意味 | 例文 (999件) |
defect inspectionの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 2367件
The inspection light is adjusted by dissipation of unnecessary light, and when the inspection light propagating in the core is reflected by a defect spot, the inspection light can be detected accurately, to thereby improve detection accuracy of the internal defect.例文帳に追加
不要な光の散逸により検査光は調整され、コア内を伝播する検査光が欠陥箇所で反射する際に、これを精度よく検出することができ、内部欠陥の検出精度が向上する。 - 特許庁
A defect detecting means 2 detects a defect on the surface of a sample at a predetermined inspection sensitivity, a false defect specifying means 4 specifies a false defect from defect information acquired by the defect detection, and a non-inspected region setting means 5 sets the detection part of the specified false defect in a non-inspected region.例文帳に追加
欠陥検出手段2は、所定の検査感度で試料表面の欠陥検出を行い、擬似欠陥特定手段4は、欠陥検出により得られた欠陥情報から擬似欠陥を特定し、非検査領域設定手段5は、特定した擬似欠陥の検出箇所を非検査領域に設定する。 - 特許庁
In this process, a defect is detected by comparing a basic inspection image obtained from the basic pattern formed in the basic pattern region of the mask for inspection of pattern defect detection sensitivity with a defect reference image produced by image processing based on the design data of the defect pattern.例文帳に追加
この際、パターン欠陥検出感度検査用マスクの基本パターン領域に形成された基本パターンから取得した基本検査画像と、欠陥パターンの設計データを基に画像処理により生成した欠陥参照画像とを、比較して欠陥を検出する。 - 特許庁
To provide a device for defect inspection not generating a noise caused by vibration on an imaged image, capable of inspecting a defect such as a foreign matter adhering to a transparent body automatically and accurately in a short time, and also to provide a method for defect inspection using the defect inspection device.例文帳に追加
本発明は、撮像した画像に振動によるノイズが発生することがなく、自動的に且つ短時間で且つ正確に透明体に付着した異物等の欠陥を検査することが出来る欠陥検査装置及びその欠陥検査装置を用いた欠陥検査方法を提供することを可能にすることを目的としている。 - 特許庁
A defect inspection apparatus performs a defect inspection of the thin film under inspection conditions corresponding to the management number in the recording medium, transmits defect inspection information to the host computer by associating it with the management number, stores the substrate after the inspection in a third distribution cassette, and write the management number in the recording medium.例文帳に追加
欠陥検査装置は第2の流通カセットから取り出した基板に対し、その記録媒体内の管理番号に対応する検査条件で薄膜の欠陥検査をし、欠陥検査情報を管理番号と対応付けてホストコンピュータに送信し、検査後の基板を第3の流通カセットに収納してその記録媒体に管理番号を書き込む。 - 特許庁
In the case of a plurality of defect data, the defect map is displayed by searching for a similar defect on an image, performing trend display of the searched result, and specifying one searched result on the trend, and the defect on the defect map is specified, thus displaying the defect image in inspection.例文帳に追加
複数枚の欠陥データの場合には、画像上で類似の欠陥を検索、検索結果をトレンド表示すること、トレンド上の1枚を指定することでその欠陥マップを表示し、欠陥マップ上の欠陥を指定することで検査時の欠陥画像の表示を可能とする。 - 特許庁
To provide a defect inspection device capable of precise inspection of defects independent of pitch of repeated pattern on a substrate.例文帳に追加
基板に形成された繰り返しパターンのピッチによらず高精度な欠陥検査が行える欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide an appearance inspection device of an inspection device capable of determining presence/absence of a defect of an opening of a PET bottle with high accuracy.例文帳に追加
ペットボトルの開口部の欠陥の有無を高精度に判定することができる検査装置の外観検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide an automatic defect inspection device that uses a conveying device with a self-propelled conveyor for reducing inspection cost.例文帳に追加
検査費用のコストダウンを可能とする自走コンベア搬送方式の搬送装置を用いた自動欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
To simplify the constitution of a surface defect inspection device for inspection by an interference phase measuring system and a scattered light detection system.例文帳に追加
干渉位相測定系及び散乱光検出系による検査を行う表面欠陥検査装置の構成を簡略化する。 - 特許庁
To accurately and quickly discriminate and detect a defect such as a flaw and a foreign matter, in inspection for an inspection object such as a semiconductor wafer.例文帳に追加
半導体ウェハ等被検査物の検査において、傷等の欠陥と異物とを正確かつ迅速に区別して検出する。 - 特許庁
To enable quantitative evaluation independent of intuition of a worker, great cost reduction required for inspection, and the inspection of a deep defect.例文帳に追加
作業者の勘に頼らない定量的な評価、検査に要するコストの大幅な削減、深い欠陥の検査を可能にする。 - 特許庁
Picture elements of an inspection area are divided into segments, a distribution of defect levels found in every of the segments is displayed on a monitor by a hue circle having 256 of gradations in response to the defect levels such as the defect level 0 : blue, defect level 128 : green, and defect level 255 : red.例文帳に追加
検査領域の画素をセグメントで分けて、各セグメント毎に求めた欠陥レベルの分布を、欠陥レベル0:青〜欠陥レベル128:緑〜欠陥レベル255:赤というように欠陥レベルに応じた256階調の色相環でモニタに表示される。 - 特許庁
To provide a surface defect inspecting device which secures an S/N ratio required for inspection of a surface defect by certainly removing diffracted light.例文帳に追加
回折光を確実に除去して表面欠陥の検査に必要なSN比を確保できる表面欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
To precisely set a parameter, such as defect detecting thresholds and defect detecting focus, in a short time, in detect inspection.例文帳に追加
欠陥検査において欠陥検出閾値及び欠陥検出フォーカス等のパラメータを高精度で且つ短時間に設定できるようにする。 - 特許庁
To provide a review apparatus and an inspection apparatus system for easily and visually recognizing a defect regardless of a type and a size of the defect.例文帳に追加
欠陥の種類やサイズにかかわらず、欠陥を容易に視認することのできるレビュー装置および検査装置システムを提供する。 - 特許庁
To provide a defect inspection method capable of scanning the entire sample surface in a short time and detecting minute defect without causing thermal damage to the sample.例文帳に追加
試料全面を短時間で走査し,試料に熱ダメージを与えることなく微小な欠陥を検出することができるようにする。 - 特許庁
A control part 2 of the defect detector is provided with a reference mask generating part 200, an inspection mask generating part 201, and a defect detecting part 202.例文帳に追加
欠陥検出装置の制御部2に基準マスク生成部200、検査マスク生成部201、欠陥検出部202を設ける。 - 特許庁
The defect detecting means 2 repeats the defect detection without inspecting the set non-inspected region, so that the inspection sensitivity can be increased.例文帳に追加
そして、欠陥検出手段2は、設定された非検査領域を検査せずに欠陥検出を繰り返すので、検査感度を高められる。 - 特許庁
To detect a defect in a groove part as a part of a manufacturing process by executing the inspection of the defect in the groove part at the stage of a film.例文帳に追加
溝部の欠陥検査をフィルムの段階で実行することにより、製造工程の一環として上記欠陥の検出を行う。 - 特許庁
To provide an inspection method of a display panel by which not only the existence of a display defect but also the cause of the display defect can be specified.例文帳に追加
表示不良の有無だけでなく、その表示不良の原因を特定することができる表示パネルの検査方法を提供する。 - 特許庁
A storage part 41 stores an image of a substrate in which a defect is detected by an automatic defect inspection device 2 and defect information showing the information related to the defect in association with a substrate ID identifying the substrate.例文帳に追加
記憶部41は、自動欠陥検査装置2により欠陥の検出された基板の画像と、欠陥に係わる情報を示す欠陥情報とを、基板を識別する基板IDと対応付けて記憶する。 - 特許庁
To provide a detection method of a crack defect which guarantes sure detection of a fine crack defect without omission, in penetrant inspection by an automatic penetrant inspection device.例文帳に追加
自動浸透探傷装置による浸透探傷検査において、微細な亀裂欠陥を漏れなく確実に検出することが保証できる亀裂欠陥の検出方法を提供する。 - 特許庁
To provide a defect inspection method and a defect inspection device capable of accurately detecting defects of a mask, without being influenced by particulate matters, even if transparent particles are scattered on the surface of a photomask (mask).例文帳に追加
フォトマスク(マスク)の表面に透明粒子が散布されても、粒状物による影響なく、マスクの欠陥を正確に検出できる欠陥検査方法及び欠陥検査装置。 - 特許庁
Alternatively, a first detector for the defect detecting inspection and a second detector only for review for observing a specific narrow part detected by the defect detecting inspection are disposed.例文帳に追加
または欠陥検出検査の為の第1の検出器とこの欠陥検出検査により検出された特定の狭い部位を観察するレビュー専用の第2の検出器とを設ける。 - 特許庁
To provide a defect inspection method and a defect inspection device capable of surely detecting unevenness due to defects at a surface of an object regardless of pattern or gloss at the surface of the object.例文帳に追加
対象物の表面の模様やツヤによらず、対象物表面の欠陥による凹凸を確実に検出する欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide a surface appearance inspection apparatus capable of surely detecting only a defect, even when both a density variation and the defect coexist on the surface of an inspection object.例文帳に追加
検査対象物の表面において濃淡ばらつきと欠陥とが混在する場合であっても、欠陥のみを確実に検出することができる表面外観検査装置を提供する。 - 特許庁
Alternatively, the device is provided with the first detector for the defect detecting inspection and the second detector exclusive for a review for observing the specified narrow portion detected by the defect detecting inspection.例文帳に追加
または欠陥検出検査の為の第1の検出器とこの欠陥検出検査により検出された特定の狭い部位を観察するレビュー専用の第2の検出器とを設ける。 - 特許庁
To provide a mask inspection method for performing rapid pattern inspection by suppressing detection of a pseudo defect included in a mask pattern and reliably detecting a real defect.例文帳に追加
マスクパターンに含まれる擬似欠陥の検出を抑制し、実欠陥を確実に検出しすることによって、迅速なパターン検査を行うことが出来るマスク検査方法を提供する。 - 特許庁
To provide an inspection system which can, even when there is a luminance point defect at an alignment mark part, detect the bright point defect and a position detection system included in the inspection system.例文帳に追加
アライメントマーク部分に輝点欠陥があった場合でも、当該輝点欠陥を検出することができる検査装置および検査装置が備える位置検出装置を提供する。 - 特許庁
Consequently, the amount z of irradiation light which is optimal for inspection can be set and neither a detection omission of a pattern defect nor a dummy defect is caused to precisely perform the pattern inspection.例文帳に追加
これにより、最適な検査用照射光量zが設定できることになり、パターン欠陥の検出漏れや擬似欠陥も起きなくなって、精度よくパターン検査を行うことができる。 - 特許庁
To provide a defect inspection method and a method for manufacturing a semiconductor device for suppressing false detection due to color irregularity even when a wafer subjected to defect inspection has color irregularity on a surface thereof.例文帳に追加
欠陥検査を行うウエハ表面に色むらがある場合でも色むらによる虚報の検出を抑制できる欠陥検査方法及び半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
To achieve high efficient defect inspection with a high defect capture rate in a surface defect inspection device for a wafer and the like by enabling detection of forward scattered light with high sensitivity and at the same time enabling detection of specularly reflected light with high sensitivity.例文帳に追加
ウエーハ等の表面欠陥検査装置において、前方散乱光を高感度で検出し、正反射光をも同時に高感度検出可能とすることで、欠陥捕捉率の高い高効率の欠陥検査を実現。 - 特許庁
When defect exists in a part contacting with the electrode means 5 for inspection, discharge is made in the defect part, whereby existence of a defect in the piezoelectric tube 3 which makes contact with the electrode means 5 for inspection can be specified.例文帳に追加
これによって、検査用電極手段5に接触する部分に欠陥が存在する場合、その欠陥部で放電するので、欠陥が検査用電極手段5に接触する部分の圧電体チューブ3に存在することを特定できる。 - 特許庁
The probe makes the ultrasonic waves expand and propagate radially inside the inspection object, whereby a defect inspection can be carried out by projecting the ultrasonic waves onto the defect S or the like existing inside the inspection object, even if the surface of the inspection object has irregularities or is made sloped.例文帳に追加
探触子は試験体内で超音波を放射状に拡大伝搬させるので、表面に凹凸や傾きが存在する試験体であってもその内部に存在する欠陥等Sへ超音波を照射し、その欠陥検査を行うことが可能である。 - 特許庁
To provide a pattern defect inspection device capable of detecting a defect with high inspection accuracy even when a pattern is formed with a transparent film on an object under inspection and the film thickness of the transparent film is varied according to the position on the object under inspection.例文帳に追加
被検査物体上に透明薄膜でパターンが形成されていて、その透明薄膜の膜厚が被検査物体上の位置によって変化している場合においても、高い検査精度で欠陥を検出できるパターン欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
The results of an electricity inspection of a first inspection step and an optical inspection of a second inspection step are collated in a collation step and the critical defect 181 of electric shorting or disconnection is specified.例文帳に追加
第1検査工程の電気検査と第2検査工程の光学検査との結果を照合工程において照合し、電気的に短絡または断線している致命欠陥181を特定する。 - 特許庁
To provide an inspection method of high accuracy by correcting a scattering attenuation amount in an inspection by an ultrasonic inspection method for a defect which is generated in the jointed part of a metal pipe.例文帳に追加
金属管の接合部に生じる欠陥の超音波反射法による検査において、散乱減衰量の補正により精度の高い検査方法を提供すること。 - 特許庁
More specifically, in the inspection of the mask RM, it is possible to perform the defect inspection without performing a comparison inspection that requires a great amount of measuring time and advanced techniques.例文帳に追加
すなわち、マスクRMの検査において、多くの測定時間と高度な技術が要求される比較検査を行わないで、欠陥検査を行うことができる。 - 特許庁
It is thus possible to automate visual inspection of the wafer 2 to final defect classification, eliminate the need for inspection by visual observation (review), and substantially shortening the time required for inspection.例文帳に追加
このため、ウェハ2の外観検査を最終的な欠陥分類に至るまで自動化でき、目視検査(レビュー)が不要となり、検査時間を大幅に短縮できる。 - 特許庁
To provide a design method of filter, a filter, a defect inspection method and a defect inspection device capable of reducing the cost and tact time required for a defect inspection, and removing only moire fringes from an input image without losing the characteristic quantity of a defective part.例文帳に追加
欠陥検査に要するコストおよびタクトタイムの低減を図るとともに、欠陥部の特徴量を失うことなく、入力画像からモアレ縞だけを極力除去することが可能なフィルタの設計方法、フィルタ、欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide a defect inspection method discovering early a VA pattern formation defective substrate by detecting a partial VA deficiency of VA having a line width of 5-10 μm, and improving a line production efficiency, and also to provide a defect inspection device to which the defect inspection method is adapted.例文帳に追加
線幅5μm〜10μmのVAの、部分VA欠損を検出することで、VAパターン形成不良基板を早期に発見し、ラインの生産効率を向上させることが可能な欠陥検査方法、および、この欠陥検査方法を適応した欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide a defect inspection method and a defect inspection device of a laminate, capable of detecting a defect of the laminate in a nondestructive/noncontact manner, regardless of the material of the laminate, and utilizable, for example, for deterioration diagnosis of for a solid oxide type fuel cell or process inspection at manufacturing.例文帳に追加
積層体の材質に左右されることなく、積層体の欠陥を非破壊・非接触で検出しることができ、例えば固体酸化物形燃料電池の劣化診断や、製造時の工程検査などに利用することができる積層体の欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide a filter design method, a filter, a defect inspection method and a defect inspection device that can reduce cost and cycle time for defect inspection and remove only as many moire fringes as possible from an input image without losing a feature value of a defective portion.例文帳に追加
欠陥検査に要するコストおよびタクトタイムの低減を図るとともに、欠陥部の特徴量を失うことなく、入力画像からモアレ縞だけを極力除去することが可能なフィルタの設計方法、フィルタ、欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
A defect display device 4 reads the image and the defect information obtained by the automatic defect inspection device 2 from the storage part 41 on the basis of the substrate ID of a substrate to be visually inspected in a visual inspection device 3, and highlights a defect part with respect to the image.例文帳に追加
欠陥表示装置4は、目視検査装置3において目視検査を行う基板の基板IDに基づいて自動欠陥検査装置2で取得された画像及び欠陥情報を記憶部41から読み出して、画像に対して欠陥部分を強調表示する。 - 特許庁
The sorted final defect distributions and layer defect distributions obtained by each in-line inspection process 10a, 10e and 10f are compared, respectively, and the in-line inspection process 10e obtaining the layer defect distributions (such as 31b) similar to the final defect distributions (such as 26a) is specified.例文帳に追加
分類された最終欠陥分布と各インライン検査工程10a、10e、10fによって得られたレイヤ欠陥分布とをそれぞれ比較して、最終欠陥分布(例えば26a)に対して類似するレイヤ欠陥分布(例えば31b)が得られたインライン検査工程10eを特定する。 - 特許庁
To provide a defect inspection apparatus and a defect inspection method using it which accurately find the number of defects on inspected materials when quality of the inspected materials is determined based on defect information of the inspected materials respectively detected by a plurality of defect detectors and determine the quality of the inspected materials based on the number of the defects.例文帳に追加
複数の欠陥検出器がそれぞれ検出した被検査材の欠陥情報に基づいて、被検査材の合否判定を行う際、被検査材の欠陥数を正確に求めることができる欠陥検査装置およびそれを用いた欠陥検査方法を提供する。 - 特許庁
To provide a defect inspection device and a PTP packing machine capable of enhancing inspection precision, in particular, for a pocket part side, to enhance visual appearance quality of a PTP sheet, in defect inspection in a manufacturing process for the PTP sheet.例文帳に追加
PTPシートの製造過程における不良検査に際し、特にポケット部側の検査精度の向上を図ることで、PTPシートの外観品質の向上を図ることができる不良検査装置、及び、PTP包装機を提供する。 - 特許庁
Since the defect inspection device 3 is disposed by utilizing the beam transmission part 15, the conveyance inspection device capable of performing defect inspection during conveyance in the noncontact state even when the conveyance object is a transparent material is provided.例文帳に追加
この光線透過部15を利用して欠陥検査装置3が配設されていることにより、搬送対象物が透明材料であっても、非接触状態での搬送中に欠陥検査が行える搬送検査装置が提供される。 - 特許庁
To provide a mold release film preventing a foreign matter and a defect from getting difficult to be observed, when conducting visual inspection by a crossed Nicols method that is representative one for defect inspection of a polarizing plate, and attaining high inspection precision.例文帳に追加
偏光板の欠陥検査の代表的なひとつである、クロスニコル法による目視検査を行った際に、異物や欠陥等が見づらくなることがなく、高度な検査精度を実現することのできる離型フィルムを提供する。 - 特許庁
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