例文 (372件) |
ion gateの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 372件
In the formation of source-drain region of a MOS transistor with LDD structure, after forming a gate electrode 103 via a gate insulating film 102 on a p-type silicon substrate 101, ion implantation is performed using the gate electrode 103 or the like as an ion implantation mask, furthermore, an n-low concentration impurity region 106 is formed by heat treatment.例文帳に追加
LDD構造を有するMOSトランジスタのソース・ドレイン領域の形成において、P型シリコン基板101上にゲート絶縁膜102を介して、ゲート電極103を形成後、ゲート電極103等をイオン注入マスクとして、イオン注入を行い、さらに熱処理によって、n−低濃度不純物領域106を形成する。 - 特許庁
At this moment, correspondence relation between the size of the gate electrode 102 and an ion injection condition which can set the threshold voltage of a transistor to a prescribed value is previously found out, and the ion injection condition is set on the basis of the correspondence relation and the measured size of the gate electrode 102.例文帳に追加
ここで、トランジスタのしきい値電圧を所定値に設定できる、ゲート電極102の寸法とイオン注入条件との対応関係を予め求めておき、当該対応関係とゲート電極102の測定寸法とに基づいてイオン注入条件の設定を行なう。 - 特許庁
This TFT manufacturing method is carried out in such a manner that a semiconductor layer 1 is arranged on a substrate 60, a gate-insulating film 2 is formed covering the semiconductor layer 1, a gate electrode 3a is arranged on the gate-insulating film 2, a protective film 17 is arranged so as to cover the gate electrode 3a, and a resist film used in an ion implantation process is formed.例文帳に追加
基板60上に半導体層1が配置され、これを覆うようにゲート絶縁膜2、ゲート絶縁膜2上にゲート電極3aが配置され、更にこのゲート電極3aを覆うように保護膜17が配置された状態で、イオン注入工程の際に用いるレジスト膜を形成する。 - 特許庁
The method comprises the steps of: forming a gate electrode on a semiconductor wafer; controlling the center-of-gravity axis of ion beams irradiating first and second regions separated with a region just under the gate electrode in between on the semiconductor wafer vertically to the directions of gate length and gate width; and introducing impurities into the first and second regions by irradiating these regions with said ion beams.例文帳に追加
半導体基板にゲート電極を形成する工程と、前記半導体基板の前記ゲート電極直下領域を挟んで分離された第1及び第2の領域に照射されるイオンビームの重心軸を、ゲート長方向及びゲート幅方向に対して垂直に制御する工程と、前記イオンビームを照射して、前記第1及び第2の領域に不純物を導入する工程を備える。 - 特許庁
After forming the gate electrode 103 on a silicon substrate 100, ion implantation is performed with the gate electrode 103 as a mask to form low concentration impurity regions 104, and thereafter first sidewall spacer 105 are formed on the side surfaces of the gate electrode 103.例文帳に追加
シリコン基板100の上にゲート電極103を形成した後、ゲート電極103をマスクとしてイオン注入を行なって低濃度不純物領域104を形成し、その後、ゲート電極103の側面に第1のサイドウォールスペーサ105を形成する。 - 特許庁
To provide a silicon carbide semiconductor device which has the lower input resistance of a gate in comparison with a silicon carbide semiconductor device in which a gate layer is formed with an ion implantation method, and also has a JFET having higher voltage resistance between the gate and a drain, and to provide a manufacturing method of the same silicon carbide semiconductor device.例文帳に追加
イオン注入法によりゲート層が形成された炭化珪素半導体装置と比較して、ゲートの入力抵抗が低く、かつ、ゲート、ドレイン間の耐圧が高いJFETを備える炭化珪素半導体装置およびその製造方法を提供する。 - 特許庁
In the manufacturing method, after performing film forming of the gate insulation film, by conducting hydrogen plasma treatment or reverse sputtering by hydrogen ion, the hydrogenation reduction is conducted to the surface layer of the gate insulating film, and the gate conductive film is formed on the surface layer.例文帳に追加
製造方法においては、ゲート絶縁膜を成膜した後、水素プラズマ処理、又は水素イオンによる逆スパッタリングを行うことによって、ゲート絶縁膜の表面層に対して水素化還元を行い、その表面層上に前記ゲート導電膜を形成する。 - 特許庁
Then, the p-type impurity is respectively ion-implanted to portions under the gate insulating films 9, 11 to form respective body areas 19a, 19b.例文帳に追加
そして、ゲート絶縁膜9,11下にそれぞれp型不純物をイオン注入してボディ領域19a,19bをそれぞれ形成する。 - 特許庁
As necessary, LDD regions may be formed through an ion implantation using a mask for protection of a gate channel region of an active area.例文帳に追加
必要に応じて、LDD領域が、アクティブ領域のゲートチャネル領域の保護のためのマスクを用いてイオン注入によって形成され得る。 - 特許庁
To provide a semiconductor device and its production process being a gate electrode type and capable of suppressing ion resistance by a simple structure.例文帳に追加
ゲート電極型であって、かつ簡素な構造によりオン抵抗を抑制することができる半導体装置、およびその製造方法を提供する。 - 特許庁
An ion selector gate having a first deviation area 32 and a second deviation area spaced from the first deviation area 32 is provided.例文帳に追加
第1の偏向領域32と第1の偏向領域から離間された第2の偏向領域34とを有するイオンセレクタゲートを提供する。 - 特許庁
The device has a high resistance layer 6b which is formed by ion implantation of V(vanadium) between a second gate region 6 and a channel layer 4.例文帳に追加
第2ゲート領域6とチャネル層4との間に、V(バナジウム)をイオン注入することによって形成した高抵抗層6bを備える。 - 特許庁
Successively, the impurities are ion-implanted in the semiconductor substrate 4 in a state where the mask film 30 is arranged on the surface of the second gate electrode 28.例文帳に追加
続いて、第2ゲート電極28の表面にマスク膜30を配置した状態で不純物を半導体基板4にイオン注入する。 - 特許庁
The projection range of impurities in ion implantation of the mask material 1 is small when compared to that of the gate electrode 4 and the layer insulation film 7.例文帳に追加
注入マスク材1は、ゲート電極4および層間絶縁膜7と比較してイオン注入における不純物の投影飛程が小さい。 - 特許庁
Then, in this state, the regions located on the sides of the gate electrode 3 are doped with n-type impurities by an ion implantation method.例文帳に追加
次に、この状態で、シリコン基板1上のゲート電極3の両脇となる領域に、n型の不純物をイオン注入法でドーピングする。 - 特許庁
On the other hand, fluorine ion is poured before or after pouring the impurity for forming the diffusion layer employing at least the gate electrode as the mask.例文帳に追加
また、この拡散層形成のための不純物注入の前又は後に、少なくともゲート電極をマスクとして、フッ素イオンを注入する。 - 特許庁
Also gate electrodes of the p-tpe and n-type thin film transistors are formed through second and third mask steps, and steps to dope polycrystalline semiconductor layers of the respective thin film transistors with a p+ ion, an n+ ion, and an n- ion are conducted so as to form a second storage electrode.例文帳に追加
また、第2マスク工程及び第3マスク工程によって、p型及びn型の薄膜トランジスタのゲート電極を形成して、前記各薄膜トランジスタの多結晶半導体層にp+イオンと、n+イオンのドーピング工程及びn-イオンのドーピング工程を行い、第2ストレージ電極を形成する。 - 特許庁
After the gate electrode 3 of the transfer transistor is formed on a p-type silicon substrate 1, the p-type ion-implanted layer 4 of the photodiode is formed and, in addition, the n-type ion-implanted layer 5 of the photodiode and the threshold controlling ion-implanted layer 6 of the transfer transistor are formed simultaneously.例文帳に追加
p型シリコン基板1上に転送トランジスタのゲート電極3を形成後に、フォトダイオードのp型イオン注入層4を形成し、さらにフォトダイオードのn型イオン注入層5と転送トランジスタのしきい値制御イオン注入層6とを同時にイオン注入により形成する。 - 特許庁
In the time-of-flight mass spectrograph method in which an ion mass electric charge ratio is measured by using a spiral orbit composed of a plurality of laminated electric fields, an ion gate arranged at an upper stream of a detecting unit rejects selectively only the ion having a predetermined mass electric charge ratio.例文帳に追加
複数の積層電場で構成されたらせん軌道を用いてイオンの質量電荷比を測定する飛行時間型質量分析方法において、検出器の上流に置かれたイオンゲートにより、所定の質量電荷比を有するイオンのみを選択的に排除するようにした。 - 特許庁
A second thin gate oxide film that is formed on a semiconductor substrate 10 in a second region goes through the elimination of a through oxide film 20 after ion implantation and a formation process of the gate oxide film only once.例文帳に追加
第2領域における半導体基板10に形成された膜厚の薄い第2ゲート酸化膜は、イオン注入後のスルー酸化膜20の除去、およびゲート酸化膜の形成工程を1度しか経ない。 - 特許庁
To provide a low-cost semiconductor device by suppressing increase of manufacturing processes when a predetermined element is introduced into a gate electrode by ion implantation to form a MOS transistor with a gate electrode having a different work function.例文帳に追加
イオン注入で所定の元素をゲート電極に導入して、異なる仕事関数を有するゲート電極のMOSトランジスタを形成する際に、製造工程の増加を抑制して低コストの半導体装置を提供する。 - 特許庁
In a method for manufacturing an insulated gate field effect transistor, two source-drain regions 10 are formed in a P well 3 by performing impurity ion implantation and activation annealing while using a gate stack 7 and a spacer of a sidewall insulating film 9 having a predetermined width as a mask.例文帳に追加
ゲートスタック7と側壁絶縁膜9からなる所定の幅のスペーサをマスクとする不純物のイオン注入と活性化アニールにより、2つのソース・ドレイン領域10をPウェル3に形成する。 - 特許庁
That is, the hybrid ion transmitting device has a structure in which the electrostatic lens for transmitting injected ions and applying a voltage so that the ions can be focused on the center of the ion transmitting direction axis and the RF ion transmitting tube connected to the electrostatic lens to pass the ions focused on the center of the ion transmitting direction axis are connected through the gate valve.例文帳に追加
すなわち、混成イオン伝送装置は、注入されるイオンを伝送し、イオンがイオン伝送方向軸の中心に集中可能に電圧をかける静電レンズと、静電レンズに接続され、イオン伝送方向軸の中心に集中された前記イオンを通過させるRFイオン伝送管がゲート弁を介して接続されるような構成を有する。 - 特許庁
This hybrid ion transmitting device for enhancing detection sensitivity and resolution by using an electrostatic lens ion transmitting tube in the front, enabling use of a gate valve in the middle, and using an RF ion transmitting tube having good transmission efficiency in a high electric field in the back can be manufactured by combination of the electrostatic lens and the RF ion transmitting tube.例文帳に追加
静電レンズ及びRFイオン伝送管の組み合わせにより、前部に静電レンズイオン伝送管を用い、且つ、途中部分にはゲート弁を用いることを可能にし、後部には高磁場における伝送効率がよいRFイオン伝送管を用いて検出感度及び分解能を高める混成イオン伝送装置を製作することができる。 - 特許庁
Gate electrodes 15 are formed through a gate insulation film 14 on a semiconductor substrate 11 and element isolations, the gate electrodes are formed so as to adjoin both sides of a certain one gate electrode, and a skew ion implanting is made so that the shadows of adjacent gate electrodes overlie source or drain regions 19, thus making it possible to selectively implant a channel impurity in Si substrate regions 13 beneath the gate electrodes.例文帳に追加
半導体基板11上及び素子分離部上にゲート絶縁膜14を介してゲート電極15を形成し、ある1つのゲート電極に対しその両側に隣接するようにゲート電極を形成し、隣接するゲート電極の陰がソース又はドレイン領域19に重なるように、斜めイオン注入を行うことにより、ゲート電極下のシリコン基板領域13に選択的にチャネル不純物を注入することが可能になる。 - 特許庁
Then, the gate of a p-type transistor is worked, the n-type transistor is covered with a protective film, and acceptor ions are implanted by a mass nonseparation-type ion implantation apparatus.例文帳に追加
次にp型トランジスタのゲート加工を行い、n型トランジスタを保護膜で被覆した後アクセプター・イオンを質量非分離型イオン注入装置で行う。 - 特許庁
To provide an option-setting circuit that precludes the possibility of the causing a breakdown of gate oxide film of transistors(TRs) and can set a mode signal without relying on ion implantation.例文帳に追加
トランジスタのゲート酸化膜の破壊を生ずるおそれがなく、かつイオン注入によらずにモード信号の設定ができるオプション設定回路を提供する。 - 特許庁
The condition for ion implantation is selected to compensate for deviation of the threshold voltage due to the deviation of the gate insulating film thickness from the design thickness.例文帳に追加
イオン注入の条件は、ゲート絶縁膜の膜厚の設計膜厚からのずれによるしきい値電圧のずれが補償されるように選択される。 - 特許庁
Thereafter, an n-type high-concentration source region 6 and an n-type high-concentration drain region 7 are formed by performing ion implantation by using the gate electrode 3 as a mask.例文帳に追加
その後、ゲート電極3をマスクとしてイオン注入を行い、n型の高濃度ソース領域6及び高濃度ドレイン領域7を形成する。 - 特許庁
With a gate electrode 4 and an element isolation insulation film 2 as a mask, boron ions 5 are implanted to form a high concentration ion implanted layer 6 for extension.例文帳に追加
ゲート電極4及び素子分離絶縁膜2をマスクとして、ボロンイオン5をイオン注入して、高濃度エクステンション用イオン注入層6を形成する。 - 特許庁
This semiconductor ion sensor is formed by providing a resin coating 11 comprising a matrix resin containing a plasticizer and an ionophore on the surface of a gate electrode 4.例文帳に追加
ゲート電極4の表面に可塑剤とイオノフォアを含有するマトリックス樹脂からなる樹脂皮膜11を設けて形成される半導体イオンセンサに関する。 - 特許庁
A mask 29 for obstructing ion implantation is formed with the component of a semiconductor element, for example with the same configuration as a gate control section 25 in a MOS transistor.例文帳に追加
イオン注入阻止用マスク29は、半導体素子の構成要素、例えばMOSトランジスタのゲート制御部25と同じ構成で形成される。 - 特許庁
The gate pattern and the spacer are used as an ion implantation mask, impurities are injected to the semiconductor substrate, and high density source/drain regions are formed.例文帳に追加
ゲートパターン及びスペーサをイオン注入マスクとして使用し、半導体基板に不純物を注入して高濃度ソース/ドレイン領域を形成する。 - 特許庁
Since the elements can be formed without ion implantation through a gate electrode, the mask ROM can be formed on the glass substrate.例文帳に追加
これらの素子は、ゲート電極を通してイオン注入せずに作成することが出来るため、ガラス基板上にマスクROMを作り込むことができるようになる。 - 特許庁
An n^+ region 7 is formed by ion doping after a contact hole 7a is formed in the gate insulating film 3 consisting of a thick film high dielectric material.例文帳に追加
膜厚が厚い高誘電率材料からなるゲート絶縁膜3にコンタクトホール7aを形成した後でイオンドーピングしてn^+領域7を形成する。 - 特許庁
Impurity ion implantation is performed with a first concentration in order to form sources/drains 116 in the semiconductor substrate with the gate structures 120 serving as masks.例文帳に追加
前記ゲート構造120をマスクとして前記半導体基板にソース/ドレーン116を形成するために第1濃度で不純物イオン注入を行う。 - 特許庁
A target ion responding part 20 for detecting target ions in a sample to be inspected is formed to the gate region 17 of a field-effect transistor 10.例文帳に追加
被験試料中の標的イオンを検出するための標的イオン感応部20を電界効果型トランジスタ10のゲート領域17に形成した。 - 特許庁
A load chamber 102 introducing a wafer W is connected to an RIE apparatus 1 performing reactive ion etching treatment to the wafer W via a gate valve 101.例文帳に追加
ウエハWを導入するロード室102とウエハWをリアクティブ・イオン・エッチング処理するRIE装置1とが、ゲートバルブ101を介して接続されている。 - 特許庁
To make a gate insulating film of a thin film transistor formed on a TFT substrate as a thick film using a high dielectric material, and dope enough ion thereinto.例文帳に追加
TFT基板に形成する薄膜トランジスタのゲート絶縁膜を高誘電率材料を用いた厚膜とし、かつ十分なイオンをドーピングする。 - 特許庁
Then B is obliquely ion-implanted by using the gate electrode 11 and the sidewall 12 as masks to form a packet region 16 surrounding the source-drain expansion region 15.例文帳に追加
その後、ゲート電極11及びサイドウォール12をマスクにBを斜めイオン注入して、ソース・ドレイン拡張領域15を囲むポケット領域16を形成する。 - 特許庁
A photoresist 103, the gate structures 10 and 14 and element separating insulation films 5b and 5c are used for an implantation mask and the ion implantation of N-type impurities 104 is performed.例文帳に追加
フォトレジスト103、ゲート構造10,14、及び素子分離絶縁膜5b,5cを注入マスクに用いて、N型不純物104をイオン注入する。 - 特許庁
In a principal process, the charge storage film and memory gate electrode are formed after ion implantation D01 for forming the memory source-drain region SDm is carried out.例文帳に追加
本工程では、メモリソース・ドレイン領域SDmを形成するためのイオン注入D01を施した後に、電荷蓄積膜とメモリゲート電極とを形成する。 - 特許庁
The gate electrode having the work function variable in the lateral direction can be formed using angle inclined ion implantation or a sequent lamination layer method.例文帳に追加
横方向に可変の仕事関数を有するゲート電極は、角度傾斜イオン注入法又は逐次積層法を用いて形成することができる。 - 特許庁
A gate insulation film 12b whose dielectric breakdown strength is lowered when compared to a gate insulation film 12a of an MOS transistor is formed through ion implantation to the gate insulation film 12a formed in an anti-fuse part, and a write voltage to an anti-fuse is reduced.例文帳に追加
アンチフューズ部に形成したゲート絶縁膜12aにイオンを注入することにより、MOSトランジスタのゲート絶縁膜12aに比べて絶縁破壊耐圧を低下させたゲート絶縁膜12bを形成し、アンチフューズへの書き込み電圧を低減することを特徴としている。 - 特許庁
After removing the ion implantation mask pattern, a transfer gate electrode, an NMOS gate electrode, and a PMOS gate electrode are formed on a semiconductor substrate in a pixel region, on that of the NMOS region, and on that of the PMOS region, respectively, by patterning the polysilicon film.例文帳に追加
イオン注入マスクパターンを除去した後にポリシリコン膜をパターニングして画素領域の半導体基板上に転送ゲート電極、NMOS領域の半導体基板上にNMOSゲート電極及びPMOS領域の半導体基板上にPMOSゲート電極を形成する。 - 特許庁
Then, after a gate insulating film 2 and the gate electrode 3 are formed on the diffusion layer 4a, a p-type diffusion layer 5a for channel is formed by performing ion implantation by using an implantation mask 12 covering part of the upper surface of the electrode 3 and the region 7a for drain of the substrate 1 and the gate electrode 3 as masks.例文帳に追加
そして、ゲート絶縁膜2及びゲート電極3を形成した後、ゲート電極3上の一部及び半導体基板1のドレイン用領域7a上を覆う注入マスク12及びゲート電極3をマスクにしてイオン注入を行い、p型のチャネル用拡散層5aを形成する。 - 特許庁
The gate length of this gate electrode is measured (S5), and an ion-implantation dose for forming source and drain regions is set variedly according to the measured value of the gate length, so that the transistor characteristics on a short-channel effect of a transistor reach a prescribed level (S7, F1).例文帳に追加
このゲート電極のゲート長を測定し(S5)、短チャネル効果に関するトランジスタ特性が所定のレベルになるように、ソース領域およびドレイン領域を形成するためのイオン注入のドーズ量を上記ゲート長の測定値に応じて可変して設定する(S7,F1)。 - 特許庁
A gate electrode 21 is assumed to be a pattern which extends from the gate insulating film 16 to an insulating film 13, such that at least on the gate insulating film 16 one edge overlaps on the ion implantation region 18 for connection, and the other end overlaps on an n-type impurity region 14.例文帳に追加
ゲート電極21は、少なくともゲート絶縁膜16上では一方縁部が接続用イオン注入領域18上にかかり、かつ他方縁部がN型不純物領域14上にかかるようゲート絶縁膜16から絶縁膜13にかけて延在させたパターンとする。 - 特許庁
A method for manufacturing a semiconductor device comprises the steps of implanting silicon ion in an embedded oxide film 2 through a silicon layer 3 of an SOI structure having the film 2 and the layer 3 sequentially provided on a silicon substrate 1, forming a fixed oxide film charge layer 4 at a silicon ion arrival distance, and providing a gate electrode on the layer 3 via a gate oxide film 5.例文帳に追加
シリコン基板1の上に埋込み酸化膜2とシリコン層3を順次設けたSOI構造のシリコン層3を通して埋込み酸化膜2中にシリコンイオンを注入しシリコンイオン到達距離に固定酸化膜電荷層4を作成し、シリコン層3の上にゲート酸化膜5を介してゲート電極を設ける。 - 特許庁
Through the silicon oxide film 7 for protecting against ion implantation damage, ion is implanted on the entire surface of a p-well with the gate electrode 5 and a side wall 6 as implantation masks, to form n^+ diffusion layers 12 and 13 on the p-well.例文帳に追加
次に、このイオン注入損傷の保護用のシリコン酸化膜7を介すると共に、ゲート電極5およびサイドウォール6を注入マスクとして、pウェルの全面にイオン注入をし、pウエルにn^+ 拡散層12、13を形成する。 - 特許庁
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