 - 特許庁

The adoption of the reaction tube can enable the tube to be cooled from its periphery and can therefore realize the simplification and compaction of the apparatus.例文帳に追加

反応管路を採用したことで、管路の周囲からの冷却が可能となり、装置の単純化、コンパクト化が実現できる。 - 特許庁

To surely seal the space of an outer tube and an inner tube together in a suspension device such as a front fork or reaction unit of a two-wheel vehicle.例文帳に追加

二輪車のフロントフォークやリアクッションユニット等の懸架装置において、アウターチューブとインナーチューブとの間を確実にシールする。 - 特許庁

The fluidized bed 1a in the reaction crystallizer 1 descends in the draft tube 13 and ascends in the outer periphery of the draft tube 13.例文帳に追加

反応晶析槽１内の流動床１ａは、ドラフト管１３内で下降し、ドラフト管１３の外周囲で上昇する。 - 特許庁

By this reaction force the propelling head 2 moves ahead in the CD tube so as to pull the leading thread 11 into the CD tube 8.例文帳に追加

このため、推進ヘッド２はその反力でＣＤ管８内を前進し、道糸１１がＣＤ管８内に引込まれる。 - 特許庁

This method for vapor phase oxidation comprises conducting a vapor phase oxidation reaction in the presence of an oxidation catalyst using a shell-and-tube type reactor; wherein a space is provided on the reaction gas outlet side of each of the reaction tubes.例文帳に追加

シェルアンドチューブ式反応器を用いて酸化触媒の存在下に気相酸化反応を行うにあたり、各反応管の反応ガス出口側に空間部を設ける。 - 特許庁

After heating the reaction vessel 1, a heat exchange object in the reaction vessel 1 can be dried by sucking the inside of the reaction vessel 1 via the communicating tube 14.例文帳に追加

反応釜１を加熱した後に、連通管１４を介して反応釜１内を吸引することによって、反応釜１内の被熱交換物を乾燥することができる。 - 特許庁

After cooling the reaction vessel 1, a heat exchange object in the reaction vessel 1 can be dried by sucking the inside of the reaction vessel 1 via the communicating tube 14.例文帳に追加

反応釜１を冷却した後に、連通管１４を介して反応釜１内を吸引することによって、反応釜１内の被熱交換物を乾燥することができる。 - 特許庁

To prevent without fail a gas from leaking from a reaction tube, to further prevent the gas that has leaked from the reaction tube and parts relating to the reaction tube from diffusing, to remove trouble resulting from the leaked gas, and to further prevent damage of devices by explosion when the reaction gas is an explosive gas in semiconductor manufacturing equipment.例文帳に追加

半導体製造装置に於いて、反応管からのガスの漏出を確実に防止し、更に反応管及び反応管の関連部分から漏出したガスの拡散を防止し、漏出したガスによる弊害を除去し、更に反応ガスが爆発性のガスであった場合に、爆発による機器の損傷を防止する。 - 特許庁

The substrate treatment device is provided with a reaction tube 30 forming a substrate area for treating a wafer W, a furnace inlet flange 4 holding the reaction tube 30, a gas supply tube 7 that is provided at the furnace inlet flange 4 to supply gas into the reaction tube 30, and a plasma generating means 32 to generate plasma.例文帳に追加

基板処理装置は、ウェーハＷを処理する基板処理領域を形成する反応管３０と、反応管３０を支持する炉口フランジ４と、炉口フランジ４に設けられて反応管４内にガスを供給するガス供給管７と、プラズマを生成するプラズマ生成手段３２とを備える。 - 特許庁

A tubular reaction tube 12 is installed vertically and the opening on a end flange 13 is sealed hermetically with a seal cap 14 and then a boat 15 mounting substrates, i.e., wafers W, in multistage is inserted into the reaction tube 12.例文帳に追加

円筒反応管１２を垂設して炉口フランジ１３の開口をシールキャップ１４で密封し、反応管１２内に基板としてのウェーハＷを多段に載置したボート１５を挿入する。 - 特許庁

Furthermore, an upper subheater 100a and a lower subheater 100b arranged between the heaters 207a, 207b and the reaction tube 203, and heating ends 203a, 203b of the reaction tube 203, are provided.例文帳に追加

更に、ヒータ２０７ａ、２０７ｂと反応管２０３の間に設けられ、反応管２０３の端部２０３ａ、２０３ｂを加熱する上サブヒータ１００ａ、下サブヒータ１００ｂを備える。 - 特許庁

A boat 20 on which wafers 1 are mounted is inserted into a reaction tube 3 and a processing gas 10 is introduced in a shower shape from a ceiling part of the reaction tube 3 while heating the wafers 1 by a heater 7.例文帳に追加

反応管３内にウェーハ１を載置したボート２０を挿入し、ヒータ７でウェーハ１を加熱しつつ、反応管３の天井部からシャワー状にプロセスガス１０を導入する。 - 特許庁

The high temperature reaction part 4, the low temperature reaction part 6 and the connection tube 8 are stored in an heat-insulation package 200, and the external circulation tube 10 passes through the outside of the heat-insulation package 200.例文帳に追加

高温反応部４、低温反応部６及び連結管８が断熱パッケージ２００内に収容され、外部流通管１０が断熱パッケージ２００の外に貫通している。 - 特許庁

The method for continuously decomposing hydrogen peroxide comprises supplying continuously a hydrogen peroxide aqueous solution in a reaction tube having a catalyst surface on the inner wall of a hollow fine tube to subject the solution to a decomposition reaction.例文帳に追加

中空細管の内壁に触媒表面を持つ反応管に、連続的に過酸化水素水溶液を供給して分解反応を行わせる過酸化水素の連続分解方法。 - 特許庁

(3) A reactor 10 is used, including a reaction tube 1 with the catalyst 2 disposed inside, wherein the reaction tube 1 is provided with a gas inlet 3 and a gas outlet 4.例文帳に追加

（３）触媒２が内部に配された反応管１を備え、反応管１には、ガス導入口３およびガス排出口４が設けられていることを特徴とする反応装置１０。 - 特許庁

The temperature in the reaction tube 1 is kept to 1,000°C by heating with a heater 11 and a mixed solution 3 prepared by adding ferrocene and thiophene into benzene or hexane is sprayed with gaseous hydrogen in the reaction tube 1.例文帳に追加

ヒータ１１により反応管１内を１０００℃に加熱保持し、フェロセン及びチオフェンを添加したベンゼン、ヘキサンなどの混合溶液３を水素ガスと共に反応管１内に噴霧する。 - 特許庁

When a desired film is formed on a substrate contained in the reaction tube 203, first processing gas and second processing gas are supplied into the reaction tube 203 through nozzles 233, 249.例文帳に追加

反応管２０３に収容される基板に所望の膜を形成するときは、ノズル２３３，２４９から第１の処理ガスと第２の処理ガスとを反応管２０３内に供給する。 - 特許庁

A cleaning gas supply pipe 10 in the thin-film forming device 1 is provided at a lower portion of a reaction tube 2, and is bent and formed so that the tip faces an upper portion of the reaction tube 2.例文帳に追加

薄膜形成装置１のクリーニングガス供給管１０は、反応管２の下部に設けられ、その先端が反応管２の上部を向くように屈曲形成されている。 - 特許庁

To provide a reaction tube cleaning device rapidly cleaning the inside of a fluidized bed reaction tube without troubling a worker after taking out a product in a fluidized bed facility used in a covering process.例文帳に追加

被覆工程で使用する流動床設備で製品を取出した後で、作業員の手を煩わすことなく、迅速に流動床反応管内部を清掃する反応管クリーニング装置を得る。 - 特許庁

While maintaining the illuminance of one terminal part at 50 lux or more with an illumination such as a fluorescent lamp 22 disposed at one terminal side of a reaction tube 12, the inside of the reaction tube 12 is watched from another terminal side, and the packing situation of solid catalyst in the reaction tube 12 is ascertained.例文帳に追加

反応管１２の一方の端部側に配置された蛍光灯２２などの照明により、一方の端部の照度を５０ルクス以上に維持しながら、他方の端部側から反応管１２内を視認し、反応管１２内の固体触媒の充填状況を確認する。 - 特許庁