意味 | 例文 (999件) |
diffusion layerの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 5831件
On both sides of the gate electrode 103 on the silicon substrate 100, an impurity diffusion layer 109 is formed as grown up to source and drain regions.例文帳に追加
シリコン基板100におけるゲート電極103の両側にソース・ドレイン領域となる不純物拡散層109が形成されている。 - 特許庁
Using a difference in level of the polysilicon film 9 and the silicon nitride film 10 as an alignment mark, a diffusion layer 11 is formed as a drain region.例文帳に追加
そして、ポリシリコン膜9及びシリコン窒化膜10の段差をアライメントマークとして利用し、ドレイン領域としての拡散層11を形成する。 - 特許庁
Namely, the n-type compound semiconductor layer 103 has its band gap and n-type doping adjusted to suppress the diffusion of the thermally excited carrier.例文帳に追加
つまり、n型化合物半導体層103は、そのバンドギャップとn型ドーピングが、熱励起キャリアの拡散を抑制するように調整されている。 - 特許庁
The first transistor 2-1 is disposed on the first impurity diffusion layer 206-10, so as to constitute a portion of the pixels, and is connected to the photodiode 1-1.例文帳に追加
第1トランジスタ2-1は、第1不純物拡散層206-10上に設けられ、画素の一部を構成すると共に、フォトダイオード1-1に接続される。 - 特許庁
The photoelectric conversion device has a silicon substrate 1 having a light receiving surface, an n-type diffusion layer 5, and electrodes formed on the light receiving surface.例文帳に追加
光電変換装置は、受光面を有するシリコン基板1およびn型拡散層5と受光面に形成された電極とを備える。 - 特許庁
As a result, the gas flow rate flowing through the vicinity of the gas diffusion layer 14 is increased than that flowing through the vicinity of the separator 18.例文帳に追加
その結果、セパレータ18の近傍を流れるガス流量よりも、ガス拡散層14の近傍を流れるガス流量の方が多くなる。 - 特許庁
The unit cell has a gas diffusion layer contacting a film-electrode assembly composed of a polymer electrolyte film surrounded between two electrodes.例文帳に追加
単位セルは、2つの電極間で囲まれた高分子電解質膜で構成された膜電極アセンブリに接するガス拡散層を含むものである。 - 特許庁
To provide a semiconductor device manufacturing method capable of preventing the generation o a projection on a copper (Cu) wiring layer and preventing the diffusion of Cu.例文帳に追加
銅(Cu)配線層の突起の発生を防止してCuの拡散を防止することができる半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
On the other hand, fluorine ion is poured before or after pouring the impurity for forming the diffusion layer employing at least the gate electrode as the mask.例文帳に追加
また、この拡散層形成のための不純物注入の前又は後に、少なくともゲート電極をマスクとして、フッ素イオンを注入する。 - 特許庁
A nitrogen diffusion layer 32 is formed by diffusing a nitrogen element source such as gaseous ammonia on a cavity surface of a preliminarily molded body made of SKD 61 material.例文帳に追加
アンモニアガス等の窒素元素源を、SKD61材からなる予備成形体のキャビティ面に拡散させて窒素拡散層32を形成する。 - 特許庁
To provide a manufacturing method of a gas diffusion layer in order to suppress reduction of gas permeability and increase in contact resistance.例文帳に追加
ガス透過性の低下及び接触抵抗の増加を抑制させるためのガス拡散層の製造方法を提供することを主な課題とする。 - 特許庁
To provide a gas feeding layer in expensive in the production cost and also excellent in the efficiency of electric power at the time of electrolysis and to provide a gas diffusion electrode using this.例文帳に追加
製造コストが安く、電解時の電力効率も優れたガス供給層とこれを使用したガス拡散電極を提供する。 - 特許庁
To provide a transistor whose bonding capacitance and junction leakage are prevented by preventing a dopant diffusion from a dopant channel layer towards lower directions.例文帳に追加
不純物チャネル層から下方向への不純物拡散を防止することにより、接合容量や接合リークを抑えたトランジスタを提供する。 - 特許庁
To prevent matching displacement of a bit line contact isolation region from a bit line diffusion layer in a bit line backing region of a virtual ground type memory cell array.例文帳に追加
仮想接地式メモリセルアレイのビット線裏打ち領域において、ビット線コンタクト分離領域とビット線拡散層との合わせズレを防ぐ。 - 特許庁
One or more insulating layers (32) are formed on a substrate (30), and the metal wiring is formed by electrically plating a diffusion blocking layer and a seed layer (34) on a recess formed on the substrate before electrically plating a metal layer for filling the recess formed on the insulating layer (32).例文帳に追加
基板(30)上に一つ以上の絶縁層(32)を形成し、前記絶縁層(32)上に形成されたリセスを埋め込む金属層が電気メッキされる前に、前記金属配線は基板に形成されているリセス上に拡散阻止層及びシード層(34)を電気メッキして形成する。 - 特許庁
In this semiconductor device formed in a semiconductor layer on an insulation film, the semiconductor layer is isolated by an inter-element isolation trench, and a side wall of the interelement isolation trench is provided with an anti-inversion layer comprising an impurity diffusion layer.例文帳に追加
本発明の半導体装置は、絶縁膜上の半導体層に形成された半導体装置において、前記半導体層が素子間分離溝によって分離され、前記素子間分離溝の側壁に不純物拡散層からなる反転防止層を有することを特徴とする - 特許庁
To provide an organic EL element having at least a color conversion filter layer, a passivation layer, and an organic EL layer, which has a passivation layer having a passivation property with few defects and little diffusion of moisture, and has less dark spots and luminance deterioration, and a long life.例文帳に追加
色変換フィルタ層と、パッシベーション層と、有機EL層とを少なくとも備える有機EL素子であって、欠陥が少なく、水分の拡散も低い優れたパッシベーション性を備えるパッシベーション層を有する、ダークスポットや輝度劣化の少ない長寿命の有機EL素子を提供する。 - 特許庁
The material of a hole injection layer constituting the organic electroluminescent device is formed of a main chain conjugated high-molecular derivative having a crosslinked mesh structure, and the organic electroluminescent device can be made longer in service life by suppressing a deterioration in the hole injection layer due to application of a current to the layer and diffusion of a decomposition product into an organic layer.例文帳に追加
有機電界発光素子を構成する正孔注入層の材料が、架橋した網目構造を有する主鎖共役系高分子誘導体からなり、正孔注入層への通電による劣化、分解物の有機層への拡散を抑止することで、長寿命化を図る。 - 特許庁
The surface light source device uses the diffusion member as a member to constitute at least one of layers of a layer to constitute a part or the whole of the light-outgoing side structural layer and a layer which is installed at the position farther from the light-outgoing side structural layer than the organic EL element.例文帳に追加
前記面光源装置は、前記拡散部材を、前記出光面構造層の一部もしくは全部を構成する層、および前記有機EL素子よりも前記出光面構造層から遠い位置に設けられる層、の少なくとも一方の層を構成する部材として備える。 - 特許庁
In the impurity diffusion layer 110, impurities which show acceptor properties to the AlGaN layer 104 are diffused, and an impurity level obtained through coupling nitrogen holes of the AlGaN layer 104 with the impurities is formed nearby a conduction band end of the AlGaN layer 104.例文帳に追加
不純物拡散層110は、AlGaN層104に対しアクセプタ性を示す不純物が拡散し、且つ、AlGaN層104における窒素空孔と不純物とが結合してなる不純物準位が、AlGaN層104の伝導帯端の近傍に形成される。 - 特許庁
In the lithographic printing material having at least a base coating layer, a silver halide emulsion layer and a physical developing nuclear layer on a supporting body and using a silver complex salt diffusion transfer method, the binder in the base coating layer contains a cationic polymer latex.例文帳に追加
支持体上に少なくとも下塗り層及びハロゲン化銀乳剤層及び物理現像核層を有する銀錯塩拡散転写法を応用した平版印刷材料に於て、該下塗り層のバインダーにカチオン性ポリマーラテックスを含む事を特徴とする平版印刷材料。 - 特許庁
In a first particular generalized embodiment, a light blocking layer is located and formed interposed between a first semiconductor layer including a photoactive region and a second semiconductor layer including at least a second transistor or a floating diffusion region shielded by the light blocking layer.例文帳に追加
第1の特定の一般化された実施形態において、光ブロッキング層は、光活性領域を含む第1の半導体層と、光ブロッキング層によって遮蔽された少なくとも第2のトランジスタ又は浮遊拡散部を含む第2の半導体層との間に挿入されて配置及び形成される。 - 特許庁
In the relative arrangement of each layer, the light diffusing layer 2 is arranged on the nearest side to an illumination source, and then the transparent resin layer 3 and the matting layer 4 are arranged in this order so as to be away from the illumination source, and thus the transmission and diffusion of light emitting from the illumination source are controlled.例文帳に追加
これら各層の相対的な配置を、光拡散層2を最も照明光源に近い側とし、ついで照明光源から遠ざかるように透明樹脂層3、艶消し層4の順とすることにより照明光源から出る光の透過と拡散を調節する。 - 特許庁
To suppress drop in power generation performance caused by drop in water repellency of a water repellent layer in a fuel cell including a membrane-electrode assembly formed by arranging a catalyst layer, the water repellent layer containing carbon and a water repellent material, and a gas diffusion layer in this order on the surface of an electrolyte membrane.例文帳に追加
電解質膜の表面に、触媒層と、カーボンおよび撥水材を含む撥水層と、ガス拡散層とがこの順に配置された膜電極接合体を備える燃料電池において、撥水層の撥水性の低下による発電性能の低下を抑制する。 - 特許庁
The oxidizer electrode 3 has a catalyst layer 6 formed on one surface of the polymer electrolyte membrane 2, a water repellent conductive porous layer 7 which is a water repellent and conductive porous material to cover the surface and the end face of the catalyst layer 6, and a gas diffusion layer 9.例文帳に追加
酸化剤極3は、高分子電解質膜2の一方の表面に形成された触媒層6と、触媒層6の表面及び端面を全て覆う撥水性かつ導電性の多孔質体である撥水導電性多孔質層7と、ガス拡散層9とを有している。 - 特許庁
In this detector suitable for a scanning electron microscope or the like, which is a PIN photodiode having a thin layer of pure boron connected to the p^+-diffusion layer, the boron layer is connected to an electrode having an aluminum grid to form a path of low electrical resistance on each position between the boron layer and the electrode.例文帳に追加
走査型電子顕微鏡等に適した検出器は、p^+‐拡散層に接続された純ホウ素の薄い層をもつPINフォトダイオードで、そのホウ素層は、アルミニウム・グリッドをもつ電極に接続され、そのホウ素層と電極との間の各々の位置において低い電気抵抗の経路を形成する。 - 特許庁
To form an end part gasket of electrolyte resin by appropriately processing an electrolyte membrane selvage with a catalyst layer not formed, in a membrane electrode assembly made by continuously forming an electrode layer consisting of a catalyst layer and a diffusion layer on either side of a roll-shaped electrolyte film.例文帳に追加
ロール状の電解質膜の両面に触媒層と拡散層からなる電極層が連続して形成されてなる膜電極接合体における、触媒層が形成されていない電解質膜耳部分を適切に処理して、電解質樹脂による端部ガスケットを形成する。 - 特許庁
A 3rd laminate having a 2nd cathode catalyst layer formed on a cathode diffusion layer is produced, and the 1st and the 3rd laminates are joined each other so that the 1st cathode catalyst layer of the 1st laminate comes into contact with a 3rd cathode catalyst layer of the 3rd laminate.例文帳に追加
カソード拡散層の表面に第2のカソード触媒層を形成した第3の積層体を作製し、第1の積層体の第1のカソード触媒層と第3の積層体の第3のカソード触媒層とが接するように第1、第3の積層体どうしを互いに接合する。 - 特許庁
The sealing part has an under layer 31 formed by a metal thin film deposited on at least either one of the first and second members, a diffusion layer 35 formed by diffusing a part of the metal components of the metal thin film to one member, and a sealing material layer 32 provided on the under layer.例文帳に追加
封着部は、第1および第2部材の少なくとも一方に堆積された金属薄膜により形成された下地層31と、金属薄膜の金属成分の一部が一方の部材に拡散して形成された拡散層35と、下地層上に設けられた封着材層32とを有している。 - 特許庁
The metal/ceramic joined product is provided with a ceramic material, a metallic thin layer joined to the surface of the ceramic material and a surface layer formed on the surface of the metallic thin layer and having a function to suppress the diffusion of carbon, nitrogen and/or oxygen to the metallic thin layer.例文帳に追加
本発明に係る金属/セラミック接合体は、セラミック材料と、該セラミック材料の表面に接合された金属薄層と、該金属薄層の表面に形成された、前記金属薄層への炭素、窒素、及び/又は、酸素の拡散を抑制する機能を有する表面層とを備えている。 - 特許庁
A first semiconductor layer 11, a channel semiconductor layer 12, and a second conductive layer 13, which serves as the other source/drain region and further/serves as a storage node 26, too, are provided on a first impurity diffusion layer 24, which serves as one of the source/drain regions and further becomes a bit line, too.例文帳に追加
ソース/ドレイン領域の一方になり、かつビット線にもなる第1の不純物拡散層24の上に、第1の半導体層11、チャネル半導体層12、ソース/ドレイン領域の他方になり、かつストレージノード26にもなる第2の導電層13が設けられている。 - 特許庁
A second buffer layer 15 made of a metallic material, of which the mutual diffusion with respect to the material of the piezoelectric precursor layer hardly occurs rather than the metallic material forming the actuator plate 22, is formed on the first buffer layer 14 to form a surface layer 13 on the top face of the actuator plate 22.例文帳に追加
第1緩衝層14上に、圧電シートとなる圧電前駆体層の材料との相互拡散がアクチュエータプレート22を構成する金属材料よりも生じにくい金属材料からなる第2緩衝層15を形成し、アクチュエータプレート22の上面に表層13を形成する。 - 特許庁
To suppress mutual diffusion between components in a dielectric layer and components in an insulating layer at the time of simultaneously baking a green sheet and the dielectric layer through an electrode layer in a capacitor, to prevent reduction in the capacity of the capacitor part, and to suppress the dispersion of the capacity.例文帳に追加
コンデンサ部の電極層を介してグリーンシートと誘電体層を同時焼成する際、誘電体層中の成分と、絶縁層中の成分との相互拡散を抑制し、コンデンサ部の容量の低下を防ぎ、またそのバラツキを抑制することができるものとすること。 - 特許庁
A CoxSiy (x≥y) intermediate reaction layer is formed on a diffusion layer 6 and a gate silicon film 4 in self-aligning way, by intermittently depositing first and second Co films 7a and 7b while the silicon substrate 1 of a MOS transistor 10, in which the diffusion layer 6 constituting a source-drain region and the gate silicon film 6 constituting a gate electrode are formed is heated.例文帳に追加
ソース・ドレイン領域である拡散層6及びゲート電極であるゲートシリコン膜4が形成されたMOSトランジスタ10のシリコン基板1を加熱しながら第1Co膜7a及び第2Co膜7bを間欠的に堆積して、拡散層6及びゲートシリコン膜4上にCo_xSi_y(x≧y)の中間反応層を自己整合的に形成する。 - 特許庁
In this near field light probe provided with a through hole 4 having the micro-opening 3 in the photodetector including the first conductive type semiconductor layer 1 and a second conductivity type impurity diffusion layer 2, the second conductivity type impurity diffusion area 5 is provided along an inner circumference of the through-hole 4 in the first conductivity type semiconductor layer 1.例文帳に追加
第一導電型の半導体層(1)及び第二導電型の不純物拡散層(2)を含む光検出器に微小開口(3)を有する貫通孔(4)を設けた、本発明の近接場光プローブは、第一導電型の半導体層(1)に、貫通孔(4)の内周に沿って、第二導電型の不純物拡散領域(5)を設けた。 - 特許庁
The core material for the electrode consists of a substrate and at least one porous material layer formed on the substrate, and the substrate is composed of a metallic foil worked into a 3-dimensional structure, the porous material layer has a homogeneous 3-dimensional structure formed by a diffusion bonding of metal microparticles, and the porous material layer makes a diffusion bonding with the substrate.例文帳に追加
基材および前記基材上に形成された少なくとも1つの多孔体層からなり、前記基材が、3次元構造に加工された金属箔からなり、前記多孔体層が、金属微粒子の拡散結合により形成された均一な3次元構造を有し、前記多孔体層が、前記基材と拡散結合している電極用芯材。 - 特許庁
To provide a fuel battery, capable of effectively restraining an edge that protrudes from an end face of a porous body forming a gas-flow channel layer from piercing a gas diffusion layer (diffusion layer base material), constituting at least the power generation region of an electrode body, while maintaining a given compression force at stacking, even if a compression force is intensively made to act from the edge.例文帳に追加
スタッキング時の所与の圧縮力を維持しながら、ガス流路層を形成する多孔体の端面から突出するエッジから集中的に圧縮力が作用した場合でも、少なくとも電極体の発電領域を構成するガス拡散層(拡散層基材)に該エッジが突き刺さることを効果的に抑止することのできる燃料電池を提供する。 - 特許庁
The backlight assembly 300 has a light diffusing member 330 composed of a diffusion layer 331 diffusing first light L1 emitted from at least one lamp 310 and a light passageway-changing layer 333 projected from the surface of the diffusion layer 331 for changing the passageway of the first light to inject the first light as second light L2 having a uniform luminance distribution.例文帳に追加
バックライトアセンブリ300は一つ以上のランプ310から発生した第1光L1を拡散する拡散層331と、拡散層331の一面から突出され第1光の経路を変更する光経路変更層333からなった光拡散部材330を備えて、第1光を均一の輝度分布を有する第2光L2として射出する。 - 特許庁
A cathode is comprised of a catalyst layer containing carbon powder carried with a catalyst and a polymer electrolyte, a polymer electrolyte membrane, and a gas diffusion layer, and the amount of carbon having high water repellency is varied from the side coming in contact with the polymer electrolyte membrane toward the side of the gas diffusion layer.例文帳に追加
触媒を担持した炭素粉末及び高分子電解質を含む触媒層と、高分子電解質膜と、ガス拡散層とから構成されるカソードであって、前記触媒層内における撥水性の高いカーボンの量が、高分子電解質膜と接する側からガス拡散層の側に向かって変化していることを特徴とする燃料電池用電極。 - 特許庁
To provide a method of coating paste on a diffusion layer substrate that effectively suppresses fuzz in a diffusion layer substrate which occurs in a coating process, by adding a simple change to a composition of a die coater used in a die coating method, and to provide a method of forming a catalyst layer for a fuel cell with this coating method as a characteristic.例文帳に追加
ダイコート法で使用されるダイコータの構成に簡易な変更を加えることにより、塗工工程の際に生じ得る拡散層基材の毛羽立ちを効果的に抑止することのできる、拡散層基材にペーストを塗工する方法と、この塗工方法に特徴を有する燃料電池用触媒層の形成方法を提供する。 - 特許庁
The diffusion layer 3 for the fuel cell is equipped with a metallic gas diffusion region 12, and a substrate region 11 adjacently arranged in an electrode containing carbon of the fuel cell, and a conducting region 13 made of a different material from the materials of the gas diffusion region 12 and the substrate region 11 is installed between the gas diffusion region 12 and the substrate region 13.例文帳に追加
金属製のガス拡散領域12と、カーボンを含んでなり燃料電池の電極に隣接配置され得る下地領域11と、を備えた燃料電池用拡散層3において、ガス拡散領域12と下地領域11との間に、ガス拡散領域12および下地領域11とは異なる材料により形成された導電領域13を設けた。 - 特許庁
A membrane-electrode conjugate 15 formed by bonding catalyst layers 15b serving as a pair of electrodes to both sides of an electrolyte membrane 15a, and diffusion layers 16 disposed on both sides of the membrane electrode conjugate 15 are provided, and the membrane electrode conjugate 15 and the diffusion layer 16 are laminated without bonding a part of the portion between the membrane electrode conjugate 15 and the diffusion layer 16.例文帳に追加
電解質膜15aの両面に一対の電極としての触媒層15bを接合した膜−電極接合体15と、この膜−電極接合体15の両面に配置される拡散層16とを備え、膜−電極接合体15と拡散層16とを、これら膜−電極接合体15及び拡散層16の間の少なくとも一部を接合せずに積層する。 - 特許庁
The diffusion and transfer of the catalyst can be prevented by interposing the diffusion preventing member formed with the hydrocarbon ion exchange resin material between the catalyst layer and the electrolyte membrane, based on such knowledge that in the process diffusing to the electrolyte membrane of Pt ions generated in the catalyst layer, the diffusion is suppressed by the hydrocarbon ion exchange resin material.例文帳に追加
Ptイオンが触媒層にて発生した後、電解質膜へ拡散する過程において、炭化水素イオン交換樹脂材料によりその拡散が抑制されるとの知見に基づき、炭化水素イオン交換樹脂材料から形成された拡散防止部材を触媒層及び電解質膜の間に介設することにより、触媒の拡散・移動を防止する構成を見出した。 - 特許庁
The fuel cell is provided with an electrolyte film made of solid polymers, a pair of catalyst layers arranged at either side of the electrolyte film, a pair of gas diffusion layers 2A, 2C arranged at an outside of each catalyst layer, and a pair of separators 3A, 3C arranged outside each gas diffusion layer to form a gas flow channel between each two gas diffusion layers.例文帳に追加
燃料電池は、固体高分子よりなる電解質膜と、電解質膜の両側に配設された一対の触媒層と、各触媒層の外側にそれぞれ配設された一対のガス拡散層2A、2Cと、各ガス拡散層2A、2Cの外側にそれぞれ配設され各ガス拡散層2A、2Cとの間にそれぞれガス流路を形成する一対のセパレート3A、3Cとを備えている。 - 特許庁
In the separator for fuel cell in which separator main bodies 2 are provided on the both surfaces of an ion exchange film 6 together with platinum catalyst layers 5 and gas diffusion layers 4, the separator body 2 has a single recessed part formed in a surface facing the gas diffusion layer 4 and serving as a reaction space and a conductive member 3 electrically connected with the gas diffusion layer 4 is disposed in the recessed part.例文帳に追加
イオン交換膜6の両面に、白金触媒層5と、ガス拡散層4とともにセパレータ本体2を設けた燃料電池用セパレータであって、前記セパレータ本体2は、前記ガス拡散層4に対向する面に反応空間となる単一の凹部を形成し、当該凹部内に前記ガス拡散層4と電気的に接続する導電性部材3を配置した。 - 特許庁
The light diffusion film comprises a translucent support 11 and a translucent resin layer 12 having a rugged light diffusion surface on a surface disposed on the translucent support 11, and has the anisotropy of diffusion angle, wherein surface resistivity of the light transmissive resin layer 12 is 1×10^11Ω or less and pencil hardness is H or more.例文帳に追加
透光性支持体11と、該透光性支持体11上に設けられた表面に凹凸形状の光拡散面を有する透光性樹脂層12とからなり、拡散角に異方性のある光拡散フィルム10において、前記透光性樹脂層12の表面抵抗が1×10^11Ω以下であり、鉛筆硬度がH以上であることを特徴とする。 - 特許庁
This compound sensor includes a UV sensor part including a PN junction area provided within an SOI layer layered on an embedded oxide film on a semiconductor substrate, and an IR sensor part including an N-type low-density diffusion area provided in the SOI layer, and an N-type high-density diffusion area provided within the semiconductor substrate opposedly to the low-density diffusion area.例文帳に追加
半導体基板上の埋め込み酸化膜上に積層されたSOI層内に設けられたPN接合領域を含むUVセンサ部と、前記SOI層に設けられたN型の低濃度拡散領域及び前記低濃度拡散領域に対向して前記半導体基板内に設けられたN型の高濃度拡散領域を含むIRセンサ部とを有している。 - 特許庁
This fuel cell (100) includes an electrolyte membrane (12) of a solid polymer type having proton conductivity, a cathode catalyst layer (14) and an anode catalyst layer (16) to pinch the electrolyte membrane, a first gas diffusion layer (30) which is installed on the opposite side of the electrolyte membrane of the anode catalyst layer and equipped with a second gas diffusion layer (35) composed of carbon paper cloth.例文帳に追加
本発明に係る燃料電池(100)は、プロトン伝導性を有する固体高分子型の電解質膜(12)と、電解質膜を挟持するカソード触媒層(14)およびアノード触媒層(16)と、カソード触媒層の電解質膜と反対側に設けられ、カーボンペーパーからなる第1ガス拡散層(30)と、アノード触媒層の電解質膜と反対側に設けられ、カーボンクロスからなる第2ガス拡散層(35)と、を備えることを特徴とするものである。 - 特許庁
A method for forming the diffusion barrier for the copper wiring includes steps for supplying a semiconductor, forming a dielectric layer over the semiconductor, forming a trench in the dielectric layer, forming the diffusion barrier including a TiNSi in the trench using a chemical vapor deposition method (CVD), and forming an (α-Ta) layer having a body-centered cubic structure on the diffusion barriers.例文帳に追加
銅線用拡散バリアを形成する方法であって、 半導体を供給すること、 前記半導体上に誘電体層を形成すること、 前記誘電体層中にトレンチを形成すること、 化学気相成長法(CVD)を用いて前記トレンチ中に窒化チタンケイ素を含む拡散バリアを形成すること、及び 前記拡散バリア上に体心立方構造をもつアルファ相タンタル(α‐Ta)層を形成することを含む方法が提供される。 - 特許庁
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