Immersionを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 3841件
The apparatus can be configured so as to rinse at least a part of the immersion space 10 with the rinse liquid 11 before utilized to project a patterned radiation beam onto a substrate W.例文帳に追加
基板Wに放射のパターンの付いたビームを投影するために使用される前に、リンス液11で液浸スペース10の少なくとも一部をリンスするよう構成することができる。 - 特許庁
To manufacture a compound substrate for optical-magnetooptical head in which through-holes with an accurate aperture are bored at an accurate pitch and spherical solid immersion lenses are precisely embedded in these holes.例文帳に追加
基板に正確なピッチで正確な口径を有する孔を開けて、この孔に精度良く球状の固体イマージョンレンズが埋め込まれた光−光磁気ヘッド用複合基板が得られるようにする。 - 特許庁
To provide an immersion type cooler operated with a small-sized freezer that maintains the cooling of the object for many hours even if the freezer stops operation.例文帳に追加
液浸型冷却装置において、小型の冷凍機で冷却運転を可能としつつ、冷凍機が停止した場合でも被冷却物の冷却を長時間維持できるようにすること。 - 特許庁
The immersion type medium dispersing device is provided with a rotary disk pump type rotor (5) in a dispersing chamber (3) with a suction port (4) so that it sucks and disperses a treatment material through the suction port (4).例文帳に追加
吸引口(4)を有する分散室(3)内に、上記吸引口(4)を通して処理材料を吸引して分散するようロータリーディスクポンプ型の吸引ローター(5)を設ける。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing an information display panel that can suppress a decrease in display performance after endurance due to water immersion by imparting moisture barrier property to a substrate material.例文帳に追加
基板材料に湿分バリア性を付与することにより、水分の侵入に起因する耐久後表示性能の低下を抑制し得る情報表示用パネルの製造方法を提供する。 - 特許庁
In case where the thickness of the solid immersion lens 11 which is manufactured by a conventional method is thinner than a target value, an adjustment part 12 is added by a vapor-deposition in order to decrease the shortage of the thickness.例文帳に追加
従来法で製造された固体浸レンズ11の厚さが目標値より薄い場合、厚さの不足量が小さくなるように調整部12を蒸着により付加する。 - 特許庁
A method is disclosed that obtains information related to a defect 110 present during irradiation of a substrate W coated with a layer of radiation sensitive material using immersion lithography.例文帳に追加
液浸リソグラフィを使用して放射感光材料の層で被覆された基板Wの照射中に存在する欠陥110に関連する情報取得方法が開示される。 - 特許庁
To provide an immersion nozzle to be immersed into molten steel in a mold for continuous casting, the nozzle which prevents the sticking of oxide mainly made up of Al_2O_3 to the inner wall faces thereof, and is therefore prevented from being clogged.例文帳に追加
連続鋳造のモールド中の溶鋼に浸漬される浸漬ノズルの内壁面にAl_2O_3を主体とした酸化物の付着を防止してノズル閉塞を防止した浸漬ノズルの提供。 - 特許庁
To provide an exposure device which transfers a pattern at a proper accuracy controlling an environmental change, even if a liquid flows out to an outside of a substrate, when an exposure processing is applied by a liquid immersion method.例文帳に追加
液浸法で露光処理する場合において基板の外側に液体が流出しても環境変動を抑えて精度良くパターン転写できる露光装置を提供する。 - 特許庁
In this immersion tube for the molten metal refining facility, a monolithic refractory 2 is arranged on the outer periphery of a core metal 4 having a cylindrical shape and a regular-shaped refractory 3 is arranged in the inner periphery of the core metal 4.例文帳に追加
円筒形状を有する芯金4の外周に不定形耐火物2を設け、芯金4の内周に定形耐火物3を設けた溶融金属精錬設備用浸漬管である。 - 特許庁
As a result, near-field light beam N1 and N2 of different ranges as well as a recording near-field light beam RN seep from the bottom surface of the solid immersion lens 32 in the direction of the recording medium 9.例文帳に追加
この結果、固浸レンズ32の底面からは記録用となる近接場光RNの他に、到達距離の異なる近接場光N1,N2が記録媒体9の方向に浸み出す。 - 特許庁
To provide an immersion type membrane separator in which a pressing member where an elastic member supporting a membrane element is inserted does not shift with respect to a pressing operation member for pressing and supporting the pressing member.例文帳に追加
膜エレメントを支持する弾性部材が嵌挿される押圧部材が、押圧部材を押圧支持する押圧操作部材に対してずれることがない浸漬型膜分離装置を提供すること。 - 特許庁
By the immersion in the solvent, the dissolution of the base film 2 advances mainly from the peripheral reflective surface etc. whose cross section is exposed so that the multilayer reflection film 3 may be exfoliated eventually.例文帳に追加
溶媒への浸漬により、下地膜2は主に膜の断面部分が露出している反射面外周部分などから溶解が進行し、最終的には多層反射膜3が剥離する。 - 特許庁
To provide an exposure/development method featuring high resolution and high line width precision on the surface, which is capable of removing watermarks and spots produced at the time of liquid immersion exposure without doing damage to resist.例文帳に追加
液浸露光時に生じるウォーターマークやシミをレジストにダメージを与えることなく除去して、解像度及び面内の線幅精度の高い露光・現像方法を提供すること。 - 特許庁
To provide an immersion type membrane separation apparatus the whole of which can be disassembled easily and reassembled precisely to restart filtration easily even when a special tool is not used.例文帳に追加
特別な道具を使用しなくとも容易に装置全体を着脱でき、かつ精度よく再装着できるとともに、容易にろ過処理を再開できる浸漬型膜分離装置を提供する。 - 特許庁
The fluid handling structure is configured to supply and confine immersion liquid to a space defined between a projection system and a contacting surface facing to the fluid handling structure.例文帳に追加
投影システムと流体ハンドリング構造体に面する接面との間に画定された空間に、液浸液を供給して閉じ込めるように構成された、流体ハンドリング構造体が開示される。 - 特許庁
The metal oxide layer (5) is formed by immersion plating of metal such as Sn or Zn on the Cu wiring layer (4) and then conducting heat treatment on the plated layer under the oxidation atmosphere.例文帳に追加
金属酸化物層(5)は、Cu配線層(4)上にSnまたはZnなどの金属を浸漬メッキし、その後このメッキ層を酸化性雰囲気中で加熱処理して形成する。 - 特許庁
The fluid handling structure is configured to supply and confine the immersion liquid to a space demarcated between a projection system and the substrate table, between the projection system and the substrate, or the both.例文帳に追加
流体ハンドリング構造は、投影システムと基板テーブル、基板、又はその両方との間に画定された空間に液浸液を供給し閉じ込めるように構成されている。 - 特許庁
Curved parts 11a, 11b curved in a protrusion manner to electromagnetic stirring apparatuses 7a, 7b are formed at the positions opposite to at least immersion nozzles 21 in long side walls 3a, 3b.例文帳に追加
長辺壁3a、3bにおける少なくとも浸漬ノズル21に対向する位置に、電磁攪拌装置7a、7b側に凸に湾曲した湾曲部11a、11bが形成されている。 - 特許庁
A burl plate 20 is intended for use in immersion lithography, wherein the substrate W is arranged on the burl (or pimple) plate 20 and the plate 20 is arranged on a flat surface of a wafer table WT.例文帳に追加
液浸リソグラフィで使用するためのバール・プレート20であって、基板Wは、バール(またはピンプル)・プレート20上にあり、プレート20は、ウェハ・テーブルWTの平坦面上にある。 - 特許庁
A cover for a substrate table in an immersion lithographic apparatus is provided to cover at least a gap between a substrate and a recess in the substrate table for receiving the substrate.例文帳に追加
液浸リソグラフィ装置内の基板テーブルのためのカバーであって、基板と該基板が受け取られる基板テーブル内の凹所との間の少なくとも隙間を覆うカバーが提供される。 - 特許庁
Preferred coating compositions of the invention are useful for antireflective purposes, particularly with an underlaying photoresist coating layer, as well as for a barrier layer in liquid immersion lithography.例文帳に追加
本発明の好ましいコーティング組成物は、反射防止の目的、特に下層をなすフォトレジストコーティング層を伴う場合に有用であり、並びに液浸リソグラフィーにおけるバリア層に有用である。 - 特許庁
To cool a radiator for a water-cooled engine efficiently and to make the air resistance small which automobile receives during traveling, and to prevent snow immersion to an engine room under traveling in a snowfall.例文帳に追加
水冷エンジン用ラジエータを効率良く冷却でき、自動車が走行中に受ける空気抵抗を小さくでき、降雪時の走行中にエンジンルームへの雪の侵入を防止できること。 - 特許庁
A polyphenol is obtained by extracting the horse chestnut seed coat of an object to be wasted, by means of hot water treatment, alkaline solution immersion treatment, and boiling with an alkaline solution or the like.例文帳に追加
廃棄処分の対象であったトチノキ種皮を熱水抽出、あるいはアルカリ溶液浸漬処理、あるいはアルカリ溶液で煮出す等して、抽出することでポリフェノールを得ることができる。 - 特許庁
The antimicrobial agent is obtained by mixing a silver solution containing a polypeptide supporting fine silver particles with a fermented liquid of a Japanese radish prepared by fermenting the Japanese radish in a prescribed immersion liquid, and squeezing a juice therefrom.例文帳に追加
微細銀粒子を担持させたポリペプチドを含有する銀溶液と、大根を所定の浸漬液中で発酵し搾汁して得られる大根発酵液とを混合してなることとした。 - 特許庁
This surface treatment contains treatment reacting with the formed product 3 by means of shower coating or immersion of a rust-preventive agent, a chemical treating agent or a washing agent to the formed product 3 accumulating heat.例文帳に追加
前記表面処理には、蓄熱した成形品3に防錆剤、化成処理剤または洗浄剤をシャワー塗布あるいは浸せきによって成形品3と反応する処理が含まれる。 - 特許庁
To provide a method for forming a resist pattern using liquid for a liquid immersion exposure process having extremely high transparency and a refractive index that is higher than that of water at a wavelength range of 200 nm or smaller.例文帳に追加
200nm以下の波長範囲において非常に高い透明性と水よりも高い屈折率を有する液浸露光プロセス用液体を用いてレジストパターンを形成する方法を提供する。 - 特許庁
To make it possible to subject a liquid to be treated to a filtration treatment even when a filter membrane module is partly exposed from the liquid to be treated which is stored in a storage tank in an immersion type membrane filtration method.例文帳に追加
浸漬型膜ろ過法において、貯留槽内に貯留された被処理液からろ過膜モジュールの一部が露出している場合であっても、被処理液をろ過処理できるようにする。 - 特許庁
To provided a washing method and a washing apparatus for grain crops and beans by which washing and immersion can simply and efficiently carried out with saved water use.例文帳に追加
簡単に効率よく洗浄および浸漬することができ、かつ水の使用量を削減することができる穀類および豆類の洗浄方法、および洗浄装置を提供することである。 - 特許庁
To provide a dispersion composition for an immersion and absorption treatment of cationic fibers, by which a functional agent can be imparted even after processing such as sewing irrespective of the kind of fibers or shape of the fibers.例文帳に追加
繊維の種類や繊維の形態にかかわらず、縫製等の加工後に於いても、機能剤を付与することができるカチオン性繊維浸漬吸収処理分散組成物を提供する。 - 特許庁
There is disclosed an immersion lithographic apparatus supplying a liquid to a space between a projection system and a substrate, and provided with a plate structure for dividing the space into two parts.例文帳に追加
投影システムと基板の間の空間に液体が供給され、また、空間を2つの部分に分割するためのプレート構造が提供される液浸リソグラフィ装置が開示される。 - 特許庁
In order to impart the hydrophilicity, any of ultraviolet irradiation, acid solution immersion and surface active agent treatment is applied, and a functional group of at least one of a hydroxyl group, a carbonyl group and a sulfonic acid group is imparted.例文帳に追加
親水性の付与には、紫外線照射、酸溶液浸漬、界面活性剤処理のいずれかを施し、水酸基、カルボニル基、スルホン酸基の少なくともいずれかの官能基を持たせる。 - 特許庁
A controller uses encoder heads 60A, 60B, and 60D outside the immersion region among the plurality of encoder heads to measure position information on the moving table in an XY plane.例文帳に追加
制御装置は、複数のエンコーダヘッドのうち、液浸領域外にあるエンコーダヘッド60A,60B,60Dを用いて、XY平面内における移動テーブルの位置情報を計測する。 - 特許庁
To provide a substrate-holding member and an aligner which can maintain exposure accuracy and measurement accuracy by suppressing the temperature change of a fluid, and the generation of temperature distribution, when applying immersion method.例文帳に追加
液浸法を適用する場合において、液体の温度変化や温度分布の発生を抑制し、露光精度及び計測精度を維持できる基板保持部材及び露光装置を提供する。 - 特許庁
To reduce a measuring error due to deviation and diffusion of focal point surface generated from difference in refractive indices between air layer and liquid in the optical-semiconductor device for liquid immersion semiconductor exposure apparatus.例文帳に追加
液浸型半導体露光装置用の光学半導体装置において、空気層と液体との屈折率の違いから生じる焦点面のずれや拡散による計測誤差を低減する。 - 特許庁
To provide a vacuum system used for an immersion exposure device capable of performing pattern transfer with high precision in exposure treatment in which liquid is filled between a projection optical system and a substrate.例文帳に追加
投影光学系と基板との間を液体を満たして露光処理する場合において、精度良くパターン転写できる液浸露光装置に使用される真空システムを提供する。 - 特許庁
To provide a continuous casting method with which fluidity of molten metal in a mold can be stabilized without clogging an immersion nozzle by arranging a swirling flow giving mechanism in a tundish.例文帳に追加
タンディッシュ内に旋回流付与機構を設けることにより、浸漬ノズルの詰まりを生じることなく、鋳型内での溶融金属の流動を安定化できる連続鋳造方法を提供する。 - 特許庁
The immersion nozzle 1 constituted of a refractory material 2 containing ≥5 mass% Ce oxide in the inner hole part 5 contacting with the molten steel is provided.例文帳に追加
本発明は、溶鋼と接触するその内孔部5は、Ce酸化物を5mass%以上含有する耐火物材料2により構成される連続鋳造用浸漬ノズル1を提供する。 - 特許庁
To provide a tatami consisting of a core material or a Tatami-bed (tatami core) which hardly absorb water even in the case of being immersed in water or hot water to permit long time immersion in water.例文帳に追加
水や湯に浸漬しても畳の芯材や畳床に水分を殆んど含まず水に長期浸漬可能な畳及びそれを敷設した風呂場を提供することを課題とする。 - 特許庁
To provide a method of minimizing a risk of immersion of groundwater into an underground space by lowering a groundwater level around a building by using a very simple structure.例文帳に追加
極めて簡単な構造であって、建築物の周囲の地下水位を低下させることにより、地下空間内への地下水の浸入を軽減するための方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide an immersion liquid type board structure capable of performing prescribed cooling intending a board mounting a high power consumption IC and provide a semiconductor device using it.例文帳に追加
高消費電力ICが実装されているボードを意図した所定の冷却が可能な浸漬液冷形態のボード構造、及びこれを用いる半導体試験装置を提供する。 - 特許庁
To reuse an expensive consumptive immersion thermocouple in measuring a molten liquid temperature of a high temperature molten metal and to accurately measure a molten metal liquid inside temperature by means of a radiation thermometer.例文帳に追加
高温溶融金属の融液温度の測定に於ける、高価な消耗型浸漬熱電対の使い捨てを避け、放射温度計による溶融金属液内部温度の正確な測定をする。 - 特許庁
A mixture liquid in the biological treatment tank 6 is treated by a membrane separation by an immersion-type membrane separation means 8 comprising a precision filtration membrane immersed in the tank to separate solid substances such as activated sludge.例文帳に追加
生物処理槽6内の槽内混合液を槽内に浸漬した精密ろ過膜からなる浸漬型膜分離手段8で膜分離処理し、活性汚泥等の固形物を分離する。 - 特許庁
The recovering portion 190 includes a container 192 to separate the liquid and gas recovered from the liquid immersion space and a liquid volume sensor 193 to measure the liquid volume in the container 192.例文帳に追加
回収部190は、液浸空間から回収された液体と気体とを分離するための容器192と、容器192内の液体の量を計測する液量センサ193とを含む。 - 特許庁
After processing liquid for dissolving the water-repellent film is supplied to the surface of the substrate after immersion exposure which is held by a substrate holding part to remove the water-repellent film, the liquid developer is supplied to this substrate.例文帳に追加
基板保持部に保持された液浸露光後の基板の表面に撥水性膜を溶解するための処理液を供給して除去した後、この基板に現像液を供給する。 - 特許庁
In order to selectively form a first liquid film in a local region on the resist film, the immersion exposure is performed in a state where the liquid film is formed locally (step ST105).例文帳に追加
前記レジスト膜上の局所的な領域に第1の液膜を選択形成するために、局所的に液膜が形成された状態で液浸露光を行う(ステップST105)。 - 特許庁
To provide a solid immersion lens which is prevented from the adhesion of an objective surface with an optical recording medium, and to provide a condensing lens using the same, an optical pickup device and an optical recording and reproducing device.例文帳に追加
光記録媒体との対物面の貼り付きを生じにくくしたソリッドイマージョンレンズ及びこれを用いた集光レンズ、光学ピックアップ装置及び光記録再生装置を提供する。 - 特許庁
To provide a technology which suppresses the increase in transmembrane pressure difference by supplying the necessary amount of a chemical or determining the immersion time of a filtration membrane when the reversal washing of the filtration membrane is performed by the addition of the chemical.例文帳に追加
ろ過膜の薬品添加逆洗実施時に、必要な薬品量を供給し、またはろ過膜の浸漬時間を決定し、膜差圧の上昇を抑制する技術を提供すること。 - 特許庁
To enhance an NA to the vicinity of a refractive index of a glass material used in a final lens in an immersion optical system suitable as a projective optical system of a scanning photolithography machine.例文帳に追加
走査型露光装置の投影光学系として好適な液浸光学系において、NAを最終レンズに用いられる硝材の屈折率の屈折率近傍以上まで高める。 - 特許庁
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