「defect inspection」に関連した英語例文の一覧と使い方(47ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide an effective product inspection method and a device capable of filling a content of liquids into a container, and then immediately transferring to a process for inspecting a defect on the container or the content, by removing positively bubbles or water drops existing in the container.例文帳に追加

容器内に存在しうる気泡や水滴を積極的に除去することによって、容器に液体類内容物を充填した後、直ちに容器やその内容物の欠陥を検査する工程に移行することができる効率のよい製品検査方法及び装置を提供すること。 - 特許庁

The inspection device of the display device includes a pattern control part for controlling a pixel control part for controlling the state of a pixel disposed in the display device, and making the display device display an image pattern having a discrete point string, an imaging part for acquiring image information by imaging the image pattern, and an inspection part for inspecting a defect based on the image information.例文帳に追加

表示デバイスに設けられた画素の状態を制御する画素制御部を制御して前記表示デバイスに離散的な点列となるような画像パターンを表示させるパターン制御部と、前記画像パターンを撮像して画像情報を取得する撮像部と、前記画像情報に基づいて欠陥の検査を行う検査部と、を備えたことを特徴とする表示デバイスの検査装置が提供される。 - 特許庁

In the inspection method of the electrode plate for a secondary battery, a porous insulating layer 3 formed on the electrode plate 1 is inspected, wherein a current flowing in accordance with application of a voltage for inspection is measured while applying a voltage on the porous insulating layer 3, and defect resulting in internal short circuit of the electrode plate 1 is determined by comparing with a previously set current.例文帳に追加

上記従来の課題を解決するために本発明の二次電池用電極板の検査方法は、電極板１上に形成された多孔性絶縁層３の検査方法であって、前記多孔性絶縁層３に電圧を印加しながら前記検査用電圧の印加に伴って流れる電流を測定し、予め設定した電流と比較して電極板１の内部短絡につながる欠陥の判定をすることを特徴とするものである。 - 特許庁

To provide a defect inspecting apparatus and its method for sensitively and quickly inspecting defects, such as minute foreign particles, flaws, etc. of the order of 0.1μm on an inspection substrate, such as a wafer having a transparent thin film on a surface, a wafer having a circuit pattern, etc.例文帳に追加

表面に透明薄膜が形成されたウェハ等の被検査対象基板はもとより、回路パターンを有するウェハ等の被検査対象基板に対して、０．１μｍレベルの微小な異物やキズ等の欠陥を、高感度で、しかも高速に検査できるようにした欠陥検査装置およびその方法を提供することにある。 - 特許庁

To provide a method for recording/inspecting servo information at a disk drive in order to record the servo information while minimizing the influence to be exerted on the servo information recorded at an adjacent cylinder by a gap erase field of the disk drive and to perform the servo information inspection and defect processing corresponding thereto and an apparatus for the same.例文帳に追加

ディスクドライブにてギャップイレーズフィールドによる隣接シリンダに記録されたサーボ情報に及ぼす影響を最小化させつつサーボ情報を記録し，それに応じるサーボ情報検査及びディフェクト処理を行うためのディスクドライブでのサーボ情報の記録／検査方法及びその装置を提供する。 - 特許庁

To provide a letterpress for forming a high definition pattern by which a printing material for performing successful edge detection is obtained, and stable and high definition management of a press plate is performed by further using a defect inspection machine in combination even in the case of the letterpress using a base material such as a metal base material with high reflectance.例文帳に追加

金属基材のような反射率の高い基材を用いた凸版であっても、良好なエッジ検出ができる版材が得られ、さらには欠陥検査機も併用できることで、安定的かつ高精度の印刷用刷版の管理を行うことを可能とする高精細パターン形成用凸版を提供する。 - 特許庁

To provide an inspection method for a component with a double refraction characteristic, capable of inspecting simply and easily an optical defect in a film to be inspected formed with an optical compensation layer having a double refraction characteristic, in a production line or the like, and a manufacturing method for a component with a double refraction characteristic using the same.例文帳に追加

製造ライン等において、複屈折特性を有する光学補償層が形成された被検査フィルムの光学的欠陥検査を簡易かつ容易に行うことができる複屈折特性を有する部材の検査方法、および、これを利用する複屈折特性を有する部材の製造方法を提供する。 - 特許庁

Waveform when the guide wave by the reference waveform is reflected by a defect Do at the center position of the inspection region R and is received by a guide wave transmission/reception element 1, is calculated based on the thickness and material, and transmitted waveform is created so that the calculated reception waveform is transmitted from that having larger reception time.例文帳に追加

基準波形によるガイド波が検査領域Ｒの中心位置にある欠陥Ｄｏで反射してガイド波送受信素子１で受信されるときの波形を、肉厚と材質に基づき計算し、計算した受信波形で受信時間が遅いものから順に送信するように送信波形を作成する。 - 特許庁

To provide a method for assuring strength of a cast product, which can reliably assure that a cast product is free from internal defects in terms of the size of the product that can cause strength problems to assure the strength of the cast product more accurately than before without increasing the performance of a defect inspection device.例文帳に追加

欠陥検査装置の能力アップを要することなく、鋳造製品に強度上問題となるサイズの内部欠陥が存在しないことを確実に保証することにより、従来よりも高い精度で、鋳造製品の強度を保証することができる鋳造製品の強度保証方法を提供する。 - 特許庁

In the pattern inspection of a semiconductor device, a basic pattern used for correcting the mounting position of a sample substrate on a supporting base is recorded previously, the positional shift of mounting is corrected using the basic pattern, the image of a pattern formed on the sample substrate mounted on the supporting base is acquired, and then the defect of the pattern is detected from the image thus acquired.例文帳に追加

半導体装置のパターン検査において、試料基板の支持台に載置する際の載置位置の補正に用いる基本パターンを予め記録し、基本パターンを用いて載置位置のずれを補正して、支持台に載置された試料基板に形成されたパターンの画像を取得し、取得された画像から、パターンの欠陥を検出する。 - 特許庁

The defect inspection method of the polarizing plate with the separate film which uses transmission light of a polarizing plate with the use of a light source arranged in one side of the polarizing plate and a camera arranged in the other side thereof adjusts a light-receiving direction of the camera and a position of the light source so as to prevent the transmission light from the light source from directly entering into the camera.例文帳に追加

偏光板の一方の側に配置された光源と他方の側に配置されたカメラとを用い、偏光板の透過光を利用するセパレートフィルム付き偏光板の欠陥検査方法において、光源からの透過光が直接カメラに入射しないようにカメラの受光方向と光源の位置を調整する。 - 特許庁

To provide a method of inspecting pattern defects which automatically detects coating defects in fluorescent material coated on a glass substrate of a plasma display or the like, without being influenced by a coating pattern, such as a lattice-like fluorescent coating film, is easily installed in a production line of a panel, and realizes low-priced and high-speed defect inspection.例文帳に追加

プラズマディスプレイ等のガラス基板に塗布された蛍光体の塗布欠陥を格子状蛍光体塗布膜等の塗布パターンに影響されず高感度に自動検出し、また、パネルの製造ラインに容易に設置でき、低価格、高速度の欠陥検査を実現したパターン欠陥検査方法を提供することである。 - 特許庁

This defect inspection method of a gray tone part in a gray tone mask is characterized by including a process (a drawing 1 (3)) of applying gradating processing for flattening the signal when there is a periodic change as indicated in a drawing 1 (2) in the transmissivity signal obtained by scanning a gray tone part as indicated in a drawing 1 (1).例文帳に追加

グレートーンマスクにおけるグレートーン部の欠陥検査方法であって、図１（１）に示すようなグレートーン部を走査して得られる透過率信号に、図１（２）に示すような周期的な変動がある場合に、その信号を平坦化するためのぼかし処理を施す（図１（３））工程を含むことを特徴とする。 - 特許庁

The steel plate surface inspection apparatus includes: a mist spray nozzle for spraying a fine mist to the steel plate immediately after casting to cool a surface of the steel plate; an imaging device for imaging radiation light from a cooled part during cooling or immediately after cooling; and a signal processor for detecting a defect occurring on the steel plate by image processing of a picked-up image.例文帳に追加

鋳造直後の鋼板に微細なミストをスプレーし表面を冷却するためのミストスプレーノズルと、冷却中又は冷却直後の冷却部分からの放射光を撮像する撮像装置と、撮像した画像を画像処理することにより前記鋼板に生じた欠陥を検出する信号処理装置とを具備する。 - 特許庁

To detect an required molten part such as a hole or dent generated on the laser-welding-side surface of an object to be inspected as well as a through hole generated at the object, and to automatically judge degradation in welding strength due to molten part, for precision inspection of the defect of an object to be inspected.例文帳に追加

検査対象物に生じた貫通孔だけでなく、検査対象物のレーザー溶接側の表面に生じた穴アキや窪みなどの不要な溶解部分を検出することができ、さらに溶解部分による溶接強度の低下を自動的に判定することができ、高精度に検査対象物の欠陥検査を行える。 - 特許庁

While performing defect inspection of a disk based on whether a read error occurs or not after data are recorded into the disk, the HDC 10 checks quality of the DRAM by detecting presence of an error while sequentially overwriting test data from the DRAM 124 into SRAM 18 by setting the system ECC host 12 to the test mode.例文帳に追加

ＨＤＣ１０は、ディスクにデータを記録して読出しエラーが発生するか否かによりディスクの欠陥検査を実行する間、システムＥＣＣホスト１２をテストモードとしてＤＲＡＭ１２４からのテストデータをＳＲＡＭ１８に順次上書きしながらエラーの有無を検出することでＤＲＡＭの良否を判定する。 - 特許庁

To provide a photomask detecting device and a photomask detecting method, capable of satisfactorily conducting a performance evaluation and a defect inspection of a large-sized photomask, and to provide a method of manufacturing a photomask for a liquid crystal device using the photomask detecting device and the photomask detecting method, and a pattern transferring method.例文帳に追加

大型のフォトマスクの性能評価及び欠陥検査を良好に行うことができるフォトマスクの検査装置及びフォトマスクの検査方法を提供し、これらフォトマスクの検査装置及びフォトマスクの検査方法を用いた液晶装置製造用フォトマスクの製造方法及びパターン転写方法を提供する。 - 特許庁

The method for inspecting a surface of a stencil mask to be used for charged particle beam exposure or the like includes an inspection step where a foreign matter or a defect on the surface of a membrane is inspected based on a first image of the surface of the membrane and on a second image of the back face of the membrane.例文帳に追加

荷電粒子線露光などに用いられるステンシルマスクの表面の検査を行う方法であって、その検査工程においてメンブレン部表面の第１の画像と、メンブレン部裏面の第２の画像とに基づいて、メンブレン部表面の異物や欠陥を検査することを特徴とするステンシルマスクの検査方法を提供する。 - 特許庁

A dry film resist 5 as a bank is pasted in a direction crossed in an extending direction of the bank 2 after inspecting a defected location 3 existed on a partition of the bank 2 by a defect inspection means 4, and a pasted repair material 6 is temporarily cured by applying the repair material 6 at a zone sandwiched between the pasted banks.例文帳に追加

欠陥検査手段４によりバンク２の隔壁にある欠陥箇所３を検査した後、バンク２の延在方向と交差する方向に土手としてのドライフィルムレジスト５を貼付し、貼付された土手で挟まれた領域に修復材料６を塗布して、塗布された修復材料６を仮硬化させる。 - 特許庁

The image processing inspection part 50 composes a composite image by synthesizing an image of dicing line, which divides a circuit pattern at the surface of the wafer, into an image of rear surface of the wafer imaged by the rear surface imaging device 130 and detects the position of the defect based on the composite image with corresponding to the position of each circuit pattern.例文帳に追加

画像処理検査部５０は、ウエハの表面において回路のパターンを分割するダイシングラインの画像を裏面撮像装置１３０により撮像されたウエハ裏面画像に合成して合成画像を生成し、この合成画像に基づいて欠陥の位置を各回路パターン位置と対応させて検出する。 - 特許庁

To provide a defect marking device applying marking to a defective portion detected by an inspection device of a lengthy sheet-like product carried in the longitudinal direction, only in one position without damaging the sheet-like product, so that removal or repair of the defective portion is easily performed in an after process.例文帳に追加

長さ方向に搬送される長尺のシート状製品の欠陥を検査装置により検出し、検出された欠陥部分にシート状製品に損傷を与えることなく、１か所のみにおいてマーキングを施し、後工程において容易に欠陥部分の除去又は補修をすることができる欠陥マーキング装置を提供する。 - 特許庁

To provide an automatic inspection instrument which enables use thereof to use to judge whether a package, especially a sealed blister package comprising a blister container and a cover film has a defect or not with no much work and in a non-contact manner particularly pertaining to the blister container, sealed seam and scoring.例文帳に追加

本発明は、パッケージ、特にブリスタ容器及びカバーフィルムからなる封止されたブリスタパッケージが、特にブリスタ容器、封止合わせ目及びミシン目に関して欠陥を有しないかどうかを、多くの労を要せず且つ触れずに判定するために使用することができる自動検査装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

An inspection method for a filter includes a humidification step for exposing a porous filter to the air including humidity and a detection step for introducing water particles to the inside of the filter made into a wet state through the humidification step, detecting the water particles that pass through the inside of filter to flow out, thereby detecting the defect of a filter.例文帳に追加

多孔質のフィルタを湿気を含む空気にさらす加湿工程と、加湿工程によって湿った状態にあるフィルタの内部に水粒子を導入してフィルタの内部を通過して流出した水粒子を検出してフィルタの欠陥を検知する検知工程とを有するフィルタの検査方法。 - 特許庁

The inspection method of the reflection type mask formed by multilayer films includes a step for measuring a secondary radiation emitted from the multilayer films at the time of entering light with a wavelength of 2 to 40nm in the reflection type mask, and a step for judging the existence of the defect of the reflection type mask on the basis of the measurement values.例文帳に追加

多層膜が形成された反射型マスクの検査方法において、前記反射型マスクに波長２乃至４０ｎｍの光を入射させた際に前記多層膜から放出される二次放射線を計測するステップと、該計測値に基づいて前記反射型マスクの欠陥の有無を判断するステップとを設けた。 - 特許庁

As a measuring priciple, the coupling efficiency at the grating which is unequvocally decided by an optical constant of an inspection apparatus, a mask physical property, a mask structure and the shape of the grating is measured, the shape of the grating, a duty especially in a very small grating part and a line width of an isolated line are measured, and a defect is inspected.例文帳に追加

測定原理としては、検査装置の光学定数、マスク物性、マスク構造、グレーティング形状によって一意に定まる、グレーティングでのカップリング効率を測定することで、グレーティングの形状、特に微小グレーティング部のデューティーや、孤立線の線幅、ピンホール径について測定、欠陥の検査を行う。 - 特許庁

To provide a letterpress having few pattern defects when manufacturing an organic electronic device such as an organic electroluminescent element at a letterpress printing method, an inspection method for a letterpress for implementing in advance to preventing of the pattern defect, a manufacturing method for an organic electronic device using the same letterpress, and an organic electronic device using the same letterpress.例文帳に追加

有機エレクトロルミネッセンス素子をはじめとする有機電子デバイスを凸版印刷法で作製する際、パターン欠陥の少ない凸版、及びパターン欠陥を防止するために予め行う凸版の検査方法、並びにそれを用いた有機電子デバイスの製造方法並びにそれを用いた有機電子デバイスを提供する。 - 特許庁

This visual inspection device includes a linear light source 2 for obliquely illuminating the surface of an inspecting object 5 sent in a fixed direction, a line sensor type camera 1 for capturing reflected light on the surface of the inspecting object of the light from the light source, and an image processing circuit 3 for detecting a defect from the contrast of an output image from the camera.例文帳に追加

一定方向に送られる被検査物５の表面に斜光照明を行うライン状光源２と、該光源からの光の被検査物表面での反射光を捕らえるラインセンサ型カメラ１と、上記カメラの出力画像の明暗から欠陥を検出する画像処理回路３とからなる。 - 特許庁

To obtain three images which are to be compared in double detection through main scanning toward the same direction, and to perform main scanning in both the normal and reverse directions, in defect inspection for scanning a sample surface on which a repeated pattern where a plurality of basic patterns are repeated is formed, and comparing each image on corresponding parts of the plurality of respective basic patterns.例文帳に追加

複数の基本パターンが反復する反復パターンが形成された試料表面を走査し、複数の基本パターン相互の対応部分の画像同士を比較する欠陥検査において、ダブルデテクションで比較される３画像を同一方向に向かう主走査で取得しかつ正逆両方向において主走査を行う。 - 特許庁

To provide a method of inspecting a color filter defect in a color filter substrate which allows extraction of contaminations and defects (singularities) such as white pins on the color filter substrate with high accuracy by simultaneously imaging a color filter pattern by a line sensor and setting an inspection area used as a reference, and comparatively inspecting adjacent repetitive patterns.例文帳に追加

ラインセンサでカラーフィルタパターンを撮像すると同時に基準となる検査エリアを設定し、隣り合う繰り返しパターンを比較検査して、カラーフィルタ基板の異物、白ピン等の欠陥（特異点）を精度良く抽出するためのカラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

The surface defect inspection device for the band like body is provided with a lighting system 10 radiating a linear light 12 crossing the band like body 1 on the surface of the moving band like body 1, and the time delay integration type video camera 20 carrying out image pickup of a reflected image of the linear light 12 reflected by the band like body surface.例文帳に追加

帯状体の表面欠陥検査装置は、移動する帯状体１の表面に帯状体１を横切る線状光１２を照射する照明装置１０と、帯状体面で反射された線状光１２の反射像を撮像する時間遅延積分型ビデオカメラ２０とを備えている。 - 特許庁

To simultaneously obtain images at a number of locations only by imaging from one direction even in each curved surface such as inner/outer sides by application to the acquisition of image information in a surface defect automatic inspection such as the outer surface, inner surface, inner bottom surface, end face, or the like of each kind of cylindrical component or the like.例文帳に追加

各種筒状部品等の外側面、内側面、内底面および端面等の表面欠陥自動検査における画像情報取得に適用することにより、内外側面等の各曲面においても、一方向からの撮像のみにより、多数ヶ所の画像を同時に得ることができるようにする。 - 特許庁

To provide a device and method for surface inspection, capable of inspecting a surface defect such as a flaw on a surface and delamination of painting with high precision and speed at a low cost with a simple structure even if an object to be measured produces rough specular reflection due to glossy painting of a vehicle and parts thereof provided.例文帳に追加

自動車やその部品などの光沢塗装が施されるなどして鏡面反射が酷い計測対象物であっても、簡単な構造により低コストで高精度かつ高速に表面の傷や塗装の剥がれなどの表面欠陥を検査することが可能な表面検査装置および表面検査方法の提供。 - 特許庁

To provide an image quality inspection apparatus that can easily eliminate moire caused by an unemission part such as a barrier and an electrode or the like in a display device such as a plasma display device without using a high definition CCD camera and a high-speed image processor so as to detect a pixel defect such as a black point (unemitted pixel) or the like at a high-speed.例文帳に追加

プラズマディスプレイ等の表示装置において、隔壁・電極等の未発光部分により発生するモアレ現象を、高精細ＣＣＤカメラや、高速画像処理装置を用いることなく容易に除去し、黒点(未発光画素)等の画素欠陥の検出を、高速に行うことのできる画質検査装置の実現。 - 特許庁

To provide a cooling state inspection method and apparatus for a furnace body cooler which enables judgment of a defect part having a leakage of cooling water and a stagnation thereof and post correction of a furnace body cooler easily and accurately measuring a temperature distribution of the cooling water flowing into the furnace body cooler from outside.例文帳に追加

炉体冷却装置内を流れる冷却水の温度分布を外部から正確に測定して、冷却水漏れや淀みが発生した欠陥部位を容易かつ正確に判断でき、その後の炉体冷却装置の補修を容易かつ確実に行うことができる炉体冷却装置の冷却状態検査方法及び装置を提供する。 - 特許庁

The burn-in test of the semiconductor device 302 to be tested is performed by supplying scan-in signals S102, memory test signals S103 and test mode control signals S101 from the test pattern generation means 301 to the semiconductor inspection device 100, time measurement is performed in the time measurement means 305 for the test result and the generation time of a defect/a fault is specified.例文帳に追加

テストパターン発生手段３０１から半導体検査装置１００にスキャンイン信号Ｓ１０２、メモリテスト信号Ｓ１０３、テストモード制御信号Ｓ１０１を供給して被試験半導体装置３０２のバーンイン試験を行い、その試験結果は時間計測手段３０５で時間計測が行われ不良・故障の発生時間を特定する。 - 特許庁

To provide a plywood inspection apparatus identifying an adhesion failure of a plywood and a cavity in the plywood in inspecting the plywood for a defect (cavity), detecting a difference between the cavity and a node, coping with a defective cavitated plywood in a subsequent process, from on that signal, thereby lowering an incidence of defective goods.例文帳に追加

合板の欠陥（空洞）を検査するにあたり、合板の接着不良と合板の空洞とを識別して検査することが可能で、また、空洞と節との相違も検出することができ、その信号から後工程で空洞のある欠陥合板に対処することが可能で不良商品の発生率も低下させることのできる合板検査装置を提供する。 - 特許庁

When specifying the position to be observed on a sample and applying electron beams for forming an image, based on the position information of a defect inspected and detected by other inspection device, observation of electrical defects that can be conducted with a potential contract by designating electron beam irradiation conditions, detectors, detection conditions, and the like, according to the types of defects to be observed.例文帳に追加

他の検査装置で検査され、検出された欠陥の位置情報をもとに、試料上の被観察位置を特定し、電子線を照射し画像を形成する際に、観察すべき欠陥の種類に応じて電子ビーム照射条件および検出器、検出条件等を指定することにより、電位コントラストで観察可能な電気的欠陥が可能になる。 - 特許庁

The irradiation position of the electron beam and the mounting base are relatively moved, data obtained by relating the detection result of the emitted secondary electrons to the irradiation position of the electron beam on the wafer W in the entire inspection object region of the wafer W are acquired, and presence of a defect where a part that should be a conductive part becomes an insulation part is inspected based on the data.例文帳に追加

電子線の照射位置と載置台とを相対的に移動させて、ウエハＷの検査対象領域全体において、放出された２次電子の検出結果と、ウエハＷ上の電子線の照射位置とを対応付けたデータを取得し、このデータに基づいて、導電部であるべき部位が絶縁部となっている欠陥の有無を検査する。 - 特許庁

To significantly improve convenience of data processing by storing all of image data in a primary storage device, namely, a memory that allows direct access to any part of the image data, in a device that collects a large amount of image data in a defect inspection device or the like for semiconductor photomasks and allows a computer to detect defects on photomasks on the basis of the image data.例文帳に追加

半導体用フォトマスクの欠陥検査装置等の大量の画像データを収集し、その画像データに基づいてコンピュータがフォトマスク上の欠陥を検出する装置などでは、画像データの任意の部分に直接アクセスできる一次記憶装置、即ちメモリ上にその全てを収納できるならばデータ処理の利便性が飛躍的に向上する。 - 特許庁

The inspection device includes a pressing member 31 for pressurizing the image display surface 19 of the liquid crystal display device 1, a light receiving element 42 that receives light going out from a place of the image display surface 19 that is pressurized by the pressing member 31, and a quality determination section 46 that determines based on signals output from the light receiving element 42 whether or not short-circuit defect occurs.例文帳に追加

液晶表示装置１の画像表示面１９を加圧する押圧部材３１と、画像表示面１９の押圧部材３１によって加圧された箇所から出射する光を受光する受光素子４２と、受光素子４２から出力される信号に基づいて短絡欠陥の有無を判定する良否判定部４６と、を備えた。 - 特許庁

To provide a moving picture distribution testing device for testing video quality of each client in accessing a moving picture distribution server on a packet switching network at the same time, implementing simulation needing less calculation amounts for propagation of a defect by inter-frame reference, and simplifying inspection of a packet loss and a header so as to obtain video quality under conditions closer to actual conditions.例文帳に追加

パケット交換ネットワーク上の動画配信サーバに同時アクセスするときの各クライアントの映像品質を試験する装置において、フレーム間参照による欠損の波及を計算量の少ないシミュレーションで行い、パケット損失とヘッダ検査を簡易にして、より実際に近い条件で映像品質を求める動画配信試験装置を提供する。 - 特許庁

To improve an SN ratio of an image signal of a defect spot by adjusting an incident azimuth of each illumination light at a suitable angle for a pattern on a sample, when performing visual inspection of the sample by illuminating the sample with illumination light entering the sample obliquely with respect to the optical axis of an objective lens of a microscope, and by acquiring a sample image.例文帳に追加

顕微鏡の対物レンズの光軸に対して斜めに試料に入射する照明光により試料を照明して試料の画像を取得し試料の外観検査を行う際に、各照明光の入射方位を試料上のパターンに好適な角度に調整して、欠陥箇所の画像信号のＳＮ比を向上する。 - 特許庁

The defect inspection apparatus includes a light source 2 for irradiating light toward a substrate 1, a detection means 3 for detecting light reflected from the substrate 1, and a reflecting means 6 for shielding a region not to be measured 5 within the field of view of the detection means 3 and reflecting light irradiated from the light source 2 toward the detection means 3.例文帳に追加

欠陥検査装置は、基材１へ向けて光を照射する光源２、基材１からの反射光を検出する検出手段３、並びに前記検出手段３の視野内で非測定領域５を遮蔽すると共に光源２から照射された光を検出手段３へ向けて反射する反射手段６を備える。 - 特許庁

To solve the problem that, in a defect inspection system using a plurality of detectors such as an upright detector and an oblique detector, if illumination light and wafer height are adjusted to the detection field of view of one detector, a defocused image is detected by other remaining detectors, resulting in degradation of the detection sensitivity.例文帳に追加

欠陥検査装置において、上方検出系や斜方検出系などの複数の検出系を使用する場合、一つの検出系の検出視野に対して照明光およびウェハ高さを合わせた場合、他の検出系においてデフォーカスした像を検出してしまうため、欠陥検出感度が低下するという問題を解決する。 - 特許庁

To provide a pressure-sensitive adhesive film that has excellent performance for protecting optical sheets, permits high-accuracy defect inspection of the optical sheet to which the adhesive sheet is applied and gives good coating appearance, when the optical sheet after adhesive film is peeled off is coated with an adhesive or a hard coating agent or the like.例文帳に追加

光学シートの保護性能に優れ、粘着フィルムを貼った状態で光学シートの欠陥検査を精度良く行うことができ、また、粘着フィルムを剥離した後の光学シート表面に接着剤やハードコート剤等を塗工した時の塗工外観が良好である等の特長を有する光学シート保護用粘着フィルムを提供する。 - 特許庁