例文 (999件) |
defect inspection deviceの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1051件
To provide a device having a small device scale, allocating surely a defect of an observation object into a visual field of an electron microscope or the like, concerning a device for observing minutely by the electron microscope or the like, a defect detected by an optical defect inspection device or an optical appearance inspection device.例文帳に追加
光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を電子顕微鏡等で詳細に観察する装置において、観察対象の欠陥を確実に電子顕微鏡等の視野内に入れることができ、かつ装置規模を小さくできる装置を提供する。 - 特許庁
SUBSTRATE FOR DISPLAY DEVICE, LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL, LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE, AND DEFECT INSPECTION METHOD OF WIRING FOR REPAIR例文帳に追加
表示装置用基板、液晶表示パネル及び液晶表示装置並びにリペア用配線の欠陥検査方法 - 特許庁
An inspection device detects the line unevenness area indicating a line unevenness defect in an objective image obtained from a substrate, and the point defect area indicating a point defect.例文帳に追加
ムラ検査装置では、基板から得られる対象画像において筋ムラ欠陥を示す筋ムラ領域、および、点欠陥を示す点欠陥領域が検出される。 - 特許庁
To provide a defect detecting circuit, by which a defect is detectable at a low frequency in the inspection of the defect at a high writing frequency, and a magnetic disk inspecting device.例文帳に追加
高い書込周波数での欠陥検査を低い周波数で検出できる欠陥検出回路および磁気ディスク検査装置を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide an optical device defect inspection method and an optical device defect inspecting apparatus which is not affected by the difference in the curvature or the position of optical device, and which is high-speed and low cost.例文帳に追加
曲率の違いや光学デバイスの位置に影響されない高速かつ安価な光学デバイス欠陥検査方法及び光学デバイス欠陥検査装置を提供すること。 - 特許庁
To provide a defect inspection device capable of detecting an irregular defect such as fish eye generated in a film having light transmission, and capable of conducting effectively defect determination containing height information of the defect.例文帳に追加
光透過性を有するフィルムに生じたフィッシュアイ等の凹凸状の欠陥検出および欠陥の高さ情報を含んだ欠陥判定を有効に行うことができる欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide a device for defect inspection not generating a noise caused by vibration on an imaged image, capable of inspecting a defect such as a foreign matter adhering to a transparent body automatically and accurately in a short time, and also to provide a method for defect inspection using the defect inspection device.例文帳に追加
本発明は、撮像した画像に振動によるノイズが発生することがなく、自動的に且つ短時間で且つ正確に透明体に付着した異物等の欠陥を検査することが出来る欠陥検査装置及びその欠陥検査装置を用いた欠陥検査方法を提供することを可能にすることを目的としている。 - 特許庁
Defect data on a defect on a semiconductor wafer 111 is acquired by an inspection unit 110 of the defect inspection device 100 and stored in a storage unit 122, and the obtained defect data are classified into a defect kind by a classification determination unit 123 on the basis of a predetermined classification standard previously stored in the storage unit 122.例文帳に追加
半導体ウェハ111上の欠陥データを欠陥検査装置100の検査部110で取得して記憶部122に格納し、得られた欠陥データを記憶部122内に予め格納している所定の分類基準に基づいて分類判定部123により欠陥種に分類する。 - 特許庁
To provide a defect inspection device that can efficiently detect an actual defect by removing a false defect due to unevenness caused by the growth of crystal grains or the like generating on the circuit pattern of a semiconductor integerated circuit, and to provide a defect inspection method.例文帳に追加
半導体集積回路の回路パターン上に発生する結晶粒成長等によって生じる凹凸による疑似欠陥を除去し、実欠陥を効率よく検出する欠陥検査装置、および、欠陥検査方法を提供する。 - 特許庁
Since the defect inspection device 3 is disposed by utilizing the beam transmission part 15, the conveyance inspection device capable of performing defect inspection during conveyance in the noncontact state even when the conveyance object is a transparent material is provided.例文帳に追加
この光線透過部15を利用して欠陥検査装置3が配設されていることにより、搬送対象物が透明材料であっても、非接触状態での搬送中に欠陥検査が行える搬送検査装置が提供される。 - 特許庁
To provide an inspection method of a pattern defect capable of stably detecting a target defect in various processes by reducing the misdetection of grain or morphology or the effect of interference light intensity irregularity, and an inspection device of the pattern defect.例文帳に追加
グレインやモホロジーの誤検出や干渉光強度ムラの影響を低減して、様々なプロセスにおけるターゲット欠陥を安定に検出できるパターン欠陥検出方法及びその装置を提供すること。 - 特許庁
To provide an inspection method and an inspection device for a display device capable of easily detecting a defect and discriminating the kind of a flaw.例文帳に追加
不良の検出及び欠陥の種類の判別を容易に行うことができるようにした表示装置の検査方法及び検査用装置を提供する。 - 特許庁
The analyzer is an inspection device interface module 214, constituted to simulate an inspection device interface 212 in at least one display unit, the inspection device interface includes functions usable on corresponding inspection tool, and at least one part of the inspection device interface includes the inspection device interface module, based on a defect result from the inspection tool.例文帳に追加
この装置は、前記少なくとも1つのディスプレイ装置中で検査器インタフェース(212)をシミュレーションするよう構成された検査器インタフェースモジュール(214)であって、前記検査器インタフェースは、対応する検査ツール上で利用可能な機能を含み、前記検査器インタフェースは、少なくとも一部は前記検査ツールからの欠陥結果に基づく、検査器インタフェースモジュールを含む。 - 特許庁
The second inspection device performs inspection on the substrate to be inspected having no defect among the plurality of substrates 14(1)-14(n) to be inspected on reference to the existence information of the defect stored in the storage device.例文帳に追加
この第2の検査装置は、記憶装置に記憶された欠陥の有無情報を参照して、複数の被検査基板14(1)〜14(n)のうち、欠陥の無い被検査基板で、検査を実施するものである。 - 特許庁
To provide a method for setting determination conditions in a defect inspection device capable of automatically setting and determination size, without having to perform resetting work of the determination size, and to provide the defect inspection device.例文帳に追加
判定サイズの再設定作業を行うこと無く、判定サイズの設定を自動的に行うことが可能な欠陥検査装置における判定条件設定方法及び欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
The continuous line for correcting the defect in the color filter is provided with a defect inspecting device 11 to inspect presence or absence of any defect with respect to a color filter substrate colored in a coloring step 100 and a defect correcting device 14 to correct a defective part in the case the defect is present in the color filter substrate as a result of inspection with the defect inspecting device 11.例文帳に追加
着色工程#100で着色されたカラーフィルタ基板に対して、欠陥の有無を検査する欠陥検査装置11と、欠陥検査装置11で検査した結果、カラーフィルタ基板に欠陥がある場合に、その欠陥部分を修正する欠陥修正装置14とを備えるカラーフィルタ欠陥修正一貫ラインである。 - 特許庁
The surface inspection device includes a moving stage for the body to be inspected; a lighting device; an inspection coordinate detecting device; a light detector; an A/D converter; and a foreign object/defect determining unit.例文帳に追加
表面検査装置は、被検査体移動ステージ、照明装置と、検査座標検出装置、光検出器と、A/D変換器と、異物・欠陥判定部、を有する。 - 特許庁
To make the inspection of pattern defects possible in a photomask using a resist as a light shield by a photomask defect inspection device which detects transmitting light.例文帳に追加
レジストを遮光体としたホトマスクにおいて、透過光検出型のホトマスク欠陥検査装置によるパターン欠陥検査を可能にする。 - 特許庁
To provide a soldering inspection method and a soldering inspection device in which an electrical bonding defect can be inspected at high speed and with high accuracy.例文帳に追加
高速かつ高精度な白目不良の検査を行なうことができる、半田付け検査方法及び半田付け検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide an infrared image inspection device inexpensively inspect a defect without disassebling or moving an inspection object.例文帳に追加
検査対象物を分解あるいは移動することなくより安価に欠陥を検査することができる赤外線映像検査装置である。 - 特許庁
The inspection unit 30 is arranged with laminated four inspection parts composed of a thickness measuring device 32, a line width measuring device 33, a superposition measuring device 34, and a macro defect inspecting device 35.例文帳に追加
検査ユニット30には、膜厚測定器32、線幅測定器33、重ね合わせ測定器34およびマクロ欠陥検査器35の4つの検査部を積層して配置している。 - 特許庁
To provide a detection method of a crack defect which guarantes sure detection of a fine crack defect without omission, in penetrant inspection by an automatic penetrant inspection device.例文帳に追加
自動浸透探傷装置による浸透探傷検査において、微細な亀裂欠陥を漏れなく確実に検出することが保証できる亀裂欠陥の検出方法を提供する。 - 特許庁
To provide a defect inspection method and a defect inspection device capable of accurately detecting defects of a mask, without being influenced by particulate matters, even if transparent particles are scattered on the surface of a photomask (mask).例文帳に追加
フォトマスク(マスク)の表面に透明粒子が散布されても、粒状物による影響なく、マスクの欠陥を正確に検出できる欠陥検査方法及び欠陥検査装置。 - 特許庁
To provide a defect inspection method and a defect inspection device capable of surely detecting unevenness due to defects at a surface of an object regardless of pattern or gloss at the surface of the object.例文帳に追加
対象物の表面の模様やツヤによらず、対象物表面の欠陥による凹凸を確実に検出する欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
Alternatively, the device is provided with the first detector for the defect detecting inspection and the second detector exclusive for a review for observing the specified narrow portion detected by the defect detecting inspection.例文帳に追加
または欠陥検出検査の為の第1の検出器とこの欠陥検出検査により検出された特定の狭い部位を観察するレビュー専用の第2の検出器とを設ける。 - 特許庁
To provide a defect inspection method and a method for manufacturing a semiconductor device for suppressing false detection due to color irregularity even when a wafer subjected to defect inspection has color irregularity on a surface thereof.例文帳に追加
欠陥検査を行うウエハ表面に色むらがある場合でも色むらによる虚報の検出を抑制できる欠陥検査方法及び半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a substrate inspection device capable of acquiring a defect distribution on the whole surface of the substrate in early stages, even when overflow of a memory storing defect images occurs, and to provide a method for acquiring the defect distribution on the substrate in the substrate inspection device.例文帳に追加
欠陥画像を記憶するメモリのオーバフローが発生した場合でも基板の全面についての欠陥分布を早期に得ることができる基板の検査装置、および、基板の検査装置における基板の欠陥分布を得る方法を提供する。 - 特許庁
To provide a device and method for defect inspection for simply and rapidly extracting an object defect to be observed.例文帳に追加
観察すべき検査対象欠陥を簡単、かつ、迅速に抽出することができる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供すること。 - 特許庁
To easily manufacture a specimen with a defect for a nondestructive inspection, which has a crack-shape internal defect, without a special bonding device required.例文帳に追加
特殊な接合装置を必要とすることなく、簡単に亀裂状の内部欠陥を有する非破壊検査用有欠陥試験体を製作する。 - 特許庁
The pattern data only of a place where this defect is detected can be output to an external device from the inspection device 100.例文帳に追加
この欠陥の検出された箇所のみのパターンデータは、検査装置100から外部装置に出力可能である。 - 特許庁
To provide a novel and useful inspection device for detecting a kind or defect of a container such as a barrel.例文帳に追加
樽等の容器の種類又は不具合を検知する新規かつ有用な検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide an inspection method capable of determining a semiconductor device having a defect in metal wiring, as defective one.例文帳に追加
金属配線に欠陥のある半導体デバイスを不良と判断できる検査方法を提供する。 - 特許庁
To provide a defect inspection device capable of surely detecting defects which lead to a crack of a bottle bottom.例文帳に追加
壜底の欠けに繋がるような欠陥を確実に検出できる欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide a device and a method for pattern inspection which can efficiently perform accurate defect detection.例文帳に追加
正確な欠陥検出を効率的に行うことが可能なパターン検査装置及び方法を提供する。 - 特許庁
To use data about a transmitted light quantity distribution of an inspection device to detect an internal defect, etc. of a transfer mask.例文帳に追加
検査装置の透過光量分布のデータを用いて転写用マスクの内部欠陥等を検出する。 - 特許庁
To provide inspection device of defect for detecting defects on glass surfaces of solar battery panels with full accuracy.例文帳に追加
太陽電池パネルのガラス表面上のキズを精度良く検出するキズ検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide a metal defect detection method capable of highlighting defect through etching treatment of the inspection surface of a metal sample, while when detection of the defect is carried out by imaging the inspection surface with an imaging device, brightness of non-defect parts on the imagery of inspection surface is made to be homogenized and brightened, leading clear defection of defect part.例文帳に追加
金属試料の検査面をエッチング処理して欠陥を現出させ、撮像装置によって検査面を撮像することにより欠陥を検出するに際し、検査面撮像画像における非欠陥部の明度を均一かつ明るくすることにより、欠陥部を明瞭に検出することのできる金属の欠陥検出方法を提供する。 - 特許庁
The defect inspecting device 21 has an internal defect inspection part 25 for inspecting an internal defect of the blade 1, the first surface defect inspection part 26 for inspecting defects on the first reference plane 3 of the blade 1, and the second surface defect inspection part 27 for inspecting defects on the second reference plane 4 that is orthogonal to the first reference plane 3 of the blade 1.例文帳に追加
そして、欠陥検査装置21は、ブレード1の内部の欠陥を検査する内部欠陥検査部25と、ブレード1の第1の基準面3における欠陥を検査する第1の表面欠陥検査部26と、ブレード1の第1の基準面3に直交する第2の基準面4における欠陥を検査する第2の表面欠陥検査部27とを有する。 - 特許庁
To provide a defect inspection device for a flat panel display capable of exactly indicating spots to be repaired to a repair device, by pinpointing the spots from inspection information acquired by defect inspection, not to mention of being capable of finding out the causes of the defects or the like in a short time efficiently, and to provide its inspection method.例文帳に追加
欠陥原因の究明などを短期間で効率よく行えることはもとより、欠陥検査した検査情報から特定することで、リペア装置にリペア箇所を的確に指示することが可能なフラットディスプレイパネルの欠陥検査装置およびその方法を提供する。 - 特許庁
A storage part 41 stores an image of a substrate in which a defect is detected by an automatic defect inspection device 2 and defect information showing the information related to the defect in association with a substrate ID identifying the substrate.例文帳に追加
記憶部41は、自動欠陥検査装置2により欠陥の検出された基板の画像と、欠陥に係わる情報を示す欠陥情報とを、基板を識別する基板IDと対応付けて記憶する。 - 特許庁
To provide a semiconductor defect inspection device which automatically detects a defect on a semiconductor wafer using circuit design data to estimate the cause of the defect generation, and a method thereof.例文帳に追加
回路設計データを用いた半導体ウェーハ上の欠陥を自動的に検出し、欠陥発生原因の推定を行う半導体欠陥検査装置ならびにその方法を提供する。 - 特許庁
To provide an optical device defect inspection method and an optical device defect inspecting apparatus which is not affected by the difference in curvature or the position of an optical device, and which is high-speed and is low cost.例文帳に追加
曲率の違いや光学デバイスの位置に影響されない高速かつ安価な光学デバイス欠陥検査方法及び光学デバイス欠陥検査装置を提供すること。 - 特許庁
To achieve high efficient defect inspection with a high defect capture rate in a surface defect inspection device for a wafer and the like by enabling detection of forward scattered light with high sensitivity and at the same time enabling detection of specularly reflected light with high sensitivity.例文帳に追加
ウエーハ等の表面欠陥検査装置において、前方散乱光を高感度で検出し、正反射光をも同時に高感度検出可能とすることで、欠陥捕捉率の高い高効率の欠陥検査を実現。 - 特許庁
To provide a marking signal control method for printed matter defect inspection, which allows setting of a printed matter defect inspection device and a marking device without limitation in the distance between both, and further allows suppression of use of resources in a memory or register by performing output control of marking signal relative to defect detection signal in defect inspection of printed matter.例文帳に追加
印刷物の欠陥検査において、欠陥検出信号に対するマーキング信号の出力制御を行い、印刷物欠陥装置とマーキング装置の距離を制限なく設置することを可能とし、更にメモリやレジスタのリソースの使用を抑制可能とする印刷物欠陥検査におけるマーキング信号制御方法を提供する。 - 特許庁
To obtain a wafer macro-inspection device by which pseudo defect owing to the influence of a random pattern part is suppressed and a macro- inspection is executed with high precision.例文帳に追加
ランダムパターン部の影響による疑似不良を抑えることができ、高精度のマクロ検査が可能なウェハのマクロ検査装置を提供すること。 - 特許庁
To provide a surface inspection device and a surface inspection method capable of detecting precisely even a micro defect depth, without being affected by a noise.例文帳に追加
ノイズの影響を受けずに微小な欠陥深さでも高精度で検出できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。 - 特許庁
To provide a silicon substrate inspection device for precisely inspecting a defect, such as crack, in a silicon substrate, and to provide an inspection method thereof.例文帳に追加
シリコン基板の内部に存在するクラック等の欠陥を正確に検出可能とする、シリコン基板の検査装置および検査方法を得ること。 - 特許庁
This device has an inspection head 4 for photographing each fuel rod 100 which is an inspection object, a moving means for moving the fuel rod 100 and the inspection head 4, and a fuel rod inspection control device 6 for performing visual dimension inspection or defect inspection from an appearance image of the fuel rod 100 photographed by the inspection head 4.例文帳に追加
被検査体である燃料棒100を撮影する検査ヘッド4と、燃料棒100または検査ヘッド4を移動させる移動手段と、検査ヘッド4で撮影した燃料棒100の外観画像から外観寸法検査または欠陥検査をする燃料棒検査制御装置6とを有する。 - 特許庁
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