「reaction-tube」に関連した英語例文の一覧と使い方(7ページ目) - Weblio英語例文検索

An Si source is first supplied into a reaction tube 2 to allow Si to be adsorb on the surface of a semiconductor wafer W.例文帳に追加

まず、反応管２内にＳｉソースを供給し、半導体ウエハＷの表面にＳｉを吸着させる。 - 特許庁

A reaction tube 9 is provided with a structure in which a preheating section 11 is disposed on the upper stream side of a reforming section 10.例文帳に追加

反応管９を、改質セクション１０の上流側に予熱セクション１１を備えた構造とする。 - 特許庁

The activated sintering gas is fed from the sintering gas introduction pipe 13 into the reaction tube 2.例文帳に追加

そして、この活性化された焼成用ガスが焼成用ガス導入管１３から反応管２内に供給される。 - 特許庁

A multi-system nozzle type CVD device is provided with a reaction tube 37, nozzles 43, 44, and 45, and a gas supply system 32.例文帳に追加

多系統ノズル型ＣＶＤ装置は、反応管３７と、ノズル４３、４４，４５と、ガス供給系３２とを有する。 - 特許庁

A material gas, including ammonia gas being the material of nitrogen and carrier gas, is supplied inside of a reaction tube 3.例文帳に追加

窒素の原料であるアンモニアガスを含む原料ガスをキャリアガスと共に反応管３の内部に供給する。 - 特許庁

To improve a structure for cooling a quartz tube which forms a reaction chamber in a high frequency induction heating device.例文帳に追加

高周波誘導加熱装置の反応室を形成する石英管を冷却する構造の改良に関する。 - 特許庁

The liquid is irradiated with the ultraviolet rays radiated from the discharge tube 1 to the inside reaction space 2 to be oxidized.例文帳に追加

そして、放電管１から内側の反応空間２に放射される紫外線を液体に照射して酸化する。 - 特許庁

The substrate processing system comprises a reaction tube 23 for processing a wafer W, and a boat 20 for holding the wafer W.例文帳に追加

基板処理装置は、ウェーハＷを処理する反応管２３と、ウェーハＷを保持するボート２０を備える。 - 特許庁

Thereby, fine particles of LiCoO2 as a metal multiple oxide are produced and precipitated in the reaction tube 16.例文帳に追加

これによって、反応管１６内で、金属複合酸化物であるＬｉＣｏＯ_2の微粒子が析出生成される。 - 特許庁

The resultant carbon fibers, together with the combustion gas, are discharged to the outside of a reaction tube and recovered with a solid-gas separator.例文帳に追加

得られた炭素繊維を燃焼ガスとともに反応管外に排出し、固気分離装置で回収する。 - 特許庁

A predetermined amount of the serum in the capillary tube is discharged into a reaction container without being transferred to a sample cup.例文帳に追加

毛細管内の血清をサンプルカップに移し変えることなく反応容器へ所定量吐出することができる。 - 特許庁

To control particle generation in a reaction tube, and to produce a high-quality semiconductor device at a high yield.例文帳に追加

反応管内のパーティクルの発生を抑え、且つ、高品質の半導体装置を高歩留まり率で製造する。 - 特許庁

Graphite or the like can be used for the heater because of heating in vacuum by radiation through the reaction tube.例文帳に追加

ヒーターは、真空下で輻射により反応管を介して加熱するためグラファイトなどの使用が可能となる。 - 特許庁

The pipe P2 for transporting the solution from the reaction vessel to the detection part is formed out of a single flexible tube.例文帳に追加

反応容器から検出部へ溶液を輸送する配管Ｐ２は、単一の可撓性チューブにより構成する。 - 特許庁

A plurality of holes 16a, 17a are formed in the thermal insulation body 15, which is installed so as to surround the reaction tube 2.例文帳に追加

断熱体１５は、複数の孔１６ａ、１７ａが形成され、反応管２を囲むように設けられている。 - 特許庁

An O ring 60 is disposed between a furnace throat flange 68 constituting a part of the lower vessel 56 and the reaction tube 52.例文帳に追加

下側容器５６の一部をなす炉口フランジ６８と反応管５２との間には、Ｏリング６０が配置される。 - 特許庁

Biological reaction control material supply mechanisms for the plurality of nano-tube body structures communicate with each other.例文帳に追加

複数のナノチューブ構造体の、生体反応の制御物資のための供給機構は互いに連通している。 - 特許庁

In order to increase the depositing area of a resulted product of reaction, an uneven surface 21 is formed in an inner tube 20.例文帳に追加

反応生成物の堆積する面積を拡大させるために、インナチューブ２０に凹凸面２１を形成する。 - 特許庁

CONTINUOUS PRODUCTION METHOD FOR ZEOLITE BY CONTACT REACTION TUBE AND ROTARY DISK REACTOR SYSTEM AND CONTINUOUS PRODUCTION APPARATUS例文帳に追加

接触反応管・回転ディスク反応器方式によるゼオライトの連続製造方法および連続製造装置 - 特許庁

A wafer 10 fed into a reaction tube 17 is heated and then subjected to the heat treatment at a prescribed temperature.例文帳に追加

反応管１７内に送り込まれたウェハ１０は、昇温され所定の温度のもとで熱処理が施される。 - 特許庁

In the reaction tube 21, detonation occurs to produce a hydrogen-containing gas from a gaseous starting material.例文帳に追加

反応管２１は，デトネーションを発生させるとともに原料ガスから水素含有ガスを生じさせるものである。 - 特許庁

To provide a high-quality annealed wafer by preventing iron contamination in a heat treat furnace having a reaction tube made of quartz.例文帳に追加

石英製の反応管を有する熱処理炉において、Ｆｅ汚染を防止し、高品質なアニールウエーハを得る。 - 特許庁

To restrain reaction product in exhaust gas from attaching to the inner wall of an exhaust tube in a film forming apparatus.例文帳に追加

成膜装置における排出管の内壁に排出ガス中の反応生成物が付着するのを低減する。 - 特許庁

An upper part in the reaction vessel 1 and a suction port of a nozzle part 12 of the ejector 6 are connected by a communicating tube 14.例文帳に追加

反応釜１内の上部と、エゼクタ６のノズル部１２の吸引口を、連通管１４で接続する。 - 特許庁

The vapor phase growing apparatus comprises the reaction tube 3 for forming a film by a vapor phase growth, and a gas supply tube 7 for supplying a gas to the tube 3 and having a heating means 12 for baking the tube 3.例文帳に追加

気相成長により成膜が行われる反応管３と、上記反応管３にガスを供給するガス供給管７とを備え、上記ガス供給管７には、上記反応管３をベーキングするための加熱手段１２が設けられている。 - 特許庁

Subsequently, the controller 100 controls the heater 16 to heat the inside of the reaction tube 2 to a predetermined temperature, and then controls the MFC control unit to supply ethylene into the heated reaction tube 2 from a processing gas introduction tube 17, so that amorphous carbon films are formed on the semiconductor wafers W.例文帳に追加

そして、制御部１００は、昇温用ヒータ１６を制御して、反応管２内を所定の温度に加熱し、ＭＦＣ制御部を制御して、加熱された反応管２内に処理ガス導入管１７からエチレンを供給することにより、半導体ウエハＷにアモルファスカーボン膜を形成する。 - 特許庁

The control part 100 controls the heating heater 16 to heat the inside of the reaction tube 2 to a predetermined temperature, and controls the MFC control part to supply ethylene into the heated reaction tube 2 from a processing gas introduction tube 17, whereby an amorphous carbon film is formed on the semiconductor wafer W.例文帳に追加

そして、制御部１００は、昇温用ヒータ１６を制御して、反応管２内を所定の温度に加熱し、ＭＦＣ制御部を制御して、加熱された反応管２内に処理ガス導入管１７からエチレンを供給することにより、半導体ウエハＷにアモルファスカーボン膜を形成する。 - 特許庁

Subsequently, the control unit 100 controls the temperature rising heater 16 to heat the interior of the reaction tube 2 housing the semiconductor wafer W to the film deposition temperature, before a thin film is formed on the semiconductor wafer W by supplying a film deposition gas into the reaction tube 2 from a processing gas introduction tube 17.例文帳に追加

次に、制御部１００は、昇温用ヒータ１６を制御して半導体ウエハＷを収容した反応管２内を成膜温度に加熱した後、処理ガス導入管１７から反応管２内に成膜用ガスを供給して半導体ウエハＷに薄膜を形成する。 - 特許庁

In a vertical LPCVD apparatus to constitute a reaction chamber by an inner tube 1 and an outer tube 2, three pairs of thermocouples 17 are provided in the inner tube 1 as movable monitoring means to detect the reaction heat generated during the cleaning, and an injector 6 is provided as an etching gas inlet.例文帳に追加

インナーチューブ１とアウターチューブ２で反応室を構成する縦型ＬＰＣＶＤ装置において、インナーチューブ１内にクリーニングで生じる反応熱を検知する可動式のモニター手段として三対熱電対１７が備えられ、エッチングガス導入口としてインジェクター６が設けられている。 - 特許庁

To provide a tube-type circulation reactor or a chemical reaction process, wherein the contact area between reaction substrates immediately after unification is increased and a decrease in the yield of a reaction product due to uneven concentrations is suppressed.例文帳に追加

合流直後の反応基質間の接触面積を増やし、且つ濃度不均一による反応生成物の収率低下が抑制された管型流通式反応装置または化学反応プロセスを提供する。 - 特許庁

The microwave is projected to the inside of the partitioning body 12 through an incident waveguide tube 43 and projected to the reaction substance in the a reaction chamber 13 via the partitioning body 12.例文帳に追加

マイクロ波は、入射導波管４３から隔壁体１２の内側に照射されており、該隔壁体１２を介して反応室１３の反応物質に照射される。 - 特許庁

In performing a catalytic reaction, a mixture of the methane direct reforming catalyst 3 and the hydrogen storage substance 4 may be packed into a reaction tube 2 and methane is catalytically reacted.例文帳に追加

触媒反応を行う際、メタン直接改質触媒３と水素吸蔵物質４を混合したものを反応管２に充填してメタンと接触反応させればよい。 - 特許庁

To provide a metal tube for a thermal decomposition reaction which is excellent in both a heat exchange characteristic and a thermal decomposition reaction characteristic, and suitable for use in a precess for thermally decomposing hydrocarbons.例文帳に追加

熱交換特性と熱分解反応特性とが共に優れ、炭化水素を熱分解するプロセスに用いるのに好適な熱分解反応用金属管の提供。 - 特許庁

When the reaction kettle 1 is heated, the reaction kettle 1 can be heated by the supply of the steam for heating from the steam supply tube 8 to the inside of the jacket part 2.例文帳に追加

反応釜１を加熱する場合は、蒸気供給管８からジャケット部２内へ加熱用の蒸気を供給することによって、反応釜１を加熱することができる。 - 特許庁

Second burners 8, 9 are arranged to inject fuel toward a reaction tube-extending direction in a space formed between (among) two or more of adjacent reaction tubes 7.例文帳に追加

隣接する２本以上の反応管７の間に形成された空間に反応管７が延びる方向に向かって燃料を噴射するように、第２バーナ８，９を配置する。 - 特許庁

To provide an apparatus for supplying granular material which can improve reaction efficiency by arranging the pressure loss of each reaction tube filled with granular catalyst to be low and uniform.例文帳に追加

粒状触媒が充填された各反応管の圧力損失を低く、均一に揃えて反応効率を高めることができる粒状物の供給装置を提供する。 - 特許庁

A high frequency window is formed by dividing the reaction products and high frequency power is supplied efficiently from the coil antenna 23 into the reaction tube 14 through the high frequency window.例文帳に追加

反応生成物を分断して高周波窓が形成され、該高周波窓を介してコイルアンテナ２３から反応管１４内に効率よく高周波電力を供給される。 - 特許庁

To provide a DNA amplification detecting method capable of immediately detecting whether amplification exists or not in a reaction tube after amplification reaction without requiring treatment of electrophoresis, etc.例文帳に追加

電気泳動等の処理を必要とせずに、増幅反応後、反応チューブ内で直ちに増幅の有無を検出することのできる、ＤＮＡ増幅検出法を提供する。 - 特許庁

The hydrogen and carbon monoxide generated by the above reaction pass through the porous plate 8, and are recovered as gaseous hydrogen and carbon monoxide 16 at the outside of the reaction tube 9.例文帳に追加

上記反応により発生した水素及び一酸化炭素は、多孔板８を通過し、反応管９外で水素及び一酸化炭素ガス１６として回収される。 - 特許庁

The temperatures of the reaction tubes 6 are independently controlled with the control 14, thereby enhancing the accuracy of the temperature control of each reaction tube 6 and improving the efficiency of the treatment.例文帳に追加

制御装置14によって反応管6ごとに独立した温度制御を行うことで各反応管6の温度制御の精度を高めると共に処理効率を向上させる。 - 特許庁

The whole body of the reaction tube 11 is formed by aluminum nitride which has resistance to the corrosion caused by gaseous aluminum chloride formed by the reaction of the aluminum metal member 14 with the gaseous hydrogen chloride.例文帳に追加

反応管１１全体は、アルミニウム金属部材と塩化水素ガスとの反応で生成される塩化アルミニウムガスによって腐食されない窒化アルミニウムで形成する。 - 特許庁

The autoanalyzer preliminarily stores a database on which data showing the frequency of AC voltage applied to a piezoelectric element for shaking a stirrer, voltage and the depth of the stirrer inserted in a reaction tube are recorded corresponding to a combination of the kind and liquid amount of the reagent dispensed into the reaction tube or the measuring items allotted to the sample to be inspected dispensed in the reaction tube.例文帳に追加

反応管内に分注された試薬の種類及び液量の組み合わせ、又は反応管内に分注された被検試料に割り当てられた測定項目に応じて、撹拌子を揺動させる圧電体に印加する交流電圧の周波数、電圧、及び撹拌子を反応管に挿入する深さを示す情報を記録したデータベースを記憶しておく。 - 特許庁

The apparatus for producing a carbon nano-structure produces a carbon nano-structure by heating a reaction tube and reacting a raw material gas with catalyst-carrying particles while fluidizing the materials in the reaction tube, wherein the reaction tube is made of metal and has an oxide layer of the metal on the inner surface.例文帳に追加

反応管を加熱し、原料ガスと触媒担持粒子とを流動させながら前記反応管内で反応させることによってカーボンナノ構造物を製造するカーボンナノ構造物の製造装置であって、前記反応管は金属からなり、かつ内表面に金属の酸化物層を備えているカーボンナノ構造物の製造装置を用いる。 - 特許庁

The reaction device is characterized in that the reaction device in which the catalyst is supported in a reaction gas flowing tube, the foundation layer of the catalyst part is processed with an almite process, thereby distribution of the supporting amount of the catalyst is formed according to concentration of reaction gas.例文帳に追加

反応ガス流通管内に触媒が担持されてなる触媒部の触媒担持下地層がアルマイト処理を施されてなる反応装置であって、反応ガス濃度に応じて触媒担持量に分布が形成されてなることを特徴とする反応装置。 - 特許庁

The method for manufacturing a high performance catalyst comprises charging a catalyst containing an additive into a reaction tube and rendering a temperature at the discharging part higher than that at the inlet of a catalyst precursor layer of a gas when the gas is subject to the temperature rising in the state being in flow into the reaction tube.例文帳に追加

添加剤を含有する触媒を反応管に充填し、気体を反応管に流通させた状態で昇温する際に、該気体の触媒前駆体層入口部の温度より出口部の温度を高くする。 - 特許庁