「state of reaction」に関連した英語例文の一覧と使い方(14ページ目) - Weblio英語例文検索

The suspension granulation has a step in which the reaction is executed in the state in which liquid thermoplastic resin monomer or thermosetting resin monomer or prepolymer is suspended in a liq. medium in the presence of an emulsifying agent.例文帳に追加

懸濁造粒が、液状の熱可塑性樹脂モノマーまたは熱硬化性樹脂モノマー又はプレポリマーを、乳化剤の存在する液状媒体中に懸濁せしめた状態で反応を行う工程を有する。 - 特許庁

To provide a method for producing an unsaturated carboxylic ester, by which the reaction can be performed in a stabilized catalyst activity state obtained by improving the activity of a catalyst or by reviving the catalyst activity lowered by employment.例文帳に追加

触媒の活性を向上させ、また、使用により低下した触媒活性を復活させて、触媒活性が安定した状態で反応を行うことのできる不飽和カルボン酸エステルの製造方法を提供する。 - 特許庁

When a steering actuator 12 breaks down, the reaction force actuator 20 is turned off, and an element 18 connected to the actuator 20 in the planetary gear mechanism 6 is held in a state of rotation being impossible by a plunger 13.例文帳に追加

操舵用アクチュエータ１２が故障すると、反力用アクチュエータ２０をオフし、遊星ギヤ機構６のうち反力用アクチュエータ２０に連結している１要素１８をプランジャ１３によって回転不能に拘束する。 - 特許庁

To provide a treatment material for treating a harmful substance in wastewater, for efficiently removing heavy metals, phosphoric acid, selenic acid, fluorine and the like in a maintenance free state, improving the stability of a reaction product and facilitating post-treatment, and its manufacturing method.例文帳に追加

廃水中の重金属類、リン酸、セレン酸、フッ素等を効率的に且つメンテナンスフリーで除去し、反応生成物の安定性がよく、後処理が容易な廃水中の有害物質処理材と製造方法。 - 特許庁

This driving support device for controlling a travel state of an automobile 1, has a front camera 14 and a climbing road determining part 24 for detecting that a travel road is the climbing road, a vehicle speed sensor 12 for detecting a vehicle speed V, an actuator 5 and a target pedal reaction setting part 23 of an accelerator pedal reaction applying device offered for controlling engine output.例文帳に追加

自動車１の走行状態を制御する運転支援装置は、走行路が登坂路であることを検出する前方カメラ１４および登坂路判定部２４と、車速Ｖを検出する車速センサ１２と、エンジン出力の制御に供されるアクセルペダル反力付与装置のアクチュエータ５および目標ペダル反力設定部２３とを備えている。 - 特許庁

Thus, the optical pickup 7 can generate a reaction caused by an excited state absorption by second and succeeding pulses P2 to P4 while keeping the excited state of a recording material M which is generated by two-photon absorption of a first pulse P1 in the neighborhood of a focus F of the light beam L, and therefore a recording mark RM can be formed on a recording layer 101 in an extremely short period of time.例文帳に追加

これにより光ピックアップ７は、光ビームＬの焦点Ｆの近傍で、最初のパルスＰ１の２光子吸収により生じた記録材料Ｍの励起状態を維持したまま２番目以降のパルスＰ２〜Ｐ４により励起状態吸収による反応を生じさせることができるので、極めて短い時間で記録層１０１に記録マークＲＭを形成することができる。 - 特許庁

To provide a gasket capable of lowering reaction force generated in an attachment state, capable of restraining deformation of the other member by the reaction force, and capable of restraining lowering of a peak surface pressure in an abutting surface 5.例文帳に追加

互いに対向する二部材５１，５２のうちの一方の部材５１に設けた装着溝５３に装着されて他方の部材５２に密接するゴム状弾性体製のガスケット１において、装着状態において発生する反力を低下させることができ、もって反力により他方の部材５２が変形するのを抑えることが可能であるとともに、接触面５におけるピーク面圧の低下を抑えることが可能なガスケット１を提供する。 - 特許庁

In the method and device for determining the quantity of the enzyme, a reaction liquid is produced by adding the enzyme to a solution of the substrate converted into an optically measurable substance by enzyme activity of the enzyme, an inhibitor suppressing the enzyme activity of the enzyme is added to the reaction liquid, and one or more optical measurement is carried out in a state suppressing the enzyme activity of the enzyme.例文帳に追加

酵素の定量法であって、酵素の酵素活性により光学的に測定可能な物質に変換される基質の溶液に酵素を添加して反応液を生成した後、該酵素の酵素活性を抑制する阻害剤を反応液に添加して該酵素の酵素活性を抑制した状態で１回以上光学的な測定を行う方法及びそのための装置により前記課題を解決する。 - 特許庁

A control part 300 displays a cursor on a menu screen of a display part 200 according to the operation state of the operation knob 120, and applies the reaction force to the operation knob 120 so as to draw the cursor into the center of the selection buttons when the cursor points any one of the selection buttons on the screen.例文帳に追加

制御部３００は、操作ノブ１２０への操作状態に応じて表示部２００のメニュー画面にカーソルを表示し、カーソルが画面上の選択ボタンのいずれか一つを指し示す場合に当該カーソルを当該選択ボタンの中心に引き込むように操作ノブ１２０へ反力を付与する。 - 特許庁

Ring-shaped supporting plates 49, 49 are mounted on the guide members 48, 48, and inner periphery sides of the supporting plates 49, 49 are mounted in a state of permitting a specific quantity of radial movement of the rod end parts to the rod end parts while transmitting the cylinder contraction-side reaction forces to the guide members 48, 48.例文帳に追加

このガイド部材４８,４８にはリング状の支持プレート４９,４９を取付け、この支持プレート４９,４９の内周側をロッド端部に対して、シリンダ縮み側反力をガイド部材４８,４８に伝えながらロッド端部の径方向の一定量の動きを許容し得る状態で設けた。 - 特許庁

Thereafter, in the dry etching process of the second stage, a mixture gas of CF_4 and O_2 is used, a bottom part 4R of the hole 4a is removed in a state where pressure in the reaction chamber is set to 50-1,000 Pa, and the upper surface of the carbon nanotube layer 3 is exposed.例文帳に追加

その後、第２段階のドライエッチング工程においては、ＣＦ_4およびＯ_2の混合ガスが用いられ、反応室内圧力が５０以上１０００Ｐａ以下に設定されている状態で、ホール４ａの底面部４Ｒが除去され、カーボンナノチューブ層３の上面が露出する。 - 特許庁

To reduce the treatment load of an activated sludge tank before the failure of nitration/denitration reaction treatment to rapidly restore a normal state even in a case that the activity of nitrifying or denitrifying bacteria are lowered by a disturbance such as the defficiency of aerobic/anaerobic condition, a change in water temperature, the mixing with an inhibitor, etc.例文帳に追加

好気／嫌気条件の不備、水温変化、阻害物質混入などの外乱によって硝化菌や脱窒菌の活性が低下した場合でも、硝化・脱窒反応処理が破綻する前に活性汚泥槽の処理負荷を軽減でき迅速に正常状態に戻すことができるようにすること。 - 特許庁

The multi-organic synthetic method for synthesizing at least three types of organic compounds from one raw material comprises converting lactic acid into α-alanine, acrylic acid or β-alanine in water in a subcritical state to a supercritical state or in a reaction medium in a high temperature and high pressure state of water, carbon dioxide or the like in the absence of a catalyst, and its organic compounds synthetic system is disclosed.例文帳に追加

一つの原料から、少なくとも３種類の有機化合物を合成するマルチ有機合成方法であって、亜臨海状態ないし超臨海状態の水又は二酸化炭素等の高温高圧状態の反応媒体中、無触媒で、乳酸を、α−アラニン、アクリル酸、又は、β−アラニンへ変換することを特徴とするマルチ有機合成方法、及びその有機化合物合成システム。 - 特許庁

Even under a nonuniform state of a magnetic particles solution due to reasons such as settling equivalent to introduction of a flow cell, and in addition, even when there is an increase in nonuniformity that is derived from a sample to be analyzed, a concentration of the magnetic particles in a reaction solution is made uniform before the solution is sucked.例文帳に追加

そこで、フローセルの導入にあたる沈降などを理由にした磁性粒子溶液の不均一な状態、さらに測定試料に由来する不均一性の増大に対して、磁性粒子の反応液中の濃度を均一として吸引する。 - 特許庁

This manufacturing method comprises causing the polyphenylene ether (A) to react in a molten state with a polyfunctional epoxy compound (B), where the feed composition for the reaction is such one that the ratio of the molar number (X) of phenolic hydroxy groups in the component (A) to the molar number (Y) of the component (B) satisfies Y/X≤7.例文帳に追加

ポリフェニレンエーテル（Ａ）と多官能エポキシ化合物（Ｂ）をポリフェニレンエーテルが溶融した状態で反応させる際、反応の仕込み組成比が成分（Ａ）のフェノール性水酸基ｍｏｌ数（Ｘ）と成分（Ｂ）の分子ｍｏｌ数（Ｙ）との比でＹ／Ｘ≦７である。 - 特許庁

The heat accumulating material 8 using calcium chloride is stored in a heat accumulating tank 21 of the heat accumulator 9, as the heat accumulating material 8 having a specific gravity larger than the water in a liquid phase state and capable of accumulating or radiating heat by performing reversible reaction causing desorption of the water.例文帳に追加

蓄熱器９の蓄熱槽２１内には、液相状態で水よりも比重が大きくかつ水の脱着を伴う可逆反応を行うことによって蓄熱または放熱しうる蓄熱材８として、塩化カルシウムを用いた蓄熱材８が貯留されている。 - 特許庁

The method of chemically synthesizing an oligonucleotide in a solid phase according to a phosphoroamidite process is characterized by cleaning a solid state support using acetone or a liquid mixture of acetonitrile and acetone as a cleaning solvent upon completing each of its reaction processes.例文帳に追加

ホスホロアミダイト法に基づくオリゴヌクレオチド固相合成法において、各反応工程終了時に洗浄溶媒としてアセトニトリルとアセトンとの混合液又はアセトンを用いて固相担体を洗浄することを特徴とする、オリゴヌクレオチドの化学的合成方法。 - 特許庁

The activity measuring method of protein kinase has a reaction process for bringing protein kinase, a substrate and a known amount of ATP into contact with each other, a separation process for separating ATP and ADP and a measuring process for performing electrochemical measurement in a state that separated ATP is collected on the surface of an electrode.例文帳に追加

プロテインキナーゼと基質と既知量のＡＴＰとを接触させる反応工程と、ＡＴＰとＡＤＰとを分離する分離工程と、分離したＡＴＰを電極の表面に集めた状態で電気化学測定を行う測定工程とを有する。 - 特許庁

Further, the reforming apparatus has a gas supply control means for supplying the raw fuel gas at least to the shift reaction part 2 so as to compensate the gas-shrinkage caused by lowering of temperature in a state that the reformed gas discharge passage 13 is closed after the stoppage of the operation of the reforming apparatus.例文帳に追加

前記改質装置の稼動停止後に、前記改質ガス導出流路１３を閉じた状態で、温度低下によるガス収縮を補うよう原燃料ガスを少なくとも前記シフト反応部２に供給するガス供給制御手段を具備する。 - 特許庁

To provide a polarographic apparatus for measuring a concentration of residual chlorine which can easily and always stably detect a diffusion current by a reduction reaction of the residual chlorine, even when a fluid state of a sample solution with a wide range concentration to be measured changes.例文帳に追加

広範囲の濃度を持つ被測定試料液の流動状態が変化しても、容易にかつ常に安定して残留塩素の還元反応による拡散電流を検出できるポーラログラフ式の残留塩素濃度測定装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

In the solid state oxide fuel cell constituting a fuel cell stack 3 by alternately laminating generating cells and separators equipped with channels for reaction gas inside, and making it perform a generating reaction by supplying fuel gas and oxidant gas inside the fuel cell stack 3 through the reaction gas channels at operation, fuel oxidation catalyst is arranged at an oxidant gas channel of the separators.例文帳に追加

発電セル７と内部に反応用ガスの通路を備えたセパレータ１０を交互に積層して燃料電池スタック３を構成し、運転時に前記反応用ガス通路を通して前記燃料電池スタック３の内部に燃料ガスと酸化剤ガスを供給することにより発電反応を生じさせる固体酸化物形燃料電池１であって、前記セパレータ１０の酸化剤ガス通路に燃料酸化触媒を配置する。 - 特許庁

The hydrogen supply/utilization method which utilizes a hydrogen gas formed by the dehydrogenation of a hydrogenated aromatic compound comprises performing the dehydrogenation reaction of the hydrogenated aromatic compound present in a liquid state under operation in the presence of a catalyst under applied heat and pressure to obtain a high-pressure hydrogen gas and directly utilizing the high-pressure hydrogen gas still kept in a high-pressure state.例文帳に追加

水素化芳香族化合物の脱水素反応によって生成する水素ガスを利用する水素供給・利用方法において、該脱水素反応を操業下で液体状態にある水素化芳香族化合物の、触媒存在下かつ加熱加圧下で行うことによって高圧水素ガスを得て、この高圧水素ガスを高圧のまま、直接利用する。 - 特許庁

To provide a photocell ion toothbrush having a character diagram and electronic light emission display device for efficiently improving a tooth and oral cavity sanitation state while decomposing a causal bacteria of plaque decomposition in an oral cavity, neutralization of an organic acid, dental caries and alveolar pyorrhea by promoting oxidation-reduction reaction of a hydrogen ion by efficiently promoting the polarization action by photocell electrochemical reaction.例文帳に追加

光電池電気化学反応による効率的な分極作用を助長し、水素イオンの酸化・還元反応を促進させ、口腔内のプラーク分解、有機酸の中和，虫歯及び歯槽膿漏の原因菌に対し、分解させながら歯及び口腔衛生状態を効率的に向上させることができる文字図形及び電子発光表示装置を具備した光電池イオン歯ブラシを提供する。 - 特許庁

A reaction pipe is inserted in a part of the exhaust passage, and a waveguide or a cavity resonator is used to apply a microwave electric field to gas including exhaust particulates flowing in the reaction pipe, with the result that heat generation of the exhaust particulates themselves and a plasma state created by ionization of component gases cause the exhaust particulates, unburnt hydrocarbon HC, CO and NOX to be oxidized or burned and removed.例文帳に追加

排気通路の一部に反応管を挿入し、反応管を流れる排気微粒子を含むガスに導波管または空胴共振器を用いてマイクロ波電界を印加して、排気微粒子自体の発熱と、成分ガスを電離してプラズマ状態に至らしめ、排気微粒子および未燃焼炭化水素ＨＣやＣＯ，ＮＯ_ｘを酸化燃焼して除去する。 - 特許庁

In the ink holder composed of polyurethane foam produced through reaction of polyol and polyisocyanate under presence of foaming agent, catalyst and foam arranging agent and being contained in an ink container under compressed state, 12-40 pts.wt. of polyetherpolyol having the number of average functional groups of 6-8 and hydroxyl value of 30-70 is added to 100 pts.wt. of polyol.例文帳に追加

ポリオールとポリイソシアネートを発泡剤、触媒、整泡剤の存在下で反応させて得られるポリウレタンフォームからなり、インク収納容器内に圧縮状態で収納されるインク保持体において、前記ポリオール１００重量部に平均官能基数６〜８、水酸基価３０〜７０のポリエーテルポリオールを１２〜４０重量部含ませた。 - 特許庁

To provide a method which does not require the complicated and difficult control of the operating condition accompanying with the use of a reactor including two heat-exchange working fluid distribution systems and allows chemical reaction to be performed while simply and steadily maintaining a pseudo-isothermal state.例文帳に追加

２つの熱交換作用流体分配システムを含む反応器の使用にともなう、複雑且つ困難な、作動状態の制御が不要で、単純で確実に擬似等温状態を維持して化学反応を行わせる方法を提供する。 - 特許庁

To provide an apparatus for biological treatment by membrane separation, which keeps the property of activated sludge in a biological reaction vessel in a satisfactory state, prevents the soiling and clogging of membrane surface, enables the stable operation and is excellent in membrane treatment performance and biological treatment performance.例文帳に追加

生物反応槽内の活性汚泥の性状を良好な状態に維持し、膜表面の汚れや目詰まりを防止し、安定した運転が可能な、膜処理性能及び生物処理性能の優れた膜分離生物処理装置を提供すること。 - 特許庁

When starting to introduce a reaction gas or starting to supply high frequency power, the vacuum gauge 11 is insulated from an internal atmosphere of a vacuum treatment vessel 1, and the insulated state is held at least while carrying out a surface treatment of the treated substrate 7.例文帳に追加

反応ガスの導入開始時または高周波電力の供給開始時に、真空計１１を真空処理容器１の内部雰囲気から絶縁し、且つこの絶縁状態を少なくとも被処理基板７を表面処理する間保持する。 - 特許庁

The gas spring 10 is mounted to the front end of the movable frame 3 in parallel with the longitudinal direction of the movable frame 3 and gives the reaction force in the longitudinal direction to the movable frame 3 in the state that a position relationship parallel to the movable frame 3 is retained.例文帳に追加

ガススプリング１０は、可動フレーム３の長手方向と平行に可動フレーム３の前端部に取り付けられており、可動フレーム３との平行な位置関係を保った状態で可動フレーム３にその長手方向の反力を付与する。 - 特許庁

To provide a nonaqueous electrolyte secondary battery which uses powder-type silicon and/or silicon alloy as an anode active material, the battery being capable of suppressing a side reaction of the anode active material with an electrolyte in a charging/discharging state and improving a charge/discharge cycle characteristics.例文帳に追加

粉末状のシリコン及び／またはシリコン合金を負極活物質として用いた非水電解質二次電池において、充放電時における負極活物質の電解液との間の副反応を抑制し、充放電サイクル特性を向上させる。 - 特許庁

The titanium oxide sol containing particles each having a small diameter, capable of maintaining a dispersed state for a long period and exhibiting low photocatalytic activity can be produced by incorporating the organic silicon compound into a reaction solution in which the formation of titanium oxide sol is started.例文帳に追加

酸化チタンゾルの形成が開始される反応溶液中に、有機ケイ素化合物を含有させることで、粒子径が小さく、長期間にわたり分散状態を保つことができ、光触媒活性も低い酸化チタンゾルを製造できる。 - 特許庁

Thus, for example, even in the state where output torque of the motor 14 is constant, in a large operation region from small lift amount to large lift amount, the appropriate magnitude of rotating torque corresponding to valve reaction force can be applied to the control shaft 12.例文帳に追加

これにより、例えばモータ１４の出力トルクを一定とした状態でも、小リフト量から大リフト量に至る広い作動領域において、バルブ反力に応じた適度な大きさの回転トルクを制御軸１２に付加することができる。 - 特許庁

By this invention, it is possible to reduce the exhaust emission when an exhaust emission control device is in an inactivated state as much as possible and it is possible to facilitate early activation of the catalyst by utilizing oxidation reaction heat of carbon monoxide (CO).例文帳に追加

かかる発明によれば、排気浄化装置が未活性状態にある時の排気エミッションを可及的に低減することができるとともに、一酸化炭素（ＣＯ）の酸化反応熱を利用して触媒の早期活性も図ることができる。 - 特許庁

Solid-state carbon is made a target 16, and carbon or the carbon thin film which is mainly constituted of carbon is formed on the surface of the compound semiconductor which is chemically sensitive to active hydrogen by a sputtering method performed in an inert gas atmosphere in a reaction chamber 6.例文帳に追加

活性水素に化学的に敏感な化合物半導体表面に、固体炭素をターゲット１６とし、反応室６において、不活性ガス雰囲気下で行うスパッタ法により炭素あるいは炭素を主成分とした炭素系薄膜を形成する。 - 特許庁

To quickly perform braking, backward propulsion and steering in the forwardly propelling state of a boat in the boat for propelling the boat by the reaction of a jet by jetting a water jet backward from a stern.例文帳に追加

船尾から後方に向って噴射水を噴射させ、この噴射の反力で船艇を推進させるようにした船艇において、この船艇の前方への推進状態における制動、後方への推進、および操舵が迅速にできるようにする。 - 特許庁

To provide a method for hydrogenating an olefin which comprises passing a liquid containing the olefin and a hydrogen-containing gas through a packed bed of a solid hydrogenation catalyst in an upflow state, and which has excellent effects of a rapid reaction rate per unit catalyst.例文帳に追加

固形の水添触媒の充填層にオレフィンを含有する液と水素を含むガスをアップフローで通過させるオレフィンの水添反応であって、単位触媒あたりの反応速度が速いという優れた効果を有するオレフィンの水添方法を提供する。 - 特許庁

(2) In the case of being the hydrogen sulfide concentration at exceeding 90 vol%, the charging quantity of the nickel and the cobalt introduced into the reaction vessel is reduced to 55-60% mass ratio to the charging quantity under the stationary state.例文帳に追加

（２）硫化水素ガス濃度が９０容量％を超える場合において、反応容器内に導入するニッケル及びコバルト投入量を、定常状態のときの投入量に対し質量割合で５５〜６０％の割合に減少させる。 - 特許庁

The process gas, which passes the hole part 221 to be changed to a spiral state, is heated by a heat radiated from a cylinder 210 and the fins 220 so that a temperature preventing a reaction byproduct from adhering is maintained to the last end of a discharge passage of the lower stream.例文帳に追加

孔部２２１を通過して螺旋状となったプロセスガスが円筒２１０およびフィン２２０から放射される熱により加熱され、反応副生成物の付着を防止する温度が下流の排気流路の終端まで維持されるプロセスガスとする。 - 特許庁

To provide a reduction-type gold plating solution superior in storage stability, which does not cause precipitation of gold even when preserved in a mixed state for a reducing agent with a gold salt, and can be continuously used for plating by means of only adding the gold salt by as much amount as to have been used for a plating reaction.例文帳に追加

保存性に優れ、還元剤と金塩とが混合された状態で保存しても、金の析出が起こらず、メッキ反応に使用された分の金塩を補充するだけでメッキに継続的に使用可能な還元型金メッキ液の提供。 - 特許庁

A status amount calculating section 31 makes a reaction resistance component H and charge/discharge hysteresis voltage component M approximate to a response composed of a delay element of each time constant TH, TM, and calculates a state variable x according to a current detection value I_act.例文帳に追加

状態量算出部３１は、反応抵抗成分Ｈおよび充放電ヒステリシス電圧成分Ｍを各時定数ＴＨ，ＴＭの遅れ要素からなる応答に近似し、状態変数ｘを電流検出値Ｉ_ａｃｔに応じて算出する。 - 特許庁

To provide a method for heat treating articles and a batch heat treating system in which the pressure in the reaction chamber can be controlled regardless of the number of articles being heat treated under a state where an article holder is provided with an idle region.例文帳に追加

被処理体保持具に空き領域を設けた状態で、熱処理を行う被処理体の数に拘わらずに、反応室内の圧力を制御することができる被処理体の熱処理方法及びバッチ式熱処理装置を提供する。 - 特許庁

The lithium ion battery 12 is maintained in a storage temperature range for suppressing passivation film formation occurring by reaction between an electrode and an electrolyte, and the battery charges with a current equivalent to a self discharge amount of the battery so that a charge state of the battery during storage is maintained in a state of charge that suppresses permanent loss of a battery capacity.例文帳に追加

リチウムイオン電池１２を、電極体と電解液との反応により形成される不動態被膜形成を抑制する保管用温度域に保持し、さらに保管時の電池の充電状態を、電池容量の永久損失が抑制される充電状態に保持されるように、電池の自己放電量に相当する電流で充電を行うことを特徴とする保管方法。 - 特許庁

The salt 21 is thus ionized and raised, the flame of the cooking flame port 8 is turned from a general blue into a yellow by a flame reaction of sodium, and the inside of a grill 2 becomes bright so that the burned state of the material F under cooking can be favorably recognized and the consumption quantity of the salt 21 can be suppressed.例文帳に追加

これにより、食塩２１がイオン化して上昇し、調理用炎口８の火炎が通常の青色からナトリウムの炎色反応により黄色となって、グリル庫２内が明るくなり、被調理物Ｆの焼け具合を良好に確認でき、しかも、食塩２１の消費量を抑えることができる。 - 特許庁

To provide a method which is one for hydrogenating carbon-carbon double bonds of a conjugated diene polymer, particularly a copolymer of a conjugated diene and an α,β-unsaturated nitrile in the state of a latex and in which, the activity of a hydrogenation reaction catalyst being high, a high hydrogenation ratio can be achieved with a relatively small amount of the hydrogenation catalyst.例文帳に追加

共役ジエン系重合体、とくに、共役ジエンとα，β−不飽和ニトリルの共重合体の炭素−炭素二重結合をラテックス状態で水素化する方法であって、水素化反応触媒の活性が高く、比較的少ない水素化触媒量で、高い水素化率を達成できる方法を提供すること。 - 特許庁

The plasma processing apparatus includes: a reaction chamber for generating plasma and applying plasma processing to an object to be processed; an extract section for extracting an emission amount from the plasma; and a control section for variably controlling one of groups of parameters used for controlling the plasma on the basis of the emission amount within a predetermined range of processing conditions to control the state of the plasma.例文帳に追加

プラズマを発生し、被処理物をプラズマ処理する反応チャンバと、前記プラズマからの発光量を抽出する抽出部と、予め定められた処理条件の範囲内で、前記発光量に基づいて前記プラズマ密度をするパラメータ群の一つを可変制御してプラズマ状態を制御する。 - 特許庁