「Deposition」に関連した英語例文の一覧と使い方(297ページ目) - Weblio英語例文検索

In this manufacturing method of the heating element for metal vapor deposition, after an alumina sol and / or a silica sol are applied to the portion where the molten metal of the ceramic containing the titanium diboride (TiB_2) and the boron nitride (BN) is made to exist, and the heating element is dried.例文帳に追加

二硼化チタン（ＴｉＢ_２）及び／又は二硼化ジルコニウム（ＺｒＢ_２ ）と窒化硼素（ＢＮ）とを含有してなるセラミックスの溶融金属を存在させる部位に、アルミナゾル及び／又はシリカゾルを塗布した後、乾燥することを特徴とする請求項１又は２記載の金属蒸着用発熱体の製造方法。 - 特許庁

To provide a method of forming a nitride film by using a plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD) suitable for a plastic LCD substrate such that a nitride film of high quality having good stability and excellent dielectric characteristics can be formed on a LCD substrate at a low temperature (less than 225°C).例文帳に追加

良好な安定性および優秀な誘電特性を持つ高品質の窒化膜を低温（２２５℃未満の温度）でＬＣＤ基板上に成膜することができ、プラスチックＬＣＤ基板に適した、プラズマ化学気相成長法（ＰＥＣＶＤ）を用いた窒化膜の形成方法を提供する。 - 特許庁

To attain enhancement of glossiness of a printing paper surface, outstanding enhancement of set-off prevention property, anti-blocking property and fingerprint deposition-resistance, and further enhancement of water-repellent and water-proofing property in addition to that by an existing lithographic printing machine in lithographic printing using an oxidation polymerization drying type vehicle.例文帳に追加

酸化重合乾燥型ビヒクルを用いた平板印刷において、印刷紙面の光沢性の向上、裏移り防止性、耐ブロッキング性、耐指紋付着性の飛躍的向上、加えて撥水性や防水性のさらなる向上を、既存の平板印刷機をもってして、可能とすることを目的とする - 特許庁

To form a common electrode with high precision in a liquid crystal display panel with a system which has the common electrode for each pixel solidly formed on a principal surface of an insulating substrate, and has a comb-shaped pixel electrode arranged on the common electrode via an insulating film, without using sputter deposition and a photolithography step.例文帳に追加

絶縁基板の主面に、画素毎にべた形成した共通電極を有し、その上に絶縁膜を介して櫛歯状の画素電極を設ける形式の液晶表示パネルにおける当該共通電極を、スパッタ成膜とホトリソ工程を用いずに高精度に形成する。 - 特許庁

This rare gas immobilizing device 10 is provided with a rotary target 14 having a deposition film 18 of lithium on the surface, a gas introducing pipe 23 to introduce gas including the rare gas, and a plasma generating device 21 for generating a plasma column 24 of gas introduced from the gas introducing pipe 23.例文帳に追加

希ガスの固定化装置１０は、表面にリチウムの蒸着膜１８が形成された回転ターゲット１４と、希ガスを含むガスを導入するガス導入パイプ２３と、該ガス導入パイプ２３から導入されたガスのプラズマ柱２４を生成するためのプラズマ発生装置２１とを備えている。 - 特許庁

To provide an electrical contact material in which the increase in temperature caused by the instability of contact resistance in the conventional electrical contact material and the respective characteristics of deposition resistance, consumption resistance and workability are improved without using Cd in connection with an environmental problem.例文帳に追加

環境問題に関わるＣｄを使用することなく、従来の電気接点材料における接触抵抗の不安定性に起因する温度上昇と、耐溶着性及び耐消耗性、加工性の各特性を改善した汎用スイッチに好適な電気接点材料を提供する。 - 特許庁

To provide a laminated polyester film exhibiting excellent heat resistance enough not to cause deterioration in flatness, excellent also in oligomer deposition-inhibiting property even when subjected to a heat treatment at a high temperature in a processing step for applying it to various uses, further excellent in scratch resistance and applicable to various uses.例文帳に追加

種々の用途で使用するための加工工程において高温熱処理された場合でも、平面性が悪化せずに耐熱性に優れ、またオリゴマーの抑止性にも優れ、さらに耐傷性にも優れ、各種用途への展開可能な積層ポリエステルフィルムを提供する。 - 特許庁

To provide a thermoplastic resin composition for lamp housings that produce molded articles excellent in impact resistance, heat resistance, molding appearance, and welding property, and is obtained excellent welding property with other resin molded articles and beautiful brilliant appearance after direct vapor deposition, and to provide molded articles comprises the thermoplastic resin composition.例文帳に追加

耐衝撃性、耐熱性、成形外観性及び溶着性に優れた成形品を与え、他の樹脂成形品との優れた溶着性、及び、ダイレクト蒸着後に美麗な光輝外観が得られるランプハウジング用熱可塑性樹脂組成物及びそれを含む成形品を提供する。 - 特許庁

In the temperature history and moisture deposition history indicator composition, a granular or powder-like thermally melted substance having a melt point corresponding to the temperature to be detected, and a granular or powder-like coloring matter having diffusion properties to the thermally melted substance and adhered moisture are contained.例文帳に追加

温度履歴および水分付着履歴インジケータ組成物は、検知すべき温度に対応する融点を持つ粒状または粉末状の熱溶融性物質と、熱溶融した該物質および付着した水分への拡散性を有する粒状または粉末状の色素とが、含まれている。 - 特許庁

The particles 6 containing a magnetic material and having a mean particle diameter of 10 μm at most are aggregated in layer on the substrate 4 while having gaps and/or an electric resistance material by plating, precipitation, deposition, spraying and/or metal staining thus forming a magnetic material layer.例文帳に追加

めっき、析出、蒸着、スプレー法及び／又は金属染色法により、基材４上に、磁性材料が含まれ最大でも平均粒径１０μｍの粒子６を、間隙及び／又は電気抵抗材料を有しつつ凝集させて層状に磁性体層を形成することで製造される。 - 特許庁

The image display element has an inorganic thin film layer formed by a vapor deposition process on a base material film having a glass transition temperature of 150 to 400°C and a coefficient of linear thermal expansion of 40 ppm/°C or less.例文帳に追加

ガラス転移温度が１５０〜４００℃、線熱膨張係数が４０ｐｐｍ／℃以下である基材フィルム上に、蒸着法により形成した無機薄膜層を有するガスバリア性フィルム、該ガスバリア性フィルムからなる基板、及び該バスバリア性を有することを特徴とする画像表示素子。 - 特許庁

In the discharge lamp lighting apparatus provided with a structure mounting the film capacitor on a substrate by unleaded flow solder; the film capacitor is the polypropylene film capacitor, unleaded solder deposition is carried out on a lead line with material with lower heat conductivity than copper, and the terminal of the capacitor and interior of the capacitor are unleaded.例文帳に追加

フィルムコンデンサを無鉛フロー半田で基板に実装する構造を有する放電灯点灯装置において、フィルムコンデンサはポリプロピレンフィルムコンデンサであり、リード線は銅よりも熱伝導率の低い材質で無鉛半田メッキし、コンデンサの端子およびコンデンサ内部は無鉛とした。 - 特許庁

To provide an electro-deposition tool containing nano carbon fibers which is a grinding wheel with a small diameter shaft of a long life and an electric discharge machining electrode capable of carrying out micropore machining, groove machining, and minute pattern machining on brittle material such as glass and ceramic, or mold material.例文帳に追加

ガラスやセラミックスなどの脆性材料や金型材料などに微細穴加工、溝加工、微細パターン加工を行うことができる寿命の長い小径軸付電着砥石および放電加工用電極であるナノカーボン繊維含有電着工具とその製造方法を提供する。 - 特許庁

The eyeglass lens with an antireflection film has a plurality of layers disposed on at least one face of an eyeglass lens as the base body, and the antireflection film includes a water-repellent and oil-repellent layer as the outermost layer formed by vacuum vapor deposition on the layers made of silicon oxide.例文帳に追加

基材となる眼鏡レンズの少なくとも一方の面に複数の層が設けられた本発明の反射防止膜付き眼鏡レンズにおいて、前記反射防止膜は、酸化ケイ素からなる層の上に最外層として撥水撥油層が真空蒸着により設けられたことを特徴とする。 - 特許庁

This is a manufacturing method of an electron emitting element in which the electron emitting element is formed by a material made principally of carbon by an aerosol type gas deposition method, in which the material made principally of carbon is aerosolized and transferred together with a gas and closely deposited on the substrate through a nozzle.例文帳に追加

炭素を主成分とする材料をエアロゾル化し、これをガスと共に搬送しノズルを通して基板上に密着させるエアロゾル式ガスデポジション法により、前記炭素を主成分とする材料で電子放出素子を形成することを特徴とする電子放出素子の製造方法。 - 特許庁

The catalyst is regenerated by bringing it into contact with at least either of steam or air, enabling long-term stable operation, even when reforming of a tar-containing gas (a crude gas) is conducted for a long time and the catalyst activity is reduced due to carbon deposition or sulfur poisoning.例文帳に追加

また、前記触媒は、タール含有ガス（粗ガス）の改質を長時間実施して、炭素析出や硫黄被毒により触媒性能が劣化しても、水蒸気または空気の少なくともいずれかを接触させて再生することで、長期に安定した運転が可能となる。 - 特許庁

As a result, the activity of the chemical reaction energy on the first catalyst nuclei may be made nearly equal on the occasion of an electrode forming stage and therefore the electroless plating method capable of making the deposition rate of the plating films in the necessary positions nearly uniform may be obtained.例文帳に追加

これによって、電極形成工程に際しては第１の触媒核上での化学的な反応エネルギーの活性度をほぼ等しくすることが可能になるので、必要な位置におけるメッキ膜の成膜速度を均一にすることができる無電解メッキ方法を得ることができる。 - 特許庁

The electrostatic charge image developing full-color toner comprises toner particles containing at least a binder resin, a dye and a pigment and gives ≥0.9 image density (ID) with 3.5 g/m^2 deposition amount as a cyan toner, a magenta toner or a yellow toner, and ≥1.2 density as a black toner.例文帳に追加

少なくとも結着樹脂、染料および顔料を含有するトナー粒子を含んでなり、付着量3.5g/m^2のときの画像濃度（ID）がシアントナー、マゼンタトナーおよびイエロートナーのときで0.9以上、ブラックトナーのときで1.2以上であることを特徴とする静電荷像現像用フルカラートナー。 - 特許庁

The gas barrier laminated film is constituted by laminating a base material film 10, a vapor deposition film 20 of an inorganic oxide, a primer coating layer 30, an anchor coating layer 40 and a heat sealing layer 50 in this order, and the anchor coating layer 40 comprises an anchor coating composition containing polyethyleneimine.例文帳に追加

基材フィルム１０、無機酸化物の蒸着膜２０、プライマーコート層３０、アンカーコート層４０およびヒートシール層５０とを、この順序に積層してなるガスバリア性積層フィルムであり、該アンカーコート層４０としてポリエチレンイミンを含むアンカーコート組成物からなることを特徴とする。 - 特許庁

A printer CPU changes the changeover timing of developing bias so as to reduce a toner deposition amount (width) in the case that a toner sticking width on a photoreceptive drum is larger than a reference value previously set by detecting the toner sticking width by a reflectance sensor and comparing it with the reference value at the startup and stopping.例文帳に追加

プリンタＣＰＵは、起動または停止時において、感光体ドラム上のトナー付着幅を反射率センサで検知して予め設けられた基準値と比較し、基準値よりトナー付着幅が大きい場合、現像バイアスの切り換えタイミングをトナー付着量（幅）が少なくなるように変える。 - 特許庁

The magnetostrictive actuator includes a magnetostrictive element piece of the magnetostrictive actuator in which a chromium layer for generating a reverse warp deformation to the magnetostrictive material layer is formed between a substrate and the magnetostrictive material layer to thereby cancel the warp deformation of the magnetostrictive element piece generated at a deposition time by a gas phase method.例文帳に追加

本発明における磁歪アクチュエータの磁歪素片は、基板と磁歪材料層の間に磁歪材料層とは逆向きの反り変形を生じさせるクロム層を形成することによって、気相法による成膜時において発生する磁歪素片の反り変形が相殺される。 - 特許庁

An inductance element 10 includes a magnetic substance substrate 16, a coil 12a formed on the surface of the magnetic substance substrate 16 with a conductor, and a magnetic substance layer 18 formed by an aerosol deposition method so as to embed the coil 12a on the magnetic substance substrate 16.例文帳に追加

インダクタ素子１０は、磁性体基板１６と、導電体によって磁性体基板１６の面上に形成されたコイル１２ａと、磁性体基板１６上にコイル１２ａを埋め込むようにエアロゾルデポジション法によって形成された磁性体層１８とから構成される。 - 特許庁

In advance of growth of an active layer 27 for an EA modulator, at least part of deposition, namely an abnormal growth portion 25 formed at the growth of the first optical confinement layer 23, on an etching edge face 19a of a first semiconductor portion 19 is removed by etching.例文帳に追加

ＥＡ変調器のための活性層２７を成長するに先だって、第１半導体部１９のエッチング端面１９ａ上の堆積物、つまり第１光閉じ込め層２３の成長時に形成された異常成長部２５の少なくとも一部をエッチングによって除去する。 - 特許庁

To provide a vacuum coating system capable of forming in such a manner that, for attaining the optimum and uniform deposition on each optical substrate, the substrate face always lies in a precise prescribed position sop that the substrate face moves toward the distributing characteristics of a coating material denuded from a target.例文帳に追加

それぞれの光学基板上に最適で一様な沈積を達成するために基板面がターゲットから削剥された被覆材料の分布特性に対して運動するように常に精確に所定の位置にあるように形成できる真空被覆装置を提供する。 - 特許庁

The substrate S held by the hand 5 and one side 7 of the vacuum vessel are carried to the film deposition processing module 15 by driving the carrying arm 3 of the robot 6, and one side 7 of the vacuum vessel is abutted on the other side 13 of the vacuum vessel to form the vacuum vessel.例文帳に追加

ロボット６の搬送アーム３を駆動することにより、ハンド５に把持した基材Ｓ及び真空容器の一方側７を成膜処理モジュール１５に搬送し、真空容器の一方側７を真空容器の他方側１３に当接させて真空容器を形成する。 - 特許庁

To provide a liquid insecticide preparation and an aerosol insecticide preparation, exhibiting a low flashing point and less adverse property to human and animals, having no problem of crystal deposition on preparing a liquid preparation having a relatively high concentration, since methoxadiazone has a high solubility, being a stable preparation and having a high insecticidal effectiveness.例文帳に追加

引火性や人畜に対する有害性が低く、メトキサジアゾンの溶解性が高いため、比較的高濃度の液剤とした場合にも結晶析出の問題がなく、安定した製剤で、かつ高い殺虫効力を有する殺虫液剤及び殺虫エアゾール剤を提供する。 - 特許庁

Thereby, three processes for producing an alloy, such as dispersion, diffusion and deposition, or dispersion, diffusion and transformation of the additive 10 to a desired portion of the metal base materials 1a and 1b, are attained by one method using a technique of friction stir welding.例文帳に追加

これにより、摩擦攪拌接合の手法を利用した一つの方法で、金属母材１ａ，１ｂの所望の部位に対して添加材１０の分散、拡散及び析出あるいは分散、拡散及び変態といった合金を製造する３つの過程を実現することができる。 - 特許庁

Electron beams are radiated on an Au-Sn alloy as a first target while an electron beam vapor deposition apparatus is maintained in a vacuum state, a first alloy layer 3a of the thickness d1 (for example, d1 = 1 μm) is deposited on an AlN substrate 1, and the first electron beam radiation is completed.例文帳に追加

電子ビーム蒸着装置を真空に保持した状態で第１のターゲットであるＡｕ−Ｓｎ合金に電子ビームを放射してＡｌＮ基板１上に厚さｄ１（例えばｄ１＝１μｍ）の第１次合金層３ａを被着させて第１の電子ビーム放射を終了する。 - 特許庁

In the magnetic transport process in a plasma duct 3 using the magnetic field generated in an induction magnetic field generator 4 from the difference in the particle movement characteristic, ionized particles out of evaporated particles generated in an arc evaporation chamber 1 are separated from droplets and neutral particles, and fed to the film deposition chamber 2.例文帳に追加

粒子の移動特性の相違から、誘導磁界発生装置４で発生させた磁界を用いたプラズマダクト３内の磁気輸送過程において、アーク蒸発室１で生じた蒸発粒子のうち、イオン化粒子がドロップレット及び中性粒子から分離されて成膜室２に供給される。 - 特許庁

A zirconium-based material (R1R2)Zr (R1 and R2 are alkyl groups), dissolved in a solvent of hydrocarbon compound of the carbon number of 5-40 and an amine-based material of the carbon number of 2-40, is vaporized and a zirconium-based oxide film is formed on a substrate through chemical vapor deposition method.例文帳に追加

炭素数５〜４０の炭化水素系化合物、及び炭素数２〜４０のアミン系化合物の溶媒に溶解された、ジルコニウム系材料（Ｒ１Ｒ２）Ｚｒ（但しＲ１、Ｒ２はアルキル基）を気化し、化学気相成長法により基板にジルコニウム系酸化膜を形成する。 - 特許庁

In the ND filter 10 having the base substance consisting of the transparent plastic sheet 11 and the vapor-deposited films 12, 13 and 14 formed on the surface of the base substance, the base substance is formed of resin material of norbornene system and one of the vapor-deposited films uses chromel as vapor-deposition material.例文帳に追加

透明プラスチックシート１１からなる基体と、この基体表面に形成した蒸着膜１２，１３，１４とを有するＮＤフィルタ１０において、前記基体がノルボルネン系の樹脂材料によって形成されると共に、前記蒸着膜の一つがクロメルを蒸着材料としている。 - 特許庁

In the period (t2), the catalytic activity deteriorated by the poisoning due to the deposited carbon is recovered even in a low temperature operation to improve the average value of conversion rate to hydrogen from the fuel by increasing the partial pressure of the oxidizing agent to oxidize and remove the deposition carbon.例文帳に追加

期間ｔ２で、酸化剤分圧を向上させ、析出炭素を酸化除去することにより、低温運転時でも析出炭素の被毒により低下した触媒活性を回復させることができ、燃料から水素への転化率の平均値を向上させることができる。 - 特許庁

To provide a film depositing system by applying a plasma CVD method, in which plasma uniformity and long time stability are enhanced and the deposited film excellent in the uniformity of film quality can easily be obtained with high reproducibility, and also to provide a film deposition method.例文帳に追加

プラズマＣＶＤ法を適用して、堆積膜形成を行う際、プラズマ均一性、長時間安定性を向上させ、膜質の均一性に優れた堆積膜を、簡易に再現性よく形成することが可能な堆積膜形成装置、ならびに堆積膜形成方法の提供。 - 特許庁

In the film deposition apparatus for forming a solid film on a substrate using a vaporized gas formed by jetting a material solution, and using this vaporized gas, the raw material solution temperatures of two or more material solution jetting nozzles connected to a raw material solution vaporizer can be controlled independently.例文帳に追加

原料溶液を噴出して気化ガスとし、この気化ガスを使用して基板上に固体膜を形成する成膜装置において、原料溶液気化器に接続された２以上の原料溶液噴出ノズルの原料溶液温度を、それぞれ独立に制御することができるようにする。 - 特許庁

The transparent biaxially stretched nylon film for vapor deposition contains 0.005-0.25 wt.% of an inorganic lubricant and not contains an organic lubricant at all or contains the organic lubricant in an amount of <0.05 wt.% in addition to 0.005-0.25 wt.% of the inorganic lubricant.例文帳に追加

無機滑剤を０．００５〜０．２５重量％含有し、且つ、有機滑剤を全く含有しない、あるいは、無機滑剤を０．００５〜０．２５重量％に加え、有機滑剤を０．０５重量％未満含有していることを特徴とする透明蒸着用二軸延伸ナイロンフィルム。 - 特許庁

A vaporizer, that quantitatively vaporizes one or more liquid materials and supplies the materials to a CVD deposition apparatus 1, is provided with a quadrupole mass spectrometer 15, that detects the condition of a raw gas during the operation on a gas supply line 5 for vaporizing and supplying the liquid materials.例文帳に追加

１又は複数の液体材料を定量気化してＣＶＤ成膜装置１に供給するものにおいて、前記液体材料を気化し供給するためのガス供給ライン５上に、この原料ガスの状態を装置運転中に検出する四重極型質量分析計１５を設けた。 - 特許庁

Consequently, a ratio of the actual surface area of the piezoelectric/electrostrictive element 14 to the surface area of orthogonal projection of the side end face of the piezoelectric/electrostrictive element 14 is 4 or smaller, so that the moisture deposition on the side end face can be suppressed to such an extent as to substantially prevent electric leakage or ion migration.例文帳に追加

これにより、圧電／電歪素子１４の側端面の正射影の面積に対する同圧電／電歪素子１４の実際の表面積の割合が「４」以下となり、漏電やイオンマイグレーションが実質的に発生しない程度にまで同側端面への水分の付着が抑制され得る。 - 特許庁

To provide a method for forming metal wiring of a semiconductor element that selectively vapor-deposits a metal layer having low specific resistance and flattens it after heat treatment by applying chemical vapor deposition only to an upper part of a barrier metal layer inside a trench, thereby being able to form a low specific resistance metal wiring.例文帳に追加

トレンチ内の障壁金属層の上部にのみ化学気相蒸着方法を用いて選択的に比抵抗が低い金属層を蒸着し、熱処理を実施した後、平坦化して低抵抗金属配線を形成することができる半導体素子の金属配線形成方法を提供する。 - 特許庁

In the gas barrier film alternately having barrier layers which consist of much more inorganic substance at least, and organic layers much more at least on a plastic plate; at least one layer of the barrier layers is a gas barrier film formed by the atomic layer depositing method (the Atomic Layer Deposition: ALD method).例文帳に追加

プラスチック基板上に、少なくとも一層の無機物からなるバリア層と少なくとも一層の有機層とを交互に有するガスバリアフィルムであって、前記バリア層の少なくとも一層が原子層デポジッション法（Atomic Layer Deposition：ＡＬＤ法）によって形成されたことを特徴とするガスバリアフィルム。 - 特許庁

The method of manufacturing a ferroelectric thin film device is advantageous in that not only mass production is possible and the deposition efficiency is improved, but also a ferroelectric thin film has a uniform surface, thus greatly decreasing the amount of leakage current and increasing remnant polarization.例文帳に追加

本発明の強誘電体製造方法によると、大量生産が可能で蒸着率が顕著に向上するのみならず、強誘電体薄膜の表面が均一に形成されて漏洩電流が顕著に低減し、かつ残留分極が大きくなるという効果がある。 - 特許庁

To provide an organic electrophotographic aluminum substrate which has a good film deposition characteristic, adhesion property and wettability and realizes the reduction of a manufacturing cost which is heretofore high, an electrophotographic photoreceptor having good image quality by using the same and a substrate treating method.例文帳に追加

良好な成膜性、密着性および濡れ性を備え、かつ、従来高コストであった製造コストの低コスト化をも実現した有機系電子写真用アルミ基体と、これを用いたことにより良好な画像品質を有する電子写真感光体および基体処理方法を提供する。 - 特許庁

To provide a surface treatment agent suitable for a liquid crystal display element provided with a vertical alignment layer consisting of an oblique deposition film of an inorganic oxide and capable of enhancing aging stability of alignment and light resistance by surface treatment of the alignment layer and to provide its treatment method.例文帳に追加

無機酸化物の斜方蒸着膜からなる垂直配向膜を備えた液晶表示素子に好適で、配向膜の表面処理により配向の経時安定性及び耐光性を向上させることが可能な表面処理剤及びその処理方法を提供する。 - 特許庁

In the method of forming the metal-macromolecule composite film, an electric current is made flow into an aqueous electro-deposition liquid containing metal ion and a macromolecular compound so as to deposit the metal ion and the macromolecular compound at the same time, thereby a metal-macromolecule composite film is electrodeposited on the surface to be electrodeposited.例文帳に追加

金属イオンと高分子化合物とを含む水性電着液に通電して、該金属イオンと該高分子化合物とを同時に析出させることにより、金属‐高分子コンポジット膜を被電着部材表面に電着する、金属‐高分子コンポジット膜の形成方法。 - 特許庁

The thick copper sheet comprises a rolled sheet made of pure Cu or a Cu alloy, and a particle deposition layer formed on one or both sides of the rolled sheet, which contains a mixture of metallic particles (1) having diameters of less than 2 μm and metallic particles (2) having diameters of 2 μm or larger.例文帳に追加

純ＣｕまたはＣｕ合金から成る圧延シートと、圧延シートの片面または両面に形成され、粒径２μｍ未満の金属粒子（１）および粒径２μｍ以上の金属粒子（２）が混在した状態で付着して成る粒子付着面とを備えている厚銅シート。 - 特許庁

To obtain a high performance capacitor insulating film excellent in specific dielectric constant, heat resistance, and current leaking characteristics by adsorbing a silicon atom layer, an oxygen atom layer, and a metal atom layer or the like using an atom layer deposition method to form a metal silicate layer and nitriding and oxidizing the silicate layer.例文帳に追加

原子層蒸着法を用い、シリコン原子の層、酸素原子の層、金属原子の層等を吸着させて金属シリケートの層を形成し、それを窒化および酸化することで、比誘電率、耐熱性、電流リーク特性に優れた高性能なキャパシタ絶縁膜を得ることを可能とする。 - 特許庁