例文 (741件) |
substrate oxidationの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 741件
To reduce patterning defects in device fabrication caused by sticking of oxidation foreign matter by removing the oxidation foreign matter sticking on the reverse surface of a substrate through a high-temperature oxidation heat treatment.例文帳に追加
高温酸化熱処理で基板裏面に付着した酸化異物を除去し、この付着酸化異物を起因として生じていたデバイス作製時のパターニング不良を低減できる。 - 特許庁
In the method for forming a thermal oxidation film, a tunnel oxidation film is formed on a surface of a silicon substrate 1 within a heated furnace.例文帳に追加
本発明に係る熱酸化膜の形成方法は、加熱した炉内でシリコン基板1の表面にトンネル酸化膜を形成するものである。 - 特許庁
The uppermost surface temperature of the substrate is measured based on a measured result of a film thickness of an oxide film formed on the substrate supplied to the oxidation process system using the oxidation treatment gas and the light irradiation.例文帳に追加
酸化処理ガスと光照射とを用いた酸化プロセス系に供されている基板に形成された酸化膜の膜厚の測定結果に基づき基板の表面温度を測定する。 - 特許庁
The exhaust gas purification catalyst has a substrate (10), an oxidation catalyst layer (20) arranged on the substrate, and an adsorption layer (30) arranged on the oxidation catalyst layer.例文帳に追加
本発明の排ガス浄化触媒は、基材(10)、基材上に配置されている酸化触媒層(20)、及び酸化触媒層上に配置されている吸着層(30)を有する。 - 特許庁
The insulated substrate has a metal substrate 33 and an insulation layer 32 formed on the surface of the metal substrate, wherein the metal substrate is a valve metal substrate, the insulation layer is an anodic oxidation film of a valve metal, and a porosity of the anodic oxidation film is 30% or less.例文帳に追加
金属基板33と、前記金属基板の表面に設けられる絶縁層32とを有する絶縁基板であって、前記金属基板が、バルブ金属基板であり、前記絶縁層が、バルブ金属の陽極酸化皮膜であり、前記陽極酸化皮膜の空隙率が、30%以下である絶縁基板。 - 特許庁
To eliminate reaction of oxidation by controlling flow of oxygen in the atmosphere, into a substrate processing chamber when the substrate is transferred.例文帳に追加
基板搬送時、基板処理室へ大気中の酸素が流入するのを抑制して、酸化反応を無くすことを可能とする。 - 特許庁
A method for determining an impurity pollution includes simultaneously treating of a substrate to be determined at pretreating time before thermal oxidation of a semiconductor substrate or a semiconductor material (a).例文帳に追加
判定用基板を半導体基板もしくは半導体材料の熱酸化前の前処理時に同時処理する(a)。 - 特許庁
To provide a substrate treatment method wherein the oxidation of a metal layer can be prevented and treating stages are simple and to provide a substrate treatment system.例文帳に追加
金属層の酸化を防止することができ、かつ、処理工程が簡易な基板処理方法およびそのシステムを提供する。 - 特許庁
An antenna array which generates plasma by using an oxidation gas and a substrate stage on which a substrate is mounted are arranged in a deposition container.例文帳に追加
成膜容器内には、酸化ガスを用いてプラズマを発生するアンテナアレイと、基板が載置される基板ステージとが配設されている。 - 特許庁
An SiO2 film 12 is formed on the surface of an Si substrate 10 by performing a thermal oxidation treatment.例文帳に追加
Si基板10の表面に、SiO_2 膜12が熱酸化処理によって形成されている。 - 特許庁
This oxidation equipment has such constitution that the target substrate 31 is made to adsorb oxidative seeds and nitric seeds mixedly in advance.例文帳に追加
ターゲット基板31には、酸化種と窒化種を混合させて吸着させておく構成とする。 - 特許庁
To provide a substrate of meter for vehicle which prevents the oxidation of a copper foil by an inexpensive constitution.例文帳に追加
安価な構成にて銅箔の酸化を防止する車両用計器の基板を提供する。 - 特許庁
To suppress deterioration caused by oxidation of a hydrogen permeable metal substrate containing a group 5A metal element.例文帳に追加
5A属金属元素を含む水素透過性金属基材の酸化による劣化を抑制する。 - 特許庁
An oxide film is grown on the dug surface of the silicon substrate by oxidation (S3-S5).例文帳に追加
酸化処理によって掘り下げられたシリコン基板の表面に酸化膜を成長させる(S3〜S5)。 - 特許庁
PHOTOELECTRIC CONVERSION DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, ANODIC OXIDATION SUBSTRATE FOR USE THEREIN, AND SOLAR CELL例文帳に追加
光電変換素子、その製造方法、それに用いられる陽極酸化基板及び太陽電池 - 特許庁
The second oxidation window 15b reaching the semiconductor substrate 11 is formed on the second region 11b.例文帳に追加
第2領域11bに半導体基板11にまで達する第2酸化窓15bを形成する。 - 特許庁
THERMAL OXIDATION METHOD, PIEZOELECTRIC ACTUATOR WITH SUBSTRATE FORMED THEREBY, AND LIQUID INJECTION DEVICE例文帳に追加
熱酸化方法及びこれによって得られた基板を備えた圧電アクチュエータ並びに液体噴射装置 - 特許庁
Thereafter, low-density ozone water is supplied onto the surface of the substrate W from the nozzle 50 for oxidation treatment.例文帳に追加
その後、基板W表面に酸化処理用ノズル50から低濃度オゾン水が供給される。 - 特許庁
In the method for producing the electrophotographic photoreceptor, an electrically conductive substrate is immersed in an anodic oxidation solution at 0-16°C and subjected to anodic oxidation.例文帳に追加
導電性支持基体を温度が0℃〜16℃である陽極酸化処理液に浸して陽極酸化処理を施す電子写真感光体の製造方法 - 特許庁
A cell gate insulation film comprising a tunnel oxidation film, a silicon nitride film and an upper oxidation film stacked successively on the whole face of a semiconductor substrate is formed.例文帳に追加
半導体基板全面に順次にスタックされたトンネル酸化膜、シリコン窒化膜及び上部酸化膜からなったセルゲート絶縁膜を形成する。 - 特許庁
A silicon oxide film 10 is formed on the rear surface and each end face of an n-type single crystal silicon substrate 1 by subjecting the rear surface of the n-type single crystal silicon substrate 1 to thermal oxidation or ozone oxidation.例文帳に追加
n型単結晶シリコン基板1の裏面を熱酸化またはオゾン酸化することにより、n型単結晶シリコン基板1の裏面および各端面に酸化シリコン膜10を形成する。 - 特許庁
To provide a method and an apparatus for adequately oxidizing a substrate to be processed on one hand, and for restraining oxidation of the substrate on the other hand.例文帳に追加
一方で被処理基板を適度に酸化し、他方で被処理基板の酸化抑制を可能にする方法及び装置を提供する。 - 特許庁
A CVD oxidation film 3 is formed on the surface of a substrate 1 without directly forming the thermal oxide film on the surface of the substrate 1.例文帳に追加
基板1表面上に直接、熱酸化膜を形成するのではなく、基板1表面上に、CVD酸化膜3を形成する。 - 特許庁
A silicon nitride film 5 exhibiting a high oxidation barrier characteristic is formed selectively on the surface of a silicon substrate 1 by subjecting the substrate 1 to a direct thermal nitriding process or the like.例文帳に追加
シリコン基板表面に選択的に酸化バリア性の高いシリコン窒化膜をシリコン基板の直接熱窒化等で形成する。 - 特許庁
The methods involve depositing a barrier layer on the germanium substrate to prevent oxidation of the germanium substrate, when forming a dielectric layer on the germanium substrate (step 130).例文帳に追加
ゲルマニウム基板上に誘電層を形成する場合のゲルマニウム基板の酸化を防止するためにゲルマニウム基板上にバリア層を堆積するステップ130を伴う。 - 特許庁
The oxidation resistant and corrosion resistant metal substrate (1) is a substrate produced by forming a dense titania layer (5) on the surface of a metal substrate by applying a titanium peroxide solution or its sol.例文帳に追加
(1)金属基板表面に過酸化チタン溶液またはそのゾル状物をコーティングして緻密なチタニア層を形成した耐酸化性耐腐食性金属基板。 - 特許庁
This cleaning method includes a process 10 for oxidizing the semiconductor substrate, a process 11 for performing the oxidation-reduction of the oxidized semiconductor substrate, a process 12 for oxidizing the semiconductor substrate which is subjected to oxidation-reduction, a process 13 for reducing the oxidized semiconductor substrate, a process 14 for rinsing the reduced semiconductor substrate, and a process 15 for oxidizing the rinsed semiconductor substrate again.例文帳に追加
半導体基板を酸化する工程10と、酸化した半導体基板を酸化還元する工程11と、酸化還元した半導体基板を酸化する工程12と、酸化した半導体基板を還元する工程13と、還元した半導体基板をリンスする工程14と、リンスした半導体基板を再度酸化する工程15とを含む。 - 特許庁
To form at a high speed an anodic oxidation film as an insulating layer on one side of a metal substrate.例文帳に追加
金属基板の絶縁層として陽極酸化被膜を金属基板の片面に高速に製膜する。 - 特許庁
An extremely thin oxide film 2 is formed by subjecting a surface of an Si substrate 1 to thermal oxidation (refer to Fig.(a) and (b)).例文帳に追加
Si基板1の表面を熱酸化して極薄の酸化膜2を形成する(図(a) 及び(b) 参照)。 - 特許庁
An insulating film (40) which contains silicon oxide or silicon oxynitride is formed on a semiconductor substrate by thermal oxidation.例文帳に追加
半導体基板上に、熱酸化により酸化シリコンまたは酸窒化シリコンを含む絶縁膜(40)を形成する。 - 特許庁
The chemical conversion coating can be obtained by subjecting a substrate metal containing nitrogen in the valve metal to anodic oxidation treatment.例文帳に追加
弁金属中に窒素を含有した基体金属を陽極酸化処理することにより得られる。 - 特許庁
Thermal oxide films 21 and 22 are formed on both the front and rear of a silicon carbide semiconductor substrate 1 by thermal oxidation.例文帳に追加
まず、炭化珪素半導体基板1の表裏面を熱酸化して熱酸化膜21、22を形成する。 - 特許庁
To reduce the level of metal contamination of an oxide film formed on a silicon substrate by plasma oxidation.例文帳に追加
プラズマ酸化によりシリコン基板上に形成される酸化膜の金属汚染量を低減すること。 - 特許庁
Thereafter, thermal oxidation of the Si substrate 1 forms a thermally-oxidized film each in the cavities 25 and 27.例文帳に追加
その後、Si基板1を熱酸化して空洞部25、27内にそれぞれ熱酸化膜を形成する。 - 特許庁
Then, the surface of the exposed semiconductor substrate 1 is subjected to oxidation treatment.例文帳に追加
次に、所定の条件のもとで、露出している半導体基板1の表面に酸化処理が施される。 - 特許庁
A formaldehyde oxidation/reduction enzyme is fixed on the surface of a substrate in the filter for eliminating formaldehyde.例文帳に追加
本発明のホルムアルデヒド除去フィルタは、ホルムアルデヒド酸化還元酵素を担体表面に固定化している。 - 特許庁
The upper surface of a semiconductor substrate 1 is subjected to thermal oxidation treatment to form a gate insulation film 5.例文帳に追加
半導体基板1の上面には、ゲート絶縁膜5を形成すべく熱酸化処理が施される。 - 特許庁
The optical waveguide consists of a silicon substrate and a thermal oxidation film to be a lower clad film formed on the substrate, and the thermal oxidation film is formed by thermally oxidizing the silicon substrate and contains aluminum.例文帳に追加
およびシリコン基板と、該基板上に形成された下側クラッド膜となる熱酸化膜から成る光導波路基板であって、前記熱酸化膜が、シリコン基板を熱酸化させて形成したアルミニウムを含有する熱酸化膜から成る光導波路基板。 - 特許庁
In the case of performing nitridation treatment or oxidation treatment to the substrate surface, a variable impedance value is adjusted to adjust susceptor potential, that is the potential of the substrate.例文帳に追加
基板表面を窒化処理又は酸化処理する際、可変インピーダンス値を調整してサセプタ電位、すなわち基板の電位を調整する。 - 特許庁
The anodic-oxidation is performed on the silicon carbide substrate, by irradiating the substrate with light in a wavelength region having larger energy than the band gap of silicon carbide.例文帳に追加
炭化ケイ素基板に、炭化ケイ素のバンドギャップよりも大きなエネルギーを有する波長領域の光を照射しつつ陽極酸化を行う。 - 特許庁
To provide a method for oxidation treatment of a silicon based material capable of carrying out anisotropic oxidation of a silicon based treated material such as a silicon substrate at a temperature lower than 1000°C.例文帳に追加
シリコン基板のようなシリコン系被処理物を1000℃より低い温度で異方性の酸化を実行し得るシリコン系被処理物の酸化処理方法を提供する。 - 特許庁
After that, the substrate is fitted to a resistance heating furnace and is heated at 800-1000°C, thus forming a silicon oxide film 14 by the wet oxidation method or the dry oxidation method (d).例文帳に追加
その後、基板を抵抗加熱炉に装着して800〜1000℃の温度に加熱してウェット酸化法又はドライ酸化法にてシリコン酸化膜14を形成する(d)。 - 特許庁
In the electronic cooling element 50, the natural oxidation film 52 is formed on the n-type silicon substrate 51, and the metal film 53 is formed on the natural oxidation film 52.例文帳に追加
電子冷却素子50では、N型シリコン基板51の表面に自然酸化膜52が形成されており、自然酸化膜52上に金属膜53が形成されている。 - 特許庁
The wiring board includes a metallic core substrate 1, an oxidation-resisting coating layer 2 formed over the entire surface of the core substrate 1, an insulating layer 3 formed on the oxidation-resisting coating layer 2, and a wiring layer 4.例文帳に追加
本発明の配線基板は、金属製のコア基板1と、このコア基板1の全面に形成された耐酸化性被覆層2と、耐酸化性被覆層2の上に形成された絶縁層3と、配線層4とを備える。 - 特許庁
To prevent oxidation of a base film and to provide a utilizing method of an epitaxial substrate to which the oxidation preventing effect is given, in the epitaxial substrate provided with the Al-containing group III nitride base film.例文帳に追加
Al含有III族窒化物下地膜を具えるエピタキシャル基板において、前記下地膜の酸化を防止するとともに、このようにして酸化防止効果が付与されたエピタキシャル基板の使用方法を提供する。 - 特許庁
In the method for manufacturing an optical waveguide including a process of thermally oxidizing at least a silicon substrate to form a thermal oxidation film to be a lower clad film on the surface of the substrate, the process of forming the thermal oxidation film is a process of forming a thermal oxidation film containing aluminum.例文帳に追加
少なくともシリコン基板を熱酸化して下側クラッド膜となる熱酸化膜を基板表面に形成する工程を有する光導波路基板の製造方法において、前記熱酸化膜の形成は、アルミニウムを含有する熱酸化膜を形成する光導波路基板の製造方法。 - 特許庁
Therefore, when the silicon oxidation film 6 of the peripheral area, the first gate material 5 and the gate oxidation film 4 are removed by wet etching, the etching solution is prevented from entering between the silicon oxidation film 10 and the semiconductor substrate 1.例文帳に追加
したがって、周辺領域のシリコン窒化膜6、第1のゲート材5、ゲート酸化膜4をウェットエッチングにより除去する際、エッチング溶液がシリコン酸化膜10と半導体基板1との間に入り込むことを防ぐことができる。 - 特許庁
To provide an application apparatus and an application method by which a coating solution is applied onto a substrate while preventing oxidation of the coating solution.例文帳に追加
塗布液の酸化を防止しながら基板に塗布を行う塗布装置および塗布方法を提供する。 - 特許庁
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