「BEFORE PROCESS」に関連した英語例文の一覧と使い方(30ページ目) - Weblio英語例文検索

A control means 18 sequentially controls respective processes of washing, rinsing, and dehydrating processes and actuates the clutch mechanism part 7 before supplying water in a water supplying process for allowing the washing and dehydrating tube 1 to rotate freely.例文帳に追加

制御手段１８は、洗い、すすぎ、脱水の各行程を逐次制御するとともに、給水行程にて、給水を行う前にクラッチ機構部７を動作させ、洗濯兼脱水槽１を回転自在にするように構成する。 - 特許庁

To provide an antistatic agent composition in which there is not sticky nature before use and that has favorable operability in a next process; and to provide a method of manufacturing the same, a master batch using the antistatic agent composition, and a resin molded article.例文帳に追加

使用前にべた付きがなく、次工程での操作性のよい帯電防止剤組成物及びその製造方法並びに帯電防止剤組成物を用いたマスターバッチ及び樹脂成形品を提供する。 - 特許庁

The sound quality setting in a silent state is set by the sound quality setting means 14 through a process of partially changing the sound quality setting set in a sounding state just before it is judged by the sounding state/silent state judging means 12 that the sound signals are in a silent state.例文帳に追加

音質設定手段１４による無音時の音質設定は、有音／無音判定手段１２で無音と判定された直前の有音時の音質設定に基づき、その一部のみの変更により行う。 - 特許庁

In the process, the raising rate of temperature is set ≤2°C/min, the rate control starts before inside temperature of the furnace reaches to 250°C and carbide is obtained by raising the inside temperature of the furnace to 300-600°C at the raising rate.例文帳に追加

このとき、昇温速度を２℃／分以下にして、炉内温度が２５０℃になる前にその速度制御を始め、その昇温速度でもって炉内温度を３００〜６００℃に上昇させて炭化物とする。 - 特許庁

When face information is detected by a face detecting unit 101 (T1), the number of faces is determined using the number of pieces of face information detected once in a first face number deciding process "A" before a SW1 is turned on (T2).例文帳に追加

顔検出部１０１で顔情報が検出されると（Ｔ１）、ＳＷ１がオンされる前の第１の顔数決定処理Ａでは、１回の検出された顔情報の数を用いて顔数が決定される（Ｔ２）。 - 特許庁

Thereafter, the paper 3 advancing to the pair of resist rollers 12 through a reconveying guide 45 is carried toward the process unit 18 while being held by the pair of resist rollers 12 without being temporarily stopped before printing on the 2nd side.例文帳に追加

その後再搬送ガイド４５を介してレジストローラ対１２に至った用紙３は二面目印刷前に一時停止されることなくレジストローラ対１２に挟持されながらプロセスユニット１８に向けて搬送される。 - 特許庁

In a process of sticking the nanowire solution 2 to the surface of the substrate 6, before the nanowire solution 2 reaches the substrate 6, the field is impressed to the nanowire solution 2 by the field application means 5 to orientate the nanowire 2a.例文帳に追加

ナノワイヤ溶液２を基板６の表面に付着させる過程において、ナノワイヤ溶液２が基板６に到達する前に、電界印加手段５によりナノワイヤ溶液２に電界を印加してナノワイヤ２ａを配向させる。 - 特許庁

I.e., ahead of ascending/descending of the player a process to repeatedly extrude the minidesk is provided, so directly before ascending/descending of the player the minidesk is separated from ejecting plate and comes to a condition of being completely discharged from the holder.例文帳に追加

即ち、プレーヤの昇降に先立って再度ミニディスクを押し出す処理を設けたので、プレーヤが昇降する直前にはミニディスクがイジェクトプレートから離間しかつホルダから完全に排出された状態となる。 - 特許庁

Furthermore, in the splitting process, the textile processed product laminate before being split can be compressed in a laminating direction, or the respective layers of the split textile processed product laminate can be pulled while the respective layers are held by rollers.例文帳に追加

更に、分割工程では、分割前の繊維加工品積層体を積層方向に圧縮したり、分割された繊維加工品積層体の各層をローラによりそれぞれ挟持しつつ引っ張ったりすることができる。 - 特許庁

The method for treating the substrate before exposing the substrate to which a resist is applied includes a process of baking the substrate to which the resist is applied, and a process of holding the baked substrate in an atmosphere which substantially includes no moisture until conveying the substrate to the exposure apparatus.例文帳に追加

レジスト塗布された基板を露光する前の基板処理方法において、レジスト塗布された前記基板をベークする工程と、ベーク後の前記基板を、露光装置に搬送するまで、実質的に水分を含有しない雰囲気中に保持する工程と、を備えたことを特徴とする基板処理方法が提供される。 - 特許庁

Control is performed for the time required to supply the printed circuit board to the liquid developing process after an electrifying means to electrify the photomemory photosensitive layer surface of the body to be developed passes through the electrification process by the liquid developing device provided nearly just before a developing electrode at the liquid developing device by the electrophotographic method.例文帳に追加

被現像体のフォトメモリー性感光層表面を帯電する帯電手段を、電子写真法による液体現像装置に於ける現像電極の略直前に設けた液体現像装置により、帯電行程を経た後、当該基板を液体現像行程に供するまでの時間を制御する。 - 特許庁

A node-to-node synchronizing apparatus 300 for synchronization between nodes accepts a mask generation request for requesting generation of process location information (masks) showing the location state of each process which participates in waiting of synchronization from each of the processes in a computer node 100 which participates in the waiting of synchronization before accepting a synchronization request for requesting waiting of synchronization.例文帳に追加

ノード間同期装置３００は、同期の待ち合わせを要求する同期リクエストを受け付ける前に、同期の待ち合わせ参加する計算機ノード１００内のプロセスの各々から、同期の待ち合わせ参加する各プロセスの配置状況を示したプロセス配置情報（マスク）の生成を要求するマスク生成リクエストを受け付ける。 - 特許庁

In the manufacturing method of the cathode ray tube, by releasing at least one kind of specific gas of either Ar gas, N2 gas, or H2 gas from a part in a bulb, before aging process 22 in the cathode ray tube, the pressure of the specific gas in the cathode ray tube at the aging process 22 is controlled.例文帳に追加

陰極線管の製造方法において、エージング工程２２前に陰極線管内でＡｒガス、Ｎ_2ガス、Ｈ_2ガスのうち少なくとも一種類の特定ガスを管内部品から放出させることにより、前記エージング工程２２における前記陰極線管内の前記特定ガスのガス圧を制御する。 - 特許庁

To provide an information reproducing device which can end a reproducing process normally with a retrial frequency lower than before if an error occurs to the reproducing process since addresses can not be read successively owing to inaccuracy of information on a recording medium due to variance of recording conditions at recording time.例文帳に追加

記録時の記録条件ばらつき等による記録媒体上の情報の不正確さが原因となって、アドレスが連続してリードできずに、再生処理でエラー発生した場合に、従来よりも少ないリトライ回数で再生処理を正常終了することができる情報再生装置を提供する。 - 特許庁

To form a straight self-forming optical waveguide having a constant diameter by splicing optical fibers or an optical fiber and an optical component with a self-forming optical waveguide technology without necessitating a fine adjustment of the refractive index of a light curing resin before and after a light curing process or a complicated control of light for the light curing process.例文帳に追加

光ファイバ同士もしくは光ファイバと光部品とを自己形成光導波路技術により接続する場合において、光硬化性樹脂の硬化前後の屈折率の微細な調整や硬化用の光の複雑な制御を必要とすることなく、径が均一で直線状の自己形成光導波路を形成する。 - 特許庁

In the plasma nitriding processing apparatus that nitrides a substrate having an insulating film, the wafer temperature is in-process monitored before starting the plasma nitiding processing, and the plasma nitriding time or process pressure is controlled by feeding the monitored value of the wafer temperature back to a CPU to enhance the uniformity of the nitridation quantities among the wafers.例文帳に追加

絶縁膜を有する基板を窒化するプラズマ窒化処理装置において、プラズマ窒化処理を開始する前にウェハ温度をインプロセスで計測し、該ウェハ温度の計測値をＣＰＵにフィードバックしてプラズマ窒化時間またはプロセス圧力を制御することにより、ウェハ間の窒化量の均一性を向上することができる。 - 特許庁

The method of manufacturing optical film comprises a process of laminating a second cured layer on a first cured layer laminated directly or via other layer on a transparent plastic film substrate, wherein, before the second cured layer is laminated, a process of eliminating specific substance contained in the first cured layer is performed.例文帳に追加

透明プラスチックフィルム基材上に直接または他の層を介して積層された第１の硬化層上に第２の硬化層を積層する工程において、第２の硬化層積層前に、第１の硬化層に含有する特定の物質を除去する工程を含むことを特徴とする光学フィルムの製造方法。 - 特許庁

Correction of the restriction time assigned to an optional process not contained in the maximum operation quantity continuous process is performed (S9), and a plurality of processes having a restriction time with minimized distribution with a minimum time-based assigned headcount of the restriction times before and after corrections is selected (S10).例文帳に追加

その後、最大作業量連続工程に含まれない任意の工程に対して割り当てられた制約時間の修正を行ない（Ｓ９）、修正前及び修正後の制約時間のうち、時間毎の割当人数が最小であり、分散が最小となる制約時間を有する複数の工程を選択する（Ｓ１０）。 - 特許庁

To realize a light emitting diode element having a high luminance in the wavelength band of yellow-green, in which the drop in the output strength used to be marked conventionally, by forming a window layer in a process in which the temperature is higher than before in order to improve the electric conductivity of the window layer and by changing the structure thereof to prevent the changes due to the process under high temperatures.例文帳に追加

窓層を従来よりも高温のプロセスで形成し、電気伝導度の改善された窓層とするが、高温プロセスによる変化がないようにその構造を変える事により、従来は出力強度の低下が著しかった黄緑色の波長帯域で、輝度の大きい発光ダイオード素子を実現する。 - 特許庁

The process of producing steel member by which the steel material is subjected to combined heat treatment comprising a combination of nitriding and high-frequency hardening is characterized in that a chemical conversion treatment process for forming a chemical conversion coating film on a nitrogen compound layer formed on steel by the nitriding is further included before the high-frequency hardening after the nitriding.例文帳に追加

鉄鋼材料に対して窒化処理と高周波焼入れ処理との組み合わせ複合熱処理を施す方法において、窒化処理後高周波焼入れ処理前に、窒化処理により鉄鋼に形成された窒素化合物層上に化成皮膜を形成させる化成処理工程を更に含むことを特徴とする方法。 - 特許庁

The method for treating microorganisms, comprising performing one objective treatment of microorganism-counting treatments, microorganism proliferation treatments and microorganism purification treatments, includes performing a preliminary treatment process for charging a prescribed amount of a sample microorganism liquid in a closed container 22 and then subjecting the closed container to a high speed amplitude movement before the objective treatment process.例文帳に追加

微生物数のカウント処理、微生物の増殖処理、微生物の純菌化処理の何れか１の目的処理を行う微生物の処理方法において、目的処理工程を行う前に、微生物の試料液の所定量を密閉容器２２に充填し、該密閉容器を高速振幅運動させる前処理工程を行う。 - 特許庁

The disclosed method includes, in a flash memory device comprising a stack gate electrode, a step of performing a radical oxidization process on the entire resulting surface including the stack gate electrode to form a sidewall oxide film on sidewalls of the stack gate electrode, and to maintain the profile of the stack gate electrode before the radical oxidization process.例文帳に追加

スタックゲート電極が備えられたフラッシュメモリ素子において、前記スタックゲート電極の含まれた結果物の全面にラジカル酸化工程を行い、前記スタックゲート電極の側壁に側壁酸化膜を形成すると共に前記ラジカル酸化工程前の前記スタックゲート電極のプロファイルを維持させる段階を含む。 - 特許庁

To provide an electrophotographic process unit for positive electrification by which paper powder is efficiently removed from the surface of a photoreceptive drum by removing the paper powder from the surface of a paper powder removing roller before bringing into contact with the surface of the photoreceptor drum and always bringing into contact with the clean surface of the roller, and an image forming apparatus using the process unit.例文帳に追加

感光体ドラム表面と接触する前に紙粉取りローラ表面から紙粉を除去して常に清浄な前記ローラ表面を接触させて感光体ドラム表面から効率的に紙粉を除去できる正帯電用電子写真プロセスユニットおよびこのプロセスユニットを用いた画像形成装置の提供。 - 特許庁

To solve the following problem, prior to the start of an image forming process, a preparatory process of press-fixing an image forming body to an intermediate transfer body is performed, then, it takes a long time before the start of forming an image and an FCOT is prolonged and an image forming efficiency is reduced.例文帳に追加

中間転写体を有する多色画像形成装置では、画像形成工程の開始に先立って、像形成体と中間転写体とを圧着させる準備工程が実行されるために、画像形成の開始までに時間がかかり、ＦＣＯＴが延長されて、画像形成効率が下がるという問題を解決する。 - 特許庁

Thus, when variation start and the start winning are detected in one timer interruption process while the Pachinko game machine 10 is in the high probability state, the jackpot drawing accompanying the variation start and the start permission determination of the continuation notice performance accompanying the start winning are completed before the start of the next timer interruption process.例文帳に追加

これにより、パチンコ機１０が高確率状態にある中で、一のタイマ割込処理で変動開始と始動入賞とが検出された場合に、変動開始に伴う大当たり抽選と始動入賞に伴う連続予告演出の開始許可判定とを、次のタイマ割込処理の開始までに完了させることができる。 - 特許庁

Before a laser welding process but after a contacting process of abutting a penetrable member on an absorbency member, a space is formed between a first surface and a second surface, and between the contacting portion of both members and the feeding passage where the ink flows in the direction crossing with the surface having the opening.例文帳に追加

透過性部材と吸収性部材との当接工程の後でレーザー溶着工程の前においては、両部材の当接部位と開口部を有する面に対して交差する方向にインクが流れる供給路との間であって第一の面と第二の面との間に空間が形成されていることを特徴とする。 - 特許庁

The method for producing a resin that increases a dissolution rate in an alkali development solution by an acid action comprises a process for dripping a monomer solution containing two or more monomers to a heated solvent to polymerize the monomers and a process for terminating the polymerization before or after the completion of dripping of the monomer solution.例文帳に追加

二種類以上のモノマーを含有するモノマー溶液を加熱した溶剤に滴下して重合する工程と、モノマー溶液の滴下終了前もしくは後に重合を停止させる工程、を含むことを特徴とする酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂の製造方法。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor element which can obtain a flat film in an earlier stage of a growth process than before, in a method of manufacturing a semiconductor light-emitting apparatus including a process of forming a semiconductor layer using a lateral growth method after arranging a mask for selective growth on a substrate for growth.例文帳に追加

成長用基板上に選択成長用のマスクを配した後、横方向成長法を用いて半導体層を形成する工程を含む半導体発光装置の製造方法において、従来よりも成長過程の早い段階で平坦な膜を得ることができる半導体素子の製造方法を提供する。 - 特許庁

In the method, before the expansion process, a packing process in which a thermoplastic resin cylindrical body 12 having a diameter corresponding to that of the hole 24a, while being rotated, is inserted into the hole 24a formed in the molding 11 is preferably provided.例文帳に追加

本発明の熱可塑性樹脂成形体の穴埋め方法においては、前記拡径工程前に、熱可塑性樹脂成形体（成形体１１）に形成された穴２４ａ中に、該穴２４ａの太さに対応した太さの熱可塑性樹脂製円柱体１２を回転させながら挿入、溶接する充填工程を有することが好ましい。 - 特許庁

A deceleration plan calculation unit 33 calculates a lot progress plan that a lot progress plan for a non-processable lot with the light exposure process therefor expected not to be completed before the predetermined time, up to the light exposure process, is progressed in low priority to an existing lot progress plan set for the lot.例文帳に追加

減速計画算出部３３は、上記所定時刻までに上記露光工程が未完了の予定である処理不可能ロットの、上記露光工程までのロット進行計画を、当該ロットに対して設定されている既存のロット進行計画に比べて劣後進行させたロット進行計画を算出する。 - 特許庁

To prevent a machine halt which is caused by a seam label single body whereon a seam tape for joining each end part of a label sheet is adhered in labeler process wherein the label single body is adhered on a plastic bottle or the like by automatically discharging the label single body (the seam label single body) before adhering on the bottle in the process.例文帳に追加

プラスチックボトル等にラベル単位体を装着するラベラー工程において、ラベル連続体の端部同士をつなぐ継目テープの貼着したラベル単位体（継目ラベル単位体）を、ボトルへの装着前に自動的に排出することにより、該継目ラベル単位体に起因するラベラー工程での機械停止を防止する - 特許庁

To provide a carrying control system, a carrying control method, and a carrying control program for carrying treated products from a treatment device in a previous process to a treatment device in the next process so as to efficiently use a plurality of half-treated product shelves which store the treated products before treated by the treatment devices in a production line.例文帳に追加

生産ラインにおける各処理装置の処理前の被処理物が保管される複数の仕掛棚を効率よく使用するこができるように被処理物を前工程の処理装置から次工程の処理装置へ搬送させることができる搬送制御システム、搬送制御方法、及び搬送制御プログラムを提供する。 - 特許庁

In the image forming apparatus comprising a transfer unit and the process cartridge as a detachable photoreceptor unit, a nip part between an intermediate transfer belt 10 of the transfer unit 6 and the process cartridge 30 is loaded with a charge elimination lamp 32 for eliminating charges from the photoreceptor drum 1K before cleaning.例文帳に追加

転写ユニットと、着脱可能な感光体ユニットとしてプロセスカートリッジを有する画像形成装置において、前記転写ユニット６の中間転写ベルト１０とプロセスカートリッジ３０とのニップ部にクリーニング前の感光体ドラム１Ｋを除電する除電ランプ３２が搭載されていることを特徴とする。 - 特許庁

Immediately before the execution of a calendar process by a pair of calendar rolls 2 made of a combination of metal rolls, the tension of 10 to 500 N/mm^2 (per unit sectional area) is applied in the width direction of a traveling magnetic recording medium raw sheet, and the magnetic recording medium raw sheet 1 is used for the calendar process in the state of substantially no wrinkles.例文帳に追加

金属ロール同士の組み合わせからなる一対のカレンダーロール２にてカレンダー加工する直前に、走行する磁気記録媒体原反１の幅方向に１０〜５００Ｎ／ｍｍ^2（単位断面積当り）の張力を付与して、磁気記録媒体原反１を実質的にシワのない状態で前記カレンダー加工に供する。 - 特許庁

To suppress increasing of electro static charge voltage in a panel part during conveyance, because of an electrostatic charge of the panel part due to action during the conveyance to attract foreign matter for making it as one factor of deterioration of picture quality and improper action in a cathode ray tube, in the case of conveying the panel part before a funnel seal process in a process for manufacturing the cathode ray tube.例文帳に追加

陰極線管を製造する工程で、ファンネルシール工程前のパネル部を搬送する際に、搬送中の作用によりパネル部が帯電して異物を吸着し、これが陰極線管の画質低下や不良動作の一要因となっていため、搬送中のパネル部の帯電電圧が高くなるのを抑制する。 - 特許庁

This pitch trouble-preventing method comprises adding an inorganic aluminum compound to a pulp slurry, before subjected to stirring/mixing in a mixing chest, and then adding a polydiallyldimethylammonium salt having a mol.wt. of 20,000 to 200,000 to the pulp slurry, after subjected to the stirring/mixing in the mixing chest, in a pulp-preparing process in the paper-producing process.例文帳に追加

製紙工程中のパルプ調成工程において、ミキシングチェストで攪拌・混合に付される以前のパルプスラリーに無機アルミニウム化合物を添加し、ミキシングチェストで攪拌・混合に付される以後のパルプスラリーに分子量２０，０００〜２００，０００のポリジアリルジメチルアンモニウム塩を添加することにより、上記の課題を解決する。 - 特許庁

In the controller, a process of error recognition is carried out when the temperature before heating of the fluid when a predetermined time has passed after starting of a trial run of a heat pump type refrigerating cycle becomes a difference the same or more than a predetermined ΔT1 with respect to the temperature during normal operation, and a process of stopping the trial run is carried out.例文帳に追加

そして、制御装置は、ヒートポンプ式冷凍サイクルの試運転が開始された後、所定時間が経過したときの流体の加熱前温度が、正常運転時の温度に対して所定のΔＴ１以上の差となったときには、エラー認識の処理をし、試運転を停止する処理を実行する。 - 特許庁

When an icon 'DISP' is selected, the data (replay data) of individual solution process expressions stored in the ALG memory 18a are switched to an optional stage before or after a current stage by clicking icons 'BACK', 'NEXT' and displayed, and when icon 'DEL' is clicked, invalid information is written in the data record of the solution process expression being displayed at present.例文帳に追加

[DISP]を選択すると前記ALGメモリ18aに保存された個々の求解過程式のデータ（リプレイデータ）が[BACK][NEXT]のアイコン操作により前後任意の段階の求解過程式に切り替えられて表示され、[DEL]のアイコンを操作すると現在表示中の求解過程式のデータレコードに無効情報が書き込まれる。 - 特許庁

The method of manufacturing the self-supporting container includes: a process of, before the stage of filling the container with contents, making a blow opening by sending an air into the container, simultaneously, sealing the periphery of a gap part and forming the gap part; and a process of filling the container with the contents through the opening and sealing the opening.例文帳に追加

容器内に内容物を充填する前段階として容器内にエアーを吹き込み開口部を開口させると同時に空隙部周辺をシールして空隙部を形成する工程と開口部から内容物を充填して、該開口部をシールする工程とを含むことを特徴とする自立性容器の製造方法。 - 特許庁

In the method for producing the natural rubber by which a solidified rubber obtained by solidifying a rubber component from a natural rubber latex is crumbed and dried, a crumb containing water before drying is subjected to a dehydration process by using a squeezer and the dehydrated crumb is subjected to a cutting process and then dried by using a band dryer.例文帳に追加

天然ゴムラテックスからゴム成分を固化して得た固形ゴムをクラム化して乾燥する天然ゴムの製造において、乾燥前に水分を含むクラムをスクイーザーによる脱水工程、脱水クラムの裁断工程による処理を行った後、バンド乾燥機を用いて乾燥する天然ゴムの製造方法。 - 特許庁

To provide an image forming apparatus of high quality by preventing toner transferred once to a transfer medium from being transferred to an image carrier again as an image forming apparatus which performs electrification before a transfer process for transfer from an image carrier to a transfer medium and determines the optimum transfer bias in the last transfer process.例文帳に追加

像担持体から転写媒体への転写工程前に転写前帯電を行い、且つ、前回転工程において最適な転写バイアスを決定する画像形成装置においても、一度転写媒体に転写されたトナーの像担持体への再転写を防止し、高品質な画像形成装置を提供する。 - 特許庁

A client control part 11 is arranged which has a function of informing a transmission control part 12 of a process request message requesting respective clients 2A to 2N to perform processes and a function of informing a reception control part 13 of an initialization request message requesting the initialization of a result storage table 15 before the process request message is sent.例文帳に追加

各クライアント２Ａ〜２Ｎに対して処理の実行を要求する処理要求メッセージを送信制御部１２に通知する機能及び処理要求メッセージの送信前に結果格納テーブル１５の初期化を要求する初期化要求メッセージを受信制御部１３に通知する機能を有するクライアント制御部１１を設ける。 - 特許庁

The method includes a process for forming a Schottky electrode 5 and a surface opening dicing line region 7 on a surface of an SiC wafer (high concentration n-type substrate 1 and low concentration n-type epitaxial layer 2) and forming an ohmic electrode 4 and a rear opening dicing line region 8 on a rear face of the SiC wafer before a dicing process.例文帳に追加

ダイシング工程を行う前に、ＳｉＣウエハ（高濃度ｎ型基板１及び低濃度ｎ型エピタキシャル層２）の表面にショットキ電極５及び表面開口ダイシングライン領域７を形成し、ＳｉＣウエハの裏面にオーミック電極４及び裏面開口ダイシングライン領域８を形成する工程を実行する。 - 特許庁

Further, the client system 10 is equipped with a setting means which sets a validity term update time as the time when the term of validity of the ticket is updated before the batch job process 11 starts and a term updating means which updates the term of validity when the validity term update time is reached after the batch job process starts.例文帳に追加

さらに、クライアントシステムは、チケットの有効期限を更新する時間である有効期限更新時間を前記バッチジョブ処理の開始前に設定する設定手段と、前記バッチジョブ処理の開始後、前記有効期限更新時間に達したときに前記有効期限を更新する期限更新手段とを備える。 - 特許庁

Before being sent back to a load lock chamber 13, a silicon substrate 11 completed in an etching process in an etching chamber 16 is carried to a post-processing chamber 20 provided independently from the etching chamber 16 and subjected to plasma treatment thus removing chlorine remaining on each silicon substrate 11 after ending the etching process.例文帳に追加

エッチングチャンバ１６でエッチングプロセスを終了したシリコン基板１１をロードロックチャンバ１３に返送するに先だって、エッチングチャンバ１６とは別途に設けた後処理用チャンバ２０に搬送してプラズマ処理することにより、エッチングプロセス終了後の各シリコン基板１１上に残留した残留塩素を除去する。 - 特許庁