「-ion」に関連した英語例文の一覧と使い方(201ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a treating agent for purifying liquids, which is used for producing a high-purity liquid material by removing an ion of a harmful metal such as sodium to be contained in a liquid for electronic materials containing an organic solvent occasionally and which includes high ion exchange capacity, a high ion exchange rate and excellent liquid permeability.例文帳に追加

有機溶媒を含むこともある電子材料用液体に含まれる、有害なナトリウム等の金属イオンを除去して高純度の液体材料を製造するために、高いイオン交換容量と交換速度を持ち、通液性の良い液体精製用処理剤を提供する。 - 特許庁

Ion energy, ion incident angle to the surface of material, temperature of silicon layer, forming depth of the vertical portion, height of vertical portion and ion passing range to silicon are all determined with reference to the wavelength of the selected waving (vertical) portion in the range of 9 nm to 120 nm.例文帳に追加

イオンエネルギー、前記材料の表面へのイオン入射角、シリコン層の温度、波状起伏の形成深さ、前記波状起伏の高さ、及びシリコンへのイオン貫通範囲は全て、９ｎｍ〜１２０ｎｍの範囲における波状起伏の選択された波長を基準として決定される。 - 特許庁

The power supply for ion beam generators is provided with the discharge power supply 6 inserted between an anode 1b and a cathode 1a of the ion beam generator 1 and a beam power supply 7a inserted among the cathode 1a of the ion beam generator 1, a screen electrode 1c and an earth.例文帳に追加

イオンビーム発生装置用電源は、イオンビーム発生装置１の陽極１ｂと陰極１ａとの間に挿入される放電電源６と、イオンビーム発生装置１の陰極１ａ及びスクリーン電極１ｃと接地との間に挿入されるビーム電源７ａを備えている。 - 特許庁

Further, a flow volume of the sample gas introduced to the APCI ion source 2 is set more than that introduced into the EI ion source, and pressure of each ion source is maintained, whereby, analysis by each ionization is enabled to carry out with good balance in an aspect of sensitivity.例文帳に追加

また、ＡＰＣＩイオン源２に導入する試料ガス流量をＥＩイオン源３に導入する試料ガス流量より多くなるようにして、各イオン源の圧力が維持できるようにした上で、感度面でバランスよく、各イオン化による分析を行えるようにする。 - 特許庁

A cell is cultured in a cell culture chamber 5 and a metal ion capable of producing a chelate compound between the metal ion and a protein and a lysozyme are fed from a liquid inlet 3 to the cell and a cell membrane of the cell is broken by heating and the chelate compound is produced from the protein and its metal ion.例文帳に追加

細胞培養チャンバー５で細胞を培養した後、液入口３からタンパク質との間にキレート化合物を生成しうる金属イオン及びリゾチームを供給し、加熱して、細胞の細胞膜を破壊し、タンパク質とその金属イオンによりキレート化合物を生成させる。 - 特許庁

An etch-stopping layer 6', which is higher in oxygen concentration than its peripheral area is formed in a second single-crystal silicon substrate 1, by forming an ion-implanted layer 6 for stopping etching through ion implantation and performing an oxygen diffusing step of making oxygen diffuse toward the ion-implanted layer 6.例文帳に追加

第二シリコン単結晶基板１中に、イオン打ち込み法によりエッチストップ用イオン注入層６を形成し、次いでエッチストップ用イオン注入層６に向けて酸素を拡散させる酸素拡散工程を行なって、周囲部分よりも酸素濃度が高いエッチストップ層６’を形成する。 - 特許庁

In the time-of-flight mass spectrograph method in which an ion mass electric charge ratio is measured by using a spiral orbit composed of a plurality of laminated electric fields, an ion gate arranged at an upper stream of a detecting unit rejects selectively only the ion having a predetermined mass electric charge ratio.例文帳に追加

複数の積層電場で構成されたらせん軌道を用いてイオンの質量電荷比を測定する飛行時間型質量分析方法において、検出器の上流に置かれたイオンゲートにより、所定の質量電荷比を有するイオンのみを選択的に排除するようにした。 - 特許庁

To provide a separator for a lithium ion secondary battery excellent in ion conductivity, electrolyte liquid holding property, close contact/adhesion property with an electrode, dimensional stability and heat resistant property, and to provide a lithium ion secondary battery using above separator with excellent capacity property, charging/discharging property, safety and reliability.例文帳に追加

イオン伝導性、電解液保持性、電極との密着性・接着性、寸法安定性、耐熱性に優れたリチウムイオン二次電池用セパレーターを提供し、該セパレーターを用いて得られる容量特性、サイクル特性、充放電特性、安全性、信頼性に優れたリチウムイオン二次電池を提供する。 - 特許庁

The water treatment apparatus comprises such a poly ion complex membrane 20, means for supplying raw water to one side of the poly ion complex membrane 20, and means for discharging the treated water from the other side of the poly ion complex membrane 20 and apparatus gives high flux at a low pressure while keeping high desalination capability.例文帳に追加

このようなポリイオンコンプレックス膜２０と、該ポリイオンコンプレックス膜２０の一方の側に原水を供給する手段と、該ポリイオンコンプレックス膜２０の他方の側から処理水を取り出す手段とを備えてなる水処理装置で、高脱塩性能を維持しつつ、低圧力で高フラックスが得られる。 - 特許庁

A metal ion, for example, a sodium ion generated by electrode reaction at the fuel electrode is diffused by a water-absorbent buffer material 6 by interposing a water-absorbent buffer material 6 between the fuel electrode 51 and the permeation membrane 3, and an effective sodium ion passing area on the permeation membrane is improved.例文帳に追加

燃料極５１と透過膜３との間に吸水性の緩衝材６を介在させることで、燃料極での電極反応によって生成した金属イオン例えばナトリウムイオンが、保水された緩衝材によって拡散され、透過膜におけるナトリウムイオンの有効通過面積が向上する。 - 特許庁

The inorganic formed body is manufactured by bringing the anti-bacterial/anti-fungal deodorizing metal ion into contact with raw material powder consisting essentially of calcium silicate to replace calcium ion by the anti-bacterial/anti-fungal deodorizing metal ion and forming and aging (carbonation treatment) under a carbon dioxide atmosphere.例文帳に追加

このような無機成形体は、ケイ酸カルシウムを主成分とする原料粉末に抗菌抗カビ消臭性金属のイオンを接触させてカルシウムイオンを抗菌抗カビ消臭性金属のイオンに置換した後、成形して炭酸ガス雰囲気下で養生（炭酸化処理）することにより製造される。 - 特許庁

To provide a positive and negative ion generator with the effect of removing/inactivating contamination sources from organisms such as viruses, bacteria, mold and allergen by utilizing the respective excellent features of flat and three-dimensional positive and negative ion generating elements, and an air cleaner provided with the positive and negative ion generator.例文帳に追加

平面型と立体型の正負イオン発生素子のそれぞれ優れた特徴を利用して、ウイルス、細菌、カビ、アレルゲン等の生物に起因する汚染原因を除去・不活化する効果のある正負イオン発生装置及び正負イオン発生装置を備えた空気浄化装置を提供する。 - 特許庁

When the anionic group and cationic group which the polymer electrolyte has are nearly ionized, protons of the anionic group move to the cationic group and protons capable of ion exchange become non-existent, thereby ion exchange reaction by metal ion is suppressed and the fuel cell performance is not degraded.例文帳に追加

高分子電解質が有するアニオン性基及びカチオン性基がほとんどイオン化していると、アニオン性基のもつプロトンがカチオン性基に移動してイオン交換できるプロトンが存在しなくなるので、金属イオンによるイオン交換反応が抑制され、燃料電池性能は悪化しない。 - 特許庁

In the method for manufacturing the magnetic head by forming a hard mask on a magnetic material layer and forming the inverted-trapezoidal main magnetic pole by ion milling which is irradiation with ion beams from an oblique direction, the width (the width of the bottom) W and the side wall inclination α of the hard mask before the ion milling are measured.例文帳に追加

磁性材料層上にハードマスクを形成し、斜め方向からイオンビームを照射するイオンミリングで逆台形状の主磁極を形成する磁気ヘッドの製造方法に関し、イオンミリングの前のハードマスクの幅（底部の幅）Ｗ及び側壁傾斜角αを測定する。 - 特許庁

To provide a mesocarbon microbead graphitized material, exhibiting high discharging capacity and low initial charging and discharging loss, when being used as negative electrode material for a lithium ion secondary battery, negative electrode material for the lithium ion secondary battery using the graphitized matter, and a small and light lithium ion secondary battery using the negative electrode material.例文帳に追加

リチウムウイオン二次電池用負極材として用いたときに、高放電容量で、初回充放電ロスが小さいメソカーボンマイクロビーズ黒鉛化品、該黒鉛化品を用いたリチウムウイオン二次電池用負極材と該負極材を用いた軽量・小型リチウムウイオン二次電池の提供。 - 特許庁

In a step of doping the first halo region, oblique ion implantation is carried out, with the use of a gate electrode as a mask, and in a step of doping the second halo region, vertical ion implantation is carried out with use of the gate electrode as the mask and with a dose rate which is larger than the dose rate of the first halo region ion implantation.例文帳に追加

第１ハロー領域のドーピング工程を、ゲート電極をマスクとして、斜めにイオン注入し、さらに、第２ハロー領域は、ゲート電極をマスクとして、垂直に、かつ第１ハロー領域のイオン注入ドーズ量よりも大きなドーズ量でイオン注入することにより形成する。 - 特許庁

In the ion implantation device parallelizing an ion beam scanned at a scanner 20 by an angle compensator 24, and implanting it in a semiconductor wafer 34, first, beam parallelism is measured by a measurement system 80, and then, the angle compensator 24 is controlled based on the result to adjust the ion beam to have a desired beam parallelism.例文帳に追加

スキャナー２０で走査されたイオンビームを角度補正器２４で平行化し、半導体ウエハ３４に注入するイオン注入装置において、先ず、測定システム８０でビーム平行度を測定し、その結果に基づいて角度補正器２４を制御して所望のビーム平行度になるよう調節する。 - 特許庁

To provide a negative ion source, an ion beam analysis device, an etching device, an oxygen radical generation device and an waste gas processor which can attain a large ion current by generating a surface-like negative ions by utilization of diamond semi-conductor device structure, with a diamond serving as a semi-conductor.例文帳に追加

ダイヤモンドを半導体と捉えて、ダイヤモンド半導体デバイス構造を利用して、面的な負イオン生成を実現することにより、大きなイオン電流を実現することができる負イオン源、イオンビーム分析装置、エッチング装置、酸素ラジカル発生装置及び排ガス処理装置を提供する。 - 特許庁

The green colored coating film of the metallic material which has high corrosion resistance is formed on the surface of a zinc-containing coating film by cathodically electrolyzing a metallic material having a zinc-containing layer on the surface in an electrolysis treatment bath including an aqueous solution containing Ni or Co ion, nitrate ion and phosphate ion.例文帳に追加

表面に亜鉛（Ｚｎ）を含有する層を有する金属材料を、ＮｉイオンまたはＣｏイオン、硝酸イオン、りん酸イオンを含む水溶液からなる電解処理浴中でカソード電解処理し、該Ｚｎ含有層の表面に耐食性に優れた金属材料の着色皮膜の形成する。 - 特許庁

The ion generator 6 provided with a shutter member 18 near a downstream side of an blower fan 16 and an ion generating part 17 generating ions, is mounted on an air supply duct 9 of the range hood, and the attachment of oil components to the ion generating part 17 is minimized by the shutter member 18.例文帳に追加

送風ファン１６およびイオンを発生するイオン発生部１７の下流側近傍にシャッタ部材１８を配置したイオン発生装置６を、レンジフードの給気ダクト９に設置し、シャッタ部材１８により、イオン発生部１７に油分が付着するのを極力避ける。 - 特許庁

To provide an ionizer control system for automating the evaluation, monitoring and ion-balance control of the performance of an ionizer and an ion monitor and their operating conditions by using short-distance radio communication means such as the Bluetooth (a registered trademark) provided for each of the ionizer, the ion monitor and a server.例文帳に追加

イオナイザ、イオンモニタ及びサーバの相互間でブルートゥース（登録商標）等による近距離無線通信手段を構築し、この無線通信手段を用いて、イオナイザ，イオンモニタの性能や動作状態の評価、監視、並びにイオンバランスの調整等を自動的に行うイオナイザ制御システムを提供する。 - 特許庁

This gas pressure regulator has an electrochemical cell composed of a first pole for decomposing gas into an ion, a second pole for converting the ion generated by the first pole again into gas, and an ion conductor sandwiched between both these poles, and a high pressure vessel arranged on one side of this electrochemical cell.例文帳に追加

ガスをイオンに分解する第１極、前記第１極で発生した前記イオンを再びガスに転化する第２極、及びこれらの両極間に挟持されたイオン伝導体とからなる電気化学セルと、この電気化学セルの一方の側に配された高圧容器とを有するガス圧調整装置。 - 特許庁

This device is capable of using a pure soap with sodium ion water formed by passing tap water through an ion exchange resin cylinder (2) and makes the water molecule cluster smaller by passing the tap water through a magnetic cylinder (7) or minus ion ceramic cylinder (22) and forms treatment water with a better detergence.例文帳に追加

水道水をイオン交換樹脂筒（２）に通し生成されたナトリウムイオン水によって純石けんを使用可能にし、さらに磁石筒（７）あるいはマイナスイオンセラミック筒（２２）を通すことによって水の分子の集まりを小さくし、洗浄力を増す処理水を生成することを特徴とする。 - 特許庁

This invention is applied to an AEF (angle energy filter) provided in the middle of a beam path in an ion implanting device irradiating an ion beam on a wafer to treat it and selecting only ions of required energy species from the ion beam by at least a magnetic field between an electric field and the magnetic field.例文帳に追加

本発明は、イオンビームをウエハに照射して処理するイオン注入装置におけるビーム経路の途中に設けられて電場、磁場のうち少なくとも磁場によってイオンビームから必要なエネルギー種のイオンのみを選択するＡＥＦ（角度エネルギーフィルター）に適用される。 - 特許庁

Next, the resin substrate 1 is immersed into copper sulfate water solution as a absorption treating liquid 3, the potassium ion and copper ion are replaced , after an appropriate time, the resin substrate 1 is immersed into sodium borohydride water solution as a reduction availability liquid 4, and the copper ion is fixed as a metal copper.例文帳に追加

次に、樹脂基材１を吸着処理液３としての硫酸銅水溶液中に浸漬し、カリウムイオンと銅イオンとを置換し、しかる後に、樹脂基材１を還元性液４としての水素化ホウ素ナトリウム水溶液に浸漬し、銅イオンを金属銅として定着させる。 - 特許庁

To provide mesoporous powder which can be bonded to an organic functional material with the force stronger than that of mesoporous powder comprising sole silica and to provide a metal ion sensor obtained by using the mesoporous powder, a method for detecting a metal ion, a metal ion adsorbing material and a method for recovering a metal.例文帳に追加

本発明は、シリカ単独のメソポーラス粉末よりも強力に有機機能材料と結合できるメソポーラス粉末とこれを用いた金属イオンセンサー及び金属イオン検出方法並びに金属イオン吸着材と金属回収方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

A method of inspecting a lithium ion secondary battery is characterized in that, after a step of charging the lithium ion secondary battery, a potential difference Δ between an exterior can and a negative electrode external terminal is measured and a lithium ion secondary battery in which the potential difference Δ is a predetermined value or more is determined non-defective.例文帳に追加

本発明のリチウムイオン二次電池の検査方法は、リチウムイオン二次電池の充電工程を経た後、外装缶と負極外部端子との間の電位差Δを測定し、この電位差Δが予め定めた所定値以上であるものを良品と判定することを特徴とする。 - 特許庁

The combustion control device includes an ignition coil CL, a switching element Q controlling the energization of the ignition coil, an ECU performing the on/off-operation of the switching element, an ignition plug PG operating for electric discharge, and an ion current detection circuit ION outputting a detection signal proportional to the ion current.例文帳に追加

点火コイルＣＬと、点火コイルの通電を制御するスイッチング素子Ｑと、スイッチング素子をＯＮ／ＯＦＦ動作させるＥＣＵと、放電動作をする点火プラグＰＧと、イオン電流に比例した検出信号を出力するイオン電流検出回路ＩＯＮと、を有する。 - 特許庁

A wind is sent forward from an air vent 43a of a ventilation mechanism 31 in an ion eliminator (ion generator), and the wind is sent out from a blowing-out port 34a by passing through an internal space 52a of a duct 52, an ion generation space 33, and a blowing-out flow passage 34.例文帳に追加

除電装置（イオン発生装置）においては、送風機構３１の送風口４３ａから前方に風が送出され、この風が、ダクト５２の内部空間５２ａ、イオン発生空間３３及び吹き出し流路３４を通過して、吹き出し口３４ａから送出される。 - 特許庁

The ion exchange membrane electrolytic cell which is an electrolytic cell arranged with a cathode in tight contact with the ion exchange membrane, in which a carbon fiber elastic body is arranged between the cathode and a cathode current collector and the cathode is brought into tight contact with the ion exchange membrane by the carbon fiber elastic body.例文帳に追加

イオン交換膜に密着して陰極が配置されたイオン交換膜電解槽において、陰極と陰極集電体の間には炭素繊維弾性体が配置されて、炭素繊維弾性体によって陰極をイオン交換膜に密着したイオン交換膜電解槽である。 - 特許庁

In the ion implanting method, contaminant ions of first dose as a part of whole dose of the contaminant ions planed to be implanted is implanted by a perpendicular ion implantation (520), and contaminant ions of remaining dose formed by removing the first dose from the whole dose is processed in the tilt ion implantation (530).例文帳に追加

このイオン注入方法によれば、まず、注入しようとする不純物イオンの全体ドーズの一部である第１ドーズの不純物イオンを、垂直イオン注入により注入し（５２０）、続いて、全体ドーズから第１ドーズを除外した残りドーズの不純物イオンをチルトイオン注入する（５３０）。 - 特許庁

To provide a method for evaluating the concentration of ion impurities in secondary coolant at a PWR-type nuclear power plant which makes it possible to work out rational countermeasures to restrain the concentration of the ion impurities from rising by projecting the changes in the concentration of the ion impurities in the secondary coolant.例文帳に追加

二次冷却材中イオン不純物濃度の変化を予測することにより、イオン不純物の上昇を抑制するための合理的な対策を立案することを可能としたＰＷＲ型原子力発電所における二次冷却材中のイオン不純物濃度評価方法を提供する。 - 特許庁

Even if ions generated in the ionization chamber 1 travel so that they approach the electron introduction inlet 11 and the electron emission port 12, the ions are hit back by an electric field by the electrode 6 for preventing ion leakage, thus reducing ion loss and increasing the amount of ion that is utilized for its original purpose.例文帳に追加

イオン化室１内で発生したイオンが電子導入口１１や電子出射口１２に近づくように移動してもイオン漏出防止用電極６による電場によってはね返されるため、イオンの損失を軽減することができ、本来の目的に利用し得るイオン量が増加する。 - 特許庁

To provide a solid electrolyte film wherein ion conductivity of an interface between an electrode active material layer and a solid electrolyte layer and ion conductivity among fine particles of the solid electrolyte are improved, and fire retardancy, namely, high heat-resistance is prepared on a lithium ion battery especially using a solid electrolyte and a lithium battery.例文帳に追加

特に固体電解質を用いるリチウムイオン電池及びリチウム電池における電極活物質層と固体電解質層の界面のイオン伝導性及び固体電解質の細粒間のイオン伝導性を改善し、同時に難燃性即ち高耐熱性を備えた固体電解質膜を提供する。 - 特許庁

To provide a charging method and a charging device for a lithium ion battery capable of suppressing variations in the charging amount of a plurality of lithium ion batteries, and a discharging controller capable of supplying power to a load while preventing overdischarging of the lithium ion battery of which the battery voltage drops to a lower limit.例文帳に追加

複数のリチウムイオン電池の充電量のばらつきを抑えたリチウムイオン電池の充電方法および充電装置、ならびに電池電圧が下限値まで低下したリチウムイオン電池の過放電を防ぎながらも負荷に電力を供給させる放電制御装置を提供する。 - 特許庁

In this ion beam device, cations generated in an ionization chamber 5 with energy of at most several eV do not pass through an ion suppressing electrode 12 by an electric field E2 formed between the ionization chamber 5 and the ion suppressing electrode 12 controlled at a potential of some ten V to the ionization chamber 5.例文帳に追加

イオン化室５で生成された高々数ｅＶのエネルギーの陽イオンは、イオン化室５とそのイオン化室５に対して数１０Ｖの電位に制御されたイオン抑制電極１２間に形成される前記電場Ｅ_2により、イオン抑制電極１２を通過することはない。 - 特許庁

The upflow regeneration type ion exchange apparatus 1 is provided with a resin housing part 2 packed with the ion exchange resin 5 and a regenerating liquid supply unit 4 for supplying a regenerating liquid to the resin housing part 2 when the ion exchange apparatus is in regeneration operation.例文帳に追加

イオン交換樹脂５を充填した樹脂収容部２と、再生作動時に前記樹脂収容部２へ再生液を供給する再生液供給装置４とを備えた上向流再生式のイオン交換装置１において、前記再生液供給装置４に再生液加温手段２３を設ける。 - 特許庁

A crystal structure of a net basket shape is formed by a reaction with an inorganic acid and hydrogen ion is adsorbed and the crystal structure of a net basket shape is covered by a reaction with an organic acid, and the hydrogen ion is inactivated and a deposition with reducibility having a lot of the hydroxide ion is obtained.例文帳に追加

無機酸との反応で空洞を有する網かご状の結晶構造を生成して水素イオンを吸着させ、有機酸との反応で網かご状結晶構造を被覆して、水素イオンを不活性化させて水酸イオンが多く存在させた還元性のある沈殿物を得る。 - 特許庁

To provide a beam source and a beam treatment device capable of uniformly irradiating various beams like positive ion, negative ion, neutral particles or the like on a treated object in a large ion current density and in a large diameter, and realizing a large caliber and longer life of a grid electrode.例文帳に追加

正イオン、負イオン、中性粒子等の各種ビームを低エネルギ、大イオン電流密度で、かつ、大口径で均一に被処理物に照射することができると共に、グリッド電極の大口径化、および長寿命化ができるビーム源、およびビーム処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a treatment method of ion exchange resin regeneration waste liquid which can efficiently decompose away impurities in the ion exchange resin regeneration waste liquid generated when regenerating ion exchange resin used for removing the impurities, such as organic matter, in raw water, such as a river, with regenerant.例文帳に追加

河川等の原水中の有機物等の不純物を除去する際に使用されたイオン交換樹脂を再生液で再生するときに発生するイオン交換樹脂再生廃液中の不純物を効率的に分解除去することのできる再生廃液の処理方法を提供する。 - 特許庁

The negative ion generator includes a fountain generating mechanism part 1 to generate a fountain and a negative ion generation stone 40 installed on the surface onto which fountained water drops down to enable a user to bathe in air containing negative ion components in the form of a fountain.例文帳に追加

本発明のマイナスイオン発生装置は、噴水を発生する噴水発生機構部１と、当該噴水の水の落下面に敷設したマイナスイオン生成石４０とを具備し、マイナスイオン成分を含有する空気を噴水の形態にして浴びることができるようにしたものである。 - 特許庁

Thereby, first the ion implantation is carried out obliquely with respect to the normal direction of the n+-type semiconductor substrate 1, and thereafter the ion implantation is carried out with the inclination state thereof which is opposite to that to the prior ion implantation with respect to the normal as the central line.例文帳に追加

これにより、まず、ｎ^+ 型半導体基板１の法線方向に対して傾斜させた状態でイオン注入が行われ、その後、法線を中心として、先に行われたイオン注入の傾斜の反対方向に傾斜させた状態でイオン注入が行われる。 - 特許庁

The method of producing a negative electrode material for nonaqueous electrolyte secondary battery, in which metal or a compound thereof is dispersed and fixed in a carbonaceous material, includes an ion-exchange step for adsorbing metal ions to an ion-exchange resin, and a step for subsequently heat treating the ion-exchange resin.例文帳に追加

イオン交換樹脂に金属のイオンを吸着させるイオン交換工程と、その後にイオン交換樹脂を熱処理する工程とを含むことを特徴とする、炭素質材料中に金属またはその化合物が分散固定された非水電解質二次電池負極材料の製造方法である。 - 特許庁

The neutral particle beam treatment device 10 comprises an ion generating means for generating ions in an ion generation chamber 14, an extraction means for extracting the ions in the ion generation chamber 14 to a neutralization chamber 16, and a neutralizing means for neutralizing the extracted ions to generate the neutral particle beam.例文帳に追加

中性粒子ビーム処理装置１０は、イオン生成室１４の内部にイオンを生成するイオン生成手段と、イオン生成室１４の内部のイオンを中性化室１６に引き出す引出手段と、引き出されたイオンを中性化して中性粒子ビームを生成する中性化手段とを備える。 - 特許庁

This ion beam irradiation device is provided with the plasma generating device 10 provided on the upstream side of a holder 6 holding a substrate 4 to generate plasma 18 to be supplied to a route of an ion beam 2, so that electrification of the substrate surface following ion beam irradiation is restricted.例文帳に追加

このイオンビーム照射装置は、基板４を保持するホルダ６の上流側に設けられていて、プラズマ１８を発生させてそれをイオンビーム２の経路に供給して、イオンビーム照射に伴う基板表面の帯電を抑制するプラズマ発生装置１０を備えている。 - 特許庁