「concentration on」に関連した英語例文の一覧と使い方(94ページ目) - Weblio英語例文検索

A stress concentration part is provided at the position of a side separated from the connection part 13 farther than the vehicle outer end edge of the garnish layer 26 of the trim 5 so that expansion stress applied to the external surface of the trim 5 in the bending work becomes easy to be concentrated on the vehicle outer end edge of the garnish layer 26.例文帳に追加

トリム部５のうち加飾層２６の車外側端縁部よりも連結部１３から離間する側の位置に、曲げ加工に際しトリム部５外表面に加わる伸張応力が加飾層２６の車外側端縁部より集中しやすくなるように応力集中部が設けられる。 - 特許庁

The device can be constituted of images to be measured in a minute image by calculating an amount of reduction of paper from before and after fixation, based on the relation of the image position after fixation and the write-in position prior to fixation, calculating the position of the image to be measured after fixing, reading the concentration, and executing a process control to it.例文帳に追加

定着後の画像位置と定着前の書込位置の関係から定着前後の紙の縮量を計算して、定着後の測定対象画像の位置を演算し、その濃度を読み込みプロセス制御することで、測定対象画像を微少画像で構成できるようにする。 - 特許庁

To attain high concentration of original liquid mixed with a flocculant under stirring by mixing the original liquid with the flocculant under stirring in a treating vessel, filtering the flocculated original liquid to be concentrated and supplying the concentrated original liquid to a filter to reduce the load on a dehydrator.例文帳に追加

処理槽内で原液と凝集剤を撹拌混合し、凝集した原液をろ過して濃縮させ、この濃縮原液をろ過機に供給し、脱水機の負荷を軽減させる装置に関し、凝集剤と撹拌混合した原液の高い濃縮性を可能とする。 - 特許庁

To prepare an oil-in-water type emulsified cosmetic stably formulated at a high concentration effective for the skin, in a cosmetic without depositing a crystal of an amide compound having high crystallinity, and having high preservation stability and excellent ameliorating effects on skin roughening.例文帳に追加

結晶性の高いアミド化合物の結晶を析出させることなく、皮膚に対して有効な高濃度で化粧料中に安定的に配合することを可能にし、保存安定性が高く肌荒れ改善効果に優れた水中油型乳化化粧料を提供する。 - 特許庁

In the gas sterilizing system 1 which executes a sterilizing work and an aeration work in the sterilization tank 2, the concentration of the sterilizing gas to be supplied into the tank 2 is reduced based on the relation of the necessary time of between the sterilizing work and the aeration work.例文帳に追加

滅菌槽２内で滅菌作業とエアレーション作業とを行うガス滅菌システム１において、前記滅菌作業および前記エアレーション作業の必要時間との関係に基づいて、前記滅菌槽２内へ供給する滅菌ガスの濃度を設定する構成である。 - 特許庁

To adjust the load by securing the printing order in the same job and preventing concentration of spooling on one spool disc and selecting a computer for pre-spooling in accordance with the capability of another computer connected to a network.例文帳に追加

同一ジョブ内での印字順を保証し、１つのスプールディスクにスプールが集中しないようにすることが可能とし、かつネットワーク接続された他の計算機に対して、その計算機の能力に応じてどちらでプレスプールするかの選択をすることで負荷調整を可能とする。 - 特許庁

The method can additionally include sensing an electrical conductivity of the liquid sample utilizing at least one conductivity sensor and automatically selecting a particular one of a plurality of contaminant concentration detection (CCD) algorithms based on the sensed conductivity.例文帳に追加

さらに、この方法は、少なくとも１つの導電率センサを使用して、液体サンプルの導電率を感知するステップと、感知された導電率にもとづいて、複数の汚染物質濃度検出（ＣＣＤ）アルゴリズムの中からある特定の１つを自動的に選択するステップとを含むことが可能である。 - 特許庁

A second Si layer 23, a first SiGe layer 22 and a first Si layer 21 are formed in the order as a multi-layer epitaxial layer on a bond wafer 2, a hydrogen high concentration layer is formed inside the second Si layer 23 by hydrogen ion implantation, and bonding heat treatment and peeling are performed.例文帳に追加

ボンドウェーハ２上に多層エピタキシャル層として、第二のＳｉ層２３、第一のＳｉＧｅ層２２及び第一のＳｉ層２１をこの順序に形成し、水素イオン打ち込みにより第二のＳｉ層２３内に水素高濃度層を形成し、結合熱処理及び剥離を行う。 - 特許庁

In the method for reforming the slag which lowers the oxygen concentration of the slag existing on the molten steel in a ladle by a reducing agent, the lower oxide in the slag is reduced by blowing inert gas containing the gas of alkaline earth metals from a lance to the slag surface.例文帳に追加

取鍋内の溶鋼上にあるスラグの酸素濃度を還元剤により低減するスラグ改質法において、ランスからアルカリ土類金属のガスを含有する不活性ガスをスラグ表面に吹き付けて、スラグ中の低級酸化物を還元することを特徴とするスラグ改質方法である。 - 特許庁

To provide a method for producing an iron arsenate compound, by which the reaction of depositing an iron arsenate compound having high crystallinity and low elution concentration of arsenic from an arsenic solution can be finished in a short time and an adhesion amount of copper on the iron arsenate compound can be reduced.例文帳に追加

ヒ素溶液から、結晶性が良くヒ素の溶出濃度が低いヒ酸鉄化合物を析出させる反応を、短時間で終了させることが可能であり、且つヒ酸鉄化合物への銅の付着量を少なくすることが可能であるヒ酸鉄化合物の製造方法を提供する。 - 特許庁

The method of manufacturing the organic thin film solar cell having excellent electrical characteristic and durability is provided by optimizing dopant concentration in a buffer layer to 5.0x10^21 cm^-3 or less for preventing corrosion of the transparent electrode in a process of forming the buffer layer on the transparent electrode.例文帳に追加

透明電極上にバッファー層を形成する工程において、バッファー層中のドーパント濃度を５．０×１０^２１ｃｍ^−３以下とし最適化することで、透明電極の腐食を防ぎ、優れた電気特性と耐久性を有する有機薄膜太陽電池の製造方法。 - 特許庁

To provide toner for one-component development suitable especially for DC development, capable of keeping a charged amount and an adhesion amount of the toner on a development roller sufficiently even after continuous printing, preventing ground fog and decline of a print concentration, and preventing fusion onto a restricting blade.例文帳に追加

現像ローラ上でのトナーの帯電量及び付着量を連続印刷後においても十分に維持され、地肌カブリ及び印刷濃度の低下がなく、また、規制ブレードへの融着を生じない、特にＤＣ現像に適した一成分現像用トナーを提供すること。 - 特許庁

To provide a method of carburizing a steel member capable of partially controlling a carburizing depth (carburization concentration distribution) only by changing carburizing conditions without allowing the steel member to pass through specific processes and, thereby, capable of manufacturing a gear having a high bending fatigue strength, in particular on the dedendum.例文帳に追加

特別な工程を経ることなく、浸炭条件を変化させるだけで、部分的に浸炭深さ（浸炭濃度分布）を調節することができ、これにより、特に歯元における曲げ疲労強度の大きい歯車を製造することが可能となる、鋼製部材の浸炭方法を提供する。 - 特許庁

A semiconductor device 10 comprises: a semiconductor substrate 12; an epitaxial layer 14 on a surface of the semiconductor substrate 12, which has a dissociation temperature lower than that of the semiconductor substrate; a zone 16 of increased carrier concentration, which is formed in the substrate; and a metal layer 18.例文帳に追加

半導体デバイス１０は、半導体基板１２と、該半導体基板の表面上にあり、半導体基板の解離温度未満の解離温度を有するエピタキシャル層１４と、半導体基板内に形成された漸増キャリヤー濃度帯１６と、金属層１８とから構成される。 - 特許庁

To provide an epitaxial wafer with high gettering capability by increasing BMD density more than before which has an epitaxial layer grown on a P-type silicon single-crystal wafer with a high dopant concentration and a low resistivity of 0.02 Ω cm or lower.例文帳に追加

ドーパント濃度が高く、０．０２Ω・ｃｍ以下のような低い抵抗率を有するＰ型のシリコン単結晶ウェーハにエピタキシャル層を成長させたエピタキシャルウェーハであって、従来よりもＢＭＤ密度を増大させることにより、高いゲッタリング能力を有するエピタキシャルウェーハを提供する。 - 特許庁

To provide a tap water disinfection method easily clearing a reference value (chloric ion concentration of 0.4 mg/L) by minimizing the production of chloric acid in technique for utilizing electrolytic water containing sodium hypochlorite, which is formed on-site, in the disinfection of tap water.例文帳に追加

水道水の消毒に、オンサイトで生成させた次亜塩素酸ナトリウムを含有する電解水を利用する技術において、塩素酸の生成を最小限度に抑制することにより、基準値（塩素酸イオン濃度０．４ｍｇ／Ｌ）のクリヤが容易である水道水の消毒方法を提供する。 - 特許庁

The treatment method for stabilizing molten slag used as concrete aggregate comprises immersing the molten slag into a magnesium silicofluoride solution having concentration of 5-30 mass% for 30 min to 2 h and then removing the magnesium silicofluoride component sticking on obtained modified molten slag.例文帳に追加

コンクリート用骨材として用いる溶融スラグの安定化処理方法は、溶融スラグを、濃度５〜３０質量％のケイフッ化マグネシウム溶液に３０分〜２時間浸漬した後、得られた改質溶融スラグに付着しているケイフッ化マグネシウム成分を除去する、安定化処理方法である。 - 特許庁

The oxygen sensor arranged on the downstream side of the three-way catalyst comprises an exhaust gas side electrode exposed to exhaust gas, a reference gas side electrode exposed to reference gas as a reference to oxygen concentration, and a electrolyte arranged between the exhaust gas side electrode and the reference gas side electrode.例文帳に追加

三元触媒の下流側に配置される酸素センサにおいて、排ガスに晒される排ガス側電極と、酸素濃度の基準となる基準ガスに晒される基準ガス側電極と、排ガス側電極と基準ガス側電極との間に配置された電解質とを備える。 - 特許庁

This method for producing the cellulose ester is characterized by using at least 1 kind from acid anhydrides as an acylating agent in an organic acid, having 7-14 wt% cellulose concentration in reaction liquid on acylating the cellulose and using a vertical type agitating vessel having ≥2 agitating shafts in one vessel.例文帳に追加

有機酸中でアシル化剤として酸無水物から少なくとも一種を用い、セルロースをアシル化するに際して、反応液中のセルロース濃度が７〜１４重量％であり、１槽に２本以上の撹拌軸を持つ竪型攪拌槽を用いることを特徴とするセルロースエステルの製造方法。 - 特許庁

This polyester chip is prepared by contacting a polyester polymer chip containing 2-30 mmol% titanium compound which is soluble in a polyester in titanium element equivalent based on the total dicarboxylic acid component constructing the polyester, with an alkali metal salt solution of which the alkali metal concentration is in the range of 1 ppm-20 wt%.例文帳に追加

ポリエステルに可溶なチタン化合物を、ポリエステルを構成する全ジカルボン酸成分を基準としてチタン元素換算で２〜３０ミリモル％含有するポリエステルポリマーチップを、アルカリ金属濃度が１ｐｐｍ〜２０重量％の範囲にあるアルカリ金属塩溶液と接触させる。 - 特許庁

Ions of a reference material and ions of a measurement target are simultaneously trapped by an ion trap, so as to quantitatively determine a concentration of the measurement target on the basis of signal intensity of the ions of the reference material discharged selectively by mass and signal intensity of fragment ions of the measurement target.例文帳に追加

標準物質のイオンと測定対象物質のイオンを、イオントラップに同時にトラップし、質量選択的に排出した標準物質のイオンの信号強度と、測定対象物質のフラグメントイオンの信号強度から、測定対象物質の濃度を定量する。 - 特許庁

The seed crystals of tagatose are added to a solution containing the tagatose of ≥70% purity on the solid basis with 60-98 mass % solid concentration and the solution is stirred and cooled as the supersaturation of the tagatose is kept at ≤1.25 whereby the tagatose is crystallized out.例文帳に追加

固形分当りのタガトース純度が７０％以上であって、かつ固形分濃度が６０〜９８質量％のタガトースを含有する溶液にタガトースの種結晶を加え、タガトースの過飽和度を１．２５以下に保ちつつ、撹拌・冷却することによりタガトースを晶析させる。 - 特許庁

To provide an iron ion implantation method and an iron ion implantation quantity control device for reliably forming a target iron coat on the inner surface of a cooling pipe by appropriately adjusting the concentration and implantation time of iron ion implanted into cooling water flowing in a condenser cooling pipe.例文帳に追加

復水器冷却管を流れる冷却水へ注入する鉄イオンの濃度と注入時間を適切に調節して、冷却管の内面に目標の鉄皮膜を確実に形成することができる鉄イオン注入方法及び鉄イオン注入量制御装置を提供する。 - 特許庁

To provide a hydrogen sensor capable of the mutual diffusion of an atom between a hydrogenated metal film and a hydrogen permselective film, under high concentration hydrogen atmosphere and is capable of suppressing precipitation of hydrogenated metals on the surface of the hydrogen permselective film, a power generating device and an electronic device.例文帳に追加

高濃度の水素雰囲気下において、水素化金属膜と水素選択透過膜との間での原子の相互拡散を防止でき、水素化金属の水素選択透過膜表面への析出を抑制することができる水素センサ、発電装置及び電子機器を提供する。 - 特許庁

The platinum catalyst supports platinum on the carrier by dipping the carrier in the dinitrodiammine platinum nitric acid solution being light absorbance of 1.5-3 at 420 nm and alkali consumption of 0.15-0.35 when diluted with pure water to become a platinum concentration of 1 g/L.例文帳に追加

１ｇ／Ｌの白金濃度となるように純水で希釈した場合に、４２０ｎｍにおける吸光度が１．５〜３であり、アルカリ消費量が０．１５〜０．３５であるジニトロジアンミン白金硝酸溶液及び該白金硝酸溶液中に担体を浸漬して白金を担体上に担持する白金触媒。 - 特許庁

The ^18F isotope-labeled FDG radiopharmaceutical is stabilized against degradation in radiochemical purity due to radiolysis using selected amounts of ethyl alcohol that depend on the activity concentration of the ^18F, considering the limits set by various pharmacopoeia standards.例文帳に追加

種々の薬局方基準によって定められた限界値を考慮し、^１８Ｆの放射能濃度に応じて選択された量のエチルアルコールを使用して、放射線分解に起因する放射化学的純度の低下に対して^１８Ｆ同位体標識FDG放射性製剤が安定化される。 - 特許庁

Consequently, by burning soot on the interface between the first electrode and an oxygen ion conductor (by a mixed potential reaction) at a controlled temperature of 300-550°C, a soot concentration in measuring gas can be detected by an electromotive force generated between both electrodes 9, 11.例文帳に追加

よって、３００℃〜５５０℃の温度に制御して、第１電極−酸素イオン導電体界面にて（混合電位反応によって）煤を燃焼させることにより、両電極９、１１間に発生する起電力によって、被測定ガス中の煤濃度を検出することができる。 - 特許庁

To provide a process of producing hydrogen containing gas for a fuel cell having an appropriate concentration of oxygen to oxidize CO on the platinum electrode catalyst at the introduction of hydrogen containing gas in a fuel cell of a solid polymer type and the like capable of defending against the poisoning of the electrode catalyst.例文帳に追加

水素含有ガスを固体高分子型等の燃料電池に導入する際、白金電極触媒上でＣＯの酸化反応を起こさせることにより、該電極触媒の被毒の抑制が可能な、Ｏ_2 濃度が適当量含まれた燃料電池用水素含有ガスの製造方法を提供する。 - 特許庁

This method for producing 1,3-dioxane by performing a reaction of ethylene with formaldehyde in the presence of a heteropolyacid and water is provided by using 1-1,800 mol equivalent existing amount of water based on the heteropolyacid or 30-60,000 ppm water concentration in the reaction solution.例文帳に追加

ヘテロポリ酸触媒および水の存在下、エチレンとホルムアルデヒドとを反応させて１，３−ジオキサンを製造する方法であって、水の存在量がヘテロポリ酸に対して１〜１８００モル等量、または反応溶液中の水濃度として３０〜６００００ｐｐｍである１，３−ジオキサンの製造方法。 - 特許庁

A control circuit 18 estimates nitrogen concentration in the gas inside a hydrogen discharging channel 8 on the basis of the difference ΔT between correction theoretical combustion temperature T6 and correction combustion temperature T5, and controls stoichiometric ratio of hydrogen inside the hydrogen circulation channel 5a in accordance with the result of the estimation.例文帳に追加

制御回路１８が、補正理論燃焼温度Ｔ６と補正燃焼温度Ｔ５の温度差ΔＴに基づいて、水素排出路８内のガス中に含まれる窒素濃度を推定し、推定結果に従って水素循環路５ａ内の水素の化学量論比を制御する。 - 特許庁

The antioxidative component that contains a flavonoid or is mainly composed of a flavonoid and exhibits a suppressing action on human erythrocyte deformation ability is acquired by subjecting brown sugar to a separative extraction using a high-concentration acetic acid and, if required, to refinement by gel chromatography.例文帳に追加

黒糖から、高濃度酢酸を用いて分離抽出操作を施すことにより、また、必要によりゲルクロマトグラフィーで精製することによって、フラボノイドを含有またはフラボノイドを主成分とし、ヒト赤血球変形能低下抑制作用をも有する抗酸化性成分を取得する。 - 特許庁

On public works expenditure, we will continue to pursue radical revisions of large-scale public works while taking steps to increase rationality and efficiency through even greater selection and concentration, as well as rigorous cost reduction. We will also ensure that budget allocations are diverted to genuinely necessary social infrastructure improvement, among others. 例文帳に追加

公共事業関係費については、大規模公共事業の抜本的な見直しを引き続き進めるとともに、更なる選択と集中やコスト縮減の徹底を通じて合理化・効率化を図りつつ、真に必要な社会資本整備等に重点的に予算を配分しております。 - 財務省

As for expenditures related to education and science, we will place priority on measures that will contribute to the establishment of reliable public education and increase appropriations for science and technology, which should be the driving force behind innovation-led economic growth while thoroughly enforcing the policy of "selection and concentration" in this area.例文帳に追加

文教及び科学振興費については、文教分野において、信頼できる公教育の確立に資する施策等に重点的に対応するとともに、イノベーションを通じた経済成長の源となる科学技術分野において、選択と集中の徹底を図りつつ増額しております。 - 財務省

In an RESURF MOSFET, an n-type upper diffusion area 115 that has higher n-type impurity concentration than that in other parts of a drift area 102 is provided between a drain area 109 and a drift embedded area 114 on the surface of an n-type drift area 102.例文帳に追加

ＲＥＳＵＲＦＭＯＳＦＥＴにおいて、Ｎ型ドリフト領域１０２の表面部におけるドレイン領域１０９とドリフト埋め込み領域１１４との間に、ドリフト領域１０２の他の部分と比べてより高いＮ型不純物濃度を有するＮ型上部拡散領域１１５が設けられている。 - 特許庁

After an inspection switch 40 is turned on, an MPU 20 notifies an alarm occurrence frequency of past one year by a blink of a power lamp/failure display lamp 50, and notifies a frequency of a high-concentration alarm in a CO gas alarm by a blink of a CO gas alarm lamp 31b.例文帳に追加

点検スイッチ４０がＯＮされた後に、ＭＰＵ２０が、過去１年の警報発生回数を電源ランプ／故障表示ランプ５０の点滅により通知して、ＣＯガス警報における高濃度警報の回数をＣＯガス警報ランプ３１ｂの点滅により通知する。 - 特許庁

To enable quick convergence of an air-fuel ratio to its target ratio even if the target air-fuel ratio suddenly changes when alcohol concentration in fuel greatly changes in an air-fuel ratio control device for an internal combustion engine carrying out FF correction and FB correction on a learned correction base fuel injection quantity.例文帳に追加

学習補正基本燃料噴射量に対してＦＦ補正及びＦＢ補正がなされる内燃機関の空燃比制御装置において、燃料中のアルコール濃度に大きな変化があった場合において目標空燃比が急変しても空燃比を迅速に目標空燃比に収束させること。 - 特許庁

No projections are formed on the inner surface of the steel pipe 3 to prevent the occurrence of stress concentration against unexpected external force by a slip between the inner surface of the steel pipe 3 and concrete owing to the antisticking layer, thus preventing the fracture of concrete in the steel pipe.例文帳に追加

鋼管３内面突起を形成せず、コンクリートと鋼管３が付着防止層によって鋼管３内面とコンクリートの間をスリップさせることにより不測の外力に対して応力集中の発生を防ぎ、鋼管内のコンクリートが破断されることがないようにした。 - 特許庁

To provide a polyacrylamide gel for electrophoresis which enables the application of electrophoresis based on the Laemmli method and Native method widely used for separation and analysis of proteins and achieves a wider range of fractional molecular weights with even concentration and moreover, excellent preservation stability.例文帳に追加

蛋白質の分離分析に汎用されているレムリー法、Ｎａｔｉｖｅ法に基づいた電気泳動法が適用可能で、また均一濃度で広い分画分子量範囲を持ち、更に優れた保存安定性を持つような電気泳動用ポリアクリルアミドゲル、その製造方法及びその使用方法を提供する。 - 特許庁

The processing method includes the selective etching of a nitride film by using the etching solution, that is, the hydrofluoric acid-added phosphoric acid solution, and a means for determining the content of hydrofluoric acid in the etching solution for controlling, based on the thus-determined content, the concentration of hydrofluoric acid in the etching solution.例文帳に追加

本発明の処理方法は、フッ酸が添加された燐酸溶液からなるエッチング液を用いて、窒化膜を選択的にエッチングすることを含み、前記エッチング液中のフッ酸の含有量を検出し、前記含有量に基づき、前記エッチング液のフッ酸の濃度を制御する手段を含む。 - 特許庁

To provide a semiconductor device manufacturing method, by which a silicide film having low resistance and a stable electrical characteristic can be formed in self-alighing way, without deteriorating the characteristic of a semiconductor device even on a fine gate electrode containing an impurity at a high concentration and a diffusion layer.例文帳に追加

低抵抗かつ安定した電気特性を有するシリサイド膜を、微細で不純物濃度が高いゲート電極及び拡散層上においても、デバイス特性に劣化を生じることなく、自己整合的に形成することができる半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide an information processor and an information processing method, allowing service provision to all clients (users) at a certain service level while preventing a server from being overloaded by reducing concentration of access from some clients without requiring special processing on the client side.例文帳に追加

クライアント側での特別な処理を必要とせずに、一部のクライアントからのアクセスの集中を減らすことによってサーバが過負荷になることを防止し、全てのクライアント（ユーザ）に一定のサービスレベルでサービス提供可能な情報処理装置および情報処理方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a liquid image forming apparatus capable of excellently forming an image on various kinds of transfer material in the case of using high-viscosity and high concentration liquid developer in comparison with the conventional liquid developer, and a method for regulating the liquid film of a developed image in the liquid image forming apparatus.例文帳に追加

従来の液体現像剤に比べて高粘性高濃度の液体現像剤を用いた場合に、種々の転写材について良好に画像形成することができる液体画像形成装置及び該液体画像形成装置における現像像の液膜規制方法を提供する。 - 特許庁

The filter cloth circulation parts 11, 12 respectively have filter cloths 15, 18 which are endlessly formed and substantially elliptically circulated and driven, and the filter cloths 15, 18 perform filtration concentration of the sludge M supplied to surfaces 15a, 18a located on the upper sides thereof while conveying the sludge M in the conveyance directions A, B.例文帳に追加

濾布循環部１１，１２は、無端状に形成され略長円状に循環駆動する濾布１５，１８をそれぞれ有し、濾布１５，１８は、その上方側に位置する面１５ａ，１８ａに供給された汚泥Ｍを搬送方向Ａ，Ｂに搬送しながら濾過濃縮する。 - 特許庁

Also, the fifth wheel 271 and the third wheel 272 are arranged with concentration in a position overlapping in a plane on the middle second wheel 273, and so the space efficiency can be made good and expansion of the layout of a gear train 27 for hour and minute hands in radial direction is suppressed and reduction in size can be promoted.例文帳に追加

また、五番車２７１および三番車２７２は、中央の二番車２７３に対しても平面的に重なる位置に集約して配置されているため、スペース効率を良好にでき、時分針用輪列２７のレイアウトが径方向へ拡がるのを抑えて小型化を促進できる。 - 特許庁

Microwave power generated by the plasma source elementary substances 10a to 10d is changed in accordance with the concentration distribution of material gas G1 introduced into the chamber 1 by the material gas introducing system 7, whereby the thin film of the uniform film thickness and film quality is formed on a substrate S of a large area.例文帳に追加

材料ガス導入系７によりチャンバー１内に導入された材料ガスＧ１の濃度分布に応じて、プラズマソース単体１０ａ〜１０ｄが発生するマイクロ波パワーを変えることにより、大面積の基板Ｓに均一な膜厚、膜質の薄膜を形成する。 - 特許庁