Immersionを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 3841件
Liquid immersion lithography equipment is provided with a liquid confinement structure for defining a space arranged to contain liquid between a projection system and a substrate at least partially.例文帳に追加
液浸リソグラフィ装置が、投影システムと基板との間に液体を含むように構成された空間を少なくとも部分的に画定する液体閉込め構造を設けられる。 - 特許庁
An environmental system 26 is provided so that an immersion fluid 212 is supplied to and removed from a gap between the optical assembly 16 and the work piece 208 on the stage assembly 202.例文帳に追加
環境システム26が設けられて、光学アセンブリ16とステージアセンブリ202上のワークピース208の間のギャップに液浸流体212を供給し除去する。 - 特許庁
The immersion nozzle 10 is composed of a cylindrical tube body 11 with a bottom part 15, and the upper edge of a flow passage 12 formed at the inside is an inlet 13 for molten steel.例文帳に追加
浸漬ノズル10は、底部15を有する円筒状の管体11からなり、内部に形成された流路12の上端は溶鋼の流入口13とされている。 - 特許庁
It is a safety valve mechanism 1 to prevent immersion of outer fluid in a closed container 6 and to release fluid pressure in the inside of the closed container 6 outside when it becomes high.例文帳に追加
密閉容器6内への外部流体の浸入を阻止し、密閉容器6内部の流体圧が高くなると外部へ放出する安全弁機構1である。 - 特許庁
Deformation due to heat of evaporation is suppressed, especially, in an immersion aligner of two-stage arrangement, by setting the position for replacing the stage under the lens thereby suppressing evaporation on the lower surface of the lens.例文帳に追加
特に2ステージ構成の液浸露光装置でステージの交換位置をレンズ下にすることによりレンズ下面の気化を抑制し、レンズの気化熱による変形を抑制する。 - 特許庁
To provide a package for containing solid materials in which immersion of the package in a liquid causes the solid materials to be dissolved, dispersed, diffused, or infused into the liquid without requiring the package to be opened.例文帳に追加
液体に浸すと、パッケージを開封する必要なく液体中に溶解、分散、拡散、または浸出されるように固形物質を封入するパッケージを提供する。 - 特許庁
To obtain a stripper compsn. for a photoresist suitable for sheet feed type equipment using an air knife system as well as equipment using an immersion system by incorporating specified amts. of an alkanolamine, a sulfoxide or sulfone compd. and a glycol ether.例文帳に追加
浸漬方式を用いる設備だけではなく、エアナイフ工程を利用する枚葉式設備に適合したフォトレジスト用のストリッパー組成物を提供する。 - 特許庁
To provide an immersion jig constituted so as to perform the fixing and blocking treatment of a plurality of kinds of antibodies, without requiring an advanced technique by variously changing the length of a probe for immunoassay to be immersed in a solution.例文帳に追加
溶液に浸漬させる免疫測定用プローブの長さを様々に変えることにより、高度な技術を必要とせず、複数種の抗体の固定・ブロック処理を行う。 - 特許庁
To provide a connector structure capable of preventing intrusion of foreign matter and water immersion, of improving alignment accuracy and of improving reliability.例文帳に追加
異物の侵入や浸水を防止することができるとともに調芯精度を向上させることができ、信頼性の向上を図ることができるコネクタ構造を提供する。 - 特許庁
By this, the surface tension of the peripheral region RP becomes lower than that of the central region RC before the complition of the formation of a liquid immersion state.例文帳に追加
これにより、液浸状態の完成前において、周縁領域RPの表面張力が中央領域RCの表面張力よりも低くなっている。 - 特許庁
To provide a solid immersion lens 1A which permits passage of a luminous flux at a desired numerical aperture and is easy to position-control at optical coupling of the lens to a sample which is an object for observation.例文帳に追加
所望の開口数で光束を通すことができ、かつ、観察対象の試料に光学的に結合させる際の位置制御が容易な固浸レンズを提供する。 - 特許庁
To reduce contamination such as gas and dust mixed into liquid and/or restricting a decrease in yield caused by the control of liquid in an oil immersion exposure device.例文帳に追加
液浸露光装置において、液体への気体や塵埃等の異物の混入を低減すること、及び/又は、液体の制御による生産性の低下を抑制する。 - 特許庁
It is preferable that a water absorption rate after the lapse of 24 hours from the end of hot water immersion under the condition of 23°C and 65% RH is 3.0 wt.% or lower.例文帳に追加
23℃、65%RHの条件下で、熱水浸漬終了から24時間経過させたときの吸水率は、3.0wt%以下であることが好ましい。 - 特許庁
To provide a waterproofing method and a unit for electronic equipment such as communications equipment for outdoor use by which immersion of water inside is securely prevented using a few components.例文帳に追加
少ない部品を使用して確実に内部への水の浸入を防止することが可能な屋外使用の通信機器等の電子機器紡錘方法および装置を提供する。 - 特許庁
To efficiently generate a cross flow at the time of constituting an immersion-type membrane separator while reducing the amt. of diffusion of air and to uniformly clean the membrane surface.例文帳に追加
浸漬型膜分離装置を構成するに際し、散気量を低減しながら効率よくクロスフロー流を惹起でき、また偏りなく膜面洗浄できるようにする。 - 特許庁
To provide a F_2 resist composition suitable for the liquid immersion lithography process which is a new lithography technique, and a resist pattern forming method using this F_2 resist composition.例文帳に追加
新たなリソグラフィー技術である液浸露光プロセスに用いて好適なF_2レジスト組成物と、このF_2レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法とを提供する。 - 特許庁
To provide a continuous casting method for a steel by which a cast slab having good surface quality can be obtained without developing the clogging of an immersion nozzle, and a production method for a steel strip.例文帳に追加
浸漬ノズルに詰まりが発生することもなく、表面品質の良好な鋳片を得ることができる鋼の連続鋳造方法および鋼帯の製造方法の提供。 - 特許庁
To provide an exposure method capable of transferring a pattern accurately even when processing a substrate with immersion exposure via a liquid between a projection optical system and the substrate.例文帳に追加
投影光学系と基板との間の液体を介して基板を液浸露光処理する場合においても、精度良くパターン転写できる露光方法を提供する。 - 特許庁
The production device of the fiber is a static spinning device and an electric voltage-impressing roll 20 is installed in a dissolved liquid immersion vessel 10 housing a DNA solution.例文帳に追加
この繊維を製造する製造装置は静電紡糸装置であって、DNA溶液を収納した溶解液浸漬槽10の中に電圧印加ロール20が設置されている。 - 特許庁
In the lens holding member 20 for holding the solid immersion lens 11, a step portion 21 and/or slant face is constructed at least on a part of the objective side surface.例文帳に追加
ソリッドイマージョンレンズ11を保持するレンズ保持体20であって、対物側表面の少なくとも一部に、段差部21及び/又は斜面を形成して構成する。 - 特許庁
When used, a transfer surface between the surface of the substrate table and the surface of the swap table is moved under the fluid handling structure to contribute to inhibit leakage of the immersion liquid.例文帳に追加
使用時に、基板テーブルの表面とスワップテーブルの表面との間の移送表面が流体ハンドリング構造の下で移動して液浸液の漏出を阻止するのを助ける。 - 特許庁
To provide an inclined rotated lithography device permitting expansion of the angle of incidence of light onto a resist R without entailing immersion of an irradiated object or a stage in liquid.例文帳に追加
被照射物やステージを液体に浸すことなく、レジストRへの光の入射角度を大きくすることが可能な回転傾斜露光装置を提供すること。 - 特許庁
To secure high strength and high toughness without a production method requiring rapid cooling such as liquid immersion even in a large-sized steel member.例文帳に追加
大型鋳鋼材においても、液体浸せきなどによる急冷を要する製造方法を経ることなく高い強度と高い靭性を確保することを可能にする。 - 特許庁
The consumable body exhibits a consumption rate of at most 10 cm/min, and the consumption rate is approximately equal to or greater than the rate at which the immersion end of the optical fiber is destroyed.例文帳に追加
この消耗性の本体は、光ファイバの浸漬端が損壊する速度とほぼ同一又はそれより大きいが10cm/分以下の消耗速度を有する。 - 特許庁
To provide a catadioptric projection optical system having a large numerical aperture and using an immersion method without increasing the size of an optical member constituting the catadioptric projection optical system.例文帳に追加
反射屈折投影光学系を構成する光学部材を大型化することなく、大きな開口数を有する液浸法を用いた反射屈折投影光学系に関する。 - 特許庁
To provide an exposure apparatus capable of performing excellent measurement processing to perform accurate exposure processing even when a liquid immersion method is applied to a twin-stage-type exposure apparatus.例文帳に追加
ツインステージ型露光装置に液浸法を適用した場合においても良好に計測処理を行って精度良く露光処理できる露光装置を提供する。 - 特許庁
The cleaning method includes steps for: cleaning the member which is in contact with an immersion liquid with an alkaline solution, and then cleaning the member with a solution containing a buffered hydrofluoric acid and a hydrogen peroxide.例文帳に追加
洗浄方法は、液浸液体と接する部材をアルカリ溶液で洗浄し、次いで、バッファードフッ酸および過酸化水素を含む溶液で洗浄することを含む。 - 特許庁
The method for producing a resin-coated carrier comprising a carrier core material and a resin coating layer formed on the surface of the carrier core material includes an immersion step and heat-drying step.例文帳に追加
キャリア芯材と、キャリア芯材の表面に形成された樹脂被覆層とを有する樹脂被覆キャリアの製造方法は、浸漬工程と加熱乾燥工程とを含む。 - 特許庁
To provide an exposure apparatus that suppresses influence to devices and members in the periphery of a substrate caused by leakage of a liquid forming a liquid immersion area to thereby achieve satisfactory exposure processing.例文帳に追加
液浸領域を形成する液体の漏洩により基板周辺の装置・部材が受ける影響を抑え、良好に露光処理できる露光装置を提供する。 - 特許庁
To provide an exposure method that transfers a pattern with high accuracy even in immersion exposure on a substrate through liquid between a projection optical system and the substrate.例文帳に追加
投影光学系と基板との間の液体を介して基板を液浸露光処理する場合においても、精度良くパターン転写できる露光方法を提供する。 - 特許庁
To sufficiently remove foreign matters adsorbed onto the surface of a top-layer film of a substrate, for example, a resist film after liquid immersion exposure and before development processing.例文帳に追加
液浸露光後、現像処理前において、基板の最上層の膜の表面、例えばレジスト膜の表面に吸着した異物を十分に除去できるようにする。 - 特許庁
To provide an immersion liquid for improving bond strength of glass fiber woven fabrics, to provide a production method thereof, and to provide a production method of glass fiber fabrics having a polymer coating film.例文帳に追加
ガラス繊維織物の接合強度を向上させる浸漬液及びその製造方法、並びに高分子被覆膜を有するガラス繊維織物の製造方法を提供する。 - 特許庁
To reduce the number of component parts and the number of assembling steps and prevent positively immersion water entered between a door outer panel and a door inner panel form entering into a vehicle compartment room.例文帳に追加
部品点数及び組付工数を低減するとともに、ドアアウタパネルとドアインナパネルとの間に浸入した浸入水の車室内への浸入を確実に防止する。 - 特許庁
The immersion objective 11 has an edge lens 31, a lens frame 32 supporting the lens 31, and a liquid-proof frame 33 attached to the outer circumference of the lens frame 32.例文帳に追加
液浸対物レンズ11は、先端レンズ31と、先端レンズ31を支持するレンズ枠32と、レンズ枠32の外周に取り付けられた防液枠33とを有している。 - 特許庁
To provide a device of producing solar battery elements for preventing the adhesion of surplus solder between a wafer carrier and an arm when performing solder immersion for solar battery elements.例文帳に追加
太陽電池素子のはんだ浸漬を行う場合、ウエハキャリアとアームに余剰はんだが付着しないための太陽電池素子の製造装置を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide an immersion type membrane separation device capable of surely producing a uniform flow with a relatively simple structure, and preventing clogging of a membrane due to sticking of sludge.例文帳に追加
比較的簡単な構造で確実に均等な流れを作ることが可能で、汚泥付着による膜の目詰まりを防止することができる浸漬型膜分離装置を提供する。 - 特許庁
To improve pattern size accuracy by suppressing generation of fault in resist pattern resulting from residual drops of liquid and localization of bubbles on the occasion of liquid immersion exposure.例文帳に追加
液浸露光の際の液滴の残留や気泡の局在化に起因するレジストパターンの欠陥発生を抑制することができ、パターン寸法精度の向上をはかる。 - 特許庁
Furthermore, the first coating layer 16 and the second coating layer 18 can be manufactured by a simple method such as an immersion method or the like, enabling the tatami mat surface to be manufactured inexpensively.例文帳に追加
さらに、第1コーティング層16や第2コーティング層18は浸漬法などの簡便な方法で製造できるので原料ロスが少なく、畳表を安価に製造できる。 - 特許庁
To provide a method for reforming slag for surely protecting a refractory by preventing the erosion of an immersion tube refractory used for metal refining furnace etc.例文帳に追加
金属精錬炉等に使用される浸漬管耐火物の溶損を防止して耐火物の保護を確実なものとするためのスラグの改質方法を提供すること。 - 特許庁
Furthermore, a chamber is provided which encloses the wafer to be exposed and at least a projection optical component of the optical system, and is filled with a supercritical immersion fluid.例文帳に追加
さらに本発明は、露光されるウェハおよび光学システムの少なくとも投影光学コンポーネントを囲んだ、超臨界浸漬流体が充填されるチャンバを具備する。 - 特許庁
To prevent an organic substance from dissolving in pure water charged in a gap between a liquid-immersion objective lens and a sample, and also, to improve yield by preventing the increase in DO.例文帳に追加
液浸対物レンズと試料の間に充填した純水における、有機物の溶解を防止すると共に、DOの増加を防止して、歩留まりを向上すること。 - 特許庁
A continuous casting system introduces the molten steel 12 flowing out from an immersion nozzle 24 in a tundish 20 into the mold 26 for continuous casting and passes the molten steel through the mold while solidifying.例文帳に追加
連続鋳造システムは、タンディッシュ20の浸漬ノズル24から流出する溶鋼12を連続鋳造用の鋳型26に導き、凝固させながら通過させる。 - 特許庁
To relate to a method for searching mutual interaction between immersion liquid and a material in a substrate such as photoresist, upper surface coat, and their components, and a measuring tool.例文帳に追加
浸漬液と、フォトレジストや上面コートやそれらの成分のような基板中の材料との間の相互作用を調べるための方法および測定ツールに関する。 - 特許庁
To provide a processing liquid tank for a wire electric discharge machine capable of shortening a setup time for immersion type processing without increasing the installation area of the liquid tank.例文帳に追加
加工液タンクの設置面積を大きくせず、かつ浸漬式加工における段取り時間を短縮することができるワイヤ放電加工機の加工液タンクを提供する。 - 特許庁
The other part of the concentrated solution 12 is introduced as excess sludge into an aerobic digestion tank 21 having an immersion-type membrane separator 22 and digested by diffused air from an air diffuser 27.例文帳に追加
濃縮液12の他の一部は、余剰汚泥として浸漬型膜分離装置22を有する好気性消化槽21に導入し、散気装置27から散気して消化する。 - 特許庁
To provide an immersion treatment apparatus for a powder resin capable of ensuring a wide stabilized region in the surface layer part of the powder resin and dispensing with masking.例文帳に追加
粉体樹脂の表層部において広い安定化領域を確保することができ、マスキングを行う必要がない粉体樹脂浸漬処理装置を提供すること。 - 特許庁
After being passed through the liquid path 12, the liquid L1 for cavitation generation is discharged out of the jetting port 16 and jetted toward a work immersed in the immersion liquid L2.例文帳に追加
キャビテーション発生用液L1は、液路12を流通した後、噴射口16から排出され、浸漬液L2中に浸漬されたワークに指向して噴射される。 - 特許庁
To provide a technique for improving throughput, and the manufacturing yield of a semiconductor device in a immersion projection exposure technique using an F_2 laser.例文帳に追加
F_2レーザを用いた液浸投影露光技術において、スループットの向上および半導体装置の製造歩留まりを向上することができる技術を提供する。 - 特許庁
In the immersion aligner, thermal variation in a lens due to heat of evaporation is reduced by filling the space under the lens with high humidity gas, when a liquid membrane under the lens is removed.例文帳に追加
液浸露光装置において、レンズ下の液膜が除去されたとき、レンズ下空間を高湿度の気体で満たすことにより、レンズの気化熱による熱変動を低減する。 - 特許庁
A Peltier element 7 reduces an immersion temperature of rice R when the rice R is immersed in water W for a long time in order to germinate the rice R such as brown rice and whole rice.例文帳に追加
玄米や胚芽米などの米Rを発芽させるために、米Rを水Wに長時間浸漬させるとき、ペルチェ素子7によって、米Rの浸漬温度を低くする。 - 特許庁
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