etchを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 916件
An etch stop layer 16 and silicon wafers 10, 12 forming an epitaxial layer 18 on it are provided.例文帳に追加
エッチストップ層16と、その上にエピタキシャル層18を作成したシリコンウエハ10,12を準備する。 - 特許庁
The process (2) is to etch the copper foil 2 adhered by the process (1) to form a predetermined mesh pattern 20.例文帳に追加
(2)工程(1)で貼り合わせた銅箔2をエッチングして所定のメッシュパターン20を形成する。 - 特許庁
The Al film is etch-removed from unwanted parts such as the lens array's surface, etc., thus forming the interconnect line 28.例文帳に追加
Al膜は、レンズアレイ表面等、不要部分からエッチング除去され、配線28が形成される。 - 特許庁
Then, the etch back of a part of deposition insulating layer 23 is carried out, so as to secure the space of a gate electrode 22.例文帳に追加
その後,堆積絶縁層23の一部をエッチバックし,ゲート電極22のスペースを確保する。 - 特許庁
METHOD OF MINIMIZING WET ETCH UNDERCUTS AND CARRYING OUT PORE-SEALING TO SUPER-LOW K (K<2.5) DIELECTRICS例文帳に追加
ウェットエッチングアンダカットを最小にし且つ超低K(K<2.5)誘電体をポアシーリングする方法 - 特許庁
Accordingly, if an etch-back is done by wet-etching, a space formed of a projection is produced.例文帳に追加
そのため,ウェットエッチングによるエッチバックを行うと,突起形状をなすスペースが形成される。 - 特許庁
The etch stop layer increases linearity of the FET and does not degrade the flow of electrons in the HBT.例文帳に追加
エッチストップ層はFETの線形性を増大させ、HBTの電子の流れを低下させない。 - 特許庁
A method of selectively dry etch tantalum and a tantalum nitride film is provided.例文帳に追加
本発明は、タンタル及び窒化タンタル膜を選択的にドライ・エッチングするための方法を説明する。 - 特許庁
An additional mask is formed over the etch layer, where the additional mask defines a plurality of spaces with widths.例文帳に追加
エッチングレイヤ上に追加マスクが形成され、追加マスクは幅を持つ複数のスペースを規定する。 - 特許庁
The etch stop can reduce undesirable over-etching of the sacrificial layer and the mirror layer.例文帳に追加
エッチング停止は犠牲層とミラー層との望ましくないオーバーエッチングを減少させることができる。 - 特許庁
SEMICONDUCTOR DEVICE STRUCTURE HAVING ETCH RESISTANT LINER ON TRANSISTOR GATE STRUCTURE AND ITS FORMING METHOD例文帳に追加
トランジスタ・ゲート構造上にエッチ耐性ライナを有する半導体デバイス構造およびその形成方法 - 特許庁
The single crystal sapphire substrate having etch pits is manufactured by wet etching the substrate with hot phosphoric acid or the like.例文帳に追加
熱リン酸等でウェットエッチングことによりエッチピット付きの単結晶サファイア基板を作製する。 - 特許庁
A first mask is formed over an etch layer, where the first mask defines a plurality of spaces with widths.例文帳に追加
エッチングレイヤ上に第1マスクが形成され、第1マスクは幅を持つ複数のスペースを規定する。 - 特許庁
To selectively etch an AlGaAs layer or a GaAs layer with respect to an InGaAs layer.例文帳に追加
AlGaAs層またはGaAs層をInGaAs層に対して選択的にエッチングする。 - 特許庁
To etch and melt noble metals represented by ruthenium, within a practicably usable time range.例文帳に追加
ルテニウムに代表される貴金属を、実用的な時間の範囲でエッチング・溶解を可能とさせる。 - 特許庁
To enable performing etching of an etching material hard to etch by using an ECR plasma etching apparatus.例文帳に追加
ECRプラズマエッチング装置を使用して難エッチング材料のエッチングを行えるようにする。 - 特許庁
The etch stop layer 34 of a semiconductor device is a high-resistance film having a resistance greater than 10 ohm-cm.例文帳に追加
エッチング停止層は、10Ω−cmより大きい抵抗を有する高抵抗膜である。 - 特許庁
In one embodiment, the door is a slit valve door sealing a substrate transfer port of an etch chamber.例文帳に追加
一実施形態において、ドアは、エッチングチャンバの基板搬送ポートを密閉するスリットバルブドアである。 - 特許庁
The layers (a p-type first clad layer 14B and a p-type contact layer 15) above the etch stopper layer 19 are subjected to etching, and then the etch stopper layer 19 is processed by wet etching to form a ridge 16.例文帳に追加
エッチングストップ層19より上層(p型第1クラッド層14Bおよびp型コンタクト層15)をドライエッチングし、その後エッチングストップ層19をウエットエッチングにより加工してリッジ部16を形成する。 - 特許庁
This allows the system to realize high resolution and etch the etched membranous portion into an excellent profile, and allows the system to etch the etched membranous portion into the excellent profile regardless of the thickness of an initial thin photoresist.例文帳に追加
これにより、高解像度と良好なプロファイルの被エッチング膜質のエッチングが可能であり、初期の薄いフォトレジストマスクの厚さに関係なく被エッチング膜質を良好なプロファイルにエッチングすることができる。 - 特許庁
Although the fact that the crystalline damage increases an etch rate of the ferroelectric material is publicly known, the inventors have discovered that the electronic damage increases the etch rate of the material.例文帳に追加
結晶性損傷が強誘電体材料のエッチングレートを増加させることは公知であるが、本発明者らはさらに電子的損傷も又材料のエッチング速度を増加させることを見いだした。 - 特許庁
In a pre-metal process, an ozone TEOS film is once etched back so that an etch stop film on a gate structure is exposed after the ozone TEOS film is formed on an etch stop film.例文帳に追加
しかし、コンタクト・ホール形成プロセスにおいて、プリ・メタル層間絶縁膜中のクラックがコンタクト・ホール内に露出し、そこにバリア・メタルが入り込み、ショート不良の原因となることが明らかとなった。 - 特許庁
In this condition, an etching solution 92 is fed to the wafer 28 from a nozzle 94 to etch the wafer 28.例文帳に追加
この状態でウェーハ28にノズル94からエッチング液92を供給し、ウェーハ28をエッチングする。 - 特許庁
To contrive to make it possible to etch large-caliber wafers by a single wafer treatment with good accuracy with a small quantity of an etching liquid.例文帳に追加
大口径のウエ−ハを少ないエッチング液で精度を良く枚葉処理でエッチングできるようにする。 - 特許庁
In embodiments, the etch is highly selective between the material of the insulation layer and the material of the substrate.例文帳に追加
実施例でエッチングは、絶縁層の材料と基板の材料との間で高度に選択的である。 - 特許庁
On the main surface of the semiconductor substrate 1S which is exposed by the etch-back, a tunnel insulating film 15 is formed.例文帳に追加
エッチバックで露出した半導体基板1Sの主面上にトンネル絶縁膜15を形成する。 - 特許庁
The processes used to etch the layers are plasma processes performed at a temperature between 200°C and 500°C.例文帳に追加
層のエッチングに用いられる工程は、200℃と500℃の間の温度で実施されるプラズマ工程である。 - 特許庁
An electric field is generated within the etchant solution to cause an anisotropic etch pattern to form on a surface of the workpiece.例文帳に追加
エッチャント溶液内に電界が生成され、加工物の表面に異方性エッチング・パターンを形成させる。 - 特許庁
To provide methods for forming anisotropic features for high aspect ratio application in etch process.例文帳に追加
エッチ処理に高アスペクト比を適用するための異方性特徴部を形成する方法を提供する。 - 特許庁
To provide an etchant which ensures small side etch, little unevenness of an etched side face and small environmental load.例文帳に追加
サイドエッチが小さく、エッチング側面の凹凸が少なく、かつ環境負荷が小さいエッチング液を提供する。 - 特許庁
Then, the spacer and insulation film are used as a mask to etch the interlayer insulation film, thereby forming a contact hole.例文帳に追加
次に、スペーサ及び絶縁膜をマスクとして層間絶縁膜をエッチングしてコンタクトホールを形成する。 - 特許庁
The pattern N1 is used as a mask to etch the pattern R1 to form a pattern R2 of the resist film (Fig.7(f)).例文帳に追加
パターンN1をマスクとしてパターンR1をエッチングし、レジスト膜のパターンR2を形成する(図7(f))。 - 特許庁
The obtained photosensitive resist is used as a mask to etch the halftone film to form the specified pattern in the halftone film.例文帳に追加
感光性レジストをマスクとしてハーフトーン膜をエッチングして、ハーフトーン膜に所定のパターンを形成する。 - 特許庁
To provide a technique for attaining high etch selectivity of a silicon nitride film over a silicon oxide film.例文帳に追加
シリコン酸化膜に対するシリコン窒化膜の高いエッチング選択比を達成する技術を提供する。 - 特許庁
It exfoliates on the sufficient peeling conditions to etch the surface deterioration layer of the extracted thickness.例文帳に追加
そして、その抽出された膜厚の表面変質層をエッチングするに十分な剥離条件で剥離する。 - 特許庁
Next, the given solvent is used to etch the conductive layer 5a and thereby to form a conductor pattern 5.例文帳に追加
次に、所定の溶媒を用いて導体層5aをエッチングすることにより導体パターン部5を形成する。 - 特許庁
To simultaneously etch a laminated film an organic antireflection film, and an oxide film, and prevent a pattern shift.例文帳に追加
有機反射防止膜と酸化膜との積層膜を同時にエッチング加工し、かつ寸法シフトを抑制する。 - 特許庁
FORMULATION FOR REMOVAL OF PHOTORESIST, ETCH RESIDUE AND BOTTOM ANTIREFLECTION COATING (BARC), AND METHOD USING THE FORMULATION例文帳に追加
フォトレジスト、エッチ残留物及びBARCを除去するための配合物及び同配合物を含む方法 - 特許庁
To provide a bipolar transistor having a structure where an etch pit can be reduced, and a method for manufacturing the same.例文帳に追加
エッチピットを低減可能な構造を有するバイポーラトランジスタ及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
Consequently, at the same time of suppressing an etching quantity in the depthwise direction of a cavity 15, a side etch quantity can be increased.例文帳に追加
従って、窪み15の深さ方向のエッチング量を抑えると同時に、サイドエッチ量を大きくできる。 - 特許庁
The above fluorine series and chlorine series etching seeds etch both the tungsten film 3 and the oxide film 2.例文帳に追加
上記弗素系および塩素系のエッチング種は、タングステン膜3及び酸化膜2の両方をエッチングする。 - 特許庁
To electroless-etch an aluminum foil when roughening the aluminum foil for an electrolytic capacitor through an etching process.例文帳に追加
電解コンデンサ用アルミニウム箔をエッチングによって粗面化する際に、無電解でのエッチングを可能にする。 - 特許庁
METHOD OF PATTERNING HARD-TO-ETCH MATERIAL FILM, AND INK JET HEAD USING THE SAME AND ITS MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
難エッチング材料膜のパターン形成法、また、その膜を用いたインクジェットヘッドおよびその形成法 - 特許庁
Afterwards, the silicon nitride film 6 is masked to etch the SOI layer 4 and form a trench 8.例文帳に追加
その後、シリコン窒化膜6をマスクにしてSOI層4のエッチングを行ってトレンチ溝8を形成する。 - 特許庁
To uniformly etch an aluminum film or its alloy film without generating residue, unevenness or defect in the etching.例文帳に追加
アルミニウム膜またはその合金膜をエッチング残渣、エッチングムラまたはエッチング不良なく、均一にエッチングする。 - 特許庁
One method for forming layers having tapered edges includes the use of an etch leading layer.例文帳に追加
テーパ縁を有する層を形成するための1つの方法は、エッチング誘導層を使用することを含む。 - 特許庁
This is used as a mask to etch an interlayer insulating film 107 as a film to be etched, thereby forming a contact hole.例文帳に追加
これをマスクにエッチング対象膜である層間絶縁膜107をエッチングしコンタクトホールを形成する。 - 特許庁
To provide a bipolar transistor having a structure capable of reducing etch pits, and to provide a method for manufacturing the same.例文帳に追加
エッチピットを低減可能な構造を有するバイポーラトランジスタ及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
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