例文 (999件) |
defect inspection deviceの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1051件
To provide an image analysis means, an image analysis device and an inspection device enabling to detect a defect of a display panel at high detection sensitivity.例文帳に追加
表示パネルの欠陥を高い検出感度で検出することができる画像解析方法および画像解析装置、検査装置を提供する。 - 特許庁
METHOD AND SYSTEM FOR INSPECTING/ANALYZING DEFECT AND INSPECTION DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE PATTERN例文帳に追加
半導体デバイスパターンの欠陥検査・不良解析方法、半導体デバイスパターンの欠陥検査・不良解析システム、および、半導体デバイスパターンの検査装置 - 特許庁
To provide a phase difference defect inspection device which easily discriminates and detects the residual defect of a phase shifter and the surface flaw defect of a glass substrate from another defects, such as foreign matter (light shielding) defects.例文帳に追加
位相シフターの残存欠陥及びガラス基板の表面傷欠陥を異物(遮光)欠陥等の他の欠陥と区別して検出することを簡便に行なう位相差欠陥検査装置を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide an inspection device that determines a defect of a semiconductor chip formed on a semiconductor wafer with high sensitivity up to the most peripheral part of a memory mat portion, and to provide an inspection method thereof.例文帳に追加
半導体ウェーハに形成された半導体チップのメモリマット部の最周辺部まで高感度に欠陥判定できる検査装置およびその検査方法を提供する。 - 特許庁
To provide a disk surface inspection device capable of adjusting automatically an optical system so as to have sufficient sensitivity for detecting a defect which is an inspection object.例文帳に追加
検査対象とする欠陥に対して検出するに十分な感度を持つよう光学系を自動調整できるようにしたディスク表面検査装置を提供することにある。 - 特許庁
To provide a device for ultrasonic inspection inspecting easily and highly accurately an internal defect, a void or exfoliation, concerning an inspection object displayed internally in a two-dimensional manner.例文帳に追加
二次元化して内部表示される検査対象において、内部欠陥やボイド、剥離の検査を高精度かつ容易に実施できる超音波検査用装置を提供する。 - 特許庁
To provide a surface inspection device and a surface inspection method for easily determining an optimum combination of image processing filters for detecting a defect on a substrate.例文帳に追加
基板上の欠陥を検出するための画像処理フィルタの最適な組み合わせを、容易に特定することができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。 - 特許庁
To provide a can body inspection device and a can body inspection method capable of inspecting exactly a defect of a shape generated in a can body formed with unevenness in a side face.例文帳に追加
側面に凹凸が形成された缶体に生じる形状の欠陥を的確に検査することが可能な缶体検査装置及び缶体検査方法を提供する。 - 特許庁
The inspection device is structured to correct the positional coordinates of a detected foreign matter or defect based on the central coordinates of the inspection object, in accordance with the detected positional condition when inspected.例文帳に追加
そして、検出された被検査時の位置状態に応じて、検出された異物や欠陥の位置座標を、被検査物の中心座標を基に補正するように構成した。 - 特許庁
To provide a mirror electron projection type ( including an MPJ type (also including an SEPJ type)) electron beam inspection device which is made possible to optimize a condition and a pattern defect inspection method and system by using the above electron beam inspection device.例文帳に追加
条件出しができるようにした写像投影型(MPJ型(SEPJ)型も含む))電子線検査装置並びにこれら電子線検査装置を用いたパターン欠陥検査方法及びそのシステムを提供することにある。 - 特許庁
An inspection device 2 for a display device 1 includes: an inspection circuit 100 which judges a defect of each of pixels 20 based on current which flows through an inspection interconnect 111 connected with interconnects 12 of the display device 1; and an inspection driver circuit 200 which drives by supplying a necessary signal to the display device 1.例文帳に追加
型表示装置1のための検査装置2は、表示装置1の配線12に接続された検査用配線111に流れる電流に基づいて、複数の画素20の各々の欠陥を検査する検査回路100と、表示装置1に必要な信号を供給して駆動する検査駆動回路200とを有する。 - 特許庁
The defect inspection device includes a signal processing device for imaging an image of a photomask in various illumination conditions, detecting a defect of the photomask by using an output signal from an A/D converter, and outputting a color image of the photomask including the detected defect.例文帳に追加
フォトマスクの画像を種々の照明条件のもとで撮像し、A/D変換器からの出力信号を用いてフォトマスクの欠陥を検出し、検出された欠陥を含むフォトマスクのカラー画像を出力する信号処理装置とを具える。 - 特許庁
To provide a substrate inspection device allowing accurate defect part observation and facilitating observation work.例文帳に追加
正確な欠陥部観察を行うことができるとともに、観察作業の軽減化を実現できる基板検査装置を提供する。 - 特許庁
MASTER INFORMATION CARRIER DEFECT INSPECTION METHOD MAGNETIC FILM PATTERN TRANSFER METHOD USING MASTER INFORMATION CARRIER, AND MAGNETIC RECORDING/REPRODUCING DEVICE例文帳に追加
マスタ情報担体の欠陥検査方法、マスタ情報担体利用の磁性膜パターン磁気転写方法および磁気記録再生装置 - 特許庁
To reduce cost of a product by performing inspection of the defect in a pixel in the process of manufacture, in a light emission device.例文帳に追加
発光装置において、画素における不良の検査を作製工程の途中で行うことで、製品の低コスト化を図る。 - 特許庁
PLATE GLASS DEFECT DETECTOR, PLATE GLASS MANUFACTURING METHOD, PLATE GLASS ARTICLE, PLATE GLASS QUALITY DETERMINATION DEVICE, AND PLATE GLASS INSPECTION METHOD例文帳に追加
板ガラス欠陥検出装置、板ガラスの製造方法、板ガラス物品、板ガラスの良否判定装置及び板ガラスの検査方法 - 特許庁
To provide a mask inspection device capable of detecting phase defect at the stage of mask blank that is a stage before depositing a absorber pattern.例文帳に追加
吸収体パターンを被着させる前のマスクブランクの段階で位相欠陥を検出することが可能な装置を提供する。 - 特許庁
To provide a semiconductor inspection device capable of electrostatically charging a wafer without generating a defect, etc., in a substrate such as a wafer.例文帳に追加
ウェハ等の基板に欠陥などを生じさせることなく、ウェハを帯電させることのできる半導体検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide a visual inspection device capable of displaying an image of a defect imaged under a condition near to a visual observation.例文帳に追加
目視観察状態に近い状態で撮像された欠陥の画像を表示することができる外観検査装置を提供する。 - 特許庁
Image data obtained by imaging the reproduced model defect by an imaging means of the inspection device are acquired in an image processing process.例文帳に追加
撮像工程において、再現されたモデル欠陥を検査装置の撮像手段によって撮像した撮像データを取得する。 - 特許庁
To provide a film inspection device capable of detecting accurately a defect generated on a film during manufacture.例文帳に追加
本発明の目的は、製造時にフィルムに生じた欠陥を精度良く検出できるフィルム検査装置を提供することにある。 - 特許庁
ELECTROLUMINESCENT ELEMENT, ELECTROSCOPE USING ELECTROLUMINESCENT ELEMENT, CONDUCTION DISPLAY POWER LINE, AND CIRCUIT BOARD DEFECT INSPECTION DEVICE例文帳に追加
電界発光素子及び電界発光素子を用いた検電器及び通電表示電力線及び回路基板欠陥検査装置 - 特許庁
To provide a defect detection optical system and a defect inspection device that can detect a defect at a high accuracy and have a simple structure without being affected by scratch in a substrate surface or directivity of scattered light on a chip defect.例文帳に追加
基板表面のスクラッチやカケ欠陥の散乱光の指向性に影響されることなく、欠陥検出が高い精度で検出でき、かつ構造が簡単な欠陥検出光学系欠陥検出光学系および欠陥検査装置を提供することにある。 - 特許庁
To obtain a defective image even when a defect is present under an optically transparent film, in the case where the defect is observed by using an SEM based on defect position data outputted from a defect inspection device by an optical means.例文帳に追加
光学的手段による欠陥検査装置により出力された欠陥位置データに基づいてSEMを用いて該欠陥を観察する場合において、該欠陥が光学的に透明な膜の下に存在する場合でも、欠陥画像の取得を行えるようにする。 - 特許庁
The electron microscope 5 for observing a defect detected by the optical defect inspection device or the optical appearance inspection device has a constitution wherein an optical microscope 14 for re-detecting the defect is loaded, and a distribution polarization element and a space filter are inserted onto a pupil surface when performing dark field observation by the optical microscope 14.例文帳に追加
光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡5において、欠陥を再検出する光学顕微鏡14を搭載し、この光学顕微鏡14で暗視野観察する際に瞳面に分布偏光素子及び空間フィルタを挿入する構成とする。 - 特許庁
To provide a defect inspection device realizing high resolution and an increase in an inspection speed in a technology for inspecting a pattern defect, foreign matter, residue, a step and the like on a wafer in a production process of a semiconductor by an electron beam.例文帳に追加
半導体装置の製造過程にあるウェハ上パターンの欠陥、異物、残渣および段差等を電子ビームにより検査する技術において、高分解能で、かつ検査速度の高速化を実現する欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
The image processing device 1 detects defect pixels by performing image processing on image data, and performs quality determination on the inspection target based on a first inspection condition C1 set based on either the number or positions of defect pixels.例文帳に追加
画像処理装置1は、画像データを画像処理することで欠陥画素を検出し、欠陥画素数または位置の何れか一方に基づいて設定された第1の検査条件C1によって、検査対象物の良否判定を行う。 - 特許庁
To provide a defect inspection device for a plate-like transparent body and a method thereof capable of detecting a minute defect with a length of about 10 μm in a major axis which is present on a surface of the plate-like transparent body without microscope inspection.例文帳に追加
板状透明体の表面に存在している長径10μm程度の微細傷を、顕微鏡精査を行うことなく検出することができる板状透明体の欠陥検査装置及びその方法を提供する。 - 特許庁
Alternatively, the device stores the first electronic optical system for the defect detecting inspection and the second electronic optical system exclusive for a review for observing the specified narrow portion detected by the defect detecting inspection, in the same vacuum container.例文帳に追加
または、欠陥検出検査の為の第1の電子光学系と欠陥検出検査により検出された特定の狭い部位を観察するレビュー専用の第2の電子光学系とを同一の真空容器内に並べて収容する。 - 特許庁
To obtain a semiconductor-device analytical system for investigating an influence of a semiconductor device on the generation of a defect without being collated with an inspection result of an actual semiconductor device.例文帳に追加
実際のデバイスの検査結果と照合させることなく、不良発生に対する半導体デバイスの影響を調べることが可能な半導体デバイス解析システムを得る。 - 特許庁
CHARGED PARTICLE BEAM CONTROLLER, CHARGED PARTICLE BEAM OPTICAL DEVICE USING THE SAME, CHARGE PARTICLE BEAM DEFECT INSPECTION DEVICE AND CONTROL METHOD FOR CHARGED PARTICLE BEAM例文帳に追加
荷電粒子ビーム制御装置、及びそれを用いた荷電粒子ビーム光学装置、荷電粒子ビーム欠陥検査装置、並びに荷電粒子ビーム制御方法 - 特許庁
To achieve a defect inspection device which can obtain the same image shift amount in all cameras without enlarging the device even if a plurality of cameras are used.例文帳に追加
複数台のカメラを用いても装置が大型化せず、全てのカメラで同一の画像ずらし量を実現できる欠陥検査装置を実現する。 - 特許庁
To provide an inspection method of a rolling device component capable of accurately inspecting whether a defect exists inside the rolling device component such as a raceway ring.例文帳に追加
軌道輪等の転動装置部品の内部に欠陥が存在するか否かを精度よく検査することのできる転動装置部品の検査方法を提供する。 - 特許庁
To provide a liquid crystal display device permitting a simple and improved inspection for defect detection before completing a liquid crystal display device, and also permitting improvement of productivity after completing inspection.例文帳に追加
液晶表示装置完成前に簡易的かつ不良検出力を向上させた検査が可能で、また検査完了後の生産性を向上させることが可能な液晶表示装置を提供する。 - 特許庁
To provide a method and a device for processing inspection data, allowing the accurate selection of a critical defect on the basis of the inspection data detected by an appearance inspecting device.例文帳に追加
外観検査装置から検出される検査データを基に、致命性のある欠陥を精度よく、正確に選択できるようにした検査データ処理方法およびその装置を提供することにある。 - 特許庁
To provide an inspection device using a charged particle beam, capable of accurately detecting a defect hard to detect by an optical image by using an electron beam and of reducing erroneous detection of the defect without degrading inspection resolution by reducing noise of the inspection image causing trouble at that time.例文帳に追加
光学画像では検出困難な欠陥を電子線を用いて高精度に検出するとともに、その際問題となる検査画像のノイズを低減して、検査分解能をさげることなく欠陥の誤検出を低減することができる荷電粒子線を用いた検査装置を提供する。 - 特許庁
Then, as in step 2, compare checks regarding each inspection unit block at inspection modes respectively equivalent to the defect inspection devices used in an actual manufacturing line of the device are carried out in a plurality of chip areas.例文帳に追加
次に、ステップ2のように、実際のデバイスの製造ラインで使用される欠陥検査装置にてそれぞれ相当する検査モードで各検査単位ブロックに関する比較検査を複数のチップ領域について行う。 - 特許庁
To provide a transparent body inspection device for determining how deep a defect exists in, when the defect exists within a transparent body which is an object to be inspected.例文帳に追加
検査対象となる透明体の内部に欠陥が存在する場合に、その欠陥がどのくらい深い位置に存在しているかを特定できる透明体検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide a defect inspection device reducing error detection of noise and surely detecting a defect part, even if there is fluctuation in an image level by the fluctuation of an external environment.例文帳に追加
外部環境変動による画像レベルの上下が存在しても、ノイズの誤検出を減少させて、しかも、不良部分を確実に検出できる欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
To improve the extraction accuracy of line defect and enhance the resistance to noise in a TFT array inspection device to precisely specify a cross line defect even in measured data with insufficient S/N.例文帳に追加
TFTアレイ検査装置において、線欠陥の抽出精度を向上させること、ノイズに強く、S/Nが不十分な測定データにおいても精度良くクロス線欠陥を特定すること。 - 特許庁
To provide a charged particle beam application inspection device and an inspection method capable of realizing a charge control technology having more excellent uniformity than hitherto, and having excellent inspection accuracy and length measurement accuracy, concerning the inspection method and the device using the charged particle beam for defect inspection at an optional part on an unfinished semiconductor wafer in a semiconductor device manufacturing process.例文帳に追加
半導体装置製造過程での未完成な半導体ウェハ上の任意の部分における欠陥検査のための、荷電粒子ビームを使用した検査方法および装置に関し、従来よりも均一性に優れた帯電制御技術を実現し、検査精度、測長精度に優れた荷電粒子線応用検査装置、検査方法を提供する。 - 特許庁
To provide a defect inspection device capable of detecting with high sensitivity the defects in a mixed mount wafer (system LSI, or the like), capable of detecting widely a defect species, and capable of enhancing a defect capturing rate, and to provide a method therefor.例文帳に追加
混載ウェハ(システムLSIなど)などに対して欠陥を高感度に検出し、しかも欠陥種を幅広く検出して、欠陥捕捉率を向上することができるようにした欠陥検査装置及びその方法を提供することにある。 - 特許庁
To provide a defect inspection method for detecting the disturbance of a cycle generated in the cyclic structure of a semiconductor device by image comparison.例文帳に追加
半導体装置の周期的な構造に生じる周期の乱れを画像比較によって検出する欠陥検査方法を提供する。 - 特許庁
To provide an inspection device and method capable of easily inspecting a defect such as a crack of the solar battery at a certain determination level.例文帳に追加
太陽電池のクラック等の欠陥の検査を一定の判定レベルで簡単に行うことができる検査装置と方法を提供する。 - 特許庁
The inspection device 1 extracts a defect (dirt or chip) from the difference with a reference region relative to the divided small domain image after correction.例文帳に追加
検査装置1は補正後の分割小領域画像について、基準となる領域との差異から、欠陥(汚れ、欠け)を抽出する。 - 特許庁
To provide a method for producing a semiconductor device, by which a fine pattern is formed even without using an assist pattern method or a phase shift mask and defect inspection on a mask is easily performed.例文帳に追加
補助パターン法や位相シフトマスクなどを用いずとも微細パターンの形成が可能で、かつマスクの欠陥検査を容易とする。 - 特許庁
To provide an electrooptical device substrate in which a defective spot can be quickly surely specified and a defect inspection can be stably conducted.例文帳に追加
迅速かつ確実に欠陥個所を特定でき、安定して欠陥検査を行うことができる電気光学装置用基板を提供する。 - 特許庁
The defect inspection device is also provided with a spatial filter arranged on a Fourier transformation face for shutting out diffracted rays from the linear part of the circuit pattern.例文帳に追加
更に、回路パターンの直線部分からの回折光を遮光するためにフーリエ変換面上に設けた空間フィルタを有する。 - 特許庁
There is provided a mist feeding device for filter inspection which can further improve a detection accuracy of the defect of a filter, while using liquid particles.例文帳に追加
液体粒子を使いつつ、フィルタ欠陥の検出精度をより向上できるフィルタ検査用ミスト供給装置を提供する。 - 特許庁
例文 (999件) |
Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved. |
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|